JPH05326654A - Ｉｃウエハ - Google Patents
ＩｃウエハInfo
- Publication number
- JPH05326654A JPH05326654A JP4123445A JP12344592A JPH05326654A JP H05326654 A JPH05326654 A JP H05326654A JP 4123445 A JP4123445 A JP 4123445A JP 12344592 A JP12344592 A JP 12344592A JP H05326654 A JPH05326654 A JP H05326654A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- chips
- chip
- probing
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＩＣウエハ内に作られた複数のＩＣチップの
電気的特性を効率よく測定することができるようにした
ＩＣウエハを得る。 【構成】 被測定チップＣ１〜Ｃｎが形成されたＩＣウ
エハ１内にチップセレクト回路を備えた所要数のプロー
ビング専用チップ３を設け、複数の被測定チップＣ１〜
Ｃ８の外部リード引出線を前記プロービング専用チップ
３に集中させ、各プロービング専用チップ３に設けたチ
ップセレクト回路によって順次被測定チップＣ１〜Ｃ８
を選択し、１回のプロービングによって複数個の被測定
チップＣ１〜Ｃ８の電気的特性を順次測定することを特
徴としている。
電気的特性を効率よく測定することができるようにした
ＩＣウエハを得る。 【構成】 被測定チップＣ１〜Ｃｎが形成されたＩＣウ
エハ１内にチップセレクト回路を備えた所要数のプロー
ビング専用チップ３を設け、複数の被測定チップＣ１〜
Ｃ８の外部リード引出線を前記プロービング専用チップ
３に集中させ、各プロービング専用チップ３に設けたチ
ップセレクト回路によって順次被測定チップＣ１〜Ｃ８
を選択し、１回のプロービングによって複数個の被測定
チップＣ１〜Ｃ８の電気的特性を順次測定することを特
徴としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣウエハ内に作られ
たＩＣチップの電気的特性を効率的に測定することがで
きるようにしたＩＣウエハに関するものである。
たＩＣチップの電気的特性を効率的に測定することがで
きるようにしたＩＣウエハに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７は従来タイプのＩＣウエハの平面図
を簡略化して示したものである。この図において、１は
ＩＣウエハ、２はこのＩＣウエハ１内にそれぞれ独立に
作られたＩＣチップで、複数個の被測定チップＣ１〜Ｃ
ｎが形成されている。なお、以下では、個々の被測定チ
ップＣ１〜Ｃｎをまとめていう場合にはＩＣチップ２と
いう。
を簡略化して示したものである。この図において、１は
ＩＣウエハ、２はこのＩＣウエハ１内にそれぞれ独立に
作られたＩＣチップで、複数個の被測定チップＣ１〜Ｃ
ｎが形成されている。なお、以下では、個々の被測定チ
ップＣ１〜Ｃｎをまとめていう場合にはＩＣチップ２と
いう。
【０００３】次に、動作について説明する。図７におい
て、ＩＣウエハ１内に作られた被測定チップＣ１〜Ｃｎ
の全部の電気的特性を測定するためには、少なくともチ
ップ数相当の回数のプロービングを行わなければならな
かった。
て、ＩＣウエハ１内に作られた被測定チップＣ１〜Ｃｎ
の全部の電気的特性を測定するためには、少なくともチ
ップ数相当の回数のプロービングを行わなければならな
かった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
ＩＣウエハ１のＩＣチップ２の電気的特性は、個々の被
測定チップＣ１〜Ｃｎのそれぞれに対し少なくとも１回
のプロービングにより測定しているので、少なくともチ
ップ数以上のプロービング動作を必要としていた。
ＩＣウエハ１のＩＣチップ２の電気的特性は、個々の被
測定チップＣ１〜Ｃｎのそれぞれに対し少なくとも１回
のプロービングにより測定しているので、少なくともチ
