SE409337B - Forfarande och apparat for applicering av en beleggning pa ett upphettat underlag - Google Patents

Forfarande och apparat for applicering av en beleggning pa ett upphettat underlag

Info

Publication number
SE409337B
SE409337B SE7316812A SE7316812A SE409337B SE 409337 B SE409337 B SE 409337B SE 7316812 A SE7316812 A SE 7316812A SE 7316812 A SE7316812 A SE 7316812A SE 409337 B SE409337 B SE 409337B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
coating
carrier gas
gaseous mixture
temperature
substrate
Prior art date
Application number
SE7316812A
Other languages
English (en)
Inventor
J F Sopko
Original Assignee
Ppg Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ppg Industries Inc filed Critical Ppg Industries Inc
Publication of SE409337B publication Critical patent/SE409337B/sv

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23Oxides
    • C03C17/245Oxides by deposition from the vapour phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/001General methods for coating; Devices therefor
    • C03C17/002General methods for coating; Devices therefor for flat glass, e.g. float glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/453Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating passing the reaction gases through burners or torches, e.g. atmospheric pressure CVD
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/217FeOx, CoOx, NiOx
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/219CrOx, MoOx, WOx
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/23Mixtures
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/15Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/152Deposition methods from the vapour phase by cvd

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Description

lO 15 20 v25 EO 55 40 _ läggning på underlaget. 7316812-2 2.
I att anbringa förångade beläggningskompositioner på uppvärmda underlag vid atmosfärstryck, har vissa svårigheter uppstått. Det har varit svårt att erhålla beläggningar, som innefattar fina korn och äger likformigt utseende. Tjocka beläggningar har framställts genom att underlaget bringats till kontakt med en stråle av flytande material, men det har varit utomordentligt svårt, om inte omöjligt, att erhålla tämligen tjocka filmer uppvisande ljusgenomsläpplighet undertigande 50 procent med användning av känd ångfällningsteknik.
Förfaranden för fällning ur ångfas är tidigare kända. De mest kommersiella utföringsformerna av ângfällningsförfaranden utgöres av de, vilka genomföres vid betingelser av underatmosfäriskt tryck.
Ett antal tekniker har utvecklats för att öka filmfällningshastigheten nyttjande dessa tekniker, så har exempelvis elektriska fält, magnetfält samt radiofrekvens- eller mikrovågsexcitering använts för att öka momentet hos reaktantpartiklarna i ångbeläggningskompositioner vid deras anbringning. Dessutom har vågstyrorgan använts att rikta ångorna av beläggningskompositioner mot speciellt begränsade målområden. Se de amerikanska patentskrifterna 3 114 652 och 3 561 940.
Det har konstaterats, att likformigheten hos filmer, som beretts medelst kemisk ångfällning, samt hastigheten för kemisk ång- fällning eller filmuppbyggnad kan ökas avsevärt genom förångning av reaktanter i en gasformig bärare, varefter blandningen riktas mot under- laget, som skall beläggas.
En förångningsbar beläggningsreaktant dispergeras i ett gasfyllt utrymme och förångas utan väsentlig sönderdelning i det gas: fyllda rummet på grund av reaktantens nära kontakt med en varm bärar- fgas, som därefter för den förångade beläggningsreaktanten till kon- takt med ett varmt underlag och bringar reaktanten att fälla en be- Fördelarna med föreliggande uppfinning är speciellt uppenbara vid nyttjande av beläggningsreaktanter, som auto- katalytiskt sönderdelas vid temperaturer, som endast ringa överstiger deras effektiva förångningstemperaturer. Genom att dispergera dylika - reaktanter i gasformig fas elimineras den autokatalytiska verkan av viss isolerad sönderdelning helt och genom föràngning från en dimma eller rök av reaktant i gasen ökas förångningseffektiviteten tillräck- ligt för att vara praktisk vid lägre temperaturer, som precis ligger över reaktanternas kokpunkter. _ Enligt de föredragna utföringsformerna av uppfinningen löses reaktanten 1 ett lämpligt lösningsmedel, varefter lösningen sprutas in i en varm bärargas i syfte att förånga lösningsmedlet och reaktanten. - ___ 10 15 20 25 30_ 55 40 7316812-2 3 De reaktiva beläggningsmaterial, som föredrages för använd- ning enligt föreliggande uppfinning, innefattar pyrolyserbara organo- metallsalter av metaller ur grupperna lb till VIIb och ur grupp VIII i periodiska systemet. Föredragna organometallsalter innefattar beta- diketonater, acetater, hexoater, formiater och liknande. Acetylace- tonater av järn, kobolt och krom föredrages speciellt såsom reaktiva beståndsdelar i föreliggande beläggningskompositioner. Även om de beläggningsreaktanter, vilka föredrages för användning enligt uppfinningen, utgöres av pyrolyserbara material, kan andra typer av reaktanter också användas. Så kan exempelvis hydrolytiska reaktanter såsom fluorerade betadiketonater,-speciellt acetylacetonater, och metalldikumener användas. Även reaktanter, vilka kräver närvaron av väsentliga mängder andra samverkande reaktanter såsom syre, väte, halogener eller liknande, kan nyttjas. Som redan angivits innefattar det föredragna förångningssättet ett första lös- ningssteg, varför använd reaktant eller reaktanter bör vara lättlösliga i ett lämpligt lösningsmedel.
Ett flertal alifatiska och olefinkolväten och kolhalogener är lämpliga som lösningsmedel för genomförande av angivna sätt. En komponents lösningsmedelssystem, speciellt ett lösningsmedelssystem nyttjande metylenklorid, användes effektivt i föreliggande uppfinning.
Lösningsmedelssystem nyttjande två eller fler lösningsmedel har även konstaterats vara speciellt användbara. I Några representativa lösningsmedel, vilka kan användas enligt föreliggande uppfinning, innefattar: metylenbromid, koltetra- klorid, koltetrabromid, kloroform, bromoform, l,l,l-trikloretan, perkloretylen, l,l,l-trikloretan, dikloriodmetan, l,l,2-tribrometan, trikloretylen, tribrometylen, triklormonofluoretan, hexokloretan, l,l,1,2-tetraklor-2-kloretan, l,l,2-triklor-1,2-dfldoretan, tetrafluor- brometan, hexaklorbutadien, tetrakloretan och liknande.
Också andra lösningsmedel kan användas, speciellt i form av blandningar av ett eller fler organiska polära lösningsmedel, exempelvis en alkohol innehållande 1 till 4 kolatomer samt en hydroxi- grupp och en eller fler aromatiska icke-polära föreningar såsom bensen, toluen eller xylen. Flyktigheten hos dessa material gör deras använd- ning något svårare än nyttjande av den ovan angivna gruppen av före- dragna halogenerade kolväten och kolhalogener men de äger viss ekono-' misk användbarhet. _ I Enligt en föredragen utföringsform av uppfinningen riktas en lösning av ett reaktivt organometallsalt i ett organiskt lösnings- medel mot en förångningskammare. Förångningskammaren är konstruerad 10 15 20 25 30 55 40' ~ _rikta ångorna mot underlaget.____” 1316812-2 för att giva ett uppvärmningselement, som värmer upp utrymmet omgivande elementet till en temperatur, som är tillräcklig för att förånga belägg- ningslösningen i utrymmet i stället för att endast förånga den vätska, som föreligger i kontakt med själva uppvärmningselementet. En bärar- gas riktas tvärsöver och bort från värmaren för att uppfånga belägg- ningskompositionen för att inblandas med den i syfte att öka dess för- ångningshastighet och föra ångorna genom uppvärmaren till underlaget, som skall beläggas. I c Å Ångor av lösningsmedel och reaktivt organometallsalt riktas É från förångningskammaren till ett långsträckt samlingsrör, som är an- ordnat tvärsöver bredden av ett uppvärmt underlag, som skall beläggas.
