JPS5811946A - 電子写真感光体 - Google Patents

電子写真感光体

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Publication number
JPS5811946A
JPS5811946A JP11051481A JP11051481A JPS5811946A JP S5811946 A JPS5811946 A JP S5811946A JP 11051481 A JP11051481 A JP 11051481A JP 11051481 A JP11051481 A JP 11051481A JP S5811946 A JPS5811946 A JP S5811946A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
halogen
photoconductive layer
photoconductive
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP11051481A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoichi Osato
陽一 大里
Teruo Misumi
三角 輝男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP11051481A priority Critical patent/JPS5811946A/ja
Publication of JPS5811946A publication Critical patent/JPS5811946A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/02Charge-receiving layers
    • G03G5/04Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
    • G03G5/08Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
    • G03G5/082Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
    • G03G5/08207Selenium-based

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Photoreceptors In Electrophotography (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は電子写真用感光体に関するものである。
特に非晶質セレン蒸着膜を光半導体として使用する電子
写真感光体に関するものである。
電子写真感光体としては、適用される電子写真プロセス
に応じて種々の構成のものが用いられる。その中で、表
面に絶縁層を有する感光体においては、絶縁層上に静電
像を形成するもので、このために帯電により絶縁層と光
導電層との界面に電荷が注入されることが必要である。
例えばこのような電子写真プロセスとして、1次帯電、
画像露光、画像露光と同時に若しくは画像露光後にAC
除電若しくは1次帯電と逆極性の帯電および全面露光か
らなるプロセスが挙げられる。光導電層がSe 、 5
eTeの如きP型半導体で構成されている場合には、1
次帯電を負のコロナ放電によって行い基板より正の電荷
を光導電層に注入させ、光導電層に印加されている電界
によりその電荷を絶縁l−1光導電層界面に移動させて
いる。
初めの帯電に際して、絶縁層と光導電層との間に適当量
の電荷が注入されることは、高コントラストの静電像を
作るために不oJ欠なことである。このために、例えば
、導電性支持体が金属である場合には、特公昭49−6
223号公報に開示されているように基板と光導電層と
の間に電荷注入層を設けるユニ夫がされている。この電
荷注入層は帯電時において光導電層中に十分な電荷を供
給し、絶縁層と光導電層との間に適当量の電荷を存在せ
しめることに寄与する。
光導電層としてSe系光導電層を用いる場合には、光導
電層の製造に際しては特に基板とセレン蒸着膜界面ある
いはSe蒸着膜中に電荷の移動、注入を妨げる障壁、ト
ラップなどを生み出す欠陥を作らないように細心の注意
が払われる。もしもこの様な欠陥部分が形成されると、
画像電位の不足、初期の画像電位の変動あるいは大きな
残留電位などが見られる。
積層欠陥を形成しない様にSeを蒸着する技術として基
板とSe層の間に結晶性Se層あるいはハロゲン元素な
どを高濃度に含むSe層などを電荷堆 注入層として設けること、あるいはSe層のV積速度、
熱履歴などを制御することなどを行っている。
しかし実際にはこれらの障壁、トラップを低レベルに押
えかつ製造毎に常に同じレベルにコントロールすること
は容易ではない。例えば、従来の製造例の場合、基板と
同程度に充分な電荷濃度をもつ電荷注入層を基板に蒸着
し、その上に電荷移動層としてのSeを蒸着していた。
こ板温度が精度よ〈制d11されていないと、わずかな
がら界面に障壁が生じ、しかもそのレベルが蒸着毎に変
化し、製造されるSe系感光体の特性が変化する。
而して本発明は、電荷の注入効果に優れた感光体であっ
て、感光体を量産した場合特性にバラツキが生じない感
光体を提供することを主たる目的とする。
本発明は、基板上にSe系光導電層および絶縁層を有す
る電子写真感光体において、Se系光導電層中のハロゲ
ン元素の含有率が基板側から光導電層表面上に向って連
