JPS58123791A - 表示パネル用電極基板の電極形成方法 - Google Patents
表示パネル用電極基板の電極形成方法Info
- Publication number
- JPS58123791A JPS58123791A JP718282A JP718282A JPS58123791A JP S58123791 A JPS58123791 A JP S58123791A JP 718282 A JP718282 A JP 718282A JP 718282 A JP718282 A JP 718282A JP S58123791 A JPS58123791 A JP S58123791A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- display panel
- forming
- substrate
- display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
れ）発明の技術分野
本発明は表示バネμ周電極基板の電極形成方法に係わ、
特に精度のよい電極・−ターンを簡単に形成する方法に
関する奄のである。
特に精度のよい電極・−ターンを簡単に形成する方法に
関する奄のである。
（至）従来技術と問題点
プラズマ・デイヌプレイ・バネ〃の名称で知られるガス
放電パネルとしては、従来ドツト表示形式のマトリック
ス型を始め、特殊な電極パターンを採用した数字表示用
パネルや、セルフシフト型のバネ〜、ならびに一方の基
板上にのみ電極を配列した面放電型のバネに等、種々の
タイプのものが提案されている。
放電パネルとしては、従来ドツト表示形式のマトリック
ス型を始め、特殊な電極パターンを採用した数字表示用
パネルや、セルフシフト型のバネ〜、ならびに一方の基
板上にのみ電極を配列した面放電型のバネに等、種々の
タイプのものが提案されている。
とζろでこの種のガス放電バネμを構成する電極基板に
おいては、高密度表示あ゛るいは高品質表示を行うため
の金属電極を、ガラス基板上に例えばｙａ−ム（Ｏｒ）
−鋼（Ｃｕ）−りａ−Ａ （ｃｒ）からなる８重構造に
電子ビー”五蒸着法とフォトリソ技術とを駆使した薄膜
技術による方法で形成するか、′あるい゛は銀（Ａｇ）
−パラジウム（Ｐ（１）等からなる導電ペーストを用い
て印刷法と焼成工程による厚膜技術によって形成する方
法がとられている。
おいては、高密度表示あ゛るいは高品質表示を行うため
の金属電極を、ガラス基板上に例えばｙａ−ム（Ｏｒ）
−鋼（Ｃｕ）−りａ−Ａ （ｃｒ）からなる８重構造に
電子ビー”五蒸着法とフォトリソ技術とを駆使した薄膜
技術による方法で形成するか、′あるい゛は銀（Ａｇ）
−パラジウム（Ｐ（１）等からなる導電ペーストを用い
て印刷法と焼成工程による厚膜技術によって形成する方
法がとられている。
ところが前者の薄膜技術を用いた電極形成法゛にあって
は、かなシ高精度の電極パターンを形成し得る利点があ
るがその反面工程が煩雑で長時間をめ低コストとなるが
、電極パターンの高精度、高密度化に対しては一定の限
界があり、それ以上にパターン精度を上げることができ
ない不都合があつた。
は、かなシ高精度の電極パターンを形成し得る利点があ
るがその反面工程が煩雑で長時間をめ低コストとなるが
、電極パターンの高精度、高密度化に対しては一定の限
界があり、それ以上にパターン精度を上げることができ
ない不都合があつた。
（ｃ） 発明の目的
本発明は上記し九従来の両者の電極形成法の長所を生か
し、比較的高精度な電極パターンを賽易にかつ低コスト
に形成し得る新規な表示パネル用電極基板の電極形成方
法を提供するととを目的とするものである。
し、比較的高精度な電極パターンを賽易にかつ低コスト
に形成し得る新規な表示パネル用電極基板の電極形成方
法を提供するととを目的とするものである。
口）発明の構成
上記目的を達成するため、本発明は電極を形成すべき基
板上に電極形成用導電ペーストを混合し九しジスト展を
塗着形成し、次いで該レジスト膜を所定の電極パターン
にパターニングした後、前記電極パターンを焼成して金
属電ＩＭ管形成することを特徴としている。
板上に電極形成用導電ペーストを混合し九しジスト展を
塗着形成し、次いで該レジスト膜を所定の電極パターン
にパターニングした後、前記電極パターンを焼成して金
属電ＩＭ管形成することを特徴としている。
（ｅ） 発明の実施例
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。
る。
第１図及び第２図は本発明に係る表示パネル周電極基板
の電極形成方法の一実施例を工程順に説明する丸めの要
部断面図である。
の電極形成方法の一実施例を工程順に説明する丸めの要
部断面図である。
まず第１図に示すように１例えば表示パネル用のガラス
基板ｌ上の全面に、銀（Ａｇ）−パラジウム（Ｐ（１）
等からなる導電ペーストと感光性レジスト液とを例えば
３６〜δ：ｌＯの重量比で混合した混合レジスト液を回
転塗布方法（スピンナ法）等によシ均一に塗布して所定
の厚さの混合レジスト膜２を塗着乾燥した後、フォトリ
ソ工程によって前記混合レジスト膜８を第２図に示すよ
うに所定ノミ極パターン８にバターニングし、続いて例
えば４００℃程度の雰囲気中で約１時間焼成することに
よｐ不用となる有機バインダ及びレジストが焼失し、印
刷法によって形成された電極パターンよシも高精度なＡ
ｇ−Ｐｄからなる金属電極パターンを春品に得ることが
できる。危お本爽施例のものは、基板と電極との書着性
も従来の方法のものと比較して遜色がなく、また電極の
幅も印刷法によ゛）って形成され九電極よシ、：、、も
狭く形成することがで！ きるので発光表示の高解像度化が可能となる。
基板ｌ上の全面に、銀（Ａｇ）−パラジウム（Ｐ（１）
等からなる導電ペーストと感光性レジスト液とを例えば
３６〜δ：ｌＯの重量比で混合した混合レジスト液を回
転塗布方法（スピンナ法）等によシ均一に塗布して所定
の厚さの混合レジスト膜２を塗着乾燥した後、フォトリ
ソ工程によって前記混合レジスト膜８を第２図に示すよ
うに所定ノミ極パターン８にバターニングし、続いて例
えば４００℃程度の雰囲気中で約１時間焼成することに
よｐ不用となる有機バインダ及びレジストが焼失し、印
刷法によって形成された電極パターンよシも高精度なＡ
ｇ−Ｐｄからなる金属電極パターンを春品に得ることが
できる。危お本爽施例のものは、基板と電極との書着性
も従来の方法のものと比較して遜色がなく、また電極の
幅も印刷法によ゛）って形成され九電極よシ、：、、も
狭く形成することがで！ きるので発光表示の高解像度化が可能となる。
（イ）発明の効果