Ett långsträckt munstycke är kopplat till detta samlingsrör för att Enligt en föredragen utföringsform beskriven i amerikanska patentskriften 3 888 649 uppvisar det långsträckta munstycket som mins- ta tvärsnitt en likformigt konvergerande form för att åstadkomma i huvudsak kontinuerlig acceleration av gränsskikten i ångan, som passe- rar därigenom. Munstyckets största tvärsnittsdimension är något mindre än motsvarande underlagsbredd så att ett underlag, som placeras med ytan vänd mot munstycket, sträcker sig bortom munstyckets största di- mension vid dess båda ändar. Detta förhållande tillförsäkrar om upp- rätthållande av ett huvudsakligen likformigt tryckfall utmed mun- styckets största dimension och förhindrar läckage av en oproportionellt stor mängd ångor riktade genom munstycket vid varje ände av munstycket och följaktligen står hela ångmängden i god kontakt med underlaget." Sidan av munstycket, som är vänd mot ett underlag, som skall beläggas, är belägen på sådant sätt i förhållande till ett stöd för underlag, vilka skall beläggas, att avståndet mellan munstyckssi- dan och ytan närmast denna under beläggningsförfarandet är minst 0,5 gånger bredden av munstycket vid dess utgång. Företrädesvis är förhål- landet avstånd-munstycksbredd minst 0,65 och ligger mer speciellt mel- lan 0,9 och 5. Enligt de mest föredragna utföringsformerna ligger för- hållandet mellan 1,25 och 5. 5 5 Evaporator eller förångningsanordning och samlingsrör 1 beläggningsanordningen enligt uppfinningen drives vid tillräckligt tryck för att orsaka ångflöde genom munstycket vid ett Reynoldstal av minst 2.500 och företrädesvis minst ca 5.000 i syfte att tillförsäkra om snabb, effektiv och likformig fällning av beläggningen. Detta be- skrives i den amerikanska patentskriften 5 850 679.
Anordning och sätt enligt uppfinningen kan nyttjas för att 10 15 20 25 30 55 40 7316812-2 anbringa beläggningar på ett flertal mottagliga underlag. Eldfasta underlag, exempelvis glas, glaskeramik, keramiska material, porslins- belagda metaller och liknande är särskilt lämpade att beläggas enligt föreliggande uppfinning. Ändra material som till exempel metaller, plastmaterial, papper och liknande kan också beläggas enligt uppfin- Speciellt är uppfinningen användbar för att belägga planglas De resulterande plana metall- ningen. med transparenta metalloxidbeläggningar. oxidbelagda glasföremâlen har-konstaterats äga särskild användbarhet för arkitekturella tillämpningar.
Engl även delperspektivvy, bortskuren, av den föredragna anordningen för föreliggande uppfinnings utförande, visande flödena av ångor och andra fluider använda enligt uppfinningen.
Fig. 2 är en delsektionsvy av föredragen evaporator, sam- lingsrör och munstycke enligt föreliggande uppfinning och visade i kombination med en skiva floatglas uppburen så att den är vänd mot munstycket. _ Fig. 3 är en delsektionsvy genom en föredragen anordning tagen längs snittlinjen 3-3 i fig. 2.
Fig. 4 är en delsektionsvy av evaporatorn enligt uppfin- ningen tagen längs snittlinjen 4-N i fig. 5 och visande det speciella förhållandet mellan det däri ingående uppvärmningselementet och kammar- utrymmet med dess inlopp. utlopp och mellanläggsanordningar för att åstadkomma förångning av beläggningskompositionerna, vilka användes enligt uppfinningen, i utrymmet i kammaren 1 stället för att giva för- 'ångning vid kontakt med själva uppvärmningselementet.
Fig. 5 är en förstorad tvärsnittsvy genom en föredragen förångningskammare enligt uppfinningen visande en lämplig fördelare för bärargas för att rikta en bärargas in i en stråle av reaktant or- sakande dess dispergering och förångning.
Fig. 6 är en delvy av fördelningsplattan för bärargas en- ligt uppfinningen tagen längs snittlinjen 6-6 i fig. 5. _ Vid uppfinningens utförande utgöres bärargasen företrädes- vis av luft. Luft verkar icke endast som en bärare utan tillför även syrgas noggrant blandad med den förångade metallreaktanten, exempelvis metallacetylacetonat, för att reagera med metallreaktanten i kontakt med en varm glasyta och därvid fälla en metalloxidfilm.
Luft tillföres företrädesvis evaporatorn vid en temperatur, som är tillräcklig att tillföra värme för att förånga lösningsmedlet, som innehåller metallreaktanten. Enligt en föredragen utföringsform hålles luft-ångblandningens temperatur vid ca 204 till 21600 för av- 10 15 20 25 30 '35 40 , stycken samt ångbeläggningskammare. 'ramsan-z f' 6 givning från evaporatorn. gVarm olja tillföres uppvärmningselementet för att hålla det vid ca 21000. Bärarluften uppvärmes till ca 260°C och finfördelningsluften och metallreaktanthaltigt lösningsmedel till- föres vid en temperatur av ca 2l°C.
Det finfördelande luftflödet är negligerbart i jämförelse med flödet av bärarluft och tillföres via sin ledning vid ett övcrtryck av ca 0,14 till 0,70 och företrädesvis ca 0,35 kp/omg.
,Bärarluften tillföres via sina ledningar vid övertryck av ca 3,5 till 7,1 kp/cme och företrädesvis ca 4,2 xp/cmz. Hascighetea hos den bärarluft, som sveper över_uppvärmningselementet från öppningar- na i luftfördelarplattorna är ca 1,5 till 3,0 meter per minut. Volym- flödet tillförd bärarluft överstiger det minimum, som är nödvändigt för att hålla ångorna i ångfas. Det innebär att mängden tillförd bärarluft är tillräcklig för att relativ fuktighet hos bärargasen i förhållande till metallreaktant och lösningsmedel skall förbli lägre än mättnad (100 %) genom hela evaporatorn, samlingsröret och mun- Bärargasen tillföres vanligen i en mängd, som överstiger minimum för mättning med en sådan mängd att 'den relativa mättnaden är lägre än 95 procent och företrädesvis lägre än 85 procent. Blandningen är företrädesvis mättad till minst 50 procent.
Den minimimängd luft, som är nödvändig för att innehålla reaktanter och lösningsmedel, kan bestämmas ur konventionellt kända förhållanden och ångtryck för ideala gaser samt ur molekylviktsinforma- tion avseende de speciella reaktanter och lösningsmedel, vilka användes.
De relativa mängder lösningsmedel och reaktant, vilka måste förångas, kan lätt erhållas genom löslighetsinformation och öns- kat totalt reaktantflöde i närheten av underlaget i syfte att uppnå en önskad beläggningstjocklek med beaktande av förväntad temperatur hos underlaget och följaktligen också reaktionen. ' Föreliggande uppfinning förstås bättre mot bakgrund av den detaljerade beskrivningen över anordning och sätt, som följer.
' Med hänvisning till fig. I anordnas ett underlag, exempel- vis en glasskiva ll, för beläggning. Glasskivan ll uppbäres vanligen, företrädesvis i horisontalplanet, och uppbäres av organ, vilka kan förflytta eller transportera glasskivan ll utmed en bana, såsom an- gives med pilen i nedre högra delen av fig. l. Beläggningsanordningen enligt uppfinningen är monterad vänd mot glasskivan ll och innefattar ett evaporator- eller förångningsaggregat 12 samt ett ångfördclnings- aggregat 13.
