JPS58182129A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ■　発明の背景 Ａ技術分野 本発明は磁気記録媒体に関する。　更に詳しくは、Ｃｏ
−Ｐ系またはＣｏ　−Ｎｉ　−Ｐ系のスパッタ薄膜環の
気相被着薄膜を磁性層とする多層構造の連続薄膜形の磁
気記録媒体に関する。

Ｂ　先行技術とその問題点 近年、金属磁性薄膜を磁性層とする連続薄膜形の磁気記
録媒体が注目を集めている。

このような連続薄膜形の磁気記録媒体の１つとして１本
発明者らは先に、Ｃｏ−Ｐ系ないしＣｏ　−Ｎｉ　−Ｐ
系の薄膜を、基体上に、スパッタリング等の気相被着に
よって形成したものを提案している。

このようなｃｏ　−Ｐ系なしＬ％　Ｃｏ　−Ｎｉ　−Ｐ
系気相被着薄膜を磁性層とする媒体は、良好な磁気特性
を示し、また膜強度が高い等１種々のすぐれた特性をも
つ。

しかし、このような媒体も、＊に、オーデのバイアスノ
イズが大きいという欠点がある。

ところで、Ｃｏ−Ｎｉ系等の気相被着薄膜磁性層をもつ
通常の連続薄膜形の磁気記鍮媒体では、バイアスノイズ
を減少させるために、磁性層の被着と非磁性層との被着
な交互に行い、各磁性層の厚さを小さくし、これを非磁
性中間層を介し、所定の膜厚が得られるまで積層するこ
とが行われている。　そして、このように各磁性層の厚
さを薄くしていくと、保磁力Ｈｃが向上する。　　そし
て、このようなときの磁性層間に間挿される非磁性の中
間層の厚さは、５００Ａ＠度とされ、中ｎ４ｍ厚かうす
くなるとＨｅは低下する。

このような事実に鑑み、本発明者らは、Ｃ。

−Ｐ系ないしｃｏ−Ｎｉ−Ｐ系の気相被着薄膜を磁性層
として、上記のように非磁性中間層と磁性層とを交互に
積層してオーディオ用の媒体を作製して、その特性を評
価してみた。

ることか確認された。

しかし、このように構成しても１周波数特性が悪く、実
用上満足できないことが判明している。

■　発明の目的 本発明は、このような実状に鑑みなされたものであって
、その主たる目的は、オーディオ用の媒体として用いた
とき、特に中域〜高域テのバイアスノイズが小さく、ま
た周波数特性が良好な、Ｃｏ　−Ｐまたはｃｏ−Ｎｉ−
Ｐ系の気相被着薄膜を磁性層とする連続薄膜形の多部構
造の磁気記鎌媒体を提供することにある。

本発明者らは、このような目的につき種々検討を行った
結果、磁性層間に間挿する非磁性層厚の最適寸法を見出
し１本発明をなすに至った。

すなわち１本発明は、基体上に、複数のＣ。

−Ｐ糸またはＣｏ　−Ｎｉ　−Ｐ系磁性層を、３０〜２
００Ａの厚さの非磁性の中間層を介して積層してなるこ
とを特徴とする磁気記碌媒体である。

鳳　発明の具体的構成 以下、本発明の具体的構成について詳細に説明する。

本発明において用いる基体は、非磁性のものでありさえ
すればよいが、可撓性の、特に、ポリエステル、ポリイ
ミド、ポリアミド等の高分子成形物からなるものである
ことが好ましい。　また、その厚さは種々のものとする
ことができる。　さらに、その形状も檀々のものであっ
てよいが、本発明の媒体は、オーディオ用として有用で
ある点で、一般にテープ状とされる。

このような基体上には、好ましくは被磁性の下地層が設
けられ、接着性や膜の均一性の向上等が図られる。

下地層の材質としては、特に制限はなく、Ａｔ、　Ａｔ
、Ｃｕ％ＳｎｌＭｏ、Ｚｎ、Ｎｉ　、　Ｃｒ。

Ｃｕ　−Ｂｅ等の各禮単−金属ないし合金や、Ｓｉｎ、
　、　Ａｔ、（Ｊ３等の酸化物などの各種化合物等いず
れを用いてもよい。　ただ、通常は、製造の容易さから
、後述の非磁性の中間層と同一の材質とする。

