JPS63215021A - Manufacture of variable resistor - Google Patents

Manufacture of variable resistor

Info

Publication number
JPS63215021A
JPS63215021A JP62049744A JP4974487A JPS63215021A JP S63215021 A JPS63215021 A JP S63215021A JP 62049744 A JP62049744 A JP 62049744A JP 4974487 A JP4974487 A JP 4974487A JP S63215021 A JPS63215021 A JP S63215021A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resistor
bottom layer
layer
plating
variable resistor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62049744A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
智久 小川
清 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP62049744A priority Critical patent/JPS63215021A/en
Publication of JPS63215021A publication Critical patent/JPS63215021A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Adjustable Resistors (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 厳fl肛立野 本発明は、絶縁基板上に形成した抵抗体上で摺動子を回
動させることにより抵抗値を可変とした、プリント回路
基板等への表面実装可能な可変抵抗器の製造方法に関す
る。
[Detailed Description of the Invention] The present invention can be surface-mounted onto a printed circuit board, etc., in which the resistance value can be varied by rotating a slider on a resistor formed on an insulating substrate. The present invention relates to a method of manufacturing a variable resistor.

疋米五弦重 従来、この種の可変抵抗器としては、第8図に示す様に
、絶縁基板1の上面に円弧状のサーメット抵抗体5を形
成し、この絶縁基板1上に摺動子(図示せず)を抵抗体
5上を摺動する様に回動可能に取付けたものが提供され
ている。なお、摺動子は絶縁基板1の中心孔2に図示し
ない電極を介して回動可能に取り付けられている。
Conventionally, as shown in FIG. 8, in this type of variable resistor, an arc-shaped cermet resistor 5 is formed on the upper surface of an insulating substrate 1, and a slider is mounted on the insulating substrate 1. (not shown) is rotatably attached so as to slide on the resistor 5. Note that the slider is rotatably attached to the center hole 2 of the insulating substrate 1 via an electrode (not shown).

また、抵抗体5の両端部には銀−パラジウム合金からな
る外部電極6,6が設けられている。この外部電極6は
、第9図に示す様に、まず、絶縁基板1の表裏面に銀−
パラジウム合金6a 、 6bを印刷・焼付けし、端面
に同じく銀−パラジウム合金60をデツプ・焼付けした
もので、その後抵抗体5が印刷・焼付けされる。
Furthermore, external electrodes 6, 6 made of a silver-palladium alloy are provided at both ends of the resistor 5. As shown in FIG.
Palladium alloys 6a and 6b are printed and baked, and a silver-palladium alloy 60 is similarly deposited and baked on the end face, and then the resistor 5 is printed and baked.

λ甥J」冒(V主」ユコし支が履虞 しかしながら、以上の可変抵抗器においては、半田中に
銀が拡散する銀くわれを防止して半田耐熱特性の向上を
図るために外部電極6として銀−パラジウム合金を使用
しているが、これでは高価であり、かつ、銀くわれを確
実に防止することも不可能であるという問題点を有して
いる。また、端面に設けた銀−パラジウム合金6cの膜
厚がどうしても厚くなり、ガラスフリットが表面に露出
して半田付Cす特性を損ない、煩雑な予備半田が必要で
あるという問題点をも有している。
However, in the above variable resistor, the external electrode is used to prevent silver from diffusing into the solder and improve the soldering heat resistance. Silver-palladium alloy is used as No. 6, but this has the problem that it is expensive and it is impossible to reliably prevent silver corrosion. There are also problems in that the film thickness of the silver-palladium alloy 6c inevitably increases, the glass frit is exposed on the surface, impairing the soldering characteristics, and complicated preliminary soldering is required.

