JPS58107605A - Method of producing chip resistor - Google Patents

Method of producing chip resistor

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JPS58107605A
JPS58107605A JP56207670A JP20767081A JPS58107605A JP S58107605 A JPS58107605 A JP S58107605A JP 56207670 A JP56207670 A JP 56207670A JP 20767081 A JP20767081 A JP 20767081A JP S58107605 A JPS58107605 A JP S58107605A
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JP
Japan
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chip resistor
manufacturing
metal
weight
plating
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Application number
JP56207670A
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Japanese (ja)
Inventor
本城 克彦
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はチップ抵抗器の製造方法に関するもので、安価
にして、はんだ付性にすぐれた、かつ量産性のよいグレ
ーズ系チップ抵抗器の製造方法を提供しようとするもの
である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a method for manufacturing a chip resistor, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a glazed chip resistor that is inexpensive, has excellent solderability, and is easy to mass produce. It is.

従来、グレーズ系チップ抵抗器は、第1図に断面構造水
したように、アルミナ等の耐熱性絶縁基板1上の両端お
よび両側面にAg−pci系の焼付電極4が形成され、
中央部に酸化ルテニウムなどのグレーズ系抵抗体2が焼
付形成され、その抵抗体2上に保護コート3が施こされ
て構成されている。
Conventionally, a glaze type chip resistor has a cross-sectional structure shown in FIG. 1, in which Ag-PCI type baked electrodes 4 are formed on both ends and both sides of a heat-resistant insulating substrate 1 made of alumina or the like.
A glaze resistor 2 made of ruthenium oxide or the like is formed by baking in the center, and a protective coat 3 is applied on the resistor 2.

また、Aq −P d系の電極4部分には、はんだ付時
の“はんだ食れ”を防止するため、Ni あるいはCu
などρ2次電極、およびSnあるいはan −pbの3
次電極のめつきコート6が施こされている。
In addition, the 4 parts of the Aq-Pd-based electrodes are coated with Ni or Cu to prevent "solder erosion" during soldering.
etc. ρ secondary electrode, and Sn or an-pb 3
A plating coat 6 for the next electrode is applied.

1柵昭58−107605(2) いこと、Aq−Pd系焼付電極のコストが高いこと、ま
た、はんだ付時の“はんだ食れ”はかなり改善されてい
るが、はんだ付条件によってはその不安が残りているこ
と、さらには、Aqのマイグレーションの問題をかかえ
ていることなどである。
1 fence Sho 58-107605 (2) The problem is that the cost of Aq-Pd baked electrodes is high, and although "solder erosion" during soldering has been considerably improved, there are concerns about this depending on the soldering conditions. , and furthermore, there are problems with Aq migration.

本発明は上記したような欠点を除去したチップ抵抗器の
製造方法を提供するものであり、耐熱性絶縁基板の所要
個所に設けたグレーズ抵抗皮膜の端部および各端面を含
む電極部にAq酸成分含むペーストを塗布、乾燥した後
、熱処理によりこの部分にAq酸成分含む金属微粒子を
析出し、その上に無電解めっきによりめって電極を形成
し、チップ抵抗器とすることを特徴としている。
The present invention provides a method for manufacturing a chip resistor that eliminates the above-mentioned drawbacks, and includes applying Aq acid to the electrode portions including the ends and each end face of the glaze resistor film provided at required locations on a heat-resistant insulating substrate. After applying and drying the paste containing the component, fine metal particles containing the Aq acid component are precipitated in this area by heat treatment, and electrodes are formed by electroless plating on top of the metal particles to form a chip resistor. .

すなわち、本発明により形成したグレーズ系のチップ抵
抗器は、従来のAg−pa系の焼付ペースト電極に代っ
て、Ni、Cuなどのめっき電極(場合によ・てはさら
にその上に8°あるいは8°−pb      。
That is, the glaze type chip resistor formed according to the present invention has a plated electrode of Ni, Cu, etc. (in some cases, an 8° Or 8°-pb.