このような下地層の厚さについてＩｌ＃に制限がないが
１通常は、５０〜５０００Ａ＠度とされる。

また、下地層の形成は、スパッタリング、蒸着、イオン
ル−ティング、いずれの気相被着法によってもよいが、
磁性層の形成は、後述のように、スパッタリングを用い
るのが好ましいので、製造の容易さからすると、スパッ
タリングに従うのがよい。

このように基体上、好ましくは基体く形成された下地層
上には、磁性層と非磁性の中間層とが形成される。

磁性層は、Ｃｏ　−Ｐ系またはＣｏ　−Ｎｉ　＋Ｐ系合
金からなる。

Ｇｏ−Ｐ糸またはＣｏ　−Ｎｉ　−Ｐ系合金の組成とし
ては、下記式で表わされるものであることが好ましい。

式　　　Ｘ□。。−ｘＰｘ Ｅ式において、Ｘは、Ｃｏ　、またはＣｏおよびＮｉを
表わす。

この場合、Ｎｉ　／（Ｃｏ＋Ｎｉ　）重量比（ｙ）は０
または３５重ｉ％以下であることが好ましい。

ｙが３５重量％を超えると、磁気特性、特に保磁力Ｈｃ
低下してしまうからである。

そして、保磁力Ｈｃの点で％ｙが０または３０１１量％
以下、特に０または２８重量％以下であれば、より好ま
しい結果を得る。

−万、Ｘ、すなわちＰ含量は、０より大で８Ａｔ％以下
であることが好ましい。

８重量％を超えると、やはり磁気特性、特に保磁力Ｈｃ
が低下してしまう。

そして、保磁力Ｈｃの点では、ｙが１〜８重量％、より
好ましくは１．５〜７重量％であれば、好ましい結果を
得る。

種以上が、全体の１０重量％以下の範囲で含有されてい
てもよい。

このような組成の磁性層の形成は、気相被着法によれば
よく、スパッタリングの他、蒸着、イオンブレーティン
グを用いることもで傘る。

ただ、％柱上、最も好ましいのは、スパッタリングによ
る場合である。

用いるスパッタリングとしては、ｌＩ撃イオンにより、
ターゲットをスパッタし１通常、数ｅＶ〜約１００　ｅ
Ｖ程度の運動エネルギーにてターゲット物質を蒸散させ
る公知のスパッタリングはいずれも使“用可能である。

従って、Ａｒ等の不活性ガス零囲気中で、異常グロー放
電によるＡｒ等のイオンによって、ターゲットをスパッ
タするプラズマ法を用いても、ターゲットにＡｒ等のイ
オンビームを照射して行５イオンビーム法を用いてもよ
い。

プラズマ法によるときには、いわゆる）ＬＦスパッタで
あっても、また、いわゆるＤＣスパッタであってもよく
、その装置構成も２極、４極等いずれであってもよい。

　また、いわゆるマグネトロンスパッタを用いてもよい
。

さらには、Ｐ等を流しながら行う、いわゆる反応性スパ
ッタによることもできる。　なお、イオンビーム法とし
ては、樵々の方式に従うことができる。

用いるターゲットとしては、通常の場合は、」１記組成
のＣｏ　−ＰないしＣｏ−Ｎ１−ＰＩ）焼結体等を用い
ればよい。

一方、衝撃イオンのイオン源としては、通常、Ａｒ、Ｋ
ｒ％Ｘｅ等の不活性ガス等を用いればよい。

そして、これらの不活性ガス等は、−作時において、　
２Ｘ　１０−”　Ｔｏｒｒ以上の圧力に維持することが
好ましい。

このような圧力未満では、得られる磁性層薄膜の磁気特
性、　４１１に保磁力が低下してしまうからである。　
一方、動作時の圧力を上げれば、スパッタレートは低下
してしまう。

このため、動作時の圧力は、一般に２Ｘ１０−”〜２Ｘ
１０　　’Ｔｏｒｒ程度とすることが好ましい。

なお、プレート電圧、プレート電流、ｆｉ間間隙等には
特別の制限はなく、これらは１条件に応じ、任意の値に
設定することができる。

これに対し、複数の磁性層間に間挿される非磁性の中間
層としては、その材質に４１に制限はなく、Ａｔ、Ａｆ
、　Ｃｕ、　Ｓｎ、Ｚｎ、Ｎｉ　。

Ｍｏ　、Ｃｒ　、　Ｃｕ　−Ｂ＠等の各種単一金属ない
し合金や、Ｓ　ｉＯ，、Ａｚ、０３等の酸化物等の各種
化合物等いずれを用いてもよい。

また、その被着は気相被着によればよいが１１＃に、磁
性層をスパッタリングにより被着するのが好ましいので
、ＩＩ造の容易さの点で、スパッタリングによることが
好ましい。

