JPS58162442A - 薄板の吸着分離方法 - Google Patents
薄板の吸着分離方法Info
- Publication number
- JPS58162442A JPS58162442A JP4600182A JP4600182A JPS58162442A JP S58162442 A JPS58162442 A JP S58162442A JP 4600182 A JP4600182 A JP 4600182A JP 4600182 A JP4600182 A JP 4600182A JP S58162442 A JPS58162442 A JP S58162442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magazine
- thin plate
- notch
- sheet
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H3/00—Separating articles from piles
- B65H3/46—Supplementary devices or measures to assist separation or prevent double feed
- B65H3/48—Air blast acting on edges of, or under, articles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- De-Stacking Of Articles (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
多数積み重ねた場合にそれらを一枚づつ効率良く吸着分
離し得るようにした薄板の吸着分離方法に係る。
離し得るようにした薄板の吸着分離方法に係る。
半導体装置の製造工程では、シリコン半導体基板、ソル
ダ板等の薄板を多数枚マガジン内に収納し、真空吸着装
置により一枚づつ取り出し所定の工程に移行させること
がある。
ダ板等の薄板を多数枚マガジン内に収納し、真空吸着装
置により一枚づつ取り出し所定の工程に移行させること
がある。
すなわち、第１図囚、（Ｂ）に示すようにマガジン１の
凹所２に薄板３を積み重ね、この薄板３は、その上面が
常に一定の位置になるようにマガジン１の底面１ａに挿
通したロソド４により制御機構（図示せず）を介して制
御している。
凹所２に薄板３を積み重ね、この薄板３は、その上面が
常に一定の位置になるようにマガジン１の底面１ａに挿
通したロソド４により制御機構（図示せず）を介して制
御している。
マガジン１の上方には、真空吸着装置（図示せず）が設
けてあり、この吸着装置の吸着力ノブ５が昇降し、薄板
３を吸着するとともに前後方向の動作あるいは平面内の
回転動作を所定の機構によって行ない、吸着した薄板３
を次工程に移動させる。
けてあり、この吸着装置の吸着力ノブ５が昇降し、薄板
３を吸着するとともに前後方向の動作あるいは平面内の
回転動作を所定の機構によって行ない、吸着した薄板３
を次工程に移動させる。
ところで、上記エノ程中、マガジン１内の薄板３を吸着
する過程を見ると、第２図に示すように薄板３ａ一枚の
みを吸着し、所定の位置まで移動させたいにもかかわら
ず、重ね合された次の薄板３ｂまでがしばしば吸着され
、スムーズな作業の進行を妨げていた。
する過程を見ると、第２図に示すように薄板３ａ一枚の
みを吸着し、所定の位置まで移動させたいにもかかわら
ず、重ね合された次の薄板３ｂまでがしばしば吸着され
、スムーズな作業の進行を妨げていた。
これは、薄板３自体の表面が、きわめて平滑に仕上げら
れているため、いわゆるリンキング効果によって相互に
吸着され、かつ薄板３の重量が軽いので薄板の自重によ
っては容易に落下しないためである。
れているため、いわゆるリンキング効果によって相互に
吸着され、かつ薄板３の重量が軽いので薄板の自重によ
っては容易に落下しないためである。
本発明は、上記の事情に基づきなされたもので、薄板を
収納したマガジンの側面の対向面を貫通する切欠部を設
け、マガジンの開口部から薄板を吸着した際にこの切欠
部に気体を噴射してマガジン内の圧力を下げ余分に吸着
された薄板をマガジン内に落下させ、確実に一枚ずつ吸
着分離し得るようにした薄板の吸着分離方法を提供する
ことを目的とする。
収納したマガジンの側面の対向面を貫通する切欠部を設
け、マガジンの開口部から薄板を吸着した際にこの切欠
部に気体を噴射してマガジン内の圧力を下げ余分に吸着
された薄板をマガジン内に落下させ、確実に一枚ずつ吸
着分離し得るようにした薄板の吸着分離方法を提供する
ことを目的とする。
以下に、本発明の一実施例につき図面を参照して説明す
る。
る。
第３図囚は、マガジンの平面図、同図（Ｂ）は、同図囚
のＡ−Ａ矢視図、第４図は、第３図（Ｂ）の一部切欠斜
視図である。
のＡ−Ａ矢視図、第４図は、第３図（Ｂ）の一部切欠斜
視図である。
マガジン１１は、本体１２と蓋体１３の二分割構成され
、Ｘ−Ｘ線上で組み合されている。
