JPS58132379A - 電子ビ−ム溶接機 - Google Patents
電子ビ−ム溶接機Info
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- JPS58132379A JPS58132379A JP1615882A JP1615882A JPS58132379A JP S58132379 A JPS58132379 A JP S58132379A JP 1615882 A JP1615882 A JP 1615882A JP 1615882 A JP1615882 A JP 1615882A JP S58132379 A JPS58132379 A JP S58132379A
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- JP
- Japan
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- pump
- oil rotary
- roots
- welding
- roots pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
- B23K15/06—Electron-beam welding or cutting within a vacuum chamber
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、低真空型電子ビーム溶接機に関し、特に溶
接室の排気作業時間を油回転ポンプの特性が劣化しても
短かく保つ工うにしたものである。
接室の排気作業時間を油回転ポンプの特性が劣化しても
短かく保つ工うにしたものである。
第１図は従来の低真空型電子ビーム溶接機の排気系に関
する部分の構成を示す図で、（１）は電子ビーム発生室
、（２） Ｆｉ電子ビーム発生室（１）と高真空排気ポ
ンプを接続する排気管、＋３）はコラムバルブ、（４）
はオリフィス、（６）は溶接室、（６）は被溶接物、（
７）はリークバルブ、（８）は開閉ドア、（９）は溶接
室排気バルブ、αＯはルーツポンプ、’ （Ｉｌｌは油
回転ポンプ、Ｑ２１は溶接室の真空計である。
する部分の構成を示す図で、（１）は電子ビーム発生室
、（２） Ｆｉ電子ビーム発生室（１）と高真空排気ポ
ンプを接続する排気管、＋３）はコラムバルブ、（４）
はオリフィス、（６）は溶接室、（６）は被溶接物、（
７）はリークバルブ、（８）は開閉ドア、（９）は溶接
室排気バルブ、αＯはルーツポンプ、’ （Ｉｌｌは油
回転ポンプ、Ｑ２１は溶接室の真空計である。
一般に、油回転ポンプ（Ｉりは大気圧から約ｌＯ１トー
ルまでの気体を圧縮して、大気中に排気するポンプであ
る。ｔたルーツポンプαＯは約１００−）−ルから１０
１トールまでの気体を圧縮し、補助ポンプによって大気
中に排気する真空ポンプである。ルーツポンプの性能は
排気側真空圧力Ｐ（排）と吸気側真空圧力Ｐ（吸）の比
、Ｐ（排）／Ｐ（吸）（この値を圧縮比と呼ぶ）で表わ
され、通常圧縮比は７〜１０である。
ルまでの気体を圧縮して、大気中に排気するポンプであ
る。ｔたルーツポンプαＯは約１００−）−ルから１０
１トールまでの気体を圧縮し、補助ポンプによって大気
中に排気する真空ポンプである。ルーツポンプの性能は
排気側真空圧力Ｐ（排）と吸気側真空圧力Ｐ（吸）の比
、Ｐ（排）／Ｐ（吸）（この値を圧縮比と呼ぶ）で表わ
され、通常圧縮比は７〜１０である。
第１図において、被溶接物（６）の取付が終り、リーク
パルプ（？）が閉じられると、開閉ドア（８）が閉じら
れる０次に溶接室排気パルプ（９）が開かれ、溶接室（
６）が油回転ポンプ（Ｉｌｌで排気される。このときル
ーツポンプαＯは動作圧力範囲外であるため嚢停止して
いる。溶接室（５）がルーツポンプαＯの動作開始圧力
、約１００トールに到達すると、真空計０５の信号によ
ってルーツポンプαＯが駆動し始め、溶接に必要な真空
圧力、たとえば５ Ｘ ｌ Ｏ−” ）−ル以下に排気
される。次に、コラムパルプ！３）が開かれる。この状
態で電子ビーム発生室（１）から誘導された電子ビーム