などのめっきを形成する)を形成しているので、従来の
大きな問題の1つであるはんだ付時の“はんだ食れ”の
不安が解消できる。
This eliminates the fear of "solder erosion" during soldering, which is one of the major problems of the conventional method.

また、従来のAq−Pd電極では上記の1はんだ食れ”
を防止するため、第2次電極、第3次電極を形成してい
るが、本発明においては、無電解めっきで形成した電極
だけでも充分実用に供し得るので、工数の削減が見込ま
れる。その上、従来のAq−Pd系電極はコストが高い
のに加え、近年の貴金属の高騰でさらに大きな問題とな
っているが。
In addition, the conventional Aq-Pd electrode suffers from the above 1.
In order to prevent this, secondary electrodes and tertiary electrodes are formed, but in the present invention, the electrodes formed by electroless plating can be used sufficiently for practical use, so a reduction in the number of man-hours is expected. Moreover, the cost of conventional Aq-Pd-based electrodes is high, and the recent rise in the price of precious metals has become an even bigger problem.

本発明においては、無電解めっきによる卑金属のNi、
Cuなどを使用するものであるため、大巾なコスト低減
が計れる。さらにまた、Aq−Pd電極ではAqのマイ
グレーションの危険性があるため、その改善が望まれて
いるが、本発明においては、その心配は全くない。
In the present invention, base metal Ni by electroless plating,
Since it uses Cu or the like, it can significantly reduce costs. Furthermore, since there is a risk of Aq migration in an Aq-Pd electrode, an improvement is desired, but there is no such concern in the present invention.

次に図面を参照して、本発明の構成を詳述する。Next, the configuration of the present invention will be explained in detail with reference to the drawings.

第2図は本発明の方法により得られるチップ抵抗器の一
例を示す断面図であシ、図において、11は耐熱性絶縁
基体で、通常アルミナ基板を用いるが、その基板表面は
研磨あるいはフッ酸−硝酸混12はグレーズ系抵抗皮膜
であり、通常、酸化ルテニウム系のものを用いるが、こ
のグレーズ抵抗 、体ペーストをスクリーン印刷に、よ
り、所要個所に印刷し、乾燥後aso’c前後で焼成を
行ない、抵抗皮膜を形成している。14は無電解めっき
の触媒核となるA9成分を含む金属微粒子層で、これは
Aq酸成分含む活性ペーストを上記グレーズ抵抗皮膜の
端部および各端面を含む電極部に塗布、乾燥し、これを
熱処理して、上記電極部表面にAq酸成分含む金属微粒
子として析出させたものである。
Fig. 2 is a cross-sectional view showing an example of a chip resistor obtained by the method of the present invention. -Nitric acid mixture 12 is a glaze-based resistance film, and ruthenium oxide-based film is usually used.This glaze resistance film is printed on the required areas using screen printing, and after drying, it is fired before or after aso'c. This process forms a resistive film. Reference numeral 14 denotes a metal fine particle layer containing the A9 component which serves as a catalyst nucleus for electroless plating, and this is made by applying an active paste containing an Aq acid component to the electrode portion including the ends and each end surface of the glaze resistive film, drying it, and then drying it. The metal particles containing the Aq acid component are precipitated on the surface of the electrode section by heat treatment.

この活性ペースト中のAq成5分としては、粒径2μ以
下のAq微粉末あるいは焼付熱処理後金属Aq とI、
CM出fるAqNO3,、AqCO3,AqOl fx
どのAq化合物が用いられる。
The Aq components in this active paste include Aq fine powder with a particle size of 2μ or less or metal Aq and I after baking heat treatment,
CM output AqNO3, AqCO3, AqOl fx
Which Aq compound is used.