間 1、を  するための 段 そこで、本発明に係る可変抵抗器は、 (i)絶縁基板の端面近傍の表面部にメッキが可能な表
面側最下層と絶縁基板の端面にメッキが可能な端面側最
下層とを形成する工程と、(i)抵抗体を前記表面側最
下層の一部を覆う様に設ける工程と、 (i)メッキレジストをその端縁が前記表面側最下層に
達する様に前記抵抗体上に設ける工程と、(〜)メッキ
層を前記表面側最下層の一部と前記端面側最下層とを覆
う様に形成する工程と、(V)前記メッキレジストを除
去する工程と、を備えたことを特徴とする。
Therefore, the variable resistor according to the present invention includes: (i) a lowermost layer on the surface side where the surface near the end surface of the insulating substrate can be plated; and an end surface where the end surface of the insulating substrate can be plated; (i) providing a resistor so as to cover a part of the bottom layer on the surface side; (i) applying a plating resist so that its edges reach the bottom layer on the surface side; (-) a step of forming a plating layer so as to cover a part of the bottom layer on the surface side and the bottom layer on the end surface side; (V) a step of removing the plating resist. It is characterized by having the following.

正−月 即ち、本発明に係る製造方法では、外部電極のメッキが
可能な最下層(例えば、銀、銀−パラジウム合金)は少
なくとも一層のメッキ層で被覆。
In other words, in the manufacturing method according to the present invention, the lowest plating layer of the external electrode (for example, silver, silver-palladium alloy) is coated with at least one plating layer.

保護されることとなる。従っ−て、最下層に安価な銀を
使用しても銀くわれが発生することはない。
It will be protected. Therefore, even if inexpensive silver is used in the bottom layer, silver corrosion will not occur.

また、メッキ層を形成する前にメッキレジストをその端
縁が表面側最下層に達する様に抵抗体上に設けることか
ら、抵抗体にメッキ層が接触して抵抗体の特性が劣化し
たり、メッキ層の接触部分が抵抗値の調整時等に剥がれ
て絶縁不良を招来することが防止される。しかも、メッ
キレジストの端縁が表面側最下層上に位置することから
、メッキレジスト端縁の密着性が良好で抵抗体がメッキ
層から完全に保護されることとなる。
In addition, since the plating resist is provided on the resistor so that its edge reaches the bottom layer on the surface side before forming the plating layer, the plating layer may come into contact with the resistor and the characteristics of the resistor may deteriorate. This prevents the contact portion of the plating layer from peeling off when adjusting the resistance value, resulting in poor insulation. Moreover, since the edge of the plating resist is located on the bottom layer on the surface side, the adhesion of the edge of the plating resist is good and the resistor is completely protected from the plating layer.

衷舅倒 第1図ないし第4図は本発明に係る製造方法にて製造き
れた可変抵抗器を示し、まず、その構成を説明する。
1 to 4 show a variable resistor manufactured by the manufacturing method according to the present invention, and the structure thereof will be explained first.

この可変抵抗器は、絶縁基板10と、その表面に設置し
た摺動子20とから構成されている。
This variable resistor is composed of an insulating substrate 10 and a slider 20 installed on the surface of the insulating substrate 10.

絶縁基板10はアルミナを成形、焼結したもので、中心
孔11を有し、その表面には円弧状のサーメット抵抗体
15と環状のフレフタ電極17とが形成されている。抵
抗体15の両端部とフレフタ電極17とは基板10の一
端部まで延在され、以下に詳述する外部電極16.16
.18と電気的に接続されている。
The insulating substrate 10 is made of molded and sintered alumina, has a center hole 11, and has an arcuate cermet resistor 15 and an annular flutter electrode 17 formed on its surface. Both ends of the resistor 15 and the flefter electrode 17 extend to one end of the substrate 10, and are connected to external electrodes 16.16, which will be described in detail below.
.. It is electrically connected to 18.