、Ｘ−Ｘ線上で組み合されている。
本体１２には、断面Ｕ字状の凹所１４が設けられ、一方
、蓋体１３には、前記凹所１３に対応して弧状の凹所１
５が設けられて〜・る。
、蓋体１３には、前記凹所１３に対応して弧状の凹所１
５が設けられて〜・る。
本体１２の開口端近傍には、その口縁部に矩形状切欠１
６とテーパ状切欠１７とを形成する。
６とテーパ状切欠１７とを形成する。
そして上記構成の本体１２、蓋体１３とを組み合せて基
台１８に設置する。
台１８に設置する。
直立すせたマガジン１１のテーパ状切欠１７に近接して
気体の噴射ノズル１９を設ける。
気体の噴射ノズル１９を設ける。
噴射ノズル１９は、図示を省略した圧さく空気等の気体
供給源に接続され、テーパ状切欠１７から矩形状切欠１
６に向って気体を噴射し得るように構成されている。
供給源に接続され、テーパ状切欠１７から矩形状切欠１
６に向って気体を噴射し得るように構成されている。
マガジン１１の上端開口部２０には、吸着カップ２１が
設けられている。
設けられている。
この吸着カップ２１は、図示を略した機構により昇降及
び水平面内での回転あるいは往復運動をするように構成
されている。
び水平面内での回転あるいは往復運動をするように構成
されている。
マガジン１１内には、シリコン半導体基板等の薄板２２
が収納され、マガジン１１の底面を貫通するロッド２３
によって薄板２２の上面が常に一定の位置になるように
制御されている。
が収納され、マガジン１１の底面を貫通するロッド２３
によって薄板２２の上面が常に一定の位置になるように
制御されている。
次に、上記構成の作用について説明する。
マガジン１１の上端開口部２０から吸着カップ２１を下
降させ、積み重ねた薄板２２の最上面のものを吸着する
。
降させ、積み重ねた薄板２２の最上面のものを吸着する
。
この場合、最上面の一枚のみ、すなわち薄板２２ａのみ
を吸着するのが理想であるが、前述の通り、リンキング
効果により薄板２２ｂが付着してしまうことが多い。
を吸着するのが理想であるが、前述の通り、リンキング
効果により薄板２２ｂが付着してしまうことが多い。
そこで、上記吸着カップ２１の上昇工程においであるい
は上昇後一時停止した状態で噴射ノズル１９から乾燥さ
せた圧さく気体を噴射させる。
は上昇後一時停止した状態で噴射ノズル１９から乾燥さ
せた圧さく気体を噴射させる。
この場合、気体の流れは、第３図ω）に示すようにテー
パ状切欠１７から矢印の方向に従って矩形状切欠１６へ
と流れる。
パ状切欠１７から矢印の方向に従って矩形状切欠１６へ
と流れる。
この際、気体の流速を高めることにより、付着された薄
板２２ｂを下方に引っ張る作用力が働ら□き薄板２２ａ
と分離される。
板２２ｂを下方に引っ張る作用力が働ら□き薄板２２ａ
と分離される。
なお、上記の噴射される気体の流速は、薄板２２ｂが剥
離するのに必要にして十分な作用力を得、かつ吸着カッ
プ２１によって吸着された薄板２２ｍまでも落下させて
しまレナい程度の作用力を得るような速度に制御される
。
離するのに必要にして十分な作用力を得、かつ吸着カッ
プ２１によって吸着された薄板２２ｍまでも落下させて
しまレナい程度の作用力を得るような速度に制御される
。
上記のように、本発明によれば、マガジンの対向面に切
欠を設け、この切欠の一方から他方に向けて気体を高速
で噴射し、マガジン空間部の圧力を下げ、余分に付着さ
れた薄板に対して下方に向う力が作用するようにしたの
で、確実に一枚毎に薄板を分離することが可能となる。
欠を設け、この切欠の一方から他方に向けて気体を高速
で噴射し、マガジン空間部の圧力を下げ、余分に付着さ
れた薄板に対して下方に向う力が作用するようにしたの
で、確実に一枚毎に薄板を分離することが可能となる。
上記により半導体素子の製造工程等では、薄板が複数枚
組み込まれるおそれがないので不良品の発生率が減少す
る。
組み込まれるおそれがないので不良品の発生率が減少す
る。
第１図は、従来方法に使用するマガジンを示し、同図（
４）は、その平面図、同図（Ｂ）は、縦断面図、第２図
は、薄板を吸着した状態の部分断面図、第３図は、本発
明方法に使用するマガジンを示し、同図囚は、その平面
図、同図（Ｂ）は、同図囚のＸ−Ｘ矢視図、第４図は、
マガジ／本体の斜視図を示す。 １１・・・マガジン、 １２・・・本 体、１３
・・・蓋 体、 １４．１５・・・凹 所、１
６・・矩形状切欠、 １７・・・テーパ状切欠、１
８・・・基 台、 １９・・・噴射ノズル、２０
・・・上端開口部、 ２１・・・吸着カップ、２２
・・・薄 板、 ２３・・・ロンド出願代理人
弁理士 菊 池 五 部
４）は、その平面図、同図（Ｂ）は、縦断面図、第２図
は、薄板を吸着した状態の部分断面図、第３図は、本発
明方法に使用するマガジンを示し、同図囚は、その平面
図、同図（Ｂ）は、同図囚のＸ−Ｘ矢視図、第４図は、
マガジ／本体の斜視図を示す。 １１・・・マガジン、 １２・・・本 体、１３
・・・蓋 体、 １４．１５・・・凹 所、１
６・・矩形状切欠、 １７・・・テーパ状切欠、１
８・・・基 台、 １９・・・噴射ノズル、２０