Aqは熱処理によって容易に金属Aqになり、表面酸化
が起りに<<、また貴金属の中ではコストが安いことな
ど本発明の目的に合った成分である。
Aq easily becomes metal Aq by heat treatment, does not cause surface oxidation, and is a component suitable for the purpose of the present invention because it is inexpensive among noble metals.

A9以外の金属成分は、他の貴金属および卑金属の単独
金属もしくは合金からなる。好ましくは、7ベー;゛ 卑金属のNi 、Cu 、Al 、 Zn 、 Sn 
、W、Mo 、 Fe 、Co。
The metal components other than A9 are single metals or alloys of other noble metals and base metals. Preferably, 7 base; base metals Ni, Cu, Al, Zn, Sn
, W, Mo, Fe, Co.

Cr中でもNiが良好である。Aqおよび卑金属の粉末
は2μ以下の粉末粒径のものが良好であシ。
Among Cr, Ni is preferable. Aq and base metal powders with a particle size of 2μ or less are preferred.

2uを越えると基板と皮膜の密着性、電気特性が劣化す
るとともにペーストの印刷特性が悪くなる。
If it exceeds 2u, the adhesion between the substrate and the film and the electrical properties will deteriorate, as well as the printing properties of the paste will deteriorate.

Aq酸成分卑金属成分の組成比率はA9成分0.5〜1
00重量%、卑金属成分99.6〜0重量%であるが、
より好ましい範囲はAq成分6〜80重量%、卑金属成
分96〜20重量%である。この理由は、Aq酸成分比
率が卑金属成分の比率に比べ余りに少ないと、熱処廟時
に酸化膜が出来易く。
The composition ratio of the Aq acid component base metal component is A9 component 0.5 to 1
00% by weight, base metal component 99.6-0% by weight,
A more preferable range is 6 to 80% by weight of the Aq component and 96 to 20% by weight of the base metal component. The reason for this is that if the Aq acid component ratio is too low compared to the base metal component ratio, an oxide film is likely to form during heat treatment.

均一な無電解めっきが困難になり、基板との密着性が低
下し、電気特性が悪化する。また、Aq酸成分比率が多
すぎた場合にも、基板との密着性が低下する傾向にある
。また、上記金属成分中にPd成分を0.01〜6重量
%添加することによって、めっきに対する活性化が強ま
シ、均一なめつき電極が形成され易く、接着強度、電気
特性が向ミ;\ 71間昭58−107605(3) れ、またコストメリットがなくなり好ましくない。
Uniform electroless plating becomes difficult, adhesion to the substrate decreases, and electrical characteristics deteriorate. Furthermore, when the Aq acid component ratio is too high, the adhesion to the substrate tends to decrease. In addition, by adding 0.01 to 6% by weight of Pd component to the above metal component, activation for plating is strengthened, uniformly plated electrodes are easily formed, and adhesive strength and electrical properties are improved; 1971-107605 (3) Moreover, there is no cost advantage, which is not preferable.

同様の理由から0.2〜0.6重量%の添加がより好ま
しい。
For the same reason, addition of 0.2 to 0.6% by weight is more preferable.

上記成分からなる金属材料のペースト中の組成範囲は0
.1〜30重t%で、この金属成分が少なすぎる場合に
は均一なめっき形成が著しく困難になり、基板との接着
強度も低くなる。また、多すぎる場合には接着強度の低
下、電気特性の劣化の傾向が見られ、またコストメリッ
トが少なくなり好ましくない。上記の理由から、より好
ましい組成範囲は6〜30重に%である。
The composition range in the paste of metal materials consisting of the above components is 0
.. If the metal component is too small (1 to 30% by weight), it becomes extremely difficult to form a uniform plating, and the adhesive strength with the substrate becomes low. On the other hand, if the amount is too large, adhesive strength tends to decrease, electrical properties tend to deteriorate, and cost benefits decrease, which is not preferable. For the above reasons, a more preferable composition range is 6 to 30%.