摺動子20は、第2図に示す様に、皿状部21と中心部
に設けた筒状部22と外周部に設けたアーム部23とを
有している。この摺動子20は、筒状部22を絶縁基板
10の中心孔11に挿入して裏面側でかしめることによ
り、皿状部21がコレクタ電極17上に接触すると共に
、アーム部23の下方に突き出された接点部24が抵抗
体15上に接触した状態で回動可能に取り付けられてい
る。
As shown in FIG. 2, the slider 20 has a dish-shaped portion 21, a cylindrical portion 22 provided at the center, and an arm portion 23 provided at the outer periphery. This slider 20 is constructed by inserting the cylindrical part 22 into the center hole 11 of the insulating substrate 10 and caulking it on the back side, so that the dish-shaped part 21 comes into contact with the collector electrode 17 and the lower part of the arm part 23 A contact portion 24 protruding from the resistor 15 is rotatably attached to the resistor 15 in contact with the contact portion 24 .

次に、外部電極16の構造について説明する。Next, the structure of the external electrode 16 will be explained.

外部電極16は、第4図に示す様に、表面側最下層16
a、端面側最下層16a’ 、裏面側最下層16a“と
、第1のメッキ層16bと、第2のメッキ層16cとの
三層にて構成されている。表面側最下層16aは銀又は
銀−パラジウム合金を印刷・焼付けし、端面側最下層1
6a″と裏面側最下層16a”とは銀を印刷・焼付けし
たもので、その厚さは例えばそれぞれ15μmである。
As shown in FIG.
a, the bottom layer 16a' on the end side, the bottom layer 16a'' on the back side, the first plating layer 16b, and the second plating layer 16c.The bottom layer 16a on the front side is made of silver or Print and bake silver-palladium alloy to form the bottom layer 1 on the end side.
6a'' and the bottom layer 16a'' on the back side are printed and baked with silver, and each has a thickness of, for example, 15 μm.

第1のメッキ層16bはニッケル又はニッケル合金から
なり、その厚さは例えば1〜2μmである。第2のメッ
キ層16cは錫又は錫−鉛合金からなり、その厚さは例
えば1〜4μmである。
The first plating layer 16b is made of nickel or a nickel alloy, and has a thickness of, for example, 1 to 2 μm. The second plating layer 16c is made of tin or a tin-lead alloy, and has a thickness of, for example, 1 to 4 μm.

第1のメッキ層16bは前記最下層15a、 16a 
’ e 16a ”に対して銀くわれを防止するバリア
として機能し、半田耐熱特性を向上させる作用を有する
。第2のメッキ層16cは半田ぬれ性を高めて半田付は
特性を向上させる作用を有し、合わせて予備半田を省略
させる作用を有する。
The first plating layer 16b is the bottom layer 15a, 16a.
The second plating layer 16c functions as a barrier to prevent silver corrosion against 'e16a' and improves soldering heat resistance.The second plating layer 16c has the effect of increasing solder wettability and improving soldering properties. It also has the effect of omitting preliminary soldering.

次に、製造工程について説明する。本発明の特徴とする
点は外部電極16の形成に係り、その他の製造工程は従
来と同様の方法にて行なわれる。そこで、外部電極16
の製造工程について説明する。
Next, the manufacturing process will be explained. The feature of the present invention is related to the formation of the external electrode 16, and other manufacturing steps are performed in the same manner as in the prior art. Therefore, the external electrode 16
The manufacturing process will be explained.

[i]絶縁基板10の表面、端面、裏面に最下層16g
、16a’、16a“を形成する。
[i] Bottom layer 16g on the front surface, end surface, and back surface of the insulating substrate 10
, 16a', 16a'' are formed.

[i1抵抗体15を表面側最下層16aの一部を覆う様
に形成する。
[The i1 resistor 15 is formed so as to cover a part of the lowermost layer 16a on the surface side.

[i]メッキレジスト25(第4図ウニ点鎖線で示す)
をその端縁が表面側最下層16aに達する様に抵抗体1
5上に塗布する。
[i] Plating resist 25 (shown by the dotted chain line in Figure 4)
resistor 1 so that its edge reaches the bottom layer 16a on the surface side.
5. Apply on top.

[■コメツキ層16b、 16cを表面側最下層16a
の一部と端面側最下層16a’ 、裏面側最下層16a
″を覆う様に形成する。
[■Click layers 16b and 16c are the bottom layer 16a on the surface side
a part of the bottom layer 16a' on the end side, and the bottom layer 16a on the back side.
” to cover it.

