JPS58171830A - 集積回路装置の分類方法 - Google Patents
集積回路装置の分類方法Info
- Publication number
- JPS58171830A JPS58171830A JP5488382A JP5488382A JPS58171830A JP S58171830 A JPS58171830 A JP S58171830A JP 5488382 A JP5488382 A JP 5488382A JP 5488382 A JP5488382 A JP 5488382A JP S58171830 A JPS58171830 A JP S58171830A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- resistance
- integrated circuit
- chips
- electrodes
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は集積回路装置の分類方法に係ハ特に異なる機能
を判別するに有利な集積回路装置の分類方法に関する。
を判別するに有利な集積回路装置の分類方法に関する。
辺部の技術進歩により集極回路装ｆｉｌ（以下ＩＣと略
す）の集積ｆは大規模化の一途を辿ハ例えば同−機能管
有するＩＣの１装置当りの使用数が１個であるといつ九
１ＩＷＩも現実となりつつある。
す）の集積ｆは大規模化の一途を辿ハ例えば同−機能管
有するＩＣの１装置当りの使用数が１個であるといつ九
１ＩＷＩも現実となりつつある。
しかしこのことは、一方ではＩＣ用途の専用化を惹起し
、その４！ｅ能檀類を増大させることになる。
、その４！ｅ能檀類を増大させることになる。
即ち少量多品−の開発生産が求められている。−飯に、
ＩＣチップは同一基板上に被数個を配列して同時に製造
するいわゆるバッチ処理による大量生産で製造費用の大
巾の低減全可能として１！ｉ九。
ＩＣチップは同一基板上に被数個を配列して同時に製造
するいわゆるバッチ処理による大量生産で製造費用の大
巾の低減全可能として１！ｉ九。
この特Ｉ［全損なうことなく前述の参勤に対応する手段
として同一基板上に何槙餉かの機能を有するチップを同
ａｔＫａｌ造してしまうことがおる。この味な場合、同
一基板に配列されている各々のＩＣチ、プがどのａｔ類
の４！Ｉ！能を笑現することを目的として製造されたか
を判別する必要がある。
として同一基板上に何槙餉かの機能を有するチップを同
ａｔＫａｌ造してしまうことがおる。この味な場合、同
一基板に配列されている各々のＩＣチ、プがどのａｔ類
の４！Ｉ！能を笑現することを目的として製造されたか
を判別する必要がある。
また、同一形状のパヅケージに８１！装され九ＩＣをプ
リント板等に搭載する場合や、検査する場合などにも、
個々のＩＣの機能を判別する必要があシ、従来は、捺印
された記号を作業者が読みとってい九が生産を目動化す
るには、必ずしも有利ではない。
リント板等に搭載する場合や、検査する場合などにも、
個々のＩＣの機能を判別する必要があシ、従来は、捺印
された記号を作業者が読みとってい九が生産を目動化す
るには、必ずしも有利ではない。
本発明の目的は、このような場合に容易に機能判別でき
るＩＣの分類方法を提供することにある。
るＩＣの分類方法を提供することにある。
本発明の他の目的は、このような場合に容易に機能判別
できるＩＣ１−提供することにある。
できるＩＣ１−提供することにある。
異なる機能を有する複数極のＩＣに於いて、同一位置に
ある電極間に前記機能毎に異なる値管有する抵抗体を接
続したこと１に％轍とする本発明のＩＣ＆用いれば、該
電極の間の抵抗体の値を測定することによってＩＣの判
別分如が行い得る。
ある電極間に前記機能毎に異なる値管有する抵抗体を接
続したこと１に％轍とする本発明のＩＣ＆用いれば、該
電極の間の抵抗体の値を測定することによってＩＣの判
別分如が行い得る。
以下１本発明の一１！―例を図によって説明する。
第１図は、シリコン基板ｌの上にＡ、８．２ａｌの機能
を有するチップを混載した例でＡｌ ＠Ａｍ・・・・
・・及びＢｒ−Ｂｍ・・・・・・Ｆｉ、各々ム、Ｂｃ）
機能を有するＩＣ？ツブ群である。謳２図は、このチッ
プの拡大図で、人、Ｂ両省とも同一位置の電極Ｔｌ５Ｔ
１間に抵抗体が接続されておりＡｉはその値が”Ａ ＃
Ｂｉ はその像が８１となっている。ＲＡはＲ１よ
シ大であると仮定する。今、拡散及び配線工程を終えた
基板から良品チャ１選び出そうとする場合、その電気的
特性音測定する必要があるが、その機能が異なるため、
