JPS5813505B2 - コ−テイング装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は主として金属酸化物からなるコーティングを基
体、とくにガラス基体に施す装置に関する。

本発明はさらに詳しくは加熱されたガラス表面と接触す
るときに金属酸化物コーティングを形成する反応体の蒸
気を加熱されたガラス表面に接触させてガラス表面に金
属酸化物コーティングを施す装置に関する。

従来より、基体を適当な溶媒中に溶解した金属のベータ
ージケトネートなどからなる溶液と接触させることによ
り該基体に金属酸化物をコーティングさせるようにした
ものが知られている。

（モケル（Ｍｏｃｈｅｌ）の米国特許第３，２０２，０
５４号明細書、トムキンス（Ｔｏｍｋｉｎｓ）の米国特
許第３，０８１，２００号明細書、ドンリ−ら（Ｄｏ−
ｎｌｅｙ ｅｔ ａｌ）の米国特許第３，６６０．０６
１号明細書およびミケロツテイら（Ｍｉｃｈｅｌｏｔｔ
ｉｅｔ ａｌ）の米国特許第３，６５２，２４６号明細
書を参照）。

これらの特許はガラスに金属酸化物のコーティングを施
すのに適した多数の化学組成物を開示している。

一般的にいえば、先行技術が教えているガラスに前記コ
ーティングを施す技術は、コーティング組成物の液状の
スプレーをコートされるべきガラス基体表面にふきつけ
る方法である。

これらの特許は組成物が液状または蒸気状のいずれの形
で適用されるにせよ、ガラスまたは他の基体に特殊な金
属または金属酸化物を適用することをその保護範囲とし
ているが、もつとも好ましい態様としては基体を液状の
組成物と接触させることをそれぞれ開示している。

大気圧下にある加熱された基体に蒸発せられたコーティ
ング組成物を適用する技術の進展に伴なって、いくつか
の問題がでてきている。

粒子が細かく、外観が均一なコーティングをつるのは困
難である。

基体を液状のスプレーと接触させて厚いコーティングが
つくられているが、公知の蒸着技術を用いたばあいにえ
られる可視光線の透過率が約５０％以下である比較的厚
いフイルムをうることは、不可能ではないがきわめて困
難である。

蒸着方法は従来より知られている。

蒸着法のうちもつともよく使われている態様は大気圧よ
り下の圧力条件で行なわれるものである。

これらの技術を用いたばあいの蒸着速度を大きくするた
め多くの技術が開発されている。

たとえば、電界、磁界、ラジオ周波数、超短波による励
起などを用いることによりベーパ・コーティング組成物
の反応体粒子の運動量を増加させている。

また、コーティング組成物の蒸気をとくに限定された目
標面積に向けるために導波管（ｗａｖｅｇｕｉｄｅｓ）
が使われている（シエトキー（ｓｃｈｅｔｋｙ）の米国
特許第３，１１４，６５２号明細書およびショールズ（
ｓｃｈｏｌｅｓ）の米国特許第３，５６１，９４０号明
細書を参照）。

本発明者は化学蒸着によってつくられるフイルムの均一
性および化学蒸着またはフイルム形成の速度が、反応体
をガス状のキャリヤ中に蒸発させこの混合物をコートさ
れるべき基体にふきつけることによりいちじるしく向上
させうることを見出し、それに基づいて本発明の装置を
完成した。

すなわち本発明は、 （１）チャンバ、 （２）該チャンバ内に、その主面によってチャンバ内を
２つのスペースに仕切るように配置されかつそれを通し
て蒸気またはガスが第１のスペースから第２のスペース
に通過しうるように構成されている加熱部材、 （３）前記チャンバの第１のスペース内に少なくとも一
つのコーティング反応体からなるスプレーを、該スプレ
ーの軸が前記加熱部材の中央部でその主面と交わるよう
に供給するための、チャンバ内に開口した吐出口を有す
る噴霧器、（４）前記チャンバにキャリヤガスを導入す
るための入口、および該入口に対向するようにチャンバ
内壁に取付けられたキャリヤガス分配プレートであって
、該導入されたキャリヤガスを、前記スプレーが供給さ
れるのと同じチャンバの第１のスペース内に、前記加熱
部材の縁部から該スプレーの方向へ供給しうるような開
口部を有し、その結果生じるガス状コーティング混合物
が前記加熱部材の主面の中央部を通って第２のスペース
内に流れるようにされているキャリヤガス分配プレート
、 （５）前記ガス状コーティング混合物を吐出し、該混合
物を基体にふきつけるノズル、および（６）前記混合物
を前記チャンバの第２のスペースから吐出する蒸気吐出
管、および吐出された混合物を前記ノズルに供給するた
めの部材 からなり、少なくとも一つのコーティング反応体からな
るガス状混合物を基体にふきつけて該基体にコーティン
グを施すように構成されているコーティング装置 に関する。

本発明の装置により基体をコーティングするぱあい、蒸
発性のコーティング反応体はガスが満たされた空間中に
分散され、加熱されたキャリヤガスとの接触に起因する
実質的な分解を該空間内で起すことなく蒸発させられる
。

ついでキャリヤガスは蒸発したコーティング反応体を運
び熱い基体と接触させて、該基体上にコーティングを形
成する。

本発明の利点は蒸発温度よりわずかに高い温度で自己接
触分解するコーティング反応体のばあいにとくに明らか
になる。

ガス相に反応体を分散させることにより、分離した分解
物の自己接触効果が実質的に除かれる。

またガス中に反応体をフオッグ（ｆｏｇ）またはスモー
ク（ｓｍｏｋｅ）の状態から気化させることにより、反
応体の沸点より若干高いが、できだけ低い温度で実用的
に蒸発効率が充分に高められる。

本発明のより好ましい実施例においては、反応体は適当
な溶剤中に溶かされ、該溶液は溶剤および反応体を蒸発
させるために加熱されたキャリヤ中にスプレーされる。

本発明で使用するのに好ましい反応性コーティング材料
は、元素の周期表の第Ｉｂ属から第■ｂ属まで、および
第■属金属の熱分解性の有機金属塩である。

より好ましい有機金属塩はベータージケトネート、酢酸
塩、ヘキソエート、ギ酸塩などである。

本発明におけるコーティング組成物の反応成分としては
、鉄、コバルトおよびクロムのアセチルアセトネートな
どが好ましい。

本発明において使用するのに適したコーティング反応体
は熱分解性の材料であるが、他の反応体も使用すること
ができる。

たとえば、フッ素化ベータージケトネート、とくにアセ
チルアセトネートおよびクメンの金属塩（ｍｅｔａｌ
ｄｉｃｕｍｅｎｅｓ）などの加水分解性の反応体を使用
してもよい。