Förångningsaggregatet l2 innefattar en förångningskammare 10 15 20 25 30 35 40 7316812-2 7 14, som enligt en föredragen utföringsform av uppfinningen, innefattar en cylindrisk kammare innehållande element för att förånga reaktanterna, vilka element beskrives närmare ï det följande. Förångningsaggregatet 12 innefattar vidare organ för att tillföra en reaktant 15 samt organ för att tillföra en bärargas 16.
En reaktant föres via en lösningsledning 17 till en serie av lösningsmatarledningar 18, var och en kopplad till en sprutspets 19 med utloppsöppning belägen på insidan av förångningskammaren 14. Lös- ningsledningen 17 omgives av en kylmedelsledning 20, som är uppdelad i främre och returflödespartier medelst en mellanvägg 21. Finfördel- ningsgas, företrädesvis luft, tillföras varje sprutspets 19 via en serie finfördelningsmatarledningar 22, varvid samtliga dessa är kopp- lade till en ledning 23 för finfördelningsgas.
Hela tillförselorganet 15 för reaktant är monterat på för- ängningskammaren 14 medelst en serie hattar 24, vilka omgiver ledningar- na ooh medelst bultar eller andra organ kopplade till en serie beslag 25 svetsade till förångningskammaren 14.
Tillförselorganen 16 för bärargas innefattar ett samlings- rör 26 för bärargas monterat på förångningskammaren 14 medelst en hållare 27. En serie matarledringar 28 för bärargas är monterade till samlingsröret 26 för bärargas, varvid varje dylik ledning är kopplad till en förvärmare 29 för bärargas, som i sin tur är kopplad till för- ångningskammaren 14 på sätt så att den värmda bärargasen kan riktas in i kammaren. Förvärmarna 29 utgöres företrädesvis av elektriska mot- ståndsuppvärmare, varvid var och en uppvisar ett elektriskt effektut- tag 30 kopplat till en källa av reglerad elkraft (icke visad).
I Förångningskammaren 14 kan vara av enkel struktur men för det fall den uppvisar förlängd längd är den företrädesvis av modulkon- ~struktion med en serie av tämligen korta förångningskammare l4 kopplade ände-till-ände medelst förångningskammarekopplingar 31, vilka samman- låser de individulla kamrarna.
Inuti förångningskammaren 14 finnes element för att för- ånga en reaktant och andra material som exempelvis ett lösningsmedel.
' En värmare 32 är monterad i föràngningskammaren 14 på sådant sätt att kammaren är delad i två delar, varvid allt inkommande material kommer in i den ena delen och från den andra avgår utströmmande ångor._ Vär- maren 32 är så konstruerad att ångorna kan passera genom den från in- gångsdelen till utgångsdelen av förångningskammaren 14. Én föredragen värmare utgöres av en kylfläns- och rörvärmeväxlare, varvid ett termiskt reglerat värmeväxlarfluidum tillföres dess rör. 10 15 20 25 30 35 40 1316812-2 3 8 Värmaren 32 är monterad i kammaren 14 på beslag, vilka effektivt också utgör fördelningsplattor 33 för bärargasen, svetsade eller på annat sätt kopplade till kammarens 14 innerväggar. Fördel- ningsplattorna 33 för bärargasen är så formade och kopplade till kammaren 14 att ett inneslutet samlingsrörutrymme bildas mellan varje platta 33 och den nära åtskilda kammarväggen. Fördelningsplattorna 33 för bärargasen är försedda med en serie öppningar, som medgiver fritt flöde av gas ut i ingångsdelen av förångningskammaren 14 där gasen blandas med sprutad reaktant och lösningsmedel, som förångar dem.
Den gasformiga blandningen, vilken innehåller en reaktant i förångningskammarens 14 ingångsdel, passerar genom värmaren 32, som inställer eller noga reglerar temperaturen hos blandningen, vilken inkommer i förångningskammarens 14 utgångsdel. Värmaren 32 uppvisar företrädesvis hög värmekapacitet i förhållande till massan av ström- mande gasformig blandning så att termisk stabilitet säkerställas. För .det fall att blandningen är alltför varm avkyler värmaren den, I förångningskammarens 14 utgângsdel finnes en serie ång- utloppsledningar 34, som sträcker sig utåt genom förångningskammarens 14 vägg och uppvisar många inloppsöppningar nära deras inre ändar.
Den inre änden hos varje ångutloppsledning 34 är företrädesvis täckt med ett paraply 35 som avböjer eventuellt finfördelat material, som inkommer i kammaren eller bildas i kammaren, varvid materialet hindras från att igensätta ångutloppsledningen. 6 En värmare 36 för avgiven ånga omgiver ångutloppsledningar- na 34. Värmaren 36 för ångutloppet uppvisar tvâ håligheter, en in- loppshålighet samt en returhälighet, vilka är förbundna med ett system för återcirkulering av värmeväxlarfluidum (icke visat)Å Vid drift cirkuleras varmt fluidum, exempelvis olja, genom värmaren 36 för av- given ånga för att reglera temperaturen hos den gasformiga blandning, som avgives från förångningskammaren 14.
En koppling 57, företrädesvis en böjlig koppling, är för- bunden med varje ångutloppsledning 34, vilken koppling förbinder för- ångningsaggregatet 12 med ångfördelningsaggregatet l3. Ångfördelnings- aggregatet 13 innefattar ett ångsamlingsrör eller en -kammare 38 upp- visande tvâ ångkanaler 39 åtskilda medelst en skiljevägg 40 och mantla- de med inre och yttre värmereglerande fluidumhåligheter 41 och 42. Vid drift cirkuleras varmt fluidum, exempelvis olja, genom de inre och, yttre håligheterna för att reglera temperaturen hos den gasformiga blandning, som strömmar genom ångkanalerna 39.
Samlingskammarens 38 ångkanaler 39 mynnar i munstycken 43, företrädesvis konvergenßfiß munstycken. Varje munstycke innefattar mot- 10 15 20 25 50 35 40 _ stycket 43 mot underlaget ll. 7316812-2 stående munstycksväggar 44 förbundna med kammaren 38. Företrädesvis är varje munstycksvägg 44 försedd med en hålighet 45, genom vilken varmt fluidum, exempelvis olja, kan riktas för att exakt reglera tem- peraturen hos en gasformig beläggningsblandning, som riktas genom mun- Oljan, som cirkulerar genom håligheterna 45, bortför vanligen värme och hindrar väggarna 44 från att deformeras.
Föreliggande beläggningsanordning och sätt kan användas i kombination med ett flertal andra förfaranden och underlag, som exem- pelvis vid pappersframställning, valsning av plåt eller liknande. Före- liggande sätt kan nyttjas att belägga ett kontinuerligt band eller en serie av avskilda eller separata underlag. Enligt de föredragna ut- föringsformerna av uppfinningen belägges ett kontinuerligt planglas.
Detta kan utgöras av planglas framställt enligt gjutglas- förfarandet, enligt vilket som helst maskinglasförfarande-(förfarande enligt Colburn, Fourcault eller Pittsburgh Pennvernon) eller medelst en float-metod. Föreliggande uppfinning kan effektivt användas att anbringa en beläggning på ett underlag i ett vertikal-, horisontal eller på annat sätt orienterat plan och denna egenskap är särskilt värdefull och unik för uppfinningen.
Enligt en speciellt föredragen utföringsform av förelig- gande uppfinning belägges ett nyformat band av floatglas. Bandet kan med lätthet beläggas på endera huvudytan enligt föreliggande uppfinning och följande beskrivning avser beläggning av glasbandets övre yta.