Ａ、Ｂ１１１ｊ省では異なる各々の測定条件が必要であ
る。即ち、Ｂの測定条件（Ｃｏｎｄ−Ｂ）でＡのチップ
會テストすれは、当然不合格となりてしまい１本来人の
チップが持つべき機能を有している場合でも不良と判定
されてしまう、そこでＡ（０機能を有するべくチ曽プで
あるか否かを予め判別しＡの測定条件（Ｃｏｎｄ−Ａ）
でテスト管行えは％Ａの良品チップを容易に選び出すこ
とができ、同様にＢの良品チップも選び出すことができ
る。
を有するチップを混載した例でＡｌ ＠Ａｍ・・・・
・・及びＢｒ−Ｂｍ・・・・・・Ｆｉ、各々ム、Ｂｃ）
機能を有するＩＣ？ツブ群である。謳２図は、このチッ
プの拡大図で、人、Ｂ両省とも同一位置の電極Ｔｌ５Ｔ
１間に抵抗体が接続されておりＡｉはその値が”Ａ ＃
Ｂｉ はその像が８１となっている。ＲＡはＲ１よ
シ大であると仮定する。今、拡散及び配線工程を終えた
基板から良品チャ１選び出そうとする場合、その電気的
特性音測定する必要があるが、その機能が異なるため、
Ａ、Ｂ１１１ｊ省では異なる各々の測定条件が必要であ
る。即ち、Ｂの測定条件（Ｃｏｎｄ−Ｂ）でＡのチップ
會テストすれは、当然不合格となりてしまい１本来人の
チップが持つべき機能を有している場合でも不良と判定
されてしまう、そこでＡ（０機能を有するべくチ曽プで
あるか否かを予め判別しＡの測定条件（Ｃｏｎｄ−Ａ）
でテスト管行えは％Ａの良品チップを容易に選び出すこ
とができ、同様にＢの良品チップも選び出すことができ
る。
そこで、前述のｔ極間の抵抗値を自足し、それによって
Ａであるべきチップか、Ｂであるべきチ、プかを判別し
た後に、各々の適切な測定条件でテストして良否の判定
を行えばよい０通常、このような場合の測定には、自動
テスタで行うのでテスト・プログラムの流れ全編３図に
示すように設定しておけば１判別及び良否判定を一工程
で賽現できる。
Ａであるべきチップか、Ｂであるべきチ、プかを判別し
た後に、各々の適切な測定条件でテストして良否の判定
を行えばよい０通常、このような場合の測定には、自動
テスタで行うのでテスト・プログラムの流れ全編３図に
示すように設定しておけば１判別及び良否判定を一工程
で賽現できる。
もし、同一チップをＣｏｎｄ−Ａ 、Ｃｏｎｄ−Ｂの
両方で６１１＋足し、いずれか一方で合格したチップ管
良品と判定しようとすると、測定の時間が長くなりてし
まうことや、ＢのチップをＣｏｎｄ−Ａで測定すること
で破職してしまうおそれもあること轡の不都合を生ずる
。
両方で６１１＋足し、いずれか一方で合格したチップ管
良品と判定しようとすると、測定の時間が長くなりてし
まうことや、ＢのチップをＣｏｎｄ−Ａで測定すること
で破職してしまうおそれもあること轡の不都合を生ずる
。
以上はいわゆるブロービング・テストの例であるが、前
述のその他の例の場合でも同様に予め定めた位置の電極
間の抵抗偽ｔ−測足してそのＩＣの８！能を判別できれ
にその後の適切な製造指定を行うことが可能となるのは
明らかである。
述のその他の例の場合でも同様に予め定めた位置の電極
間の抵抗偽ｔ−測足してそのＩＣの８！能を判別できれ
にその後の適切な製造指定を行うことが可能となるのは
明らかである。
また１判別の為の電極は必ずしもＩＣの最科形腿で外部
に襄出している必要はなく、＠別の必要な段隋でのみａ
ｅ能すればよいのは当然で、従って。
に襄出している必要はなく、＠別の必要な段隋でのみａ
ｅ能すればよいのは当然で、従って。
電極の有効利用を妨げるものではない。さらに。
判別すべきＩｋ類数が多い場合には単に２電極間の抵抗
値をａｔｓｉｔ数に応じて設定する方法以外により多く
の電極￥ｉｆ用して、個々の電極間に設定すべき抵抗値
の極ｍを削減する方法も可能である。継４図は後者の一
例會示すもので３個の電極ＴａｎＴ４−ＴＩ と３種の
抵抗値ａ、ｓｇ、ａ、を用いれば９柚類までの判別が可
能となる。
値をａｔｓｉｔ数に応じて設定する方法以外により多く
の電極￥ｉｆ用して、個々の電極間に設定すべき抵抗値
の極ｍを削減する方法も可能である。継４図は後者の一
例會示すもので３個の電極ＴａｎＴ４−ＴＩ と３種の
抵抗値ａ、ｓｇ、ａ、を用いれば９柚類までの判別が可
能となる。
これらの説明で明らかなように本発明によれば容易にＩ
Ｃの判別ができ、製造の自動化や、ｍ運賃用の低減に資
するところ大である。
Ｃの判別ができ、製造の自動化や、ｍ運賃用の低減に資
するところ大である。
糾１図は本発明の実施例を適用するＩＣの製造工程中の
シリコン基板、第２囚はそのうちのチップ１示す一実施
例、ＪＩＢ図は本発明実施例のプロー−ビングーテスト