また酸素、水素、ハロゲンなどの他の共働する反応体の
存在を必要とする反応体を用いることもできる。

すでに述べたように、蒸発させるのにより好ましい方法
は、反応体を適当な溶剤中に溶かして溶液にするという
初期段階を含んでいる。

ここに示された方法を実施するばあいの溶剤としては、
飽和または不飽和の種々の炭化水素類、ハロゲン化炭化
水素類などが適している。

単一成分の溶剤システム、とくにメチレン クロライド
を用いた溶剤システムが本発明においては効果的に用い
られる。

２種以上の溶剤を用いた溶剤システムも有用である。

本発明を実施するのに用いられるいくつかの代表的な溶
剤としては、メチレン ブロマイド、カーボン テトラ
クロラトド、カーボン テトラブロマイド、クロロホル
ム、プロモホルム、１，１，１−トリクロロエタン、パ
ークロロエチレン、１，１，２−トリクロロエタン、ジ
クロロイオドメタン、１，１．２−トリブロモエタン、
トリクロロエチレン、トリブロモエチレン、トリクロロ
モノフルオロエタン、ヘキサクロロエタン、１，１，１
２−テトラクロロ−２−クロロエタン、１，１．２−ト
リクロロ−１，２−ジクロロエタン、テトラフルオロブ
ロモエタン、ヘキサクロロブタジエン、テトラクロロエ
タンなどがあげられる。

その他の溶剤として、１〜４個の炭素原子と１個のヒド
ロキシル基を有するアルコールのごとき有機極性溶剤の
１種または２種以上とベンゼン、トルエンまたはキシレ
ンのごとき芳香族非極性化合物の１種または２種以上と
の混合物を用いてもよい。

この種の溶剤はその揮発性のための前述のハロゲン化炭
化水素類やハロゲン化炭素類よりも使用しにくいが、と
くに経済的に有利である。

本発明のより好ましい実施例においては、有機溶剤に溶
解せられた反応性の有機金属塩の溶液がペーパライジン
グ・チャンバに向けて送られる。

ベーパライジング・チャンバは加熱部材を備えるよう構
成されており、該加熱部材は該部材自体と接触する液を
蒸発させるよりむしろ該加熱部材の周囲の空間を、該空
間内でコーティング溶液を蒸発させるのに充分な温度に
まで加熱する。

キャリヤガスはコーティング組成物をうばってその蒸発
速度を高めるように該組成物と混合し、かつコートされ
るべき基体に対しヒータを通して蒸気を移送するように
ヒータから取出される。

溶剤および反応性の有機金属塩の蒸気はベーパライザ・
チャンバからコートされるべき加熱された基体の巾方向
に細長く伸びたマニホルドに送られる。

このマニホルドには蒸気を基体に送る細長く伸びたノズ
ルが連結されている。

「ノズル・フォア・ケミカル・ベーパ・デポジション・
オブ・コーティングズ（Ｎｏｚｚｌｅ ｆｏｒＣｈｅｍ
ｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ ｏｆ
Ｃｏａｔ−ｉｎｇｓ）」という発明の名称で米国特許局
に対し提出されたクリシュナ・シムハン（Ｋｒｉｓｈｎ
ａＳｉｍｈａｎ）の特許出願の主題であるより好ましい
実施例においては、細長く伸びたノズルは、その小さい
方の横断面の形状として、通過する蒸気の境界層を実質
的に連続的に加速できるよう均一に収縮する形状を有し
ている。

ノズルの大きい方の断面寸法は対応する基体の幅よりわ
ずかに小さく、その結果ノズルに面しておかれた基体は
その両端部でノズルからはみ出している。

このような関係にするとノズルの大きい方の寸法に沿っ
て実質的に均一な圧力低下を維持することができ、ノズ
ルの各端部においてノズルから吐出される蒸気の異常に
大きい量の逃げを防止することができ、したがってすべ
ての蒸気が基体と良好に接触する。

コートされるべき基体に向いあった関係に配置されたノ
ズルの面は、コーティングの間ノズル面と該ノズル面に
最も近接したその表面との間隔ががノズル出口における
ノズル幅の少なくとも０．５倍になるような位置に配置
される。

ノズル幅に対する間隔の比は少なくとも０．６５、さら
に好ましくは０．９〜５である。

もつとも好ましい実施例においては、その比は１．２５
〜５である。

本発明のコーティング装置におけるベーパライザおよび
マニホルドは、ノズルを通過する蒸気流のレイノズル数
が少なくとも２５００、好ましくは約５０００になるよ
うな充分な圧力で操作されこれにより急速で、効率がよ
く、しかも均一な蒸着を施すことができる。

このより好ましい実施例は「ケミカル・ベーパ・デイポ
ジション・オブ・コーティングズ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ
Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉ−ｔｉｏｎ ｏｆ Ｃｏａｔ
ｉｎｇｓ）」という発明の名称で提出されたジョン・ソ
プコ（Ｊｏｈｎ Ｓｏｐｋｏ）およびクリシュナ・シム
ハン（Ｋｒｉｓｈｎａ Ｓｉｍｈａｎ）の米国特許出願
の主題である。

本発明の装置は種々の感受性のよい基体に対するコーテ
ィングに用いることができる。

ガラス、ガラス セラミック、セラミック、ポースリン
・クラツド・メタル（Ｐｏｒｃｅｌａｉｎ ｃｌａｄ
ｍｅｔａ−ｌｓ）などの耐火性基体に対しては、とくに
本発明によるコーティングを施すことが可能である。

金属、プラステイック、紙などの他の基体も本発明の原
理にしたがってコートされうる。

本発明はフラット・ガラスに透明な金属酸化物のコーテ
ィングを施すのにとくに有用である。

このような金属酸化物がコートされたフラット・ガラス
は建築関係で使用するのにとくに有用なものである。

第１図は本発明の装置の好ましい実施例を示す部分断面
見取図であり、本発明の装置における蒸気および他の流
体の流れを示したものである。

第２図は本発明の装置で用いられる好ましいベーパライ
ザ、マニフォルドおよびノズルの部分断面図で、ノズル
に向いあうように支持された一枚のフロートガラスと組
合せて示されている。

