JPH1197293A - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサInfo
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- JPH1197293A JPH1197293A JP25170197A JP25170197A JPH1197293A JP H1197293 A JPH1197293 A JP H1197293A JP 25170197 A JP25170197 A JP 25170197A JP 25170197 A JP25170197 A JP 25170197A JP H1197293 A JPH1197293 A JP H1197293A
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- Japan
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- screw
- lubricant
- vacuum
- movable
- vacuum capacitor
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 容量可変形の真空コンデンサは、真空容器内
に同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極
１５に取り付け、この固定電極の各円筒状電極板間に非
接触状態で挿出入できるように径の異なる複数の円筒電
極板を可動電極１６に取り付け、この可動電極をベロー
ズ１９を介して円筒状電極板の軸線方向にねじを回転さ
せることにより移動させ、固定と可動の円筒状電極板の
対向面積を変えて静電容量値を調整するものであるが、
回転移動させるねじ部２ｃがベローズ１９の輻射熱を受
け、潤滑剤が固化し、回転トルクを上昇させ、また、大
電流化が阻害されていた。 【解決手段】 潤滑剤として使用可能温度の高いシリコ
ン油系、フッ素油系のグリス、又は固体潤滑剤の粉末又
は薄膜を塗布して使用する。
に同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定電極
１５に取り付け、この固定電極の各円筒状電極板間に非
接触状態で挿出入できるように径の異なる複数の円筒電
極板を可動電極１６に取り付け、この可動電極をベロー
ズ１９を介して円筒状電極板の軸線方向にねじを回転さ
せることにより移動させ、固定と可動の円筒状電極板の
対向面積を変えて静電容量値を調整するものであるが、
回転移動させるねじ部２ｃがベローズ１９の輻射熱を受
け、潤滑剤が固化し、回転トルクを上昇させ、また、大
電流化が阻害されていた。 【解決手段】 潤滑剤として使用可能温度の高いシリコ
ン油系、フッ素油系のグリス、又は固体潤滑剤の粉末又
は薄膜を塗布して使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空コンデンサに関
し、特に、大電力送信機の発振回路、半導体製造装置用
の高周波電源回路、あるいは誘導加熱装置のタンク回路
等に用いられる容量可変形の真空コンデンサに関する。
し、特に、大電力送信機の発振回路、半導体製造装置用
の高周波電源回路、あるいは誘導加熱装置のタンク回路
等に用いられる容量可変形の真空コンデンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】容量可変形の真空コンデンサは、真空容
器内に同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定
電極に取り付け、この固定電極の各円筒状電極板間に非
接触状態で挿入できるように径の異なる複数の円筒電極
板を可動電極に取り付け、この可動電極をベローズを介
して円筒状電極板の軸線方向に移動させて、固定側と可
動側の円筒状電極板の対向面積を変えて静電容量値を調
整するものである。
器内に同心円状で径の異なる複数の円筒状電極板を固定
電極に取り付け、この固定電極の各円筒状電極板間に非
接触状態で挿入できるように径の異なる複数の円筒電極
板を可動電極に取り付け、この可動電極をベローズを介
して円筒状電極板の軸線方向に移動させて、固定側と可
動側の円筒状電極板の対向面積を変えて静電容量値を調
整するものである。
【０００３】この静電容量値を調整する場合、可動側の
円筒電極板を固定側の円筒電極板と非接触状態で、一定
間隔を保ったまま軸線方向に移動させなければならない
ので、移動手段について種々の工夫がなされている。図
３および図４によってかかる調整機能をもった容量可変
形の真空コンデンサを説明する。
円筒電極板を固定側の円筒電極板と非接触状態で、一定
間隔を保ったまま軸線方向に移動させなければならない
ので、移動手段について種々の工夫がなされている。図
３および図４によってかかる調整機能をもった容量可変
形の真空コンデンサを説明する。
【０００４】図３はこの可変型真空コンデンサの断面図
で、例えば、セラミック等の絶縁円筒１２の両端側に銅
製の円筒管１１ａ，１１ｂを接合して円筒部を形成し、
この円筒部を固定側端板兼固定電極取付導体１３と可動
側端板１４とで閉塞して、コンデンサ部を収容する真空
容器１０を形成している。
で、例えば、セラミック等の絶縁円筒１２の両端側に銅
製の円筒管１１ａ，１１ｂを接合して円筒部を形成し、
この円筒部を固定側端板兼固定電極取付導体１３と可動
側端板１４とで閉塞して、コンデンサ部を収容する真空
容器１０を形成している。
【０００５】固定電極取付導体１３の内側には、径（半
径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ１，Ｆ2…Ｆnを同心