Hänvisning göres till fig. 2, 3 och 4 såväl som till fig. 1, vari anordningen enligt uppfinningen kan observeras i en speciellt föredragen omgivning utgörande rummet mellan ett floatformande bad och en kylugn.
Ett kontinuerligt glasband ll visas på ett bad av metall- smälta 46, exempelvis smält tenn, innehållet 1 en badkammare 47 inne- fattande eldfast botten och sido- och överväggar 48 omgivna av metall- inklädning 49.
Bandet ll lyftes från metallsmältan 46 vid badkammarens 47 utgångsände på utlyftningsvalsar 50, vilka är lämpligt lagrade och drives av konventionella valsdragande organ kopplade till en driv- motor (icke visad). Kolblock 51 är fjäderbelastade och pressar mot bottnen av de roterande valsarna 50 i syfte att avlägsna material, som kan komma att fällas på valsarna. Kolblocken 51 uppbäres inom en eld- fast förlängning av badkammaren 52. Material, som avlägsnas från val- sarna och faller ned i denna förlängning 52, kan med lätthet avlägsnas »på intermittent basis. ? vzt1ea12-2 10' v15 20 25 BO 35 40 ' närliggande kylugnen. 10 _ Glasbandet ll föres in i en kylugn 55 med ett flertal kyl- valsar belägna däri. Konventionella drivorgan ordnas för rotation av valsarna 54. Varje kylvals 54 utövar en dragkraft på glaset av till- räcklig storlek att föra glaset genom kylugnen, vari dess temperatur regleras för att frigöra permanent påkänning och spänning i glaset.
Valsarna 54 utgör en del av ett organ för att transportera nybildat floatglas från floatbadkammaren 47 genom en förångningsbeläggnings- kammare 55 samt därefter genom kylugnen 53.
Atmosfären i badkammaren 47 utgöres av en reducerande atmos- fär innehållande kvävgas samt en ringa mängd vätgas för att tillför- säkra om att oxidation av metallsmältan 46 undvikes. Vanligen inne- håller atmosfären ca 90 till 99,9 procent kvävgas, varvid resten ut- göres av vätgas. Atmosfären hålles vid ett tryck, som något överskri- der omgivande tryck, exempelvis 2,5 till 12,5 mm vattenpelare, för att i huvudsak förhindra intrång av omgivande atmosfär i badkammaren 47. _ I syfte att upprätthålla atmosfären och medgiva glasbandets passage från badkammaren 47 är badkammarens utgångsände försedd med en serie gardiner eller draperier 56, som styres på glasbandet och tjänar som organ för att skilja den något komprimerade atmosfären i förång- ningsbeläggningskammaren 55 från badkammaren 47. Dessa draperier eller .gardiner 56 är vanligen framställda av böjligt asbest- eller fiberglas- Kmaterial, som icke skadar glaset och motstår omgivande temperatur, dvs. 7 en temperatur av ungefär 558 till 64800.
Ytterligare draperier eller gardiner 57 av liknande material anordnas vid ingången av kylugnen 55, varvid de senare draperierna tjänar som organ för att skilja kylugnen 55 från förångningsbeläggningskammaren 55. Ångbeläggningskammaren 55 är försedd med vakuumkåpor 58 med inlopp anordnade både uppströms, nära badkammaren; och nedströms I Vakuumkåporna 58 sträcker sig vertikalt uppåt till ett par utloppsrör 59 och är tillräckligt åtskilda för att åstad- komma erforderligt utrymme för uppbärande av I-balkar 60 och för ång- beläggningsanordningen innefattande förångningsaggregatet l2 och ång- fördelningsaggregatet 15 tillika med tillhörande utrustning. Vakuum- kåporna 58 är rörligt uppburna på I-balkarna 60 medelst hjul_61, vilka vilar överst på I-balkarna 60. I-balkarna är anordnade tvärsöver banan för glasbandet ll, som rör sig från badkammaren 47 till kylugnen 55. _ Vakuumkåporna hålles i åtskilt förhållande medelst ett kryssförband 62.
Utloppsrören 59 är monterade på hållare 63, på vilka hjul 64 är mon- terade, vilka hjul vilar på spår 65 tillhörande en stödjande överlig- gande balk 66. Hela vakuumkåpaggregatet innefattande vakuumkåporna 58 och utloppsrören 59 kan förflyttas tvärgående i förhållande till glas- 10 15 20 25 BO 35 40 77316312-2 ll bandets ll bana 1 syfte att fullständigt bortföra aggregatet från flytlinjen för underhåll och reparation. Detta bortförande åstad- kommes genom att aggregatet bringas att röra sig utmed balkar 60 och 99 samtidigt som det roterar på stödhjulen 61 och 6Ä. Ångbeläggningsaggregatet stödes i ångbeläggningskammaren 55 av I-balkar 60 medelst en stödhållare 67. stödhjul 68 för àngbe- läggningen är monterade på stödhàllaren 67. Stödhjulen 68 för ång- beläggningen vilar på I-balkar 60 och en av dessa uppvisar ett därpå monterat spår 69. Formen av spåret 69 och det därmed samverkande stöd- hjulet 68 är sådan att sidorörelse av aggregatet i förhållande till spåret och I-balkarna förhindras. Ängbeläggningsaggregatet innefattar, förutom förångnings- aggregatet 12 och ångfördelningsaggregatet 13, en mekanisk struktur för att uppbära dessa manöverelement. Denna mekaniska struktur inne- fattar en motor 70 och domkrafter 71 för att höja och sänka aggre- gatet i syfte att placera det närmare eller längre bort från under- laget, vilket skall beläggas.
. Tvärarmar 72 för ångbeläggning nedhänger från ångbelägg- ningens stödhållare 67. Ett motorstöd 75 och domkraftstöd 74 ärw monterade på tvärarmarna 72. Motorn 70, företrädesvis en likströms- motor med varierbar hastighet, är monterad på motorstödet 73. En drivaxel 75 är kopplad till denna motor 70, vilken axel i sin tur är kopplad till skruvdomkrafter 71. I varje domkraft 7l finnes en lämp- lig växel för att driva en skruvaxel i vertikal rörelse. _ Skruvaxlar 76 är förbundna med drivaxeln 75 via domkrafter 71 kopplade till ett drev. Genom att driva drivaxeln 75 medelst mo- torn 70 bringas skruvaxlarna 76 att röra sig vertikalt för att höja och sänka ångbeläggningsaggregatet. Byglar 77 är monterade på skruv- axlarna 76. Stödarmar 78 är kopplade till och nedhänger från byglar- na 77. vilka armar är förbundna med kryssplattor 79.
Ett förångningsbágstöd 80 är monterat på kryssplattorna 79, varjämte förångningskammaren 14 medelst bultar eller andra organ är kopplad till detta stöd.
Som kort beskrivits ovan kräves enligt ett föredraget ut- förande av uppfinningen att en bärargas, företrädesvis luft, tillföres förångnkgskamnnren 14 för att blanda sig med den finfördelade strâlen av beläggningskomposition, som utgår från strålmunstycksspetsarna 19 i syfte att öka förångningshastigheten hos beläggningsmaterialet och för att sedan föra blandningen genom värmaren 32 i syfte att ytter- ligare värma kombinationen för slutlig leverans till underlaget, som skall beläggas. Bärargasen tillföras förångaren från samlinsrör 26,_ lO 20 25 30 35 40 .ångningsbågen. 1316312-2 12 vilka företrädesvis utgöres av rör, som monterats på aggregatet medelst hållare 27. En böjlig slang 28 är kopplad till bärargassamlingsröret 26 och riktas genom värmeelement 29 till kopplingsdetaljer, vilka passerar genom förångningskammarens 14 vägg och mynnar i det utrymme, som bildas av luftfördelningsplattorna 33 och förångningskammarens vägg. Effekt tillföres värmarna 29 från en elektrisk ledning 81, som passerar genom en stödjande fördelningsledning 82 monterad på hållarna 27 och 83.
De inre detaljerna hos förângaren 12, vilken företrädesvis användes vid genomförandet av uppfinningen, har redan givits i samband med fig. l och upprepas därefter icke här.
De strukturella egenskaperna hos den för närvarande före- dragna anordningen framgår av fig. 2, 3 och 4. Icke omsatt eller över- skottsbeläggningskompositionsångor och bärargas, avgivna från mun- styckena 43 mot underlaget ll fyller ångbeläggningskammaren 55. Icke omsatta ångor och gaser avlägsnas från kammaren medelst vakuumkåpor 58.