[V]メッキレジスト25を除去する。メッキレジスト
25を除去するとメッキ層16b、 16cと抵抗体1
5との間にはギャップGが形成され、両者はこのギャッ
プGを介して完全に分離されることとなる。
[V] Remove the plating resist 25. When the plating resist 25 is removed, the plating layers 16b and 16c and the resistor 1 are removed.
A gap G is formed between them and 5, and the two are completely separated via this gap G.

以上の製造工程においては、メッキレジスト25をその
端縁が表面側最下層16aに達する様に設けるため、メ
ッキ層16b、 16cが抵抗体15に接触して抵抗体
15の特性が劣化したり、メッキ層16b、 16cの
端部が抵抗値の調整時等に剥がれて絶縁不良を招来する
ことがない。また、メッキレジスト25の端縁が表面側
最下7116a上に位置することから密着性が良好で、
抵抗体15が後工程で形成されるメッキJ@ 16b、
 16cから完全に保護されることとなる。
In the above manufacturing process, since the plating resist 25 is provided so that its edge reaches the bottom layer 16a on the surface side, the plating layers 16b and 16c may come into contact with the resistor 15 and the characteristics of the resistor 15 may deteriorate. The ends of the plating layers 16b and 16c do not peel off during resistance value adjustment or the like, thereby preventing insulation failure. In addition, since the edge of the plating resist 25 is located on the lowermost surface side 7116a, the adhesion is good.
Plating J@16b where the resistor 15 is formed in a later process,
16c.

きらに、ギャップGが存在することから、抵抗体15、
メッキレジスト25の印刷のばらつきをも吸収でき、抵
抗体15の使用量自体が少なくて済む。
Since there is a gap G, the resistor 15,
Variations in printing of the plating resist 25 can also be absorbed, and the amount of the resistor 15 itself used can be reduced.

一方、コレクタ電極17の外部電極18も前記外部電極
16と同様の三層構造とされ、ギャップGを有している
。さらに、19は遊び電極であり、この遊び電極19も
外部電極16と同様の三層構造とされている。
On the other hand, the external electrode 18 of the collector electrode 17 also has a three-layer structure similar to the external electrode 16, and has a gap G. Further, reference numeral 19 denotes an idle electrode, and this idle electrode 19 also has a three-layer structure similar to the external electrode 16.

なお、本発明にあっては、第2のメッキ層16cは必ず
しも必要なものではなく、最下層16a + 16a 
’ e16a”上には少なくとも第1のメッキ層16b
が形成されていればよい、また、メッキ層16b、 1
6cは前記の材質に限定されるものではなく、種々のも
のを使用することができる。
In addition, in the present invention, the second plating layer 16c is not necessarily necessary, and the lowermost layer 16a + 16a
At least a first plating layer 16b is formed on 'e16a'.
It is sufficient that plating layers 16b, 1 are formed.
The material 6c is not limited to the above materials, and various materials can be used.

さらに、メッキレジスト25を除去したときに形成され
るギャップGに絶縁体を設けてもよい、この様にすれば
表面側最下層16aの保護が完全なものとなる。
Furthermore, an insulator may be provided in the gap G formed when the plating resist 25 is removed. In this way, the bottom layer 16a on the front side can be completely protected.

第5IsAないし第7図は本発明に係る製造方法にて製
造されたいまひとつの可変抵抗器を示す。
5IsA to 7 show another variable resistor manufactured by the manufacturing method according to the present invention.

この可変抵抗器は、前記第1図に示したものに対してコ
レクタ電極に代えて電極30をその筒状部31を絶縁基
板10の中心孔11に挿入した状態で設け、筒状部31
の上部をかしめることにより摺動子20を回動可能に取
り付けたもので、サーメット抵抗体15の外部電極16
 、16は前記第1実施例のものと同様の製造工程にて
三層構造とされ、ギャップGを有している。
In this variable resistor, an electrode 30 is provided in place of the collector electrode in the variable resistor shown in FIG.
The slider 20 is rotatably attached by caulking the upper part of the outer electrode 16 of the cermet resistor 15.
, 16 are formed into a three-layer structure by the same manufacturing process as that of the first embodiment, and have a gap G.

