JPS58154282A - 磁気抵抗素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は回転体の回転角度、回転数を計測する磁気抵抗
素子に係わり、特に回転を検出するに好適な磁気抵抗素
子に関するものである。

第１図は従来より提案されている磁気抵抗効果の一例を
示す平面図である。同図において、１は非磁性材で千９
電気的絶縁性を有する例えは”９スフ＃Ｌなどからなる
基板であｐｌこの基板１０所定位置には磁気抵抗効果を
有する感磁部２ｍ、２ｂ　。

１＠Ｊｄがそれぞれ計測するａ極幅と同一ピッチで形成
され、またこれらの各感磁部２ｍ、２ｂ、２ｃ。

２−の両端Ｋｒｉ感磁感磁信号源電源電流受するリード
ｉＢ　”ａ　ａ　＃　８　ｂ　＊　８　ｃ　＠　３　ｄ
　ｓ　３　ｅが形成され、さらにこれらのリード部３ｍ
、３ｂ、３ｅ、３ｄ、３ｅの他端側、に＃ｉ外部を路と
電気的に接続するボンティングパッド４ｍ、４ｂ、４＠
、４ｄｓ◆・が形成されている　そり１．こりらの感磁
部２・〜２ａａ’）−ド部３・〜３・およびポンディン
グパッド４１〜４・は基板１上ｋ　パーマロイを蒸着し
て形成さｉたパーマロイパターンで構成されている。

このように構成された磁気抵抗素子藏被検出体のａ極か
ら磁気信号を大きくとるために一般的には第２園で示す
ように差動方式、つｔ〕ツブ９フ回路を構成するようＫ
ｍ！して用られる。すなわち、同図において、ｍａｔ；
を感ａｌ１２ｍの電気抵Ｋ　、　ｌｌｂ　ｎ感’ａｌｌ
Ｈｂｓｌａ　１１７１１１１１２ｇ　、１４　ｔ’１ｌ
ｌＡ砺１！ｉ２ｄのそれぞれの電抵抵抗を示し、電源電
圧Ｖはポンディングパッド４ａと４ａ、４・関に接続さ
ｔｔ　テ上Ｌ　ＩＩｃ　ａ　ｌｉｊ　Ｒｍ　−２ｂ　ｓ
　２　ｍ　ｓ　２　ｄ　Ｋ　ＩＩ場ヲ感知すると、感ａ
ｉｌ１２ｍ−４ｄＯ抵抗変化に対応してボンティングパ
ッド４ｂと４−とから第３図に示すように正弦波の信号
電圧ＶｌとＶ、とが゛それぞれ得られる。

しかしながら上記構成による磁気抵抗素子において、各
感磁１！　２　ａ〜！ｄとこれに対応するポンディング
パッド４ａ〜４・との間に形成された各リードｓａｍｒ
８ｂｍ３ｍａＲｄａ３＊ｔｉ、各Ｍンｙ’イン／Ａツド
１Ｒ１４ａ〜４・０パタ一ン表面積が大きいため、それ
ぞれ複雑な形状を有するバタ□←ン形状となることから
、動作中の同門温度の変化１表作中のパターン形成の偏
差（バラツ中）等に対して抵抗値が憾々に変動し、ポン
ディングパッド４ｂ、４４から出力される正弦波の信号
電圧Ｖ１ｓＶｌのオフセット電圧ｖ０、り普シ信号電圧
ｖ１とＶ、との電位差あるいは信号電圧ｖ１＋ｖｓの約
１０９１以下の電圧が第４図に示すように大幅に偏差し
て高精駁の出力信号が得られないという問題があった。

このような問題を改善したものとしては、磁気抵抗素子
の検出回路にオフセットｇｌｔｈｌ整用の抵抗を接続し
、この抵抗値を１１＆１］Ｉすることによって、オフセ
ット量を＃景は零近傍となるように設定して用いられて
いた。

しかしながら上紀檎成による磁気抵抗素子によると、オ
フセット量の調整が極めて複雑であるとともに、その調
整作業に多大な労力とｐｎ時１％ｌＩを資し、生産性を
大６に低下させるなどの欠Ａがあつ九。

したがって本発明は、上記従来の欠点を改善す′Ｎ ゐためになされたものするり、その目的とするところは
、各感磁部とポンディングパッド間のＩＪ　−ド部の抵
抗値を個々に一定となるようにリード部を形成し九もの
てめる。

以下図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。

菖５図は本灸明による磁気抵抗素子の一例を示す前記給
１図に相轟する平面１であり、前述の図と同記号は同−
散票となるのてその説明は省略する。　ｆ”ｌ　Ｗ　Ｋ
　ｋ　ｈて、各部１１ｍ１１ｍ、２ｂ、！＠＄２ｄとポ
ンディングパッド４ｍ、４に、４＠、４ｄ、４・間にそ
れぞれ接続される各リード１１３ｍ’、　３ｂ’、８ｅ
’、３ｄ’。