はコブ、五弁（３）とオリフィス（４）と金通って、被
溶接物（６）に照射され溶接が行われる。電子ビーム発
生室（１）と溶接室（５１との真空圧力差はオリフィス
（４）で形成される。溶接が終了すると、コラムバルブ
（３）および溶接室排気パルプ（９）が閉じられ、ルー
ツポンプαＯが停止する。次に、リークパルプ（７）が
開かれ、溶接室（５１が大気圧になると開閉ドア（８）
が開かれ、被溶接物（６）の交換が行われる。
パルプ（？）が閉じられると、開閉ドア（８）が閉じら
れる０次に溶接室排気パルプ（９）が開かれ、溶接室（
６）が油回転ポンプ（Ｉｌｌで排気される。このときル
ーツポンプαＯは動作圧力範囲外であるため嚢停止して
いる。溶接室（５）がルーツポンプαＯの動作開始圧力
、約１００トールに到達すると、真空計０５の信号によ
ってルーツポンプαＯが駆動し始め、溶接に必要な真空
圧力、たとえば５ Ｘ ｌ Ｏ−” ）−ル以下に排気
される。次に、コラムパルプ！３）が開かれる。この状
態で電子ビーム発生室（１）から誘導された電子ビーム
はコブ、五弁（３）とオリフィス（４）と金通って、被
溶接物（６）に照射され溶接が行われる。電子ビーム発
生室（１）と溶接室（５１との真空圧力差はオリフィス
（４）で形成される。溶接が終了すると、コラムバルブ
（３）および溶接室排気パルプ（９）が閉じられ、ルー
ツポンプαＯが停止する。次に、リークパルプ（７）が
開かれ、溶接室（５１が大気圧になると開閉ドア（８）
が開かれ、被溶接物（６）の交換が行われる。
以上が電子ビーム溶接機の溶接作業工程であり、連続し
て上記工程が繰り返される。
て上記工程が繰り返される。
第１図に示す従来の排気系で溶接作業工程を繰返する、
空慨中に吸まれろ水蒸気および被溶接物（６）に耐着し
排気・溶接中に蒸発する油分や洗浄剤の不純物蒸気は、
油回転ポンプ（ｉｌｌの圧縮工程で凝縮しポンプ油に混
入する。混入した水分、洗浄剤は油回転ポンプ（＋１１
内で蒸発と凝縮を繰返し、ポンプ油内に蓄積されるため
、ポンプ油の蒸気圧が上外し、油回転ポンプ（Ｉｌｌの
到達圧力は短期間で上昇する。
空慨中に吸まれろ水蒸気および被溶接物（６）に耐着し
排気・溶接中に蒸発する油分や洗浄剤の不純物蒸気は、
油回転ポンプ（ｉｌｌの圧縮工程で凝縮しポンプ油に混
入する。混入した水分、洗浄剤は油回転ポンプ（＋１１
内で蒸発と凝縮を繰返し、ポンプ油内に蓄積されるため
、ポンプ油の蒸気圧が上外し、油回転ポンプ（Ｉｌｌの
到達圧力は短期間で上昇する。
油回転ポンプ（川の到達圧力が１０１トールを越えると
、圧縮率７〜１０のルーツポンプ鱒の到達圧力も１０１
トールを越え、溶接室排気系の１０−”）−ル台の排気
速度は著るしく劣化する。
、圧縮率７〜１０のルーツポンプ鱒の到達圧力も１０１
トールを越え、溶接室排気系の１０−”）−ル台の排気
速度は著るしく劣化する。
このため溶接作業工程を繰返すと、第２図に示すように
真空排貿特性が変化し、排気所要時間が著るしく長くな
る。そこで排気所要時、間を所定の時間内に保つために
は、油回転ポンプ油を頻繁に交換する必要がある。
真空排貿特性が変化し、排気所要時間が著るしく長くな
る。そこで排気所要時、間を所定の時間内に保つために
は、油回転ポンプ油を頻繁に交換する必要がある。
また、溶接中に発生する金属蒸気が油回転ボンデの池内
で凝固し著積される。著積が進むと油と反応し、油の特
性を変化させ油回転ポンプ間の到達圧力を劣化させるた
め、油回転ポンプのオーバーホールが必要となる。しか
も油回転ポンプの到達圧力ｔ−１０ｊ）−ル以下にする
。整は難かしく、オーバーホールには熟練技能が要求さ
れ、電子ビーム溶接機の保守上の課題であった。
で凝固し著積される。著積が進むと油と反応し、油の特
性を変化させ油回転ポンプ間の到達圧力を劣化させるた
め、油回転ポンプのオーバーホールが必要となる。しか
も油回転ポンプの到達圧力ｔ−１０ｊ）−ル以下にする
。整は難かしく、オーバーホールには熟練技能が要求さ
れ、電子ビーム溶接機の保守上の課題であった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去する食
めになされたもので、排気系の構成を改善することによ