以上の説明から明らかなように本発明に係る表示バネ〃
周電極基板の電極形成方法によれば、高解像度の高品質
な金属電極パターンを簡単な工程により歩留シよ〈短時
間で形成できる利点を有し、またその結果製造コストも
低減できる等、ガス放電を利用し九表示バネ〜用の電極
基板に限らず、液晶、あるいはＥＬ等の表示バネｙ用の
電極基板の製造等に適用して極めて有利である。
周電極基板の電極形成方法によれば、高解像度の高品質
な金属電極パターンを簡単な工程により歩留シよ〈短時
間で形成できる利点を有し、またその結果製造コストも
低減できる等、ガス放電を利用し九表示バネ〜用の電極
基板に限らず、液晶、あるいはＥＬ等の表示バネｙ用の
電極基板の製造等に適用して極めて有利である。
第１図及び第２図は本発明に係る表示パネル用電極基板
の電極形成方法の一実施例を工程順に示す要部断面図で
ある。 図において１はガラス基板、ｇ紘混合レジスト膜、８は
電極パターンを示す。 第１図 第２図
の電極形成方法の一実施例を工程順に示す要部断面図で
ある。 図において１はガラス基板、ｇ紘混合レジスト膜、８は
電極パターンを示す。 第１図 第２図
Claims (1)
- 絶縁基板上に電極形成用導電ペーストを混合したレジス
ト膜を塗着形成し、次いで該レジスト膜ヲ所定の電極パ
ターンにバターニングした後、前記電極パターンを焼成
して基板上に所定パターンの金属電極を形成することを
特徴とする表示パネル用電極基板の電極形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP718282A JPS58123791A (ja) | 1982-01-19 | 1982-01-19 | 表示パネル用電極基板の電極形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP718282A JPS58123791A (ja) | 1982-01-19 | 1982-01-19 | 表示パネル用電極基板の電極形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58123791A true JPS58123791A (ja) | 1983-07-23 |
Family
ID=11658917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP718282A Pending JPS58123791A (ja) | 1982-01-19 | 1982-01-19 | 表示パネル用電極基板の電極形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58123791A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63209191A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜パタ−ン形成方法 |
| JPH10319580A (ja) * | 1994-11-17 | 1998-12-04 | Toray Ind Inc | 感光性導電ペーストおよび電極の製造方法 |
-
1982
- 1982-01-19 JP JP718282A patent/JPS58123791A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63209191A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | 松下電器産業株式会社 | 薄膜パタ−ン形成方法 |
| JPH10319580A (ja) * | 1994-11-17 | 1998-12-04 | Toray Ind Inc | 感光性導電ペーストおよび電極の製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3210214A (en) | Electrical conductive patterns | |
| GB1505026A (en) | Process for producing metal screens by electrodeposition | |
| JPS58123791A (ja) | 表示パネル用電極基板の電極形成方法 | |
| DE2553763A1 (de) | Verfahren zur herstellung einer elektronischen schaltung | |
| JPH02165538A (ja) | プラズマディスプレイパネル障壁の製造方法 | |
| GB1487227A (en) | Method of manufacturing photosensitive material | |
| JP2001023439A (ja) | 電極を形成するための化合物及び電極を製造する方法 | |
| JPS6441194A (en) | Manufacture of thin film electroluminescent element | |
| JP3062637B2 (ja) | 蛍光表示管の製造方法 | |
| JPS639327B2 (ja) | ||
| JPH04342204A (ja) | ブラックマトリクスおよびその製造方法 | |
| JPH08115656A (ja) | 気体放電表示パネルにおける電極の形成方法 | |
| JP3240997B2 (ja) | プラズマディスプレイ基板の厚膜パターン電極形成方法 | |
| JPS63216398A (ja) | 回路基板の製造方法 | |
| JPS63139756A (ja) | サ−マルヘツドの製造方法 | |
| JPS5984503A (ja) | 薄膜抵抗回路部品の製造方法 | |
| JPH01170903A (ja) | 膜パターン形成方法 | |
| JP2821838B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 | |
| JPH08273535A (ja) | 気体放電表示パネルにおける電極の形成方法 | |
| JPH0216529B2 (ja) | ||
| JPH01134812A (ja) | 導電性薄膜の製造法 | |
| JPS62162390A (ja) | 厚膜印刷回路基板の製造方法 | |
| KR910005115B1 (ko) | 금속판에 세라믹 전열선을 형성시키는 방법 | |
| JPH06260761A (ja) | 厚膜多層印刷基板の製造方法 | |
| JPH0145933B2 (ja) |