・・・上端開口部、 ２１・・・吸着カップ、２２
・・・薄 板、 ２３・・・ロンド出願代理人
弁理士 菊 池 五 部
Claims (1)
- マガジン内に収納した積層薄板の最上面の薄板を吸着手
段によって吸着するものにおいて、マガジンの側壁対向
面に切欠を設け、この切欠の一方から他方に向って気体
を噴射することにより、マガジン上部の空間部の圧力を
下げ、上記最上面の薄板に付着した他の薄板を下方に落
下させるようにしたことを特徴とする薄板の吸着分離方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4600182A JPS58162442A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 薄板の吸着分離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4600182A JPS58162442A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 薄板の吸着分離方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58162442A true JPS58162442A (ja) | 1983-09-27 |
Family
ID=12734836
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4600182A Pending JPS58162442A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 薄板の吸着分離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58162442A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140212256A1 (en) * | 2013-01-25 | 2014-07-31 | Primera Technology, Inc. | Anti-stick histological specimen slide feeder and method |
| US9007411B2 (en) | 2012-09-19 | 2015-04-14 | Primera Technology, Inc. | Reverse transfer color printers for histological specimen slides and cassettes |
| US9254639B2 (en) | 2010-09-13 | 2016-02-09 | Primera Technology, Inc. | Cartridge for histological specimen slides |
| US9327516B2 (en) | 2010-09-13 | 2016-05-03 | Primera Technology, Inc. | Histological specimen cassette |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP4600182A patent/JPS58162442A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9254639B2 (en) | 2010-09-13 | 2016-02-09 | Primera Technology, Inc. | Cartridge for histological specimen slides |
| US9327516B2 (en) | 2010-09-13 | 2016-05-03 | Primera Technology, Inc. | Histological specimen cassette |
| US9007411B2 (en) | 2012-09-19 | 2015-04-14 | Primera Technology, Inc. | Reverse transfer color printers for histological specimen slides and cassettes |
| US20140212256A1 (en) * | 2013-01-25 | 2014-07-31 | Primera Technology, Inc. | Anti-stick histological specimen slide feeder and method |
| US9079735B2 (en) * | 2013-01-25 | 2015-07-14 | Primera Technology, Inc. | Anti-stick histological specimen slide feeder and method |
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