活性ペーストに用いるビヒクルとしては、エチルセルロ
ス、ポリビニルピロリドン、ポリビニルブチラールなど
の樹脂を、アルコール、セロソルブ、ターピネオールな
どの溶剤に溶解したもので、このビヒクルに上記Aq酸
成分混ぜ合せて活性ペーストとしている。
The vehicle used for the active paste is a resin such as ethyl cellulose, polyvinylpyrrolidone, or polyvinyl butyral dissolved in a solvent such as alcohol, cellosolve, or terpineol, and the above Aq acid component is mixed with this vehicle to form the active paste.

Ω 上記活性ペーストは充分な接着強度が得られるものであ
るが、この活性ペースト中にさらに0.5〜6重量%の
ガラス粉末あるいはBi2O3,B2O3゜9ベー二゛ 5b2o3.Pboなどの低融点酸化物(焼成後酸化物
になるものを含む)を加えることによって、さらに接着
強度を向上させることができる。なお、B2O3は活性
金属の酸化を抑制する働きもあるため、ガラス粉末もB
2O3を含むものが好ましい。
Ω Although the above active paste provides sufficient adhesive strength, 0.5 to 6% by weight of glass powder or Bi2O3, B2O3°9Bay25b2O3. The adhesive strength can be further improved by adding a low melting point oxide such as Pbo (including those that become oxides after firing). In addition, since B2O3 also has the function of suppressing the oxidation of active metals, glass powder also contains B2O3.
Those containing 2O3 are preferred.

これらの成分はO,S重量係未満では効果が十分でなく
、6重量%を越えると接着強度、!を気特性に悪影響を
及ぼす。
If these components are less than O,S weight ratio, the effect will not be sufficient, and if it exceeds 6% by weight, the adhesive strength will decrease! It has a negative effect on the characteristics.

、   上記活性ペーストを塗布、乾燥した後、熱処理
してAq酸成分含む金属微粒子を析出させるが、この熱
処理は、好ましくけ大気中、250〜860℃の温度範
囲で行なわれる。この下限以下では活性ペーストの樹脂
成分が完全に燃焼せず雑存するため、均一な無電解めっ
き析出がなされなかったり、接続強度の悪化の原因とな
るなど電極としての充分な機能を持たないものとなる。
After the active paste is applied and dried, it is heat-treated to precipitate fine metal particles containing the Aq acid component, and this heat treatment is preferably carried out in the air at a temperature in the range of 250 to 860°C. Below this lower limit, the resin components of the active paste will not be completely burned and will remain mixed in, resulting in the failure of uniform electroless plating deposition and deterioration of connection strength, resulting in the electrode not having sufficient functionality. Become.

また、この上限をこえた温度では金属成分の溶解あるい
は酸化などのために金属微粒子が良好な状態で形成され
な) いため、良好な電極機能をもっためっき皮膜の形
ン  成が行なわれない。なお、本発明において、上記
C1 熱処理により析出したAq酸成分含む金属微粒子層は厚
み平均1μ以下とりすぐ、導通もないものである。
Further, at temperatures exceeding this upper limit, metal fine particles cannot be formed in a good state due to dissolution or oxidation of metal components, and therefore a plating film with good electrode function cannot be formed. In the present invention, the metal fine particle layer containing the Aq acid component precipitated by the C1 heat treatment has an average thickness of 1 μm or less, is straight, and has no conduction.