って、油回転ポンプの到達真空圧力が劣化しても、溶接
室の排気所要時間が長びかない電子ビーム溶接機を提供
することを目的としている。
めになされたもので、排気系の構成を改善することによ
って、油回転ポンプの到達真空圧力が劣化しても、溶接
室の排気所要時間が長びかない電子ビーム溶接機を提供
することを目的としている。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。
第３図において、（２）は第２のルーツポンプであり、
第１のルーツポンプαＯと油回転ボンデＩｌｌとの間に
配置される。勿は第２のルーツポンプのヘッド圧力を測
定する第２の真空針である。
第１のルーツポンプαＯと油回転ボンデＩｌｌとの間に
配置される。勿は第２のルーツポンプのヘッド圧力を測
定する第２の真空針である。
次に第１のルーツポンプａＯと油回転ポンプ（１１）と
の間に第２のルーツポンプ＠を配した溶接室排気系の動
作と第２のルーツポンプ（財）の適正な公称排気速度の
選定について説明する。
の間に第２のルーツポンプ＠を配した溶接室排気系の動
作と第２のルーツポンプ（財）の適正な公称排気速度の
選定について説明する。
第５図において、被溶接物（６）の取付が終り、リーク
パルプ（７）が閉じられると、開閉ドア（８）が閉じら
れる。次に溶接室排気パルプ（９）が開かれ、溶接室（
６）が油回転ポンプ（Ｉｌｌで排気される。このときル
ーツポンプαｏ、ａｎはともに停止している。溶接室（
５）がルーツポンプの動作開始千古、約１００）−ルに
達すると、真空計＋１２１の信号によって第１のルーツ
ポンプ（川が作動し排気が進む、次に第２のルーツポン
プ■の吸気側圧力が、ルーツポンプの動作圧力に達する
と真空計υの信号によって第２のルーツポンプＣＤが作
動し、溶接室（５）が、溶接に必要な真空圧力、たとえ
ば６Ｘ１０１）−ル以下に排気さｎると、コラムパルプ
１３）が開かれ、溶接が開始される。浴接が終了すると
、コラムパルプ＋３）と溶接室排気パルプ（９）が閉じ
られ、ルーツポンプＱ（ｍ、＠とも停止する。以下の溶
接作業工程は従来装置と同様であるから省略する。上記
の工程において、第２のルーツポンプ■を第１のルーツ
ポンプＱＯから遅らせて駆動するのは次の理由による。
パルプ（７）が閉じられると、開閉ドア（８）が閉じら
れる。次に溶接室排気パルプ（９）が開かれ、溶接室（
６）が油回転ポンプ（Ｉｌｌで排気される。このときル
ーツポンプαｏ、ａｎはともに停止している。溶接室（
５）がルーツポンプの動作開始千古、約１００）−ルに
達すると、真空計＋１２１の信号によって第１のルーツ
ポンプ（川が作動し排気が進む、次に第２のルーツポン
プ■の吸気側圧力が、ルーツポンプの動作圧力に達する
と真空計υの信号によって第２のルーツポンプＣＤが作
動し、溶接室（５）が、溶接に必要な真空圧力、たとえ
ば６Ｘ１０１）−ル以下に排気さｎると、コラムパルプ
１３）が開かれ、溶接が開始される。浴接が終了すると
、コラムパルプ＋３）と溶接室排気パルプ（９）が閉じ
られ、ルーツポンプＱ（ｍ、＠とも停止する。以下の溶
接作業工程は従来装置と同様であるから省略する。上記
の工程において、第２のルーツポンプ■を第１のルーツ
ポンプＱＯから遅らせて駆動するのは次の理由による。
第１のルーツポンプαＯの駆動開始時期には、排気量１
の圧力（すなわち第２のルーツポンプ（財）の吸気側圧
力）は第１のルーツポンプα口の圧縮比に従って急激に
上昇する。そこで、排気が進み、排気側圧力が動作範囲
に入るまで第２のルーツポンプ（財）の駆動金運らせる
。この間、油回転ポンプ（ＩＩ）による排気は第２のル
ーツポンプｃ２１）を通して行なわｎるが、気体の流れ
が粘性流である上、気体の流の力によってポンプが空転
するためポンプの流体抵抗は小さく、排気系の特性に与
える影響は少ない・ 次に、第２のルーツポンプａの投割と排気速度の選定に
ついて詳細に説明する。第１のルーツボン１αＯが排気
速度の増速を目的とし、油回転ポン７” ＋１１１の５
〜１０倍の排気容量であるのに対し、第２のルーツポン
プ（ハ）は油回転ポンプｌ１１１の性能劣化補償を目的
とし、油回転ポンプ（川と同程度の排気容量がめればよ