I syfte att nedbringa uppbyggnaden av fällningar till ett minimum eller till och med undvika den på oregelbundna konstruktionsytor, som kan resultera i avflagning och nedfall på underlaget ll orsakande defekter, är ångbeläggningsaggregatet inkapslat i ett ångbeläggnings-9 skydd 84. Ångbeläggningsskyddet 84 kan förses med armeringsplåtar 85.
Det är kopplat till beläggningsaggregatet genom förbindning med tvär- plattorna 79. Tvärplattorna 79 är, som tidigare angivits, kopplade till stödaggregatet 78 och är vidare kopplade till stödet 80 för för- Som tidigare beskrivits är förångningskammaren 14 8 kopplad till stödet 80 för förångningsbågen. Tvärplattorna 79 är försedda med åtkomsthål 86. Utrymmet mellan ångbeläggningsskyddet 84 och ångsamlingsröret 38 är företrädesvis fyllt med värmeisolering 87, ekempelvis mineralull, asbest eller liknande. _ Som visas 1 fig. 3 kan ett ångbeläggningsaggregat uppvisa modulstruktur i syfte att överbrygga hela bredden av ett konventionellt format.glasband. Modulform föredrages för lätt underhåll och repara- tion av utrustningen. Individuella förångningskammare 14 med lämplig utrustning kopplas tillsammans för att bilda ett aggregat, som över- bryggar bandets hela bredd. . t Även om förångaren 14 kan uppvisa modulform består ångför- delningssamlingsröret 38 och ångmunstyckena 43 företrädesvis av enkla enheter. På detta sätt fördelas ångorna likformigt tvärsöver bredden av det underlag, som skall beläggas. I Beläggningsångorna fördelas likformigt utmed underlaget - medelst ångsamlingsröret eller -kammaren 38.7 Den tvärgående längden 10 15 20 25 50 35 40 7316812-2 13 av samlingskammaren eller -röret 38, som överbryggar bredden av ett glasband, som skall beläggas, är mycket större än samlingsrörets bredd. Ångsamlingsröret 38 innefattar ett flertal ångkanaler, som är långsträckta och skilda från varandra vid utgàngsändarna men mötes i en gemensam kanal vid deras ingångar. Mångfalden kopplingar 37, vilka bringar ånger från förångaren 14 till samlingsröret 38, är kopp- lade till samlingsröret 38 utmed ingången för den gemensamma kanalen.
Varje_ångkanal 39 kan företrädesvis vara konstruerad med minst två motstående krökar så att rörelsebanan för àngor, vilka pas- serar genom kanalen, måste ändra riktning åtminstone två gånger. På detta sätt ökas likformighcten hos ångfördelningen utmed kanalens längd. Även om mellanväggar kan anordnas i kanalerna i syfte att ytterligare hejda ångflödet och fördela ångan utmed kanalernas längd föredrages den enkla utformningen utan mellanväggar men med förändrad flödesriktning. I den föredragna utföringsformen finnes icke nâgra stagnationsområden och icke några utskjutande kroppar, som kan skapa virvelströmmar av avsevärd storlek.
Håligheter 41 och 42 omgiver ângkanalerna 39 för att inne- hålla ett uppvärmnings- eller kylfluidum, alltefter önskan. Dessa kammare 41 och 42 sträcker sig utmed ångsamlingsrörets 38 längd och är kopplade till en källa av uppvärmnings- eller kylfluidum (icke visad).
Enligt den föredragna utföringsformen tillföres kamrarna varm olja.
Munstycksväggdelar ÄÄ är kopplade till ängsamlingsröret 58, vilka väggdelar bildar munstycken 43, som riktar den förångade belägg- ningskompositionen och bärargasen mot underlaget ll, som skall beläggas.
Munstyckena 43 är långsträckta och ser i planvy ut som slitsar. Före- dragna munstycken avsmalnar avsevärt från ingång till utgång. Kon- traktionen hos varje slits är sådan att ånga, som passerar genom slitsen kontinuerligt accelereras utmed slitsens längd, På detta sätt nedbringas' gränsskiktet av àngor närliggande slitsväggen till ett minimum och slitsens omkrets vätes likformigt av ångorna så att utgående àngor likformigt och jämnt riktas mot underlaget. Munstyckena kan känne-8 tecknas av ett kontraktionsförhållande, som utgör förhållandet mellan inlopps- och utloppsyta. Föredragna flödesbetingelser för att uppnå effektiv och likformig beläggning beskrives i det följande och beskrivna betingelser definieras som de betingelser, som råder vid munstyckenas utgångsände. Föredragna munstycken beskrives i den amerikanska patent- skriften 3 888 649”. I _" å Varje ångkanal 39 uppvisar företrädesvis en volym, som är minst lika med ca 6 gånger kanalens volymetriska gencmströmning 10 15 20 25 '30 o 35 o 404 7316912-2 'fördela likformigt ångan utmed samlingsrörets 38 längd. 14 per minut. åGenom denna förmåga att uppehålla ångor strömmande genom kanalen tjänar kanalen såsom en lugnande sektion för utjämning av resthastighetsvariationer resulterande från flödet av separata strömmar utgående från de böjliga kopplingarna 37. Som tidigare nämnts åter- orienterar företrädesvis ångkanalerna 39 ångflödet och tenderar att Form och storlek av ångkanalerna 59 observeras samverka med formen av munstycke- na 43. För det fall kontraktionsförhållandet för munstyckena ökas, särskilt överstigande ca 5 till 6, kan ångkanalernas 39 kapacitet eller volym minskas utan skadlig effekt. _ 4 Varje munstycke 43 består av två delar 44, var och en upp- visande en krökt yta och koopade till samlingsröret 38 med sina krök- ta ytor vända mot varandra. Varje del kan vara försedd med en kanal 45 för ett fludium, exempelvis varm olja, i syfte att reglera tcnmera- turen hos ångor och gasa som avgives. I den föredragna utföringsformen passerar varm olja genom parallella kanaler 45 och därefter genom kanaler 41 och 42. Temperaturen hos oljan rinnande till och från mun- styckena kan mätas och den temperatur, som från dessa mätningar beräk- nas att utgöra munstyckstemperaturen, är den temperatur, vilken nyttjas .vid definition av ångflödesbetingelser vid varje munstycksutgång.
De krökta ytor, som bildar munstyckenas flödesområden, är jämnt bearbetade i syfte att undvika mycket små hinder eller repor, som skulle giva ång- och glasflödet lokala störningar. Enligt en föredragen utföringsform är munstycksdelarna framställda av bearbetat vstål eller annan basmetall och de krökta innerytorna är pläterade medå en lättarbetad metall, som exempelvis guld eller annan ädelmetall. En metallytfinish av minst ca 15 x lO'3 mm och företrädesvis ca74 x l0'3 mm är tillfredsställande. När kontraktionsförhållandet är tillräckligt stort kan metallfinishen vara mindre likformig utan någon resulterande verkan. I ' R 4 Krökningen hos munstyckets innerytor är sådan att krök- ningsradien är minst vid ingången och störst (närmande sig oändligheten) vid utgången. Enligt den mest föredragna utföringsformen ökar krök- ningsradien monotont (och företrädesvis konstant) som en funktion av avståndet från ingången i riktning mot munstyckets utgång. För lätt konstruktion av anordningen är munstycksdelarna 44 bearbetade till avgjort olika radier i separata områden utmed munstyckets banlängd.
Varje område är jämnt bearbetat i syfte att övergå i det nästföljande.
Munstycksdelarnas utgångskanter utgör företrädesvis skarpa, väl avgränsade hörn så att underlaget, som är vänt mot ett parti av lO 15 20 25 30 b. u. 40 15 731-6812'2 munstycksdelarna, icke vätes av utgående ångor och gas.