第３図は第２図の３−３線断面図である。

第４図は第３図の４−４線断面図で、本発明で用いられ
るコーティング組成物が加熱部材と接触して蒸発するよ
りもチャンバ・スペース内で蒸発させるために設けられ
たインレソトとアウトレットおよびバツフリング・アレ
ンジメント（ｂａｆｆ−ｌｉｎｇ ａｒｒａｎｇｅｍｅ
ｎｔ）を備えたチャンバ・スペース（ｃｈａｍｂｅｒ
ｓｐａｃｅ ）に対する加熱部材の関係を示したもので
ある。

第５図はベーパライザ・チャンバの拡大断面図であり、
キャリヤガスをスプレー状の反応体中に送り該反応体を
分散、蒸発させる適当なキャリヤガス・デイストリビュ
ータを示したものである。

第６図は第５図の６−６線からみたもので、キャリヤガ
ス分配プレートの部分図である。

本発明の装置を用いてコーティングを実施するにあたっ
ては、キャリヤガスとして空気を用いるのが好ましい。

空気はキャリヤとしてだけでなく、金属のアセチルアセ
トネートなどの蒸発した金属反応体に酸素を供給する作
用があり、供給された酸素は金属反応体と充分に混合さ
れ、加熱されたガラス表面と接触している該反応体と反
応し、金属酸化物のフイルムを形成する。

空気は金属反応体を担持している溶剤を蒸発させるため
の熱を供給するのに充分な温度でベーパライザに供給さ
れる。

好ましい実施例では、空気と蒸気の混合物の温度はベー
パライザからの放出時に約４００〜４２０°Ｆ（２０４
〜２１６℃）になるよう設定される。

この温度を維持するために加熱された油がヒーターに約
４１０°Ｆ（２１０℃）で供給される。

キャリヤである空気は約５００°Ｆ（２６０℃）に加熱
され、噴霧用の空気と、溶剤を含んだ金属反応体とは約
７０°Ｆ（２１℃）で供給される。

噴霧用の空気の流れはキャリヤである空気の流れと比較
して無視しうるものであり、キャリヤである空気のライ
ンから約２〜１０ｐｓｉｇ（０．１４〜０．７０ｋｇ／
ｃｍ２Ｇ）好ましくは約５ｐｓｉｇ（０．３５ｋｇ／ｃ
ｍ２Ｇ）の圧力で供給される。

キャリヤである空気はそのラインから約５０〜１００ｐ
ｓｉｇ（３．５〜７．０３ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）、好ましく
は約６０ｐｓｉｇ（４．２ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）で供給され
る。

空気分配プレートのスロットからヒーターを横切ってふ
き出るキャリヤーである空気の速度は約５〜１０フィー
ト／分（１．５〜３．０ｍ／分）である。

供給されるキャリヤである空気の体積流れは、蒸気相内
の蒸気を維持するのに必要な最小量より大きいものであ
る。

すなわち、供給されるキャリヤである空気の量は、金属
反応体および溶剤に関するキャリヤである空気の相対飽
和度がベーパライザ、マニフオルド、ノズルおよびベー
パ・コーティング・チャンバを通じて飽和（１００％）
以下のもので充分である。

キャリヤである空気は相対飽和度が９５％以下、好まし
くは８５％以下で、飽和に対する最小値を超える量で供
給される。

混合物は少なくとも５０％で飽和せられる。

反応体および溶剤を担持するのに必要な最小空気量は、
従来から知られている理想ガスの関係および反応体や溶
剤に関する蒸気圧、分子量などから決定されうる。

溶剤および蒸発せられるべき反応体の割合は、溶解度お
よび基体に対して所望のコーティング厚をうるために基
体に近接する全反応体の流れおよび反応温度などから容
易に知ることができる。

本発明の装置はつぎに述べる詳細な説明からさらに容易
に理解されうる。

第１図において、基体としてのたとえばガラスシート１
１はコーティングのために配置されている。

ガラスシート１１は一般には水平面内で支持されると共
に該シート１１を第１図右側下部の矢印で示される通路
にそって移動させうる手段によって支持されている。

ベーパライザ・アセンブリ１２とベーパ分配アセンブリ
１３とからなる本発明のコーティング装置がガラスシー
ト１１に面するように配置されている。

ベーパライザ・アセンブリ１２はベーパライザ・チャン
バ１４からなり、該チャンバはシリンダ状に形成され、
反応体の蒸発部材を有している。

該部材については後述する。

ベーパライザ・アセンブリ１２はさらに反応体供給千段
１５とキャリヤガス供給手段１６とを有している。

反応体は溶液管１７を介して一組の溶液供給管１８に供
給される。

各溶液供給管１８はベーパライザ・チャンバ１４内に開
口した吐出口を有するスプレー・チツプ１９に連結され
ている。

溶液管１７は冷却管２０でおおわれており、該冷却管２
０はバツフル２１によって前進流れの部分と戻り流れの
部分とに分割されている。

噴霧用のガス好ましくは空気が一組の噴霧用のガス供給
管２２を介して各スプレー・チツプ１９に供給される。

該ガス供給管２２はすべて噴霧用のガス用配管２３に連
結されている。

反応体供給手段１５は一組のキャップ２４によってベー
パライザ・チャンバ１４上に装着され、該キャップ２４
は配管の周囲を囲むと共にベーパライザ・チャンバ１４
に溶接された一組の台２５にボルトまたは他の方法で連
結されている。

キャリヤガス供給手段１６はブラケット２７によってベ
ーパライザ・チャンバ１４に装着されたキャリヤガス・
マニフオルド２６からなる。

キャリヤガス・マニフオルド２６には一組のキャリヤガ
ス供給管２８が連結され、各供給管２８はキャリヤガス
・プレヒータ２９に連結されている。

キャリヤガス・プレヒータ２９はベーパライザ・チャン
バ１４に連結され、加熱されたキャリヤガスが該チャン
バ内に入れられるように構成されている。

プレヒータ２９としては電気抵抗式のヒータが好ましく
、各プレヒータは制御された電源（図示されていない）
に接続される接続部３０を有している。

ベーパライザ・チャンバ１４は単一構造物でもよいが、
長く延長するぱあいには一組の比較的短いベーパライザ
・チャンバ１４を有するモジュラー型の構造物とし、個
々のチャンバをロックするベーパライザ・チャンバ・カ
ップリング３１によってたがいの端部を結合するように
してもよい。