く、第１のルーツポンプｆｉｌｌ Ｋ 比べて小容量の
ものでよい。第２のルーツポンプ（財）を配置したこと
により油回転ポンプの劣化許容範囲は次のように拡大す
る。
の圧力（すなわち第２のルーツポンプ（財）の吸気側圧
力）は第１のルーツポンプα口の圧縮比に従って急激に
上昇する。そこで、排気が進み、排気側圧力が動作範囲
に入るまで第２のルーツポンプ（財）の駆動金運らせる
。この間、油回転ポンプ（ＩＩ）による排気は第２のル
ーツポンプｃ２１）を通して行なわｎるが、気体の流れ
が粘性流である上、気体の流の力によってポンプが空転
するためポンプの流体抵抗は小さく、排気系の特性に与
える影響は少ない・ 次に、第２のルーツポンプａの投割と排気速度の選定に
ついて詳細に説明する。第１のルーツボン１αＯが排気
速度の増速を目的とし、油回転ポン７” ＋１１１の５
〜１０倍の排気容量であるのに対し、第２のルーツポン
プ（ハ）は油回転ポンプｌ１１１の性能劣化補償を目的
とし、油回転ポンプ（川と同程度の排気容量がめればよ
く、第１のルーツポンプｆｉｌｌ Ｋ 比べて小容量の
ものでよい。第２のルーツポンプ（財）を配置したこと
により油回転ポンプの劣化許容範囲は次のように拡大す
る。
各ポンプの排気量Ｑは同じであるから、（１）式が成立
つ Ｑ＝（Ｋｉ、α１− Ｓ ｉ 、 Ｐ ｉ ）ｎ、、
−−（１）ここで、Ｓｌは各ボンデの公称排気速
度、α１は各ポンプの排気速度の圧力補正係数、Ｋ１は
排気管抵抗による各ポンプの排気速度の補正係数、Ｐｌ
は各ポンプの排気対象部の圧力、ｎは各ポンプの名称で
ｎ＝＝１は第１のルーツポンプαｄ。
つ Ｑ＝（Ｋｉ、α１− Ｓ ｉ 、 Ｐ ｉ ）ｎ、、
−−（１）ここで、Ｓｌは各ボンデの公称排気速
度、α１は各ポンプの排気速度の圧力補正係数、Ｋ１は
排気管抵抗による各ポンプの排気速度の補正係数、Ｐｌ
は各ポンプの排気対象部の圧力、ｎは各ポンプの名称で
ｎ＝＝１は第１のルーツポンプαｄ。
ｎ −＝ ２は第２のルーツポンプ■、ｎ＝３は油回転
ポンプ（１１１とする。
ポンプ（１１１とする。
各ルーツポンプの圧縮率ｔ−Ｍｉとすると、（２）式が
成立つ。
成立つ。
２８１Ｍ、 Ｐ、 −＝ Ｍ、・Ｍ８・Ｐｌ
・・・・・・（２）（１）式と（２）式から、溶
接室真空度Ｐ１における油回転ポンプ（■ｌの排気速度
劣化許容値は（３）式で表わさまた第２のループポンプ
（財）の動作圧力Ｐ、における圧力補正係数α、Ｖ′１
（４）式で表わされる。
・・・・・・（２）（１）式と（２）式から、溶
接室真空度Ｐ１における油回転ポンプ（■ｌの排気速度
劣化許容値は（３）式で表わさまた第２のループポンプ
（財）の動作圧力Ｐ、における圧力補正係数α、Ｖ′１
（４）式で表わされる。
一方第２のルーツポンプ■を配置しない従来の排気系の
場合は（２）式と（３）式において、Ｉｇ＝ｌと置けば
求まる。
場合は（２）式と（３）式において、Ｉｇ＝ｌと置けば
求まる。
Ｐ１冨Ｍ、 Ｐ、 ・・・Ｉ
Ｉ・（５）自 （２）式と＋５１式から回転ポンプの動作圧力比を、（
３）式とり６）式から回転ポンプの排気速度劣化許容値
の比を、従来のものとこの発明のものに対して求めると
次式を得る。
Ｉ・（５）自 （２）式と＋５１式から回転ポンプの動作圧力比を、（
３）式とり６）式から回転ポンプの排気速度劣化許容値
の比を、従来のものとこの発明のものに対して求めると
次式を得る。
ることによって、油回転ポンプ（ＩＩ）の動作圧力は下
限がＭ１倍高くて艮い上、排気速度の圧力補正係数げｌ
／’＋１まで劣化することが許容される。
限がＭ１倍高くて艮い上、排気速度の圧力補正係数げｌ
／’＋１まで劣化することが許容される。
１例として、Ｓ、 ＝＝ ２’ＱＯＯ０１／―のルーツ
ポンプαＧと６．＝＆ｏｏｏｔ／―の油回転ポンプ（１
１１とで排気する従来の排気装置と、油回転ポンプ（１
１）と同程度の排気速度８ｍ ＝へ０００ Ｚ ／―を
有する第２のルーツポンプ３υと全中間に配置したこの
発明に係る排気装置とを対象に、油回転ポンプ＠の排気
速度許容劣化（１１［を比較する。
ポンプαＧと６．＝＆ｏｏｏｔ／―の油回転ポンプ（１
１１とで排気する従来の排気装置と、油回転ポンプ（１
１）と同程度の排気速度８ｍ ＝へ０００ Ｚ ／―を