上記金属微粒子層を形成し′へ後、その上に無電解めっ
きにより金属皮膜層15を形成する。通常この無電解め
っきには、NiまたはCuの無電解めっきを用いる。さ
らに、はんだ付性の向上を計るため、通常、このめっき
皮膜の上にSnおよび5n−Pbの電気めっき層16を
形成する。なお、上記無電解めっきに先立ち、めっきレ
ジスト層13を形成して、ブレース抵抗皮膜を保護する
。さらに、無電解めっきに先立ち、上記金属微粒子層を
Pdイオンを含む浴液中で置換処理を施すことしこよっ
て、めっきに対しより活性になり、均一なめっきが形成
される。Aq酸成分みの金属微粒子層でNiめっきする
場合には、とのPd置換処理が必要である。
After forming the metal fine particle layer, a metal film layer 15 is formed thereon by electroless plating. Usually, electroless plating of Ni or Cu is used for this electroless plating. Furthermore, in order to improve solderability, an electroplated layer 16 of Sn and 5n-Pb is usually formed on this plating film. Note that, prior to the electroless plating, a plating resist layer 13 is formed to protect the brace resistance film. Furthermore, prior to electroless plating, the metal fine particle layer is subjected to a substitution treatment in a bath solution containing Pd ions, thereby making it more active for plating and forming uniform plating. When performing Ni plating with a metal fine particle layer containing only the Aq acid component, a Pd substitution treatment is required.

上記各工程によって、グレーズ系テップ抵抗器が製造さ
れる。
A glazed tip resistor is manufactured through each of the above steps.

以下、本発明を実施例にもとづき説明する。Hereinafter, the present invention will be explained based on examples.

11ページ 分割用溝によシ多数の同一パターン(3,2■×1.6
fi)を形成したアルミナ磁器基体の各パターン内の所
要部分に、酸化ルテニウム系のグレーズ抵抗体ペースト
を印刷し、120℃で乾燥した後、860℃で焼成し、
グレーズ抵抗皮膜を形成した。
11 Many identical patterns (3.2 x 1.6
A ruthenium oxide-based glaze resistor paste was printed on the required portions of each pattern of the alumina porcelain substrate formed with fi), dried at 120°C, and then fired at 860°C.
A glaze resistance film was formed.

次いで、この基体を横溝にそって分割した後、抵抗皮膜
端部および各端面の電極部VcO〜100重量係のAq
酸成分100−0重量チの卑金属成分からなる金属成分
0.06〜40重量%を含み、残部として樹脂分のポリ
ビニルピロリドン、溶剤のターピネオールからなるビヒ
クルを用いた活性ペーストを塗布した。このAq酸成分
は平均粒径1μ以下のAq粉末およびAqNO3,卑金
属成分には平均粒径1μ以下の全域粉末を用いた。この
基体を120℃で10分間乾燥した後、大気中180〜
10oO℃の温度で30分間熱処理し、金属微粒子層を
析出した。次いで、グレーズ抵抗皮膜上の電極部を除く
部分にめっきレジストを塗布硬化した。
Next, after dividing this substrate along the horizontal grooves, the end portions of the resistive film and the electrode portions of each end surface were divided by VcO to Aq of 100% by weight.
An active paste was applied using a vehicle containing 0.06 to 40% by weight of a metal component consisting of a base metal component of 100-0% by weight of an acid component, the balance being polyvinylpyrrolidone as a resin component, and terpineol as a solvent. The Aq acid component used was Aq powder and AqNO3 with an average particle size of 1 μm or less, and the base metal component used a whole range powder with an average particle size of 1 μm or less. After drying this substrate at 120°C for 10 minutes,
A heat treatment was performed at a temperature of 100° C. for 30 minutes to precipitate a metal fine particle layer. Next, a plating resist was applied to the portions of the glaze resistive film excluding the electrode portions and hardened.

11間昭58−107605 (4) 溶液に浸漬してPd置換処理をした後、硫酸ニッケル、
クエン酸ソーダ、次亜リン酸Naを主成分とするN1−
P系の無電解めっき液で1Q分間めっきし、電極部に約
4μのN1−Pめっき皮膜を析出してめっき電極を形成
した。なお、−例については還元剤にボロンハイドライ
ドを用い、N1−Bめっきの約4μの皮膜を形成した。
(4) After immersing in a solution and performing Pd substitution treatment, nickel sulfate,
N1- whose main components are sodium citrate and sodium hypophosphite
Plating was performed for 1Q minutes using a P-based electroless plating solution, and a N1-P plating film of about 4 μm was deposited on the electrode portion to form a plating electrode. In addition, in the - example, boron hydride was used as the reducing agent, and a film of about 4 μm of N1-B plating was formed.