え肌五吃玉 以上の説明で明らかな様に、本発明によれば、最上層上
に少なくとも一層のメッキ層を設けて外部電極としたた
め、メッキ層が最下層の保護バリアとして作用し、最下
層に銀を使用するとしても、銀くわれを確実に肪止して
半田耐熱特性の向上を図ることができ、電極として必ず
しも高価な銀−パラジウム合金を使用しなくても済む、
また、メッキレジストをその端縁が表面側最下層に達す
る前に抵抗体上に設けた後メッキ層を形成する様にした
ため、メッキレジスト端縁の表面側最下層への密着性が
良好で抵抗体がメッキ層から完全に保護され、しかもメ
ッキ層と抵抗体とはギャップにて完全に分離され、メッ
キ層が抵抗体に接触して抵抗体の特性が劣化したり、メ
ッキ層が抵抗値の調整時等に剥がれて絶縁不良を生じた
りすることがなく、抵抗体やメッキレジストの印刷のば
らつきをも吸収でき、抵抗体の使用量も減少する。
As is clear from the above explanation, according to the present invention, at least one plating layer is provided on the top layer to serve as an external electrode, so the plating layer acts as a protective barrier for the bottom layer and Even if silver is used in the lower layer, it is possible to reliably seal the silver holes and improve solder heat resistance, and it is not necessary to use an expensive silver-palladium alloy as an electrode.
In addition, because the plating layer is formed after the plating resist is placed on the resistor before its edge reaches the bottom layer on the surface side, the adhesion of the edge of the plating resist to the bottom layer on the surface side is good and the resistance The body is completely protected from the plating layer, and the plating layer and the resistor are completely separated by a gap, so that the plating layer does not come into contact with the resistor and the characteristics of the resistor deteriorate, or the plating layer has a low resistance value. It does not peel off during adjustment and cause poor insulation, can absorb variations in printing of resistors and plating resists, and reduces the amount of resistors used.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図ないし第4図は本発明に係る製造方法にて製造さ
れた可変抵抗器を示し、第1図は可変抵抗器の中央断面
図、第2図は摺動子の斜視図、第3図は絶縁基板の平面
図、第4図は外部電極の詳細を示すA−A断面図である
。第5図ないし第7図はいまひとつの可変抵抗器を示し
、第5図は平面図、第6図は中央断面図、第7図は底面
図である。第8図は従来の可変抵抗器の絶縁基板の斜視
図、第9図はその外部電極を示す断面図である。 10・・・絶縁基板、15・・・サーメット抵抗体、1
6・・・外部電極、16a・・・表面側最下層、168
′・・・端面側最下層、16a−・・裏面側最下層、1
6b、 16c・・・メッキ層、17・・・フレフタ電
極、18・・・外部電極、20・・・摺動子、G・・・
ギャップ。
1 to 4 show a variable resistor manufactured by the manufacturing method according to the present invention, in which FIG. 1 is a central sectional view of the variable resistor, FIG. 2 is a perspective view of a slider, and FIG. The figure is a plan view of the insulating substrate, and FIG. 4 is a sectional view taken along line A-A showing details of the external electrodes. 5 to 7 show another variable resistor, in which FIG. 5 is a plan view, FIG. 6 is a central sectional view, and FIG. 7 is a bottom view. FIG. 8 is a perspective view of an insulating substrate of a conventional variable resistor, and FIG. 9 is a sectional view showing its external electrode. 10... Insulating substrate, 15... Cermet resistor, 1
6... External electrode, 16a... Bottom layer on surface side, 168
'... Bottom layer on the end side, 16a-... Bottom layer on the back side, 1
6b, 16c...Plating layer, 17...Frefter electrode, 18...External electrode, 20...Slider, G...
gap.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)円弧状の抵抗体が表面に形成された絶縁基板上に
、抵抗体上を摺動する摺動子を回動可能に取り付けた可
変抵抗器の製造方法において、絶縁基板の端面近傍の表
面部にメッキが可能な表面側最下層と絶縁基板の端面に
メッキが可能な端面側最下層とを形成する工程と、 抵抗体を前記表面側最下層の一部を覆う様に設ける工程
と、 メッキレジストをその端縁が前記表面側最下層に達する
様に前記抵抗体上に設ける工程と、メッキ層を前記表面
側最下層の一部と前記端面側最下層とを覆う様に形成す
る工程と、 前記メッキレジストを除去する工程と、 を備えたことを特徴とする可変抵抗器の製造方法。
(1) In a method for manufacturing a variable resistor in which a slider that slides on the resistor is rotatably attached to an insulating substrate on which an arcuate resistor is formed, the a step of forming a bottom layer on the surface side that can be plated on the surface portion and a bottom layer on the end surface side that can be plated on the end face of the insulating substrate; and a step of providing a resistor so as to cover a part of the bottom layer on the surface side. , providing a plating resist on the resistor so that its edge reaches the bottom layer on the front side, and forming a plating layer so as to cover a part of the bottom layer on the front side and the bottom layer on the end side. A method for manufacturing a variable resistor, comprising: a step of removing the plating resist.
JP62049744A 1987-03-03 1987-03-03 Manufacture of variable resistor Pending JPS63215021A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62049744A JPS63215021A (en) 1987-03-03 1987-03-03 Manufacture of variable resistor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62049744A JPS63215021A (en) 1987-03-03 1987-03-03 Manufacture of variable resistor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63215021A true JPS63215021A (en) 1988-09-07