続的に減少していることを特徴とするものである。
即ち、本発明による感光体では光2pI電層中に含まれ
るハロゲン濃度が基板方向において大きく、基板とは反
対方向の方に連続的Vこ減少してと電荷移動層との界面
が存在せず、号だ、連続又パ 的に形成されるものがあるから、トラップ壁の欠陥部分
が形成されにくく、捷だ、量産にも同じ特性の光導電層
が容易に製造できるものである。
基板側におけるハロゲン濃度は基板面から厚声 さ2Vまでの平均濃度で70 ppm以上、特に500
 ppm以上が好適である。また基板側とはン1 反対側の光導電層の面から厚さ2澗]での7・ロゲンの
平均濃度は501)pfn以下、特には20ppm以下
が好適であり、基板側のハロゲン濃度の1150以下、
特に17100以下が好適である。
ハロゲンとしては、F%C7l、 Bnおよび■が適宜
選択して用いられる。
本発明による感光体の代表的な製法は次の通りである。
いl槓速度の小はい領域では、混在するハロケン元素が
SeF鎖状構造の欠陥部分をターミネイに大きく安定に
なった時より、Se層の比抵抗を下げる原因ともなる。
ハロゲン元素の混入耽の少ないSe層を連続して充分な
)!α厚だけ蒸着するという方法をとる。
本発明の電子写真感光体の最も代表的な構成は、基板、
光導電層および絶縁1f4から構成される。絶縁1−は
光導電層が感する光(輻射線)に対して透過性である。
基板としては、例えば、Al 、 Ni 、黄銅、 C
u 、A−gなどであり、光導電層は、従来、電子写真
用光導電性月料と1〜て用いられる各種のSe系光導電
材料から形成される。
ど、あるいけこれらの半導体に例えば、S l p。
Ge等の他の元素を添加1−だものが挙げられる。
絶縁I―は、普通には、樹脂から構成される。そのよう
な樹脂として有効なのは例えば、ポリエステル、ポリパ
ラキシリレン、ポリウレタン、ポリカーボネイト、ポリ
スチレンなどである。
7(?―欠番 実施例1 第1図に示す様な配置で蒸着実験を行った。
シ 1はアルミ銘リンダ−12はステンレス製のシャッター
、3,4は石英製の蒸着ボートを示す。
3のボートにU元素を5000ppm混入させた純度9
9.99%の粒状セレン110gチャージした。
4のボートに純[99: 99%の粒状セレン全200
ン 1チヤージした。石英ボート開口部とアルミグリンダ−
の距離は約20(wbである。
次に5x 10−”I’orrにX空Jすを気して、ア
ルミジ グリンダ−を65℃に内部ヒーターで保温しながら、1
分間に10回転させるという条件下で次の蒸着を行った
。3の石英ボートのタングステンコイルヒーターに90
V8Aの電流を10分間流して約370℃の蒸発温度で
蒸着を行った後5分経過後ボート4のタングステンコイ
ルヒーターに80V7Aの11を流を流す。約5分後蒸
発源の温度が280℃に達したときにシャッターを開い
て、その拶約40分間約350℃の蒸発源温度で全量を
蒸発させる。このとき得られたザンプルをaとする。
表 グにサンプルとCn添加濃度を示す) i 21.07
チヤージした。上記と同条件下でタングステンコイルヒ
ーターに80V7Aの電流を流し、シャッターは最初か
ら開けておくという条件で蒸着を行った。
各蒸着サンプルの蒸着に用いたセレンのa濃度を第1表
に示す。
第  1  表 次に得られたサンプルa −jの蒸着膜表面にポリカー
ボネート樹脂金25μの厚さに塗布して絶縁層を形成し
、感光ドラムを作成した。
なお蒸着膜の厚さは52μであった。この感光ドラムに
一次帯電としてθ6000Vのコロナ放電全0.2%間
行ってその表面をθ2ooovに0 帯電し、次に二次帯′市として電源・電圧の6000V
の正コロナ放電’i 0.21113C間行って絶縁層
表面を除電し、次に感光ドラム表面を一様に全自照この
プロセスを2卸で繰返し行ったときの全面照射後の表面
電位の変化(第1回、第]O肱第50回)の値を第2表
に示す。
第2表 次に上記帯電測定においてサンプルa −kについチー
次帯電θ6000Vのコロナ放′醒時間を0.21fl
から2.0′冠に延長して充分に帯電時間をかけた場合
(他のプロセス条件については同じ)について測定した
結果全第3表に示す。
第2表、第3表の結果は、アルミシリンダーとセレン蒸
看膜界面および界面近くでのキャリヤー(電荷)移動障
壁の大きさを示している。
α添加濃度が大きくなるに従ってキャリヤーの注入時間
・回数に依存せず一定の表面電位(画像電位)を示すこ
とが分かる。同様にα添加濃度が大きくなるに従って、
充分にキャリヤーの注入時間をかけて得られる最大表面
電位が低下することが分かる。
次に、アルミシリンダーに約20μのA8箔を巻きつけ
サンプルaについてはa添加@ li 5000ppm
の粒状セレン(純度99.99%)kloz蒸着した。
以後サンプルb−kについては、各C濃度の粒状セレン
(第1表参朋)ヲ各210g−チャージして電流80V
7A通電後(1ン開始〜4分まで(2)8分〜10分(
3)17分〜50分(終了まで)の3点について各時間
内のみシャッターを開けて蒸着したサンプルを作った。
(1)の開始より4分間で約2μの厚さの蒸着膜が得ら
れ(2)の8分〜10分で堆積膜厚4〜6μのlNiで
ある2μ淳の蒸着膜が得られた。(3)の48分〜50
分で堆積膜厚50μ〜52μの間である/2μ岸の蒸着
膜が得られた。次に各a = kサンプルについて(1
)〜(3)の分析用サンプルnψ(イ)rアルミ箔より
はがし取って1原子吸光分析を行うことによって実際の
C濃度を測定し/こ。この結果全第4表に示す。
第4表 1だ用いた粒状セレン2H1i7を蒸発中に真空槽内に
設置した水晶振動子によって蒸発中の蒸発速度の変化を