ベーパライザ・チャシバ１４の内側には反応体および溶
剤などの他の物質を蒸発させる部材が配置されている。

ヒータ３２はチャンバが２つの部分、すなわち全流入物
質が入る部分と流出する蒸気が去る部分とに分割される
ようにベーパライザ・チャンバ１４内に取りつけられて
いる。

ヒータ３２は蒸気が入口部から該ヒータを通ってベーパ
ライザ・チャンバ１４の出口部に流れていくように構成
されている。

ヒータとしては熱的に制御された熱交換流体が封入され
たフィン管式熱交換器が好ましい。

ヒータ３２はチャンバ１４内で取付板上に装着される。

該取付板は溶接または他の手段でチャンバ１４の内壁に
取りつけられていて、キャリヤガス分配プレート３３と
しても作用する。

キャリヤガス分配プレート３３は該プレート３３とチャ
ンバ・ウオールとで封止されたマニフオルド・スペース
が形成されるような形状につくられると共に、チャンバ
１４に取りつけられている。

キャリヤガス分配プレート３３はベーパライザ・チャン
バ１４の入口部にガスを自由に流出させる一組の開口部
が形成されていて、該ガスは該入口部でスプレー状の反
応体と該反応体を蒸発させる溶剤とを混合する。

ベーパライザ・チャンバ１４の入口部で反応体を含むガ
ス状混合物は、ベーパライザ・チャンバ１４の出口部に
入る混合物の温度を細かく調整するヒータ３２を通過す
る。

ヒータ３２は熱的な安定を保証できるように流れている
ガス状混合物の質量に比して比較的高い熱容量を有する
ようにするのが好ましい。

混合物が熱すぎるばあいにはヒータは該混合物を冷却す
ることになる。

ベーパライザ・チャンバ１４の出口部には一組の蒸気吐
出管３４が配置されている。

該吐出管１４はベーパライザ・チャンバ３４の壁面を通
って外部に延長されると共にその内部側端部の近くには
数個の流入口が形成されている。

各蒸気吐出管３４の内部側端部にはチャンバに入ってき
たり、チャンバ内で生じたりする粒子状物質をそらすカ
サ３５が設けられていて、これにより蒸気吐出管の詰ま
りが防止される。

蒸気吐出管３４の周囲にはヒータ３６が設けられている
。

ヒータ３６は２つの通路、すなわち送り用の通路および
戻し用の通路とを有しており、これらの通路は再循環式
熱交換流体システム（図示されていない）に連結されて
いる。

操作中に油などの高温流体がヒータ３６を通じて循環さ
れ、これによりベーパライザ・チャンバ１４から吐出さ
れるガス状混合物の温度が制御される。

各蒸気吐出管３４にはカップリング３７（フレキシブル
・カップリングが好ましい）が接続されている。

該カップリングはベーパライザ・アセンブリ１２をベー
パ分配アセンブリ１３に連結する。

ベーパ分配アセンブリ１３はベーパ・マニフオルドまた
はプレナム（ｐｌｅｎｕｍ）（以下、マニフオルドとい
う）３８からなり、該マニフオルド３８は仕切壁４０で
分離され、かつ内側および外側温度制御流体用通路４１
および４２でおおわれた２つのベーパ・チャンネル３９
を有している。

運転時に油などの高温流体が前記通路４１および４２を
循環し、これにベーパ・チャンネル３９を流れるガス状
混合物の温度が制御される。

ベーパ・チャンネル３９はノズル４３（先細ノズルが好
ましい）と通じている。

各ノズルはマニフオルド３８に結合された対向するノズ
ル壁部材４４で形成されている。

各ノズル壁部材４４には通路４５が設けられ、該通路に
は加熱された油などの流体が通されノズル４３を通って
ガラスシート（基体）１１にふきつけられるガス状のコ
ーティング混合物の温度を正確に制御できるように構成
されている。

通路４５を循環する油は一般に熱を奪い、壁部材４４が
ひずむのを防止する。

本発明のコーティング装置は、製紙、金属板の圧延など
の種々のプロセスおよび基体と組合せて使用することが
できる。

本発明の方法は連続したシート状のものあるいは一組の
不連続な基体をコートするのに使用できる。

本発明のより好ましい実施例においては、連続したガラ
スシートがコートされる。

このガラスシートとしてはプレート・プロセス、他のシ
ート・プロセス〔コルバン（Ｃｏｌｂｕｒｎ）、フオー
コールト（Ｆｏｕｒｃａｕｌｔ）またはピッツバーグ・
ペンバースン（Ｐｉｔｔｓｂｕ−ｒｇｈ Ｐｅｎｎｖｅ
ｒｓｏｎ）プロセス〕またはフロートプロセスによって
つくられるシートであればよい。