Family

ID=12839697

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62049744A Pending JPS63215021A (en) 1987-03-03 1987-03-03 Manufacture of variable resistor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63215021A (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58107605A (en) * 1981-12-21 1983-06-27 松下電器産業株式会社 Method of producing chip resistor
JPS59186309A (en) * 1983-04-07 1984-10-23 北陸電気工業株式会社 Chip type variable resistor
JPS61102704A (en) * 1984-10-26 1986-05-21 ロ−ム株式会社 Resistor

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58107605A (en) * 1981-12-21 1983-06-27 松下電器産業株式会社 Method of producing chip resistor
JPS59186309A (en) * 1983-04-07 1984-10-23 北陸電気工業株式会社 Chip type variable resistor
JPS61102704A (en) * 1984-10-26 1986-05-21 ロ−ム株式会社 Resistor

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4780702A (en) Chip resistor and method for the manufacture thereof
JP7382451B2 (en) chip resistor
JPS63215021A (en) Manufacture of variable resistor
JP2003068502A (en) Chip resistor
JP3825576B2 (en) Manufacturing method of chip resistor
JPS63173305A (en) Variable resistor
JP2836303B2 (en) Square chip resistor and method of manufacturing the same
JP4707890B2 (en) Chip resistor and manufacturing method thereof
JP3134067B2 (en) Low resistance chip resistor and method of manufacturing the same
JP2668375B2 (en) Circuit component electrode manufacturing method
JPS63179501A (en) Manufacture of variable resistor
JPS63155704A (en) Variable resistor
JPS63215022A (en) Variable resistor
JPS63155703A (en) Variable resistor
JP2002231502A (en) Fillet-less chip resistor and method for manufacturing the same
US4821015A (en) Variable resistor
JPH03214601A (en) Electrode structure of variable resistor
JPS63142802A (en) Variable resistor
JP3953325B2 (en) Chip resistor and manufacturing method thereof
JP2003068505A (en) Chip resistor and method for manufacturing the same
JPS63142801A (en) Variable resistor
JP2788107B2 (en) Manufacturing method of chip type variable resistor
JPH0727610Y2 (en) Variable resistor electrode structure
JPS63179502A (en) Variable resistor and manufacture of the same
JPS63179503A (en) Variable resistor