の流れ図、第４図はよ〕多−類に適用した場合の電惨と
抵抗値を示す概念図である。 なお図において％ Ａｌ ＠Ａ電・・・・・・Ｂ、Ｉ
Ｂ、・・・・・・は個々のＩＣ−Ｔｓ −Ｔｓ・・・
・・・は本発明の実施例を通用する電極ｓ ＲＡ ａ
ＲＢ ｅ Ｒｅ は本発明の実施例を適用する抵抗体
とその値、 Ｃｏｎｄ−Ａ ａＣｏｎｄ−１１は各々機
能Ａ、Ｂを測定する測定条件を示す。
シリコン基板、第２囚はそのうちのチップ１示す一実施
例、ＪＩＢ図は本発明実施例のプロー−ビングーテスト
の流れ図、第４図はよ〕多−類に適用した場合の電惨と
抵抗値を示す概念図である。 なお図において％ Ａｌ ＠Ａ電・・・・・・Ｂ、Ｉ
Ｂ、・・・・・・は個々のＩＣ−Ｔｓ −Ｔｓ・・・
・・・は本発明の実施例を通用する電極ｓ ＲＡ ａ
ＲＢ ｅ Ｒｅ は本発明の実施例を適用する抵抗体
とその値、 Ｃｏｎｄ−Ａ ａＣｏｎｄ−１１は各々機
能Ａ、Ｂを測定する測定条件を示す。
Claims (1)
- 異なるａｉ能を有する複数種の集積回路装置の分類方法
に於いて、同一位置にある電極間に、前記機能毎ＫＪ！
なるｆＩｉを有する抵抗体ｆ接続した集積回路Ｗｔｆｋ
を用い、該抵抗体の抵抗値を軸足することによプ分類を
行なうことを％黴とする集積回路装置の分類方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5488382A JPS58171830A (ja) | 1982-04-02 | 1982-04-02 | 集積回路装置の分類方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5488382A JPS58171830A (ja) | 1982-04-02 | 1982-04-02 | 集積回路装置の分類方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58171830A true JPS58171830A (ja) | 1983-10-08 |
Family
ID=12982980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5488382A Pending JPS58171830A (ja) | 1982-04-02 | 1982-04-02 | 集積回路装置の分類方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58171830A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61274341A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-12-04 | Nec Corp | 半導体論理装置 |
| JPS63293852A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-30 | Nec Corp | マスタスライス集積回路 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5650526A (en) * | 1979-10-02 | 1981-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
-
1982
- 1982-04-02 JP JP5488382A patent/JPS58171830A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5650526A (en) * | 1979-10-02 | 1981-05-07 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor device |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61274341A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-12-04 | Nec Corp | 半導体論理装置 |
| JPS63293852A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-30 | Nec Corp | マスタスライス集積回路 |
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