本発明は垂直面、水平面または他の適当な方向に向けら
れた面内に配置された基体にコーティングを施すのに効
果的に用いられるものである。

これは本発明でとくに価値があり、かつユニークな特徴
である。

特別に好ましい実施例においては、本発明は新たに形成
されたフロート・ガラス細長体にコートするのに使用さ
れる。

細長体は本発明の原理によってどちらの主面にも容易に
コーイされる。

つぎの説明はガラスの細長体の上面のコーティングに関
するものである。

第１図と同様番と第２図、第３図および第４図を参照す
る。

本発明の装置はとくに好ましい環境、すなわちフロート
・フオーミング・バス（ｆｌｏａｔｆｏｒｍｉｎｇ ｂ
ａｔｈ）および焼鈍窯との間のスペースに配置されてい
る。

連続したガラス細長体１１がバス・チャンバ４７に仕込
まれた溶融錫などの溶融金属浴４６上に示されている。

バス・チャンバ４７は金属性の包板４９で囲まれた耐火
性の底壁、側壁および土壁４８から構成されている。

細長体１１はバス・チャンバ４７の出口端で溶融金属４
６からロール５０上にもちあげられる。

ロール５０は適切に支承され、駆動モータ（図示されて
いない）に連結された通常のロール駆動手段によって駆
動される。

カーボン・ブロック５１がスプリングによって回転ロー
ル５０の底部に押しつけられていて、ロール上に被着す
る種々の物質を除去することができる。

カーボンブロック５１はバス・チャンバの耐火材の延長
部５２内に支持されている。

ロールから除去される物質は延長部５２上に落下し、容
易に除去される。

ガラスの細長体１１は焼鈍窯５３内に運ばれる。

この窯５３は、その中に多数の窯ロール５４を有する。

該ロール５４を回転するために従来周知の駆動手段が設
けられている。

各窯ロール５４はガラスに対し、該窯を経てガラスを運
ぶに足りる大きさの牽引力を与える。

この窯の温度はガラスの永久応力および歪を除去するよ
うに調節されている。

ロール５４は新しく形成されたフロートガラスをバス・
チャンバ４７からベーパ・コーティング・チャンバ５５
ついで焼鈍窯５３を通して送る手段の一部を構成してい
る。

バス・チャンバ４７内の雰囲気はチッ素と少量の水素と
を含んだ還元性の雰囲気であり、これにより溶融金属４
６の酸化が防止されている。

通常この雰囲気は約９０〜９９．９％のチッ素を含有し
残りが水素である。

雰囲気は周囲の圧力よりわずかに高い圧力、たとえば０
．１〜０．５インチ（２．５４〜１２．７ｍｍ）（水柱
）に保持され、バス・チャンバ４７内に周囲の雰囲気が
侵入するのを実質的に阻止する。

前記雰囲気をそのまま保持し、かつバス・チャンバ４７
からガラス細長体を通すため、バス・チャンバの出口に
は一組のカーテン５６を設ける。

このカーテンはガラス細長体上にひきずっていてベーパ
・コーティング・チャンバ５５のわずかに加圧された雰
囲気をバス・チャンバ４７から分離する手段として作用
する。

これらのカーテン５６は通常可撓性の石綿またはガラス
繊維からつくられていて、ガラスを傷つけず、しかも環
境の温度約１０００〜１２００°Ｆ（５３８〜６４９℃
）に耐えることができる。

さらに、同様の材料からなるカーテン５７が窯５３の入
口に設けられ、窯５３をベーパ・コーティング・チャン
バ５５から分離する手段として作用する。

ベーパ・コーティング・チャンバ５５は真空フード５８
を備えている。

該フード５８は上流のバス・チャンバおよび下流の窯に
近接して配置された入口を有している。

真空フード５８は一対の排気管５９まで垂直上方に延長
されると共に互いに充分な間隔があけられていて、■ビ
ーム６０を支持すると共に関連した装置に沿って配置さ
れたベーパライザ・アセンブリ１２とベーパ分配アセン
ブリ１３とからなるベーパ・コーティング装置用の空間
を形成している。

真空フード５８は■ビーム６０上に載置された車輪６１
によってＩビーム６０上に移動しうるように支持されて
いる。

■ビーム６０はバス・チャンバ４７から窯５３まで移動
するガラス細長体１１の通路を横切るように配置されて
いる。

真空フードは横支柱６２によって一定の間隔があけられ
て支持されている。

排気管５９はブラケット６３に取りつけられている。

該ブラケット６３は支持用のオーバヘッド・ビーム６６
のトラック６５に載置された車輪６４に取りつけられて
いる。

真空フード５８および排気管５９からなる真空フード・
アセンブリはガラス細長体１１の通路を横切って移動さ
せることができ、保守ならびに修善のためフロート・ラ
インから該アセンブリを完全にはずすことができる。

この移動は支持用の車輪６１および６４が回転している
間に該アセンブリをビーム６０および６６に沿って動か
すことによって行なうことができる。

ベーパ・コーター・アセンブリはベーパ・コーター支持
ブラケット６７によって■ビーム６０からベーパ・コー
ティング・チャンバ５５内に支持されている。

支持ブラケット６７にはベーパ・コーター支持車輪６８
が取りつけられている。

ベーパ・コーター支持車輪６８はＩビーム６０上に載置
されている。

一方の■ビームにはトラック６９が形成されている。

トラック６９および該トラック６９と係合する支持車輪
６８の形状はトラックおよび■ビームに対するアセンブ
リの横方向の動きを防止できるようなものであればよい
。

ベーパ・コーター・アセンブリはベーパライザ・アセン
ブリ１２とベーパ分配アセンブリ１３以外にこれらの作
動部材を支持する機械構造物から構成されている。

該機械構造物はモーク７０およびジャッキ７１を有して
いる。

該ジャッキ７１はアセンブリを上下させ、コートされる
べき基体に近づけたり遠ざけたりする。

ベーパ・コータ支持ブラケット６７からベーパ・コータ
・クロスアーム７２がぶら下っている。

モーク・サポート７３およびジャッキ・サポート７４が
該クロスアーム７２に取りつけられている。

モータ・サポート７３にはモータ７０（ＤＣ可変速モー
タが好ましい）が装備されている。

該モータ７０には駆動軸７５が連結され、駆動軸７５は
ジャツキ７１に連結されている。

各ジャッキ７１内には垂直運動をするスクリュー・シャ
フトを駆動する適当な伝動装置が設けられている。

スクリュー・シャフト７６はギアに連結されたジャッキ
７１を介して駆動軸７５とつながっている。

モータ７０で駆動軸７５を駆動すると、スクリュー・シ
ャフト７６は上下に移動しベーパ・コーテイング・アセ
ンブリを上昇させたり下降させたりする。

スクリュー・シャフト７６には二又７７が取りつけられ
ている。

二又７７にぶら下がるように支持腕７８が連結され、該
支持腕７８は横板７９に連結されている。

横板７９にはベーパライザ受け台８０が取りつけられ、
該受け台８０はベーパライザ・チャンバ１４にボルトま
たは他の方法で結合される。

前述の説明のように本発明のより好ましい実施例におい
ては、キャリヤガス（好ましくは空気）がベーパライザ
・チャンバ１４に供給されてスプレー・ノズル・チツプ
１９から流入する噴霧状のコーティング組成物と混合し
、コーティング材料の蒸発速度を高め、ついでヒータ３
２を通して混合物を移送しコートされるべき基体に送る
ためにさらに加熱することが必要である。