Detaljerna hos föreliggande uppfinning framgår ytterligare med hänvisning till fig. 5 och 6 förutom till fig. l. Förångnings- kammaren 14 är en cylinder och värmaren 32 är monterad däri. Värmaren 32 kan i stort sägas dela kammaren 14-i två inneslutna utrymmen. Ut- rymmet ovanför värmaren 32 utgör ett ingångs-, blandnings- och förång- ningsutrymme, varjämte utrymmet under värmaren utgör ett temperatur- och koncentrationstabiliserande rum tillika med ett utgångsutrymme.
Värmaren 32 är ett uppvärmningsorgan försett med så små hål så att ångor och gaser kan passera därigenom från ett slutet kam- mareutrymme till det andra. Enligt en föredragen form utgör värmaren en kylfläns och rörvärmeväxlare liknande de, som vanligen användes så- som kondensatorer för luftkonditioneringsanordningar. Vid drift till- föres rören i värmeväxlaren ett uppvärmningsfluidum. Hören uppvärmes sålunda och medelst värmeledning uppvärmes också kylflänsarna. Värme kan därefter föras till den omgivande kammaren och till ångor och gaser, som passerar genom värmearen från det slutna ingångsutrymmet till det slutna utgångsutrymmet.
Värmeväxlarfluidum, företrädesvis varm olja, tillföres värmaren 32 via en inloppsledning 88. När värmeväxlarfluidet passerat igenom värmaren 32 föres det till ångutloppsvärmaren 36 medelst en överföringsledning 89 och från värmaren 36 för avgiven ånga återföres fluidet till en avlägsen reservoar via utloppsledningen 90. 'Alterna- tivt kan värmeväxlarfluidet strömma i motsatt riktning. Som tidigare angivits är syftet med värmaren 32 att stabilisera temperaturen hos blandningen av luft och förångad reaktant (tillika med lösningsmedel enligt den föredragna utföringsformen) snarare än att åstadkomma för- ångningsvärme. Värmaren uppvisar sålunda hög värmekapacitet i för- hållande till den värme, som kräves för att något påverka blandningens temperatur. Värmarens temperatur hålles vid den önskade temperaturen för avgivning av ångor, varför värmeöverföringen till ångorna dirves av en avtagande liten temperaturgradient. Resultatet blir att ångor av nära icke-varierande temperatur levereras från kammaren via ång- avgivningsledningarna 34. För det fall gasblandningen är alltför varm avkyler värmaren 32 den.
För att likformigt dispergera en beläggningsreaktant spru- tas reaktanten från ett flertal sprutspetsar 19 monterade utmed en linje halvvägs mellan värmarens 32 marginella kanter. Sprutspetsarna 19 är monterade vända mot värmaren 32 så att varje sprutomgivning, för det fall den tilläts förbliva opåverkad, i huvudsak skulle uppsnappas av värmaren. Centrumlinjen av varje sprutomgivning är företrädesvis 10 15 ao 25 :om 55 40 1z1ísa12-2 t i 16 vinkelrät mot värmarens huvudplan och skär värmaren i dess mittparti.
Beläggningsreaktanten dispergeras ytterligare medelst finfördelning eller förstoftning.
Den inkommande bärargasen riktas på sådant sätt att disper- gering av beläggningsreaktanten ökas och noggrann blandning av ång- bärargas åstadkommes med följdenlig förbättrad förångning. Varje gas- fördelningsplatta 33 är försedd med ett flertal vinkelställda slitsar 91, som riktar den uppvärmda bärargasen utåt och uppåt bort från vär- marens 32 kanter och mot sprutspetsarna 19, uppsnappande och uppbrytan- de den fint förstoftade strålen och bringande beläggningsreaktant samt lösningsmedel att förångas.
Blandningen av förångad beläggningsreaktant och lösnings- medel samt bärargas passerar sedan genom värmaren 32 i dess mittenparti och strömmar ut genom ångavgivningsledningarna 34 till underlaget.
Följande utföringsexempel illustrerar ytterligare nyttan av föreliggande uppfinning. 6 EXEMPEL I Den ovan visade och beskrivna anordningen anordnas tvärs- över ett medelst floatmetoden erhållet glasband mellan ett första float- bildande bad och en-kylugn.
Ett kontinuerligt band av klart glas med bredd ca 3 m och tjocklek ca 0,6 cm föres under anordningen med en linjär hastighet av ca 6,4 m per minut. Glaset är ett konventionellt sodaglas med en synlig ljusgenomsläpplighet av ca 88 procent. _ En beläggningslösning beredes. Lösningen uppvisar föl- jande sammansättning beräknat per 5,785 liter.
Järnacetylacetonat 510 gram Kromacetylacetonat 150 gram Koboltacetylacetonat 55 gram Metylenklorid 3,785 liter _ Beläggningslösningen tillföres lösningsledningen 17 med en hastighet av ca 0,76 liter per minut vid ett övertryck av ca 0,7 kp/cm2 samt en temperatur av ca 2l°C. _ _ _ 6 Bärarluft tillföres bärargassamlingsröret 26 vid ett över- tryck av ca 2,7 kp/cm2 samt en hastighet av ca 4.830 standardlit./min. (170 SCFM). Bärarluften uppvärmes till ca 26000 i förvärmarna 29 och tillföres förångningskammaren 14, varvid lufthastigheten genom fördel- ningsplattorna 53 är ca 1,5 till 3 m per minut. i luften är tillräcklig att förånga beläggningslösningen samt hålla temperaturen hos den resulterande blandningen luft-ånga inom området ca 204 till 216°c.
Den känsliga värmen 10 15 20 25 30 35 40 731-6812-2 17 Varm olja tillföres samtliga värmare vid en temperatur av ca 21000. Beläggningsblandningen, som lämnar förångningskammaren 14 och passerar genom samlingskammaren 38 och munstyckena 45 uppvisar så- lunda en stabiliserad temperatur av ca 2l0°C. Glastemperaturen under munstyckena är ca 56500.
Avståndet munstycke-underlag är b/a=2. tingelserna giver ett Reynoldstal av 5.000 för flödet vid munstycksut- De beskrivna be- gången.
Anordningen drives under en period av 20 minuter för att belägga ungefär 18 mg glas. Den resulterande beläggningen är lik- formig över glasets yta, varvid den genomsnittliga ljusgenomsläpplig- heten för det belagda glaset är 40 procent och variationen i genom- släpplighet är mindre än É 2 procent med undantag för glasets extrema marginalkant, som sträcker sig bortom munstyckenas största dimension.
Beläggningen observeras vara mer likformig och uppvisa ett mycket mer finkornigt utseende än beläggningar framställda medelst sprutförfaranden nyttjande samma beläggningsmaterial.
EXEMPEL II Sättet enligt exempel I upprepas flera gånger med undan- tag för att i varje fall varieras någon förfarandeparameter i syfte 7 att bestämma dess inverkan på framställda beläggningar. _ Först upprepas sättet med utgångsflödet uppvisande ett Reynoldstal av 2.500. Den resulterande beläggningen äger utmärkt kvalitet som-i exempel I, trots att den totala genomsnittliga ljus- genomsläppligheten endast är 50 procent indikerande något lägre belägg- nings- eller fällningseffektivitet än enligt uppfinningens föredragna förfarande. _ För det andra upprepas sättet med ett utgångsflöde upp- visande ett Reynoldstal av 2.000. Den resulterande beläggningen är tunnare och mindre likformig än i det föregående exemplet; den genom- snittliga genomsläppligheten är endast 60 procent, varvid genomsläpp- lighetsområdet är Ü 5 procent, som icke är godtagbart för arkitekt- urella tillämpningar.
För det tredje upprepas sättet med ett utgângsflöde upp- visande ett Reynoldstal av 7.000. Den resulterande beläggningen upp- visar utmärkt kvalitet som i exempel I.
Slutligen genomföres två försök med utgångsflöde uppvisan- de ett Reynoldstal av 5.000. I ett försök är avståndet munstycke underlag 0,9 gånger munstycksbredden och i det andra försöket är detta avstånd 5 gånger munstyckets bredd. Den resulterande beläggningen är i båda fallen tillräcklig att åstadkomma en total genomsnittlig genom-