ップ数以上のプロービング動作を必要としていた。
【０００５】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、プロービング回数を少なくして
効率よく各々の被測定チップの電気的特性を測定するこ
とができるＩＣウエハを提供することを目的とする。
ためになされたもので、プロービング回数を少なくして
効率よく各々の被測定チップの電気的特性を測定するこ
とができるＩＣウエハを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係るＩＣウエハ
は、ＩＣウエハ内部にチップセレクト回路を備えた１個
以上のプロービング専用チップを設け、前記プロービン
グ専用チップに複数の被測定チップの外部リード引出線
を集中させたものである。
は、ＩＣウエハ内部にチップセレクト回路を備えた１個
以上のプロービング専用チップを設け、前記プロービン
グ専用チップに複数の被測定チップの外部リード引出線
を集中させたものである。
【０００７】
【作用】本発明におけるチップセレクト回路を備えたプ
ロービング専用チップは、複数の被測定チップの外部リ
ード引出線を集中させることによって、１回のプロービ
ングで複数個の被測定チップを順次選択して電気的特性
を測定することができる。
ロービング専用チップは、複数の被測定チップの外部リ
ード引出線を集中させることによって、１回のプロービ
ングで複数個の被測定チップを順次選択して電気的特性
を測定することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。図
１は本発明の第１の実施例を示すＩＣウエハの平面図で
ある。この図において、１はＩＣウエハ、２はこのＩＣ
ウエハ１内のＩＣチップで、被測定チップＣ１〜Ｃｎか
らなっている。３はプロービング専用チップで、ＩＣウ
エハ１内に４個形成され、それぞれチップセレクト回路
を備えている。各プロビング専用チップ３には複数の被
測定チップ、この例では８個の被測定チップＣ１〜Ｃ８
のそれぞれの外部リード引出線が集中されており、これ
らはチップセレクト回路によりコントロールされる。
１は本発明の第１の実施例を示すＩＣウエハの平面図で
ある。この図において、１はＩＣウエハ、２はこのＩＣ
ウエハ１内のＩＣチップで、被測定チップＣ１〜Ｃｎか
らなっている。３はプロービング専用チップで、ＩＣウ
エハ１内に４個形成され、それぞれチップセレクト回路
を備えている。各プロビング専用チップ３には複数の被
測定チップ、この例では８個の被測定チップＣ１〜Ｃ８
のそれぞれの外部リード引出線が集中されており、これ
らはチップセレクト回路によりコントロールされる。
【０００９】すなわち、図１において、被測定チップＣ
１〜Ｃ８の外部リード引出線が集中された各プロービン
グ専用チップ３のチップセレクト回路により被測定チッ
プＣ１〜Ｃ８のうちいずれかが選択される。これにより
測定器の接続されたプローブの１回のプロービングによ
りチップセレクト回路で選択された被測定チップＣ１〜
Ｃ８を順次測定することができる。
１〜Ｃ８の外部リード引出線が集中された各プロービン
グ専用チップ３のチップセレクト回路により被測定チッ
プＣ１〜Ｃ８のうちいずれかが選択される。これにより
測定器の接続されたプローブの１回のプロービングによ
りチップセレクト回路で選択された被測定チップＣ１〜
Ｃ８を順次測定することができる。
【００１０】図２は、本発明の第２の実施例を示す図
で、１個のプロービング専用チップ３で２つの被測定チ
ップＣ１，Ｃ２をコントロールするものである。すなわ
ち、チップセレクト回路を備えたプロービング専用チッ
プ３に対し両端にある被測定チップＣ１，Ｃ２の外部リ
ード引出線をプロービング専用チップ３に集中させ、１
回のプロービングにより被測定チップＣ１およびＣ２を
チップセレクト回路で選択するだけで順次電気的特性を
測定することができる。
で、１個のプロービング専用チップ３で２つの被測定チ
ップＣ１，Ｃ２をコントロールするものである。すなわ
ち、チップセレクト回路を備えたプロービング専用チッ
プ３に対し両端にある被測定チップＣ１，Ｃ２の外部リ
ード引出線をプロービング専用チップ３に集中させ、１