また、無電解Cuめりきの場合には、硫酸銅、EDTA
、か性ソーダ、ホルコリンを含むめっき液で40分間め
っきし、約3μめっきの皮膜を得た。さらに電極部に5
n−Pb層を形成する場合には、共晶はんだ層を電気め
っきにより約3μ析出させた。この基体を縦溝にそって
分割し、チップ抵抗器を作成した。
In addition, in the case of electroless Cu plating, copper sulfate, EDTA
Plating was performed for 40 minutes with a plating solution containing , caustic soda, and forcolin to obtain a film with a thickness of about 3μ. Furthermore, 5
When forming the n-Pb layer, a eutectic solder layer of approximately 3 μm was deposited by electroplating. This substrate was divided along vertical grooves to create chip resistors.

従来例としては、電極部をAq−Pd系ペーストの焼付
電極としたもの、およびその上に電気Cuめっきを1μ
、共晶etんためっきを3μ形成したものを用いた。
As a conventional example, the electrode part is a baked electrode of Aq-Pd paste, and an electrolytic Cu plating of 1 μm is applied thereon.
, eutectic ET plating with a thickness of 3 μm was used.

接着強度を調べ、その結果を次表に示した。The adhesive strength was examined and the results are shown in the table below.

なお、はんだ付性は260℃6秒間の条件ではんだディ
ップを行ない、そのはんだ付状態で判定した。また、無
電解めっきの接着強度はアルミナ磁器基体を用い、基体
表面に本発明の方法によシロφのめっき電極を形成し、
はんだ付して、その接着強度を測定した。
The solderability was determined by performing solder dipping at 260° C. for 6 seconds and evaluating the soldered state. In addition, the adhesive strength of electroless plating is determined by using an alumina porcelain substrate and forming a plating electrode with a diameter of φ by the method of the present invention on the surface of the substrate.
The adhesive strength was measured by soldering.