有する第２のルーツポンプ３υと全中間に配置したこの
発明に係る排気装置とを対象に、油回転ポンプ＠の排気
速度許容劣化（１１［を比較する。
但し、溶接室の圧力ｐ、＝αＱ ｆｉ ＴＯｒｒ、 ［
、＝ Ｑ６に、＝に、＝ｌ α１＝ １１ ’１””
＊）７とする。
、＝ Ｑ６に、＝に、＝ｌ α１＝ １１ ’１””
＊）７とする。
（従来装置の場合）
（５）式から油回転ボンデａ１の動作圧力Ｐ＊’に求め
ると、 Ｐ、、、、７ｘα０５−＝α６５）−／Ｌ（６）式から
油回転ポンプａ１１の排気速度補正係数α、１はα、′
≧（α５ＸＩＸ１０００） ÷（ｌＸ３０００Ｘ７）＝
α６一般に油回転ポンプ（ハ）は新品時においても、Ｐ
、＝α３５トールでα、′−α７稈度でおり、劣化の許
容巾は狭い。
ると、 Ｐ、、、、７ｘα０５−＝α６５）−／Ｌ（６）式から
油回転ポンプａ１１の排気速度補正係数α、１はα、′
≧（α５ＸＩＸ１０００） ÷（ｌＸ３０００Ｘ７）＝
α６一般に油回転ポンプ（ハ）は新品時においても、Ｐ
、＝α３５トールでα、′−α７稈度でおり、劣化の許
容巾は狭い。
（この発明に係る装置の場合）
（２）式から第２のルーツポンプＱυの動作圧力Ｐ、と
油回転ポンプ（１１）の動作圧力Ｐ、ヲ求めると、Ｐ、
＝７Ｘ（ＬＯ５＝αｉ＄５）−ル Ｐ、−７Ｘ７Ｘ（１５＝ＳＬ５ ）−１（３）式（４
）式から第２のルーツポンプＱｐの排気速度補正係数α
、と油回転ポン７” （Ｉｌｌの排気速度補正係数α、
を求めると、 α、′２（α５ＸＩＸ２Ｑ００（＋）÷（ｌＸ３０００
Ｘ７）、Ｗα５α、２（α５ＸＩＸ２ＱＵＯＯ） ÷（
ｌＸ３０００Ｘ７Ｘ７） ＝（ＬＯ７油回転ポンプ（Ｉ
ｌはＰ、＝２．５）−ルで、排気速度補正係数がａ、＝
（１０７まで劣化することが許容される。また油回転
ポンプ（１１）が劣化の許容範囲にあれば、第２のルー
ツポンプ勾は、Ｐ、、、、（ｌｓ５）−ルでα二１であ
りα〉αδを十分満足する。
油回転ポンプ（１１）の動作圧力Ｐ、ヲ求めると、Ｐ、
＝７Ｘ（ＬＯ５＝αｉ＄５）−ル Ｐ、−７Ｘ７Ｘ（１５＝ＳＬ５ ）−１（３）式（４
）式から第２のルーツポンプＱｐの排気速度補正係数α
、と油回転ポン７” （Ｉｌｌの排気速度補正係数α、
を求めると、 α、′２（α５ＸＩＸ２Ｑ００（＋）÷（ｌＸ３０００
Ｘ７）、Ｗα５α、２（α５ＸＩＸ２ＱＵＯＯ） ÷（
ｌＸ３０００Ｘ７Ｘ７） ＝（ＬＯ７油回転ポンプ（Ｉ
ｌはＰ、＝２．５）−ルで、排気速度補正係数がａ、＝
（１０７まで劣化することが許容される。また油回転
ポンプ（１１）が劣化の許容範囲にあれば、第２のルー
ツポンプ勾は、Ｐ、、、、（ｌｓ５）−ルでα二１であ
りα〉αδを十分満足する。
この例のように油回転ポンプ（Ｉｌｌと同程度の排気速
度を有する第２のルーツポンプを中間に位置し三段のポ
ンプで排気することによって、油回転ポンプの劣化許容
範囲を大巾に拡げることができる。
度を有する第２のルーツポンプを中間に位置し三段のポ
ンプで排気することによって、油回転ポンプの劣化許容
範囲を大巾に拡げることができる。
また上記の打算例では第２のルーツポンプの排気速度補
正係数がもともとαユα７〜α８でめることと、各ポン
プとも２倍程度の間隔で排気速度の異なるポンプが市販
されていることを考慮すると、第２のルーツポンプ（２
）の適正排気速度は油回転ポンプ（Ｉｌｌの０５〜２倍
となる。
正係数がもともとαユα７〜α８でめることと、各ポン
プとも２倍程度の間隔で排気速度の異なるポンプが市販
されていることを考慮すると、第２のルーツポンプ（２
）の適正排気速度は油回転ポンプ（Ｉｌｌの０５〜２倍
となる。
上記の実施例では、各ポンプのヘッド圧力を測定し、第
１のルーツポンプ、第２のルーツポンプの順で動作させ
たが、あらかじめセットした時間遅れｔもたせて、各ポ
ンプを動作させることもできる。また溶接室が大形の場
合、上記実施例の排兜装置會１つのユニットとして構成
し、複数のユニットで排剣装ｆ！ｉを構成すｎげ、同様
の効果を奏する。
１のルーツポンプ、第２のルーツポンプの順で動作させ
たが、あらかじめセットした時間遅れｔもたせて、各ポ
ンプを動作させることもできる。また溶接室が大形の場