キャリヤガスはマニホルド２６からベーパライザに供給
される。

該マニホルド２６はパイプでつくるのが好ましく、ブラ
ケット２７によってアセンブリ上に取りつけられている
。

フレキシブル・チューブ（キャリヤガス供給管）２８は
キャリヤガス・マニホルド２６に接続され、加熱部材（
キャリヤガス・プレヒーク）２９を介してコネクタに向
けられている。

該コネクタはペイパライザ・チャンバ１４の壁を貫通し
てキャリヤガス分配用プレート３３とベイパライザ・チ
ャンバ１４の壁で形成されるスペースと接続している。

電力は電気ケーブル８１からヒータ２９に供給される。

該ケーブル８１はブラケット２７および８３上に取りつ
けられた導管８２内に通されている。

本発明の実施の際に用いられるベーパライザ１２の内部
の詳細については第１図を参照してすでに説明したので
、ここでは繰返さない。

本装置の構造上の特徴は第２図、第３図および第４図か
ら明らかである。

ノズル４３から基体１１に向って吐出される未反応また
は過剰のコーティング組成物の蒸気およびキャリヤガス
はベーパ・コーティング・チャンバ５５を満たす。

未反応の蒸気およびガスは該チャンバ５５から真空フー
ド５８によつて除去される。

構造物の不規則な表面に被着物がたまるとこれらがはが
れて基本１１上に落下し、基体１１を傷つけることにな
る。

これを防ぐためにベーパ・コーティング・アセンブリは
ベーパ゜コータ゜シルド（ｖａｐｏｒ ｃｏａｔ‐ｅｒ
ｓｈｉｅｌｄ） ８４内に入れられている。

ベーパ・コータ・シールド８４は補強板８５を備えてい
る。

補強板８５は横板７９に接続されてコータ・アセンブリ
に接続されている。

横板７９は前述のようにサポート・アセンブリ（支持腕
）７８と連結されると共にベーパライザ受け台８０に連
結されている。

すでに指摘したように、ベーパライザ・チャンバ１４は
ベーパライザ受け台８０に連結されている。

横板７９は検査孔８６を有している。ベーパ・コータ・
シールド８４とベーパ・マニホルド３８とのスペースに
は鉱物綿、アスベストなどの断熱材８７を充填しておく
のが好ましい。

第３図に示されるようにベーパ・コータ・アセンブリの
構成はモジュラー型であり、従来の方法でつくられたガ
ラス細長体の全中にまたがるようにしてもよい。

モジュラー型の設計は装置の保守、修繕が容易にできる
ので好ましい。

付属設備を備えた個々のベーパライザ・チャンバ１４は
たがいに連結され全細長体の巾をまたぐアセンブリを型
成している。

ベーパライザ１４はモジュラー型に設計してもベーパ分
配マニホルド３８およびベーパ・ノズル４３は単一ユニ
ットにするのが好ましい。

しかして蒸気はコートされるべき基体の全中にわたって
均一に吐出される。

コーティング用の蒸気はベーパ・マニホルド３８によっ
て基体に沿って均一に吐出される。

コートされるべきガラス細長体の巾をまたいでいるマニ
ホルド３８の横方向の長さは該マニホルドの巾よりずっ
と大きなものである。

ベーパ・マニホルド３８は多数のベーパ・チャンネルか
らなり、該チャンネルは細長く伸びており、かつその出
口端でたがいに分離されているが、その入口部では共通
のチャンネルとなっている。

ベーパライザ１４からマニホルド３８に蒸気を送る多数
のカップリング３７は、この共通のチャンネル入口にそ
ってマニホルド３８に連結されている。

各ベーパ・チャンネル３９は少なくとも２つの反対向き
の曲線で構成させるのが好ましく、これにより該チャン
ネルを通過する蒸気の移動通路は少くとも２回方向を変
えるようになる。

しかしてチャンネルの長さ方向に沿った慈気の吐出はき
わめて均一になる。

チャンネル内にバツフルを配置してさらに蒸気の流れを
さえぎると共にチャンネルの長さに沿ってさらに分配さ
せるようにしてもよいが、バツフルがなくしかも流れの
方向を変えるようにしたシンプルな設計のものが好まし
い。

設計時に渦流を生じさせるような停滞部や出つぱり部が
ないようにすることが好ましい。

ベーパ・チャンネル３９の囲りには必要なら加熱用ある
いは冷却用の流体を移送する通路４１および４２が設け
られる。

これらの通路４１および４２はベーパ・マニホルド３８
の長手方向に沿って伸長すると共に加熱用あるいは冷却
用の流体源（図示されていない）に連結されている。

より好ましい実施例では加熱された油が該通路に供給さ
れる。

ベーパ・マニホルド３８にはノズル４３を形成するノズ
ル壁部材４４が連結されている。

ノズル４３は蒸発したコーティング組成物およびキャリ
ャガスをコートされるべき基体１１にふきつける。

ノズル４３は細長く伸びていて平面図ではスロットのよ
うにみえる。

ノズルはその入口から出口までかなり狭くなるようにす
るのが好ましい。

各スロットの収縮は該スロットを通過する蒸気がスロッ
トの先端にいくにしたがって連続的に加速されるように
構成されている。

しかしてスロット壁に隣接した蒸気の境界層が最小にな
り、かつスロットの周辺は蒸気によって均一にぬれ、流
出する蒸気は基体に均一にふきつけられるようになる。

ノズルの特性は流入口の面積と流出口の面積との比であ
る収縮比によって示される。

効率のよい均一なコーティングをうるためのより好まし
い流れの条件について以下に説明する。

この条件はノズルの出口端における条件として示される
。

ノズルとしては「化学蒸着によるコーティング用ノズル
（Ｎｏｚｚｌｅ ｔｏｒ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏ
ｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎｏｔ Ｃｏａｔｉｎｇｓ）」
という発明の名称で提出されたクリシュナ・シムハン（
Ｋｒｉｓｈｎａ Ｓｉｍ−ｈａｎ）の米国特許出願中に
示されたノズルが好ましい。

各ベーパ・チャンネル３９は容積で測定したチャンネル
の通過量の約６倍の容積をもつようにするのが好ましい
。

チャンネルを通過する蒸気を維持するためにこれだけの
容量をもたせると該チャンネルはフレキシブル・カップ
リング３７から流出する不連続な流れによって生じる速
度変化を除く整流用の場所として作用する。