回のプロービングにより被測定チップＣ１およびＣ２を
チップセレクト回路で選択するだけで順次電気的特性を
測定することができる。
【００１１】図３は本発明の第３の実施例を示す図で、
チップセレクト回路を備えたプロービング専用チップ３
に対し、相対角する位置にある被測定チップＣ１，Ｃ２
の外部リード引出線をプロービング専用チップ３に集中
させ、１回のプロービングにより被測定チップＣ１およ
びＣ２をチップセレクト回路で選択するだけで順次電気
的特性を測定することができる。
チップセレクト回路を備えたプロービング専用チップ３
に対し、相対角する位置にある被測定チップＣ１，Ｃ２
の外部リード引出線をプロービング専用チップ３に集中
させ、１回のプロービングにより被測定チップＣ１およ
びＣ２をチップセレクト回路で選択するだけで順次電気
的特性を測定することができる。
【００１２】図４は本発明の第４の実施例を示す図で、
横一列（あるいは縦一列）の被測定チップＣ１〜Ｃｎの
外部リード引出線を１個のプロービング専用チップ３に
集中させ、チップセレクト回路により順次電気的特性を
測定するものである。
横一列（あるいは縦一列）の被測定チップＣ１〜Ｃｎの
外部リード引出線を１個のプロービング専用チップ３に
集中させ、チップセレクト回路により順次電気的特性を
測定するものである。
【００１３】図５は本発明の第５の実施例を示す図、Ｉ
Ｃウエハ１内に作られた被測定チップＣ１〜Ｃｎの外部
リード引出線を１個のプロービング専用チップ３に集中
させ、このチップセレクト回路により順次電気的特性を
測定するものである。
Ｃウエハ１内に作られた被測定チップＣ１〜Ｃｎの外部
リード引出線を１個のプロービング専用チップ３に集中
させ、このチップセレクト回路により順次電気的特性を
測定するものである。
【００１４】なお、上記各実施例のチップセレクト回路
を備えたプロービング専用チップ３の位置は、固定され
るものではなく、どの位置に置いてもよい。
を備えたプロービング専用チップ３の位置は、固定され
るものではなく、どの位置に置いてもよい。
【００１５】以下、便宜上プロービング専用チップ３を
１個設けた図４の被測定チップＣ１〜Ｃｎの測定方法に
ついて図６の回路図を参照して説明する。図６はチップ
セレクト回路を有したプロービング専用チップ３および
被測定チップＣ１〜Ｃｎの関係を示す回路の概略図であ
る。
１個設けた図４の被測定チップＣ１〜Ｃｎの測定方法に
ついて図６の回路図を参照して説明する。図６はチップ
セレクト回路を有したプロービング専用チップ３および
被測定チップＣ１〜Ｃｎの関係を示す回路の概略図であ
る。
【００１６】この図において、Ｓ１〜ＳｎおよびＰ１〜
Ｐｎは、前記プロービング専用チップ３内に設けられた
プロービング用パッドであり、この内、Ｓ１〜Ｓｎは前
記各被測定チップＣ１〜Ｃｎを選択するチップ選択信号
用パッドであり、Ｐ１〜Ｐｎは前記各被測定チップＣ１
〜Ｃｎの外部リード取出し端子の同一ピンＰin１〜Ｐin
ｎを接続した電気的測定用パッドである。また、Ｅ１〜
Ｅｎはイネーブル回路を示す。
Ｐｎは、前記プロービング専用チップ３内に設けられた
プロービング用パッドであり、この内、Ｓ１〜Ｓｎは前
記各被測定チップＣ１〜Ｃｎを選択するチップ選択信号
用パッドであり、Ｐ１〜Ｐｎは前記各被測定チップＣ１
〜Ｃｎの外部リード取出し端子の同一ピンＰin１〜Ｐin
ｎを接続した電気的測定用パッドである。また、Ｅ１〜
Ｅｎはイネーブル回路を示す。
【００１７】次に、測定方法について説明する。 １）プロービング専用チップ３内の各パッドＳ１〜Ｓｎ
およびＰ１〜Ｐｎにテスタと接続されたプローブを当て
る。 ２）各パッドＳ１〜Ｓｎに加える信号により被測定チッ
プＣ１〜Ｃｎのいずれかのチップを選択する。 ３）２）で選択された信号により、選択された被測定チ
ップ内のイネーブル回路Ｅ1 〜Ｅn の１つがＯＮとな
り、各パッドＰ１〜Ｐｎの回路がＯＮとなる。 ４）各パッドＰ１〜ＰｎからＩＣ測定用プログラムを印
加し、選択された被測定チップの電気的測定を行う。 ５）２）〜４）の繰り返しにより被測定チップＣ１〜Ｃ
ｎの測定を順次行う。 ６）Ｇｏ／Ｎｏ−Ｇｏ判定は、被測定チップＣ１〜Ｃｎ