以下余白 17ベーー二゛ 上記表において、ム1〜7はAq酸成分卑金属成分の比
率を変化させた場合の実施例であり、本発明の範囲内の
ものは良好な結果である。ム8〜14はペースト中の金
属成分量を変えた時のデータ、本発明の範囲未満の成分
量ではめっきが均一に析出せず、本発明の範囲を越える
場合には特性的に劣化する傾向がみられた。l616は
Aq化合物単独の場合の実施例である。A1−6〜24
μs金属粉末の種類を変化させた時の実施例でいづれも
良好な結果を示している。425〜31はペーストの熱
処理温度による影響を調べた実施例で、本発明の範囲を
越えても未満でもめっき析出の不良がみられた。432
〜36ではペースト中にガラス粉末、低融点酸化物を添
加した場合の実施例で、本発明の範囲内ではいづれも接
着強度の向上がみられた。Jit37は絶縁基体の表面
を粗面化した場合の実施例であり、粗面化していないも
のに比べると接着強度が少し向上している。ム38はペ
ース18 ・ 場合には、Pd処理した場合に比べ無電解めっき開始が
ゆるく一1析出状態にやや劣る傾向がみられ、また接着
強度も若干劣化がヤられた。ム39,40はNiめっき
後の、5n−Pb電気めっき層を形成しない場合の実施
例で、5n−Pb層がある場合に比べはんだ付性が少し
劣る。N1−PとNi−Hのはんだ付性は大きな差はな
いが、ややN1−Bのはんだ付性が良好であった。44
1.42は無電解Cuめっきの場合の実施例である。4
43,44はAq−Pd系焼付ペースト電極を用いた従
来例で、Cu層、5n−Pb層を設けた場合には良好で
あるが、Cuおよび5n−Pb層を設けていない場合に
ははんだ付性が悪くなる。
Below is a margin of 17 pages. In the above table, numbers 1 to 7 are examples in which the ratio of the base metal component to the Aq acid component was varied, and those within the scope of the present invention gave good results. Figures 8 to 14 are data when the amount of metal components in the paste was changed, and if the amount of ingredients is less than the range of the present invention, the plating will not be deposited uniformly, and if it exceeds the range of the present invention, the characteristics tend to deteriorate. was seen. 1616 is an example in which the Aq compound is used alone. A1-6~24
All of the examples in which the type of μs metal powder was changed showed good results. Nos. 425 to 31 are examples in which the influence of the heat treatment temperature of the paste was investigated, and defects in plating precipitation were observed even when the temperature was above or below the range of the present invention. 432
Examples 36 to 36 were examples in which glass powder and low melting point oxide were added to the paste, and improvements in adhesive strength were observed within the scope of the present invention. Jit37 is an example in which the surface of the insulating substrate is roughened, and the adhesive strength is slightly improved compared to that without roughening. In the case of Pace 18.38, electroless plating started more slowly than in the case of Pd treatment, and the deposition state tended to be slightly inferior, and the adhesive strength also deteriorated slightly. Samples 39 and 40 are examples in which a 5n-Pb electroplated layer is not formed after Ni plating, and the solderability is slightly inferior to that in the case where a 5n-Pb layer is present. There was no big difference in the solderability between N1-P and Ni-H, but the solderability of N1-B was slightly better. 44
1.42 is an example in the case of electroless Cu plating. 4
43 and 44 are conventional examples using Aq-Pd based baked paste electrodes, which are good when a Cu layer and a 5n-Pb layer are provided, but solder is poor when a Cu layer and a 5n-Pb layer are not provided. Adhesion becomes poor.

以上の説明から明らかなように、本発明の方法によれば
、所要個所に精度よく、かつ簡単にNi。
As is clear from the above description, according to the method of the present invention, Ni can be easily and precisely deposited at required locations.

Cuなどの卑金属電極を形成でき、電極の接着強度やは
んだ付性もすぐれている。さらに、本発明の方法はAq
のマイグレーションを発生しないな19ペー;゛ なるものである。
Base metal electrodes such as Cu can be formed, and the electrodes have excellent adhesive strength and solderability. Furthermore, the method of the present invention provides Aq
Page 19: No migration occurs.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来のグレーズ系チップ抵抗器の一例を示す断
面図、第2図は本発明により得られるグレーズ系チップ
抵抗器の一例を示す断面図である。 11・・・・・・耐熱性絶縁基板、12・・・・・・グ
レーズ系抵抗膜、13・・・・・・めっきレジスト、1
4・・・・Aq酸成分含む金属微粒子層、16・・・・
・・無電解めっき皮膜、16・・・・・・電気めっき皮
膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名1、
\ 首間昭58−107605 (7)
FIG. 1 is a sectional view showing an example of a conventional glaze type chip resistor, and FIG. 2 is a sectional view showing an example of a glaze type chip resistor obtained by the present invention. 11...Heat-resistant insulating substrate, 12...Glaze-based resistive film, 13...Plating resist, 1
4...Metal fine particle layer containing Aq acid component, 16...
... Electroless plating film, 16... Electroplating film. Name of agent: Patent attorney Toshio Nakao and 1 other person1,
\ Kuma Sho 58-107605 (7)

Claims (1)