合、上記実施例の排兜装置會１つのユニットとして構成
し、複数のユニットで排剣装ｆ！ｉを構成すｎげ、同様
の効果を奏する。
以上のように、この発明によれば、電子ビーム溶接機の
溶接排気装置において、ルーツポンプと油回転ポンプと
の間に油回転ポンプと同程度の公称排気速度を有する第
２のルーツポンプを配置したので次の工つな効果がある
。
溶接排気装置において、ルーツポンプと油回転ポンプと
の間に油回転ポンプと同程度の公称排気速度を有する第
２のルーツポンプを配置したので次の工つな効果がある
。
（イ）油回転ポンプの動作圧力を１ケタ程度高くできる
。
。
（ロ） 油回転ポンプのＵＩ気速度の劣化許容範囲を１
ケタ程度拡くできる。
ケタ程度拡くできる。
、（ハ）油回転ポンプの動作圧力を数トールにできるた
め、ガスバラストラ開いて運転できる。このため水蒸気
などの蒸気圧の高い成分がポンプ油に留らず、油の〃命
が長くなる。
め、ガスバラストラ開いて運転できる。このため水蒸気
などの蒸気圧の高い成分がポンプ油に留らず、油の〃命
が長くなる。
に）（イ）と幹）の理由がら、油回転ポンプの排気速度
が劣化しても溶接室の排気所要時間は長くならない。
が劣化しても溶接室の排気所要時間は長くならない。
（へ）ヤ）の理由からポンプのオーバーホール期間を著
るしく長くできる。
るしく長くできる。
（へ） がスパラストヲ開いて運転できるため、浴接室
がα０５トールに排気されても、油回転ポンプの運転騒
音が低い。
がα０５トールに排気されても、油回転ポンプの運転騒
音が低い。
第１図は従来の低真空型電子ビーム溶接機の排気系の構
成を示す図、第２図は第１図に示す排気系の排気を繰返
した場合の溶接室の真空排気特性を示す図、第３図はこ
の発明による低真空型電子ビーム溶接機の排気系の構成
を示す図である。 図において、＜１１は電子ビーム発生室、ｃ２）は高真
空排気Ｖ 、＋ａ）はコラムパルプ、（４）はオリフィ
ス、＋５１Ｆｉ、溶接室、（６）は被溶接物、（７）は
リークパルプ、（８１は開閉ドア、（９）は溶接室排気
パルプ、Ｑｌｌｍはルーツポンプ、（ＩＩ）は油回転ポ
ンプ、ＱＺは真空計、（財）は第２のルーツポンプ、（
２）は第２の真空計である。 なお図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示す
。 代理人 葛野信−（外１名） 第１図 第２図 １トタＬ四ケルｄ 第３図 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 事件の表示 特願昭６丁−１６■１、発明の名称 電子ビーム溶接機 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表者片山仁
八部 代理人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
６、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明 ６゜ 補正の内容 （１）明細書の第６頁第１８行「以下にする。整は」を
「以下にする調整は」と訂正する。 以上
成を示す図、第２図は第１図に示す排気系の排気を繰返
した場合の溶接室の真空排気特性を示す図、第３図はこ
の発明による低真空型電子ビーム溶接機の排気系の構成
を示す図である。 図において、＜１１は電子ビーム発生室、ｃ２）は高真
空排気Ｖ 、＋ａ）はコラムパルプ、（４）はオリフィ
ス、＋５１Ｆｉ、溶接室、（６）は被溶接物、（７）は
リークパルプ、（８１は開閉ドア、（９）は溶接室排気
パルプ、Ｑｌｌｍはルーツポンプ、（ＩＩ）は油回転ポ
ンプ、ＱＺは真空計、（財）は第２のルーツポンプ、（
２）は第２の真空計である。 なお図中同一符号はそれぞれ同一または相当部分を示す
。 代理人 葛野信−（外１名） 第１図 第２図 １トタＬ四ケルｄ 第３図 手続補正書（自発） 特許庁長官殿 事件の表示 特願昭６丁−１６■１、発明の名称 電子ビーム溶接機 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表者片山仁
八部 代理人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