と対応できる形で記憶させておき、測定完了後バッドマ
ークを付けるかチップ分離時に選別を行う。
およびＰ１〜Ｐｎにテスタと接続されたプローブを当て
る。 ２）各パッドＳ１〜Ｓｎに加える信号により被測定チッ
プＣ１〜Ｃｎのいずれかのチップを選択する。 ３）２）で選択された信号により、選択された被測定チ
ップ内のイネーブル回路Ｅ1 〜Ｅn の１つがＯＮとな
り、各パッドＰ１〜Ｐｎの回路がＯＮとなる。 ４）各パッドＰ１〜ＰｎからＩＣ測定用プログラムを印
加し、選択された被測定チップの電気的測定を行う。 ５）２）〜４）の繰り返しにより被測定チップＣ１〜Ｃ
ｎの測定を順次行う。 ６）Ｇｏ／Ｎｏ−Ｇｏ判定は、被測定チップＣ１〜Ｃｎ
と対応できる形で記憶させておき、測定完了後バッドマ
ークを付けるかチップ分離時に選別を行う。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
数少ないプロービングにより多くのＩＣチップの電気的
特性を測定することができ、測定効率を上げることがで
きる。また、プロービング回数が少ないので動作スピー
ドおよび動作精度において安価なプロービング装置で対
応が可能となる。
数少ないプロービングにより多くのＩＣチップの電気的
特性を測定することができ、測定効率を上げることがで
きる。また、プロービング回数が少ないので動作スピー
ドおよび動作精度において安価なプロービング装置で対
応が可能となる。
【図１】本発明の第１の実施例によるＩＣウエハの平面
図である。
図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示すＩＣウエハの平面
図である。
図である。
【図３】本発明の第３の実施例を示すＩＣウエハの平面
図である。
図である。
【図４】本発明の第４の実施例を示すＩＣウエハの平面
図である。
図である。
【図５】本発明の第５の実施例を示すＩＣウエハの平面
図である。
図である。
【図６】本発明による被測定チップの測定方法を説明す
るための回路図である。
るための回路図である。
【図７】従来のＩＣウエハの平面図である。
１ ＩＣウエハ ２ ＩＣチップ ３ プロービング専用チップ Ｃ１〜Ｃｎ 被測定チップ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のＩＣチップが形成されたＩＣウエ
ハ内にチップセレクト回路を備えた１個以上のプロービ
ング専用チップを設け、これらのプロービング専用チッ
プに、１回のプロービングによって測定される２個以上
のＩＣチップの外部リード引出線を集中させたことを特
徴とするＩＣウエハ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4123445A JPH05326654A (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | Ｉｃウエハ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4123445A JPH05326654A (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | Ｉｃウエハ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05326654A true JPH05326654A (ja) | 1993-12-10 |
Family
ID=14860785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4123445A Pending JPH05326654A (ja) | 1992-05-15 | 1992-05-15 | Ｉｃウエハ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05326654A (ja) |
-
1992
- 1992-05-15 JP JP4123445A patent/JPH05326654A/ja active Pending
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