【特許請求の範囲】 (1)耐熱性絶縁基体の所要個所に設けたグレーズ抵抗
皮膜の端部および各端面を含む電極部に、A9成分0.
6〜100重量−からなる金属成分を0.1〜30重量
−と残部の有機ビヒクルからなるペーストを塗布、乾燥
した後266〜850”Cの温度範囲で熱処理して前記
電極部に金属微粒子を析出形成し、その上に無電解めっ
きにより、N1またはCuのめりき電極を形成すること
を特徴とするチップ抵抗器の製造方法。 (2)ペースト中の金属成分がA9成分0.5〜100
重量%と、Ni、Cu、Fe、Co、Zn、Mo、AI
!、am。 W、Cτのうち少くとも1種を含む卑金属成分98.6
〜0重量%から成ることを特徴とする特許請求の範囲第
0)項記載のチップ抵抗器の製造方法。 (3)Aq酸成分1粒径2p以下のAq粉末および熱処
理後金属として析出する銀化合物であシ、卑2 ・・ 
。 金属成分が2μ以下の粉末粒径を有する金属粉末あるい
は合金粉末であることを特徴とする特許請求の範囲第(
2)項・記載のチップ抵抗器の製造方法。 (4)  絶縁基体表面を物理的、化学的処理により粗
面化することを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記
載のチップ抵抗器の製造方法。 (6)電極部に金属微粒子を析出形成後、この基体をP
dイオンを含む液で置換処理し、その後、無電解めっき
処理することを特徴とする特許請求の範囲第(1項記載
のチップ抵抗器の製造方法。 (6)ペースト中1にガラス粉末および低融点酸化物0
.6〜5重t%を含ませたことを特徴とする特許請求の
範囲第(1)項記載のチップ抵抗器の製造方法。 (7)無電解めっきの前に、グレーズ抵抗皮膜のうち抵
抗部を形成すべき部分にめっきレジストを塗布硬化する
ことを特徴とする特許請求の範囲第0)項記載のチップ
抵抗器のMI造方法。 (8)無電解めっきの後、電気めっきによりSnまたは
5n−Pbめっき皮膜を′電極部に形成することを特徴
とする特許請求の範囲第(1)項記載のチップ3ページ 抵抗器の製造方法。
Scope of Claims: (1) A9 component 0.0.
A paste consisting of a metal component of 6 to 100% by weight, 0.1 to 30% by weight, and the remainder organic vehicle is applied, dried, and then heat-treated in a temperature range of 266 to 850"C to form metal fine particles on the electrode part. A method for manufacturing a chip resistor, which comprises depositing and forming a plated electrode of N1 or Cu on the electrode by electroless plating. (2) The metal component in the paste is 0.5 to 100% of the A9 component.
Weight% and Ni, Cu, Fe, Co, Zn, Mo, AI
! , am. Base metal component containing at least one of W and Cτ 98.6
The method for manufacturing a chip resistor according to claim 0, characterized in that the amount of the chip resistor is 0 to 0% by weight. (3) Aq acid component: Aq powder with a particle size of 2p or less and a silver compound that precipitates as a metal after heat treatment, base 2...
. Claim No. 1, characterized in that the metal component is a metal powder or alloy powder having a powder particle size of 2μ or less.
2) Method for manufacturing the chip resistor described in section 2). (4) A method for manufacturing a chip resistor according to claim (1), characterized in that the surface of the insulating substrate is roughened by physical or chemical treatment. (6) After depositing and forming metal fine particles on the electrode part, this substrate is
A method for manufacturing a chip resistor according to claim 1, characterized in that a substitution treatment is performed with a solution containing d ions, and then an electroless plating treatment is performed. (6) Glass powder and low Melting point oxide 0
.. The method for manufacturing a chip resistor according to claim 1, characterized in that 6 to 5 weight % is contained. (7) MI construction of a chip resistor according to claim 0), characterized in that, before electroless plating, a plating resist is applied and hardened to a portion of the glaze resistor film where a resistance portion is to be formed. Method. (8) A method for manufacturing a chip three-page resistor according to claim (1), characterized in that after electroless plating, a Sn or 5n-Pb plating film is formed on the 'electrode part by electroplating. .
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