前述のようにベーパ・チャンネル３９は蒸気の流れに新
しい方向を与え、マニホルド３８の長さ方向に沿って蒸
気を均一に分配させる。

ベーパ・チャンネル３９の構成および大きさはノズル４
３の形状と関係することは明らかである。

ノズルの収縮比が増大し、約５〜６以上になると、ベー
パ・チャンネル３９の容積は減少させることができ、こ
のばあいわるい影響はない。

各ノズル４３は曲面を有する２つの部材４４からなり、
たがいの曲面が対向するようにマニホルド３８に連結さ
れている。

各部材は加熱された油などの流体を通すチャンネル４５
を備えていて、吐出される蒸気およびガスの温度を制御
することができる。

加熱された油が平行なチャンネル４５を通り、ついで通
路４１および４２を通るようにするのが好ましい。

ノズルに流入したり、ノズルから流出したりする油の温
度を測定できるようにしてもよく、このような測定によ
ってノズル温度であると計算される温度は各ノズル出口
においての蒸気の流れの状態を規定するのに用いられる
ものである。

ノズルの流れ部を構成する曲面はなめらかに機械仕上げ
されていて、蒸気およびガス流れに局部的な乱れを与え
る細かな障害物あるいはかき傷が生じないようにされて
いる。

より好ましい実施例においては、ノズル部材は機械仕上
げされた鋼あるいは他の基体金属でつくられ、湾曲した
内表面は金または他の貴金属などの作業性の良好な金属
でおおわれる。

金属の仕上げは少なくとも６４マイクロインチ（１．６
２μｍ ） 、好ましくは約１６マイクロインチ（０．
４１μｍ）である。

収縮比が充分に大きいばあいには、金属の仕上げに際し
て滑らかさを低下させても影響はない。

ノズル内表面の曲率は曲率半径が入口部でもつとも小さ
く出口部で最大（無限大に接近する）になるようなもの
であればよい。

曲率半径がノズルの入口から出口まで距離の函数として
単調に（好ましくは一定割合で）増加するようにするの
がもつとも好ましい。

ノズル部材４４はノズルの通路に沿った各部で異なった
半径に機械仕上げされ、各部はスムーズに機械仕上げさ
れてつぎの部分と連っている。

ノズル部材の出口端は鋭く、かつ充分に限定された角部
にするのが好しく、その結果ノズル部材の部分と面する
基体が流出蒸気およびガスによって濡れなくなる。

本発明の装置の細部は第１図と共に第５図および第６図
を参照すればさらに理解される。

ベーパライザ・チャンバ１４は円筒状で、その中にはヒ
ータ３２が配置されている。

ヒータ３２はチャンバ１４を２つの閉鎖されたスペース
に区分している。

ヒータ３２の上部のスペースは入口用、混合用および蒸
発用のスペースであり、ヒータの下部のスペースは温度
および濃度安定用、ならびに出口用のスペースである。

ヒータ３２は該ヒータを通って蒸気およびガスがチャン
バ内の一方のスペースから他方のスペースまで通過でき
るよう孔を有している。

ヒータは空気調節器のコンデンサーとして通常用いられ
ているものと類似したフィン管式の熱交換器が好ましい
。

操作時には加熱用流体が該チューブに供給される。

このようにしてチューブが加熱されると熱伝導によって
フィンが同様に加熱される。

ついで熱はヒータの周囲のチャンバおよび入口部から出
口部へ該ヒータを通って通過する蒸気およびガスに伝え
られる。

熱交換流体（加熱された油が好ましい）は入口管８８を
通ってヒータ３２に供給される。

熱交換流体はヒータ３２を通過したのち、移送管８９に
よってベーパ・デイスチャージ・ヒータ３６に送られ、
該ヒータ３６から流体は吐出管９０を介して遠くのタン
クに戻される。

また、熱交換流体を反対方向に流すようにすることも可
能である。

前述のようにヒータ３２は蒸発用の熱を供給するという
より、空気および蒸発される反応体（より好ましい実施
例においてはこれに加えて溶剤）の温度を安定する作用
をする。

ヒータは混合物の温度にわずかに影響を与えるのに必要
な熱に比較して大きい熱容量をもつようにするのが好ま
しい。

ヒータ温度は吐出蒸気のため所望温度に維持される。

そして蒸気に対する熱移動は漸滅する小さな温度勾配で
行なわれる。

その結果チャンバから蒸気吐出管３４によって送られる
蒸気温度はほとんど一定となる。

ガス混合物の温度力塙いはあいにはヒータ３２はそれを
冷却することになる。

コーティング用の反応体を均一に分散させるために、反
応体はヒータ３２の中央に直線状に配置された多数のス
プレー・チツプ１９から吐出される。

スプレー・チツプ１９はヒータ３２に面するように取り
つけられ、各スプレーはヒータによって実質的にさえぎ
られるようになる。

各スプレーの中心軸はヒータの主面に対して垂直である
のが好ましく、その中央部でヒータと交わることになる
。

コーティング用の反応体は霧ふき作用によってさらに分
散せられる。

流入するキャリヤガスはコーティング用の反応体の分散
を強めると共に蒸気とキャリヤガスが充分に混合される
ように吐出される。

各キャリヤガス分配プレート３３は多数の角度をつけら
れたスロット９１を有し、該スロット９１は加熱された
キャリヤガスを外向きにかつヒータ３２の縁から上方に
かつスプレー・チツプ１９の方に向けて吐出し、細かな
噴霧状のスプレーを分散させ、コーテイング用の反応体
および溶剤を蒸発させる。

蒸発したコーティング反応体と溶剤およびキャリヤガス
の混合物はついでヒータ３２の中央部を通り蒸気吐出管
３４を通って基体に送られる。

つぎの実施例により本発明の装置の有用性がさらに説明
される。

実施例 １ 前述の装置はフロート・バスと徐冷窯との間にあるガラ
ス細長体を横切るように配置されている。

巾が約１０フィート、厚さ１／４インチ（０．６４ｃｍ
）の連続したガラス細長体が該装置の下部を約２５０イ
ンチ／分（６．３５ｍ／分）の線速度で運ばれる。

ガラスは約８８％の可視光線の透過率を有する従来のソ
ーダ・ライム・シリカ系のガラスである。

コーティング溶液が準備され、該溶液は１ガロン（３．
８ｌ）あたりつぎのような組成を有している。

鉄アセチルアセトネート ５１０ｇ クロムアセチルアセトネート １５０ｇコバルトアセ
チルアセトネート ５５ｇメチレンクロライド １
ガロン（３．８ｌ）コーティング溶液は約１０ｐｓｉｇ
（０．７０ｋｇ／ｃｍ２Ｇ）の圧力、約７０°Ｆ（２１
℃）の温度で約０．２ガロン／分（０．７６／分）の割
合で溶液管１７に送られる。