３ａ’Ｈ１それぞれ対応する各部＠　＠　２　”　＃　
２　ｂ　ｈ　２　ｃ　ａ２ｄ　と各ボンデづングパツド
４ｍ、４ｂ、４・、４ｄ。

４・関の距離に対応してそれぞれ相互間で抵抗値が１ｔ
ｈｌシ同等となるように各リードのＩｍ！！幅を広くし
て形成されている。すなわち各リード部Ｓ轟’５ｓｂＺ
３ｃ’、　３　／　、　３　＠’　０折抗をそれぞれｒ
ａ、ｒｂ、ｒｅ、ｒｄ＊ｒ・とじたとき、中央ＷＢのポ
ンプイングツくラド４゜に対して両＃１部のポンディン
グパッド４ａ、４・は距離が長くなるので、各リードｌ
ｉ　３ａ’ｔ　３　ｈ’ｓ　ａ　”　＃ｊｄ’、３＊’
は抵抗値がｒ　ａ）ｒ　ｂ＞ｒ　＠、ｒ　＠）ｒ　ｄ）
ｒ−となるように各−一をＪｌならせて形成されている
。

！ＩＩＬＩｔすれは、感磁部１　ｍ　ｇ　２　ｂ　＠　
２　ｍ　ｍ　ｇ　’の山積は小さいのて、各抵抗（ＩＬ
ａ、ｌｂ、ｍｓ、ｌｄ）の抵抗値を一致させることは容
易であるか、一方これに対応する各ポンディングパッド
ｌｆ１１４ｍ、４ｂ、４＠、４ｄ。

４・の面積が大きいため、リート′紐３　＆／、　３ｂ
／、　３　Ｃ／。

ａｄ’、３φ′の形状が複雑となるので、その抵抗ｒａ
。

ｒｂ、ｒｅ、ｒａ、ｒｅをｒａ＞ｒｂ＞ｒ＠＋ｒ＊＞ｒ
ｄ＞ｒｅとなるように各リード豫８ｍ’、　３ｂ’、　
３ｃ’、　３ｄ’、　３＠’　のパターン線幅、を調整
するととＫよって、それぞれ各感１１ｓ−リード部−ポ
ンデイングパッドの直列合成ｍｔｙｒを一致させたもの
である。＄６図はその４価回路図を示したものである。

また、リード部３畠′、３　ｂ’ｅ　３４１’＠　３　
ｄ’ｓ　３　＠’の他の具体例としては膜厚のみを大歯
くする方法もしくは感１１１Ｈａ、２ｂ。

２・、２ｄよりも抵抗質化率の小さｉ金ｌｌ１ｌＩ等を
用りることにより、各リード１１１３ｍ’、３に’、３
ｇ’、３／　。

ｓ＠′の抵抗１ｉｉｒａ、ｒｂ、ｒｅ、ｒｄｓｒｓは各
部ｉｍｓの抵Ｍ鼠ａ　ａ　＊　ｂ　＃　Ｒ＠＊　ｎ　ａ
　Ｋ対して無視できる１とする仁とができ、し九がって
第７図に示すようにポンディングパッド尋す、４ｄから
オフセット量の極めて小さい信号電圧ｖ′１．鳴が得ら
れた。また、ポンディングパッド４ｂ、４ｄから出力さ
れる信号電圧ｖ′１　ａ　ｖ’、を電源電圧Ｖの１４　
Ｋ設定するＫは、両端側のリードＩｌ＄ａ、Ｓ・の抵抗
ｒａｌｒ・をそれすれ２ｒｅ、゛つ塘りｒｌｌ＝ｇｙ＠
　、ｙ＠　ｔｔ叩ｒｅとなるように各リード３ａ’、３
ｅ’の抵抗ｒＰ、ｒｅを線幅、＊厚で調整もしくは抵抗
変化率の小さい金属膜を使用することＫよって容易に設
定可能である。

以上観明したように本発明によれば、磁気抵抗素子自体
にオフセット量を小さく設定することができるので、検
出回路において、オフセット調整用の抵抗が不要となる
ため、調整抵抗およびそのｐ！！＃時間が節約できる。

また、特に同時に多相の磁気検出を行なう場合には、相
数の分だけｗＪＡ整抵抗抵抗および調整時間が節約とな
るので生産性を大幅に向上させることができるなどの極
めて優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第４図は従来の磁気抵抗素子の一例を説明
するための図、第５図ないし第７図は本発明による磁気
抵ｔｌｃ素子の一例を示す図である。 １・拳−・基板、２ｍ、！ｂ、２ｓ、２１　・ｍ　＊　
・感＠ｍｓ　　８＆ａａｂ＠８＠　、３４，３＊　＃　
＠　　１１　＊　リ　　）’９．４ｍ、４ｂ、４＠、４
ｄ、４・・・・・ポンディングパッド。 代理人　弁理士　薄　１）利　幸 ・′：′： 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 −４０４０４Ｃ４０４ｅ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、磁場を感知する複数組の感磁部と、前記各感磁Ｉｔ
   Ｏ出力を外ｓＷＡ路へ接続するポンディングパッド針と
   、前記感Ｉｌｓとポンディングパッド部間を接続するり
   一ド■とがＩ／８１１Ｉ性基板上に一体的に形成され、
   外部からＯＩＩ場信号もしくは嶺性体の変位を感知する
   磁気抵抗素子４において、前記各感磁部−リード部−ボ
   ンディングパッド部の直列袈続合成抵抗がは埋同等とな
   るよ？にリード部を形成すゐことを特徴とし九畠気抵抗
   素子。 ２、前記リード部を感ｍｓよ〕小さいｔＩｋ抗変化率を
   有する金属膜で形成したζζを特徴とする特許跣・求ａ
   ｌＩｓ第１１ｉ記載の磁気抵抗素子、　　　。 １ｍ記リード部をＳ磁場と同一材料なμ諭る牛き、線幅
   もしくは膜厚を大きくしたことを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の磁気抵抗素子。