６、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明 ６゜ 補正の内容 （１）明細書の第６頁第１８行「以下にする。整は」を
「以下にする調整は」と訂正する。 以上
Claims (4)
- （１） 高真空の電子ビーム発生源につづいて設けら
れた溶接室をルーツポンプと油回転ポンプで構成される
排気系で比較的低真空に排気し、当該溶接室内の被加物
に電子ビームを照射して溶接等の加工をおこなう電子ビ
ーム溶接機にかいて、上記ルーツポンプと油回転ポンプ
との間に配設され友上記油回転ポンプのｌ／２〜２倍程
度の排気速度ｔ−有スる第２のルーツポンプ金偏え九こ
とを特徴とする電子ビーム溶接機。 - （２）溶接室の排気系を１つのユニットとして構成した
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子ビー
ム溶接機。 - （３）溶接室の排気系において第１．第２のポンプのヘ
ッド圧力を測定する第１．第２の真空計を備え、各ポン
プのヘッド圧力がそれぞれ所定値に到達したとき第１の
ルーツポンプ、第２のルーツポンプの順で作動させるよ
うにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
電子ビーム溶接機。 - （４） 各ポンプを予め定めた時間遅れでもって油回
転ポンプ、第１のルーツポンプ、第２のルーツポンプの
順序で動作させることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の電子ビーム溶接機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1615882A JPS58132379A (ja) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | 電子ビ−ム溶接機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1615882A JPS58132379A (ja) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | 電子ビ−ム溶接機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58132379A true JPS58132379A (ja) | 1983-08-06 |
Family
ID=11908693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1615882A Pending JPS58132379A (ja) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | 電子ビ−ム溶接機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58132379A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62269033A (ja) * | 1986-05-15 | 1987-11-21 | アルカテル・ホッホバク−ムテヒニ−ク・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | ヘリウム漏洩検知装置 |
-
1982
- 1982-02-01 JP JP1615882A patent/JPS58132379A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62269033A (ja) * | 1986-05-15 | 1987-11-21 | アルカテル・ホッホバク−ムテヒニ−ク・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | ヘリウム漏洩検知装置 |
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