調べIC6この結果を第2図に示す。第2図を見ると、
ヒーターに;ITi ’fM、後、蒸発速度は徐々に立
上がす、最初の5分間で、熱平衡状態の1/2〜1/3
になり、約20分で平衡に遅することが分かる。この結
果から上述(1)のサンプルはセレンの堆積速用−が非
常に小さい領域である。(2)のサンプルはセレンの堆
積速度が充分な大きさである熱平衡状態の堆積速度半分
から、はぼ平衡状態の堆積速度に等しい大きさまで変化
している領域である。(3)のサンプルはセレンの堆積
速度がほぼ熱平衡状態に達している。
領域である。第2図第4表の結果から明らかな様にキャ
リヤー移動の障壁形成を抑える働きが有効になるのは堆
積膜厚4〜6μのちょうど電荷注入作用を示すセレン層
の部分から電荷移動作用をなすセレン層の部分に変わる
場所でのC濃度が制御されていることと、堆積膜厚10
〜52μの電荷移動用セレン層がα元素を含むとしても
微量が良好であることが分かる。
実施例2 実施例f1と同様の方法で、実施例ヂ1のサンプルaと
サンプルgkそれぞれ蒸着をくり返して量産し、10づ
つのサンプルを作成した。
実施例〆lと同様の方法で絶縁層を塗布後帯電特性の測
定を行い全面照射後の表面電位の値を得た。(第1回、
第10回、第50回)第5表に結果を示す。
第 5 衣 第5表を見て明らかな様にサンプルaは電荷注入性セレ
ン層を充分な膜厚たけ蒸着し、′醒荷移動用セレン層の
蒸着でもシャッターを使用して充分な堆積速度(約1.
0μ/minと予想される)になってから蒸着を開始す
るという手間のかかる制御をしているが、アルミシリン
ダーの温度とセレンの堆積速度の微小な変動で作られた
ドラムの特性にバラツキが生首れる。
これに対してサンプル1は一度の蒸発で電荷注入性セレ
ンと電荷移動性セレンを同時に堆積してし1つのでシャ
ッターの制御が不要でありしかも堆積初期の電信移動性
セレン層の欠陥部分をω元素が補償するのできわめて再
現性の良い特性を示すドラムになっている。他のノ・ロ
ゲン元素1i’、Rr、Iについても同様の効果を認め
ている。
このように本発明の感光体は一度の蒸発で′電荷注入性
セレンと電荷移動用セレン層を同時に製膜することが出
来て、しかも添加したハロゲン製置とセ[ノンの堆槙迷
度が効率的に連続に変化する為、 (1)基板とセレ〉′層界面及び界面近くキャリヤー移
動の障壁を作りに<<、また、 (2)  ボートに同じ材料を同梱チャージして一定温
度で蒸発させれば作られるキャリヤー移動障壁のレベル
はごく小さく、一定している為製造のくりかえし再現性
が高い。
【図面の簡単な説明】
第1図はセレンの蒸着装置の配置を示す図である。第2
図は蒸着速朋を示すグラフである。 1ニアルミシリンダー、2:シャッター、3および4:
蒸着用石英ボート 出願人 キャノン株式会社 +)−l!UWノ二一 〜  ら  ■  埴  寸  N

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上にSe系光導電層および絶縁層を有する電
    子写真感光体において、Se系光導電層中のハロゲン元
    素の含有率が基板側から光導電層表面上に向って連続的
    に減少していることを特徴とする電子写真感光体。
JP11051481A 1981-07-15 1981-07-15 電子写真感光体 Pending JPS5811946A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11051481A JPS5811946A (ja) 1981-07-15 1981-07-15 電子写真感光体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11051481A JPS5811946A (ja) 1981-07-15 1981-07-15 電子写真感光体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5811946A true JPS5811946A (ja) 1983-01-22

Family

ID=14537715

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11051481A Pending JPS5811946A (ja) 1981-07-15 1981-07-15 電子写真感光体

Country Status (1)

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JP (1) JPS5811946A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4529679A (en) * 1982-12-27 1985-07-16 Canon Kabushiki Kaisha Photoconductive member
US4588467A (en) * 1983-11-07 1986-05-13 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Stator for rotating electric machine

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4529679A (en) * 1982-12-27 1985-07-16 Canon Kabushiki Kaisha Photoconductive member
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