Claims (8)

7316812-2 18 släpplighet av mindre än 50 procent men variationen i varje enskilt fall är ca Ü 3 procent angivande marginell kvalitet lämpad för många arkitektnella användningsområden. P A T E N T»K R A V
1. l. Förfarande för applicering av en beläggning på ett upp- hettat underlag genom att man riktar en gasformig blandning mot underlaget, varvid den gasformiga blandningen innefattar minst en förångningsbar beläggningsreaktant som reagerar med det upphettade underlaget för beläggning av detsamma, k ä nin n e - -t e c k~n a t av att man löser minst en beläggningsreaktant i ett flyktigt lösnings- medel till bildning av en beläggningslösning; * riktar en ström av upphettad bärargas in i en sluten kammare i tvärriktning i förhållande till och bort från ett upphettnings- organ anordnat i kammaren, varvid bärargasen är upphettad till (i) en temperatur överstigande upphettningsorganets temperatur, (ii) en temperatur som är tillräcklig för att förånga lösningsmedlet och (iii) en temperatur understigande sönderdelningstemperaturen för beläggningsreaktanten; 7 sprutar lösningen mot upphettningsorganet in i strömmen av bärargas så att lösningen blandas med bärargasen; förångar den med bärargasen blandade beläggningslösningen till bildning av en gasformig blandning; leder_den gasformiga blandningen Förbi upphettningsorganct så att den gasformiga blandningen antar väsentligen samma tempera- tur som upphettningsorganet; och I riktar den gasformiga blandningen mot det underlag som skall beläggas.
2. Förfarande enligt krav 1, k ä_n n e t e c k n a t av att man tillför bärargasen i en mängd, som är tillräcklig för att den resulterande blandningen av förångad beläggningsreaktant, förångat lösningsmedel och bärargas skall vara omättad med be- läggningsreaktant och lösningsmedel vid den blandningstemperatur som erhålles vid blandningen§
3. WFörfarande enligt krav 2, k ä-n n e t e c k n a t av att blandningen är mättad i en omfattning av från ca 50 till ca 90 nrocent med heläggningsreaktant och lösningsmedel. temperaturen hos upphettningsorganet hâlles i huvudsak oförändrad. 7316812-2 19
4. U- Förfarande enligt något av de föregående kraven, k ä n n e - t e c k n a t av att man, då man riktar den gasformiga blandningen mot underlaget: _ förhindrar i huvudsak alla flytande och fasta inneslutníngar från att transporteras i den gasformiga blandningen från den slutna kammaren; _ 1 fördelar den resulterande gasformiga blandningen, som är i huvudsak fri från flytande och fasta inneslutningar, på ett underlag över ett utsträckt område; och riktar den resulterande gasformiga blandningen mot under- laget. .
5. Förfarande enligt något av de föregående kraven, k ä n n e t e c k n a t av att man vid sprutningssteget atomiserar lösningen in i strömmen av bärargasen mot upphettningsorganet.
6. Apparat för genomförande av förfarandet enligt krav l för applícering av en beläggning på ett upphettat underlag, k ä n n e t e c k n a d av att den innefattar: en sluten kammare (14); organ (15) för inmatning av förångningsbar beläggningsreaktant i den slutna kammaren i en första riktning vid en temperatur under dess förångningstemperatur; organ (16) för att (i) leda in en ström av bärargas i den slutna kammaren i en andra riktning, som skär den första riktningen för beläggningsreaktanten, och(11) upphetta bärargasen till en tempera- tur överstigande beläggningsreaktantens förångningstemperatur och understigande beläggningsreaktantens sönderdelningstemperatur för âstadkommande av blandning av beläggningsreaktanten med bärar- gasen och förângning av beläggningsreaktanten medelst värmet hos bärargasen till bildning av en gasformig blandning; 7 organ (13), anslutet till den slutna kammaren, för att rikta den gasformiga blandningen mot det underlag som skall beläggas; och Upphettningsorgan (32), anordnat i den slutna kammaren mellan organet för inmatning av beläggningsreaktanten och organet för att rikta den gasformiga blandningen, för att stabilisera tem- peraturen hos den gasformiga blandning som passerar därigenom, vilket upphettningsorgan har tillräcklig värmekapacitet för att upphetta en svalare blandning och för att kyla en hetare blandning till temperaturen hos upphettningsorganet, samtidigt som 7316812f2 20
7. Apparat enligt krav 6, k ä n n e t e c k n a d av att den dessutom innefattar: organ för att uppbära ett underlag (ll) åtskilt från organet (13) för att rikta den gasformiga blandningen; och organ för åstadkommande av relativ rörelse mellan nämnda organ för att rikta den gasformiga blandningen och nämnda organ för att uppbära ett underlag. '
8. Apparat enligt krav 6 eller 7, k ä n n e t e c k n a d av att upphettningsorganet (32) är anordnat i den slutna kammaren (14) så att det bildas ett första och ett andra utrymme som är åtskilda medelst ett huvudplan för upphettningsorganet, att inmatningsorga- net (15) är anordnat att inmata en spray, som innefattar minst en beläggningsreaktant, i nämnda första utrymme så att axeln för spray- strålen skär upphettningsorganets huvudplan inom dess centrala de- lar, att organet (16) för inledning och upphettning av bärargasen är anordnat att leda in bärargasen i nämnda första utrymme i tvär- riktning i förhållande till och bort från upphettningsorganets kantpartier mot spraystrålen, så att det bildas en gasformig be-- läggningsblandning som strömmar genom den centrala delen av upp- hettningsorganets huvudplan in i nämnda andra utrymme, och att or- ganet (13) för att rikta den gasformiga blandningen mot underlaget är anslutet till det andra utrymmet i den slutna kammaren. K ~ _ ANFÖRDA PUBLIKATIONER: US 2 694 651 (117-106), 3 438 803 (117-106)
SE7316812A 1972-12-15 1973-12-12 Forfarande och apparat for applicering av en beleggning pa ett upphettat underlag SE409337B (sv)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US31539572A 1972-12-15 1972-12-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SE409337B true SE409337B (sv) 1979-08-13

