JPS58128869A - 薄膜感熱記録ヘツドの製造方法 - Google Patents

薄膜感熱記録ヘツドの製造方法

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Publication number
JPS58128869A
JPS58128869A JP1160482A JP1160482A JPS58128869A JP S58128869 A JPS58128869 A JP S58128869A JP 1160482 A JP1160482 A JP 1160482A JP 1160482 A JP1160482 A JP 1160482A JP S58128869 A JPS58128869 A JP S58128869A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
recording head
gold
thin film
chrome
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1160482A
Other languages
English (en)
Inventor
Takao Sasaki
隆夫 佐々木
Mamoru Morita
守 森田
Hirotake Nakayama
仲山　浩偉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP1160482A priority Critical patent/JPS58128869A/ja
Publication of JPS58128869A publication Critical patent/JPS58128869A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
    • B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
    • B41J2/335—Structure of thermal heads

Landscapes

  • Electronic Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は薄膜感熱記録ヘッドの製造に於いて、逆流防止
ダイオード取付は部および配線部の金属膜構成をクロム
、＃ｉ、金の三層構造にＴる薄膜線略記録ヘッドの製造
方法に関ＴるものであるＯ 第１図に従来方法による逆流防止ダイオード取付は部の
製造工程概要を示す。（、ｉｌｌはセラミック基板ｉ上
にクロム膜２、鋼１［５ｒｔスパツタにより形成した図
、（ｂ）は（ａ）工程完了基板にホシレジストパターン
４を形成した図、（Ｃ）はΦ）工程完了基板に電気メッ
キにて銅膜５、鉛膜６、錫膜７を順次形成した図、（ｄ
）は（Ｃ）工程完了基板からレジスト除去を実施し、錫
膜７をエツチングマスクにしてレジストパターン４があ
った部分のクロム膜２、銅膜５ｒｒ：適当なエツチング
液を用いてエツチングし、スペース部９を形成し逆流防
止ダイオード取付部を分離独立させた状態の図である。
本工程の不具合は無欠陥なホトレジスＦパターン４が得
難くメツ中膜の不必要なスペース部９にもメツ午が成長
し、逆流防止ダイオード取付部の電気的分離性および本
図には示してないが、配線導体間の電気的短絡が生ずる
事、又工程が長い等である。
本発明の目的は上記した従来技術の欠点をなくし薄膜感
熱記録ヘッドの製造歩留りを向上させかつ工程を短縮し
製品価格を下げる事を考慮した製造方法【提供するにあ
る。
上記目的ｅ！成するため本発明は逆流防止ダイオード取
付部、配線導体部の構成をクロム。
鯛、愈の三層構造にし、全ての膜をスパッタ法等による
真空技術を用いて形成するものである〇以下図面に基づ
いて本発明を説明Ｔる。
第２図は本発明の一実施例を処理工程順に示したもので
ある。同図（ａ）はセラミック基板ｉにクロム１１２　
８ｍ１１５．金１１ｆｔ−全面にスパッタにより形成し
た図である。
Φ）観は（４工程完了後の基板にホトレジストを塗布し
通常のホトレジスト形成工程でホトレジストバメーン５
ｆ：形成した図、（Ｃ）は申）工程完了基板を適当なエ
ツチング液を用い、金Ｉｌ［４・銅膜５．り胃ム＠２を
順次エツチングし逆流防止ダイオード取付部６．スペー
ス部７を形成した図である。
本発明により従来方法で問題になりでい七電気メッキの
不要部分への成長電気メッキ【廃止Ｔる事による工数の
低減が実現出来、安価な製品ｅ製造Ｔる事が出来る〇
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）〜（ｄ）は従来方法の躯造工程概略図、第
２図（→〜（ｅ）は本発明の実施例を示す製造工程概略
図である。 １・・・七う之ツク基板、　　２・・・クロム膜、５・
・・銅膜、　　　　　　　　４・・・７オＦレジスト膜
、９・・・スペース部。 ） 代理人弁理士　薄　１）利、６！！、外。 オ　１　図 ℃） （ｂ） （Ｃ） オ　２　図 （Ｃ）

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 ｔ　薄膜感熱記録ヘッドの製造に員いて逆流防止ダイオ
    ードを半田溶融接続方法にて取付ける構成に於いて、基
    板側の金属膜をクロム。 鋼・金の三層構造とし半田は逆流防止ダイオードチップ
    より供給Ｔる配線導体部もクロム。 鋼、金構造にし外部環境に対する腐食性Ｐ向上する事な
    特徴とする薄膜感熱記録ヘッドの製造方法。
JP1160482A 1982-01-29 1982-01-29 薄膜感熱記録ヘツドの製造方法 Pending JPS58128869A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0433865A2 (en) * 1989-12-20 1991-06-26 Hitachi, Ltd. Thermal printing head and method of manufacturing the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0433865A2 (en) * 1989-12-20 1991-06-26 Hitachi, Ltd. Thermal printing head and method of manufacturing the same
US5229789A (en) * 1989-12-20 1993-07-20 Hitachi, Ltd. Apparatus for thermal printing

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