このような前提の下で、磁性層間に間挿される一つまた
は二つ以上の非磁性の中間層はその厚さを３０〜２００
＾とされる。

２００Ａをこえると１周波数特性がきわめて急くなる。

マタ、３０Ａ未満となると、バイアスノイズが増大する
。

このような場合、厚さが５０〜１５０Ａとなると、バイ
アスノイズがきわめて少なくなり１周波数特性がきわめ
て良好となる。　　しかも。

このとき保磁力の低下はない。

程度が最適であるとされており、本発明のようにうすい
中間層を用いるときＫは、＊＠カがきわめて低くなって
しまう。

他方、値数に分割さ、れた磁性層の厚さの総計は、２０
００〜６００ＱＡ、％に３０００〜５０００Ａとされる
。

これにより、１０−”〜３Ｘ１０　　”ｅｍｕ／−の最
適の残留磁化が得られ、オーディオ用の媒体としてきわ
めて好ましい特性をもつ。

なお、磁性層は、一般に、２〜６層、％に３または４層
に分割されることが好ましい。

そして、各磁性層の厚さは、５００〜２０００とが好ま
しい。

これは、厚さが大きくなるとバイアスノイズが高くなり
、また、厚さがうすくなると保磁力が小さくなる傾向に
あるが、このような厚さとすると、十分な保磁力が得ら
れ、またバイアスノイズがきわめて小さくなるからであ
る。

なお、Ｃｏ−Ｎｉ系等の斜め蒸着による場合などの本発
明と異なる磁性層では、磁性層の厚さをうすくするに従
い、＾い保磁力が得られるものであり、この点で、本発
明におけるＣｏ−ＰまたはＣｏ　−Ｎｉ　−Ｐ系の磁性
層を用いるときの、磁性層の層上による影響は特異なも
のである。

なお、鍛上層としては、無機ないし有機物質等の檀々の
材質からなる保一層を設けることができる。

■　発明の具体的作用効果 本発明の磁気記ａｍ体は、バイアスノイズ特に中域〜高
域でのバイアスノイズがきわめて少ない。

また、きわめて良好な周波数特性をもつ。

そして、このようなすぐれた特性は、中間層の厚さを３
０〜２００Ａとしたときのみ実現する。

さらに、ｃｏ　−ＰないしＣｏ　−Ｎｉ　−Ｐ系の気相
被着薄膜を磁性層とするので、−の均一性も良好で、走
行にともなう出力蛮動巾も少なく、また出力も＾く、さ
らには可撓性基体を用いても、負荷後の残留伸びも小さ
い。

そして、磁性層の厚さの総針を２０００〜ｇｏｏ。

人とすれば、最適の残留磁化が得られ、オーディオ用の
媒体としてきわめて有用なものとなる。

また、各磁性層の厚さを、５００〜２０００Ａとすると
、保磁力が高くなり、しかもバイアスノイズが低くなる
。

さらに、基体表面に下地層を設ければ、接着性や農の均
一性が向上する。

Ｖ　発明の異体的実施例 以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明をさらに詳
細に説明する。

実施例１ 基体として、連続長尺の９４慟厚の可撓性のポリエチレ
ンテレフタレートフィルムｔ−６６１類用意した。

これら各基体上に、スパッタリングにより。

１０００Ａ犀にて、アルミニウム下地層を形成した。

次いで、これらのうちの１つＫついては、ＣＣ０Ｑａｌ
ＳＮ＆＋１１８　）　９’Ｆ　Ｐ３の総成り磁性層を４
０００大の厚さに形成した（試料溝イ）。

また、残りの５攬については、上記と同一の組成の磁性
層を、総計４００ＯＡの厚さとなるように、スパッタリ
ングにより、３層に勢分割して形成し、各磁性層間に、
下記表ＩＫ示される厚さのアルミニウム中間層を２層、
スパッタリングにより形成した（試料Ａ２〜６）。