噴霧用の空気は約５ｐｓｉｇ（０．３５ｋｇ／ｃｍ２Ｇ
）の圧力、約７０°Ｆ（２１℃）の温度で噴霧用のガス
供給管２３に供給される。

キャリヤである空気は約３８ｐｓｉｇ（２．７ｋｇ／ｃ
ｍ２Ｇ）、約１７０ＳＯＦＭの割合でキャリヤガスマニ
ホルド２６に送られる。

キャリヤである空気はプレヒータ２９内で約５００°Ｆ
（２６０℃）に加熱され、キャリヤガス分配プレート３
３を通る空気速度が約５〜１０フィート／分（１．５〜
３．０ｍ／分）でベーパライザ・チャンバ１４に送られ
る。

空気の顕熱は充分大きく、コーティング溶液を蒸発させ
、約４００〜４２０°Ｆ（２０４〜２１６℃）の範囲内
の温度の空気と蒸気の混合物をつくることができる。

加熱された油は約４１０°Ｆ（２１０℃）の温度ですべ
てのヒータに供給される。

しかしてベーパライザ・チャンバを通ってベーパ・マニ
ホルド３８およびノズル４３を通過するコーティング混
合物は約４１０°Ｆ（２１０℃）の安定した温度を有す
る。

ノズルの下にあるガラス温度は約１０５０°Ｆ（５６６
℃）である。

ノズル先端部と基体との間隔と、ノズル先端部の幅との
比は２である。

前述の条件ではノズル出口のレイノルズ数は５０００と
なる。

本装置によれば２０分間で２００平方フィート（１８．
６ｍ２）のガラスをコートすることができる。

このようにしてできるコーティングはガラス表面全面で
均一なものとなり、コートされたガラスの平均の可視光
線の透過率は４０％となり透過率の変化はガラスの端部
を除いて±２％以内のものとなる。

このようなコーティングは同じコーティング材料を用い
たスプレー・メソッドによってえられるコーティングよ
り均一なものとなり、さらに細かな粒状表面をうろこと
ができる。

実施例 ２ 実施例１の方法は数回繰返されるが、このばあい各例に
おけるいくつかのプロセス・パラメータが形成されるコ
ーティングに対する影響をみるために変えられる。

まず、この方法はレイノルズ数２５００を有する出口流
で繰返される。

このようにして生じるコーティングは本発明のより好ま
しい実施例よりややコーティング効率が低く平均の透過
率は５０％であるが、実施例１と同じくすぐれた品質の
ものである。

また、レイノルズ数２０００を有する出口流に変更した
ほかは同様にして実験を行なった。

このようにして生じるコーティングは前記実施例より薄
く、不均一になる。

平均の透過率は６０％でその範囲は±５％であり、建築
上適用することはできない。

さらに、レイノルズ数７０００の出口流についても実験
を行なった。

このようにして生じるコーティングは実施例１と同じよ
うなすぐれた品質のものである。

最後に、レイノルズ数５０００の出口流で２種類の方法
が行なわれた。

その一つはノズルと基体との間隔がノズル巾の０．９倍
であり、他はノズル巾の５倍である。

どちらの例においても生ずるコーティングは平却の透過
率が５０％以下でその変化範囲は建築上の使用に対する
限界特性を示す±３％内に入れることが充分にできる。

つぎに本発明の装置の実施の態様をあげる。

（１）前記加熱部材が、キャリヤガスと蒸発したコーテ
ィング反応体との混合物の温度を安定させるものであっ
て、該加熱部材はその温度が一定に維持され、混合物の
温度が低いぱあいには加熱部材の温度まで加熱し、混合
物の温度が高いばあいには該温度まで冷却するのに充分
な熱容量を有する特許請求の範囲記載のコーティング装
置。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のコーティング装置の部分断面見取図、
第２図はベーパライザ、マニフオルドおよびノズルの部
分断面図、第３図は第２図の３−３線断面図、第４図は
第３図の４−４線断面図、第５図はベーパライザ・チャ
ンバの拡大断面図、第６図はキャリヤガス分配プレート
の部分図である。 図面の主要符号、１１：ガラスシート、１２：ベーパラ
イザ・アセンブリ、１３：ベーパ分配アセンブリ、１４
：ベーパライザ・チャンバ、１９：スプレー・チップ、
２６：キャリヤガス・マニホルド、３２：ヒータ、３８
、ベーパ・マニホルド、３９：ベーパ・チャンネル、４
３ニノズル、４７：バス・チャンバ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １（１）チャンバ、 （２）該チャンバ内に、その主面によってチャンバ内を
   ２つのスペースに仕切るように配置されかつそれを通し
   て蒸気またはガスが第１のスペースから第２のスペース
   に通過しうるように構成されている加熱部材、 （３）前記チャンバの第１のスペース内に少なくとも一
   つのコーティング反応体からなるスプレーを該スプレー
   の軸が前記加熱部材の中央部でその主面と交わるように
   供給するための、チャンバ内に開口した吐出口を有する
   噴霧器、 （４）前記チャンバにキャリヤガスを導入するための入
   口、および該入口に対向するようにチャンバ内壁に取付
   けられたキャリヤガス分配プレートであって、該導入さ
   れたキャリヤガスを、前記スプレーが供給されるのと同
   じチャンバの第１のスペース内に、前記加熱部材の縁部
   から該スプレーの方向へ供給しうるような開口部を有し
   、その結果生じるガス状コーティング混合物が前記加熱
   部材の主面の中央部を通って第２のスペース内に流れる
   ようにされているキャリヤガス分配プレート、 （５）前記ガス状コーティング混合物を吐出し、該混合
   物を基体にふきつけるノズル、および （６）前記混合物を前記チャンバの第２のスペースから
   吐出する蒸気吐出管、および吐出された混合物を前記ノ
   ズルに供給するための部材 からなり、少なくとも一つのコーティング反応体からな
   るガス状混合物を基体にふきつけて該基体にコーティン
   グを施するように構成されてなるコーテテイング装置。