Family

ID=23224212

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE7316812A SE409337B (sv) 1972-12-15 1973-12-12 Forfarande och apparat for applicering av en beleggning pa ett upphettat underlag

Country Status (11)

Country Link
JP (2) JPS5813505B2 (sv)
BE (1) BE808674A (sv)
CA (1) CA1022807A (sv)
DE (1) DE2361744B2 (sv)
DK (1) DK142169B (sv)
FR (1) FR2214246A5 (sv)
GB (1) GB1454378A (sv)
IT (1) IT999992B (sv)
NL (1) NL167402B (sv)
SE (1) SE409337B (sv)
ZA (1) ZA735383B (sv)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1524326A (en) * 1976-04-13 1978-09-13 Bfg Glassgroup Coating of glass
DE2739258C2 (de) * 1977-08-31 1985-06-20 Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen Verfahren zur Aufbringung einer Siliciumcarbid und Siliciumnitrid enthaltenden Schutzschicht auf Kohlenstofformkörper
US4393095A (en) * 1982-02-01 1983-07-12 Ppg Industries, Inc. Chemical vapor deposition of vanadium oxide coatings
US4501602A (en) * 1982-09-15 1985-02-26 Corning Glass Works Process for making sintered glasses and ceramics
JPS60142303A (ja) * 1983-12-29 1985-07-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 多心コア光伝送用フアイバならびに製造方法
GB8531424D0 (en) * 1985-12-20 1986-02-05 Glaverbel Coating glass
NO168762C (no) * 1985-12-20 1992-04-01 Glaverbel Belagt, flatt glass.
JPH09169545A (ja) 1995-12-21 1997-06-30 Th Goldschmidt Ag 酸化アンチモンドープした酸化スズからなる透過率を低下する層をガラスおよびガラスセラミックに熱分解的に製造する方法、およびそのための配合物
KR20010066533A (ko) * 1999-12-31 2001-07-11 정종순 안정한 코팅용 기화물 생성방법 및 장치
JP2015113273A (ja) * 2013-12-13 2015-06-22 日本電気硝子株式会社 ロールクリーニング装置
DE102014116991A1 (de) * 2014-11-20 2016-05-25 Aixtron Se CVD- oder PVD-Reaktor zum Beschichten großflächiger Substrate

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3438803A (en) * 1965-05-18 1969-04-15 Anchor Hocking Glass Corp Method and means for vapor coating
US3699027A (en) * 1970-02-02 1972-10-17 Ransburg Electro Coating Corp Deposition method
DE2047813B2 (de) * 1970-09-29 1971-10-07 Battelle Institut e V , 6000 Frank fürt Verfahren zur abscheidung von ueberzuegen
US3808035A (en) * 1970-12-09 1974-04-30 M Stelter Deposition of single or multiple layers on substrates from dilute gas sweep to produce optical components, electro-optical components, and the like

Also Published As

Publication number Publication date
DK142169B (da) 1980-09-15
BE808674A (fr) 1974-06-14
JPS6028772B2 (ja) 1985-07-06
GB1454378A (en) 1976-11-03
JPS57129843A (en) 1982-08-12
DE2361744B2 (de) 1978-05-18
CA1022807A (en) 1977-12-20
IT999992B (it) 1976-03-10
DE2361744A1 (de) 1974-07-04
NL7313244A (sv) 1974-06-18
AU5940973A (en) 1975-02-20
NL167402B (nl) 1981-07-16
FR2214246A5 (sv) 1974-08-09
ZA735383B (en) 1975-03-26
JPS5813505B2 (ja) 1983-03-14
DK142169C (sv) 1981-02-16
JPS4989716A (sv) 1974-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3970037A (en) Coating composition vaporizer
US3888649A (en) Nozzle for chemical vapor deposition of coatings
US3850679A (en) Chemical vapor deposition of coatings
EP0303911B1 (en) Multiple, parallel packed column vaporizer
FI110684B (sv) Förfarande för utfällning av tennoxid med låg emissivitet på ett glasunderlag
US4584206A (en) Chemical vapor deposition of a reflective film on the bottom surface of a float glass ribbon
US3885066A (en) Method for coating continuously advancing substrate
US5835678A (en) Liquid vaporizer system and method
US4508054A (en) Device for depositing a mineral oxide coating on a substrate
SE409337B (sv) Forfarande och apparat for applicering av en beleggning pa ett upphettat underlag
US9540277B2 (en) Apparatus for depositing thin film coatings and method of deposition utilizing such apparatus
SE409322B (sv) Forfarande och apparat for applicering av en beleggning pa en yta av ett underlag
US3951100A (en) Chemical vapor deposition of coatings
US4900110A (en) Chemical vapor deposition of a reflective film on the bottom surface of a float glass ribbon
US4928627A (en) Apparatus for coating a substrate
SE463767B (sv) Saett vid pyrolytisk bildning av en metalloxidbelaeggning paa glas och anordning haerfoer
US3942469A (en) Vapor deposition nozzle
US5190592A (en) Aerosol injection system for producing composite layers by pyrolysis
CA1287485C (en) Apparatus for coating glass
JP2000119856A (ja) Cvd法による被膜形成法およびその装置
AU619212B2 (en) Multiple, parallel packed column vaporizer