この場合、磁性層の形成は、ＤＣマグネトロンスパッタ
リングによって行った。　ソシて、ターゲットとしては
、対応する組成の焼結体を用い、グレート電圧は２ＫＶ
、投入電力は３．８　Ｗ／ｃｄ、動作アルゴン圧は７Ｘ
１０　’Ｔｏｒｒとした。

次に、これら６種の試料それぞれを、３．８１−幅にス
リットし、Ｃ−１２０カセツトテーグを作製した。

このよ１ｍ作製した各試料の残留磁化φｒは２４ｘｌ□
　”ｅｍｕ／−であり、保磁力Ｈｃは下記１ｊｋＩＫ示
されるとおりである。

この後、各試料のバイアスノイズを測定した。

すなわち、市販のカセットデツキにて、ノーマルポジシ
ョンのバイアスで、イコライザーを１２０４ｓに設定し
、テープ速度４．７５５１／Ｓｅｃで走行させ、１ＫＨ
ｚおよび１ＱＫＨｚの周波数にて記録した後、消去ヘッ
ドで消去して、出力とノイズとの差を求め、ｌＫＨｇと
ＩＯＫＨｇでの中域〜高域Ｑバイアスノイズを算出した
。　結果をｆｌｌＩＫ示す。

また、入力レベルがＯｄＢのときのＩＫＨｌと１０ＫＨ
ｚの出力差を求めて得られた周波数特性（ｆ特）を表１
Ｋ″併記する。

１ｌＩＩＫ、示される結果から、非磁性の中間層の厚さ
が３０〜２００人となったときのみ、パ・イアスノイズ
が少なく、シかも良好なｆ＋％が得られることがわかる
。

実施例２ 実施例１において、磁性層を下記＄１！２に示されるよ
うな組成にかえ、また、中間層を下記表２に示されるよ
うに亜鉛またはスズにかえ、非磁性の中間層をもたない
試料（Ａ６７および／１６１）と、下記表２に示される
厚さの２層の中間層をもつ試料（Ａ　８．９．１１．１
２．　）とを作製した。

この場合、磁性層の、形成は、実施例１と同様％ＤＣマ
グネトロンスパッタリングによす。

動作°アルゴン圧は８Ｘ１０　”Ｔｏｒｒ、投入電力は
３．７　Ｗ／ａＪとした。　また、磁性層の纒計厚は各
試料とも４０００Ａとし、残留磁化φｒは、各試料とも
２５　Ｘ　］　Ｏｅｍｕとした。

実施例と同様に、Ｃ−１２０カセツトテープを作製し、
１にＨｚおよび１０にＨｚでのパイアスノイズとｆ％と
を測定した。　ただし、ノ（イアスは／・イポジション
とした。

結果を懺２に示す。

なお、表２には、各試料の保磁力Ｈｃも併記される。

＆２に示される結果から１本発明の効果があきらかであ
る。

なお、磁性層組成を他のＣｏ−ＰまたはＣＯ−Ｎｊ　−
Ｐ系にかえたとき、あるいは他の材質の非磁性中間層を
用いたときくも、このような効果が四様に再現すること
が確認されている。

実施例３ 実施例２０試料ム８にて、磁性層の厚さをかえ、磁性層
の厚さの総計が４００ＯＡとなるように、磁性層の厚さ
と、磁性層および中間層の数をかえ、保磁力Ｈｃおよび
１ＫＨｚでのバイアスノイズを測定した。

結果を表３に示す。

なお、各試料の各中間層の厚さは１００人にした。

表３に示される結果から、保磁力およびパイｆスノイズ
の点で、磁性層の厚さは５００〜２００ＯＡであること
が好ましいことがわかる。

なお、試料Ａ１４では、バイアスが不足して、ノイズの
測定ができなかった。

出願人　東京電気化学工業株式金社 代理人　弁理士　石　井　陽　−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　基体上に、複数のＣｏ　−Ｐ系またはｃｏ　−Ｎ
   ｉ−Ｐ基磁性層を、３０〜２００Ａの厚さの非磁性の中
   間層を介して積層し【なることを特徴とする磁気記録媒
   体。 ２、　複数の磁性層の厚さの総計が２０００〜６０００
   Ａである特許請求の範囲第１項に記載の磁気記録媒体。 ３、各磁性層の厚さが５００〜２０００Ａである特許請
   求の範囲第１項または＠２項に記載の磁気記録媒体。 ４　基体が下地層を有する特許請求の範囲第１項ないし
   第３項のいずれかに記載の磁気記録媒体。