円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５を形成
しており、また、この固定電極１５の各電極板間の間隙
内に、非接触状態で挿出入できるように、内径の異なる
複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2…Ｍnを可動電極取付導体
１８に設けて可動電極１６を形成している。
径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ１，Ｆ2…Ｆnを同心
円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極１５を形成
しており、また、この固定電極１５の各電極板間の間隙
内に、非接触状態で挿出入できるように、内径の異なる
複数の円筒状電極板Ｍ1，Ｍ2…Ｍnを可動電極取付導体
１８に設けて可動電極１６を形成している。
【０００６】可動電極取付導体１８には、可動リード２
が設けられ、その自由端側に後述する静電容量調整手段
２０が設けられ、可動リード２を真空容器１０の外部か
ら軸線方向に移動させる。１９はベローズで、一端が可
動側端板１４にロー付けされ、他端側は可動リード２又
は可動導体１８にロー付けされ、静電容量調整手段２０
で可動リードを上下動させても、真空漏れのないように
している。
が設けられ、その自由端側に後述する静電容量調整手段
２０が設けられ、可動リード２を真空容器１０の外部か
ら軸線方向に移動させる。１９はベローズで、一端が可
動側端板１４にロー付けされ、他端側は可動リード２又
は可動導体１８にロー付けされ、静電容量調整手段２０
で可動リードを上下動させても、真空漏れのないように
している。
【０００７】１はガイドピンで、固定電極取付導体１３
（又は可動電極取付導体１８）の固定電極軸心部（又は
可動電極軸心部）に設けられ、可動電極取付導体１８
（又は固定電極取付導体１３）の可動電極軸心部（又は
固定電極軸心部）に設けたガイド部５に挿入して可動電
極１６の円筒電極板Ｍ1〜Ｍnを固定電極１５の円筒電極
板Ｆ1〜Ｆnと非接触状態で、一定間隔を保ったまま移動
するように案内する。
（又は可動電極取付導体１８）の固定電極軸心部（又は
可動電極軸心部）に設けられ、可動電極取付導体１８
（又は固定電極取付導体１３）の可動電極軸心部（又は
固定電極軸心部）に設けたガイド部５に挿入して可動電
極１６の円筒電極板Ｍ1〜Ｍnを固定電極１５の円筒電極
板Ｆ1〜Ｆnと非接触状態で、一定間隔を保ったまま移動
するように案内する。
【０００８】なお、固定電極１５と可動電極１６とは電
気的に絶縁されなければならないので、ガイドピン１と
ガイド部５とは電気的に絶縁されなければならないが、
この絶縁手段は、摺動の円滑性を阻害しないように行う
必要がある。それにはガイドピン１およびガイド部５の
いずれか一方を絶縁材料で構成する必要がある。摺動性
の円滑を保つためにガイドピン１をセラミック、特にア
ルミナによるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青
銅で形成することを好適とし、また、ガイドピン１を金
属性にし、その表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコー
ティングしても絶縁を保ちながら円滑な摺動を確保する
ことができる。
気的に絶縁されなければならないので、ガイドピン１と
ガイド部５とは電気的に絶縁されなければならないが、
この絶縁手段は、摺動の円滑性を阻害しないように行う
必要がある。それにはガイドピン１およびガイド部５の
いずれか一方を絶縁材料で構成する必要がある。摺動性
の円滑を保つためにガイドピン１をセラミック、特にア
ルミナによるセラミックで形成し、ガイド部５をリン青
銅で形成することを好適とし、また、ガイドピン１を金
属性にし、その表面に滑性の優れたナイロン樹脂をコー
ティングしても絶縁を保ちながら円滑な摺動を確保する
ことができる。
【０００９】静電容量調整手段２０は、可動リードの自
由端２ａ側に穿設されたねじ部２ｃとこのねじ部２ｃに
螺合するねじ部２３ａを有する静電容量調整ねじ２３
と、一端側が可動側端板１４に取り付けられた静電容量
調整用のねじ受部２１とにより、構成され、このねじ受
部２１の他端側にスラストベアリング２２を介して回転
自在に静電容量調整ねじ２３を取り付ける。２３ｂは調
整ねじ２３の操作部で、この操作部２３ｂを手動又はモ
ータ等で回転して可動リード２を介して可動電極１６を
上下に移動する。
由端２ａ側に穿設されたねじ部２ｃとこのねじ部２ｃに
螺合するねじ部２３ａを有する静電容量調整ねじ２３
と、一端側が可動側端板１４に取り付けられた静電容量
調整用のねじ受部２１とにより、構成され、このねじ受
部２１の他端側にスラストベアリング２２を介して回転
自在に静電容量調整ねじ２３を取り付ける。２３ｂは調
整ねじ２３の操作部で、この操作部２３ｂを手動又はモ
ータ等で回転して可動リード２を介して可動電極１６を
上下に移動する。
【００１０】なお、可動リード２を回動不能で上下動自
在にする手段は、ガイドピン１とガイド部５の互いの摺
動面の一方にキー溝、他方にキーを設ける等の一般的な
手段で実現できる。
在にする手段は、ガイドピン１とガイド部５の互いの摺
動面の一方にキー溝、他方にキーを設ける等の一般的な
手段で実現できる。
【００１１】このように円筒状電極板Ｍ1〜Ｍnを取り付
けた可動電極取付導体１８を、真空容器の中の円筒電極
板の中心部に設けた案内ガイドピンで案内して移動させ
るので、可動電極１６は可動リード２の軸線方向に正確
に移動し得るとともに、この案内部は真空容器内にある
ので塵や埃等の浸入は無く、摺動性も阻害されることが
ない等の優れた効果を発揮する。
けた可動電極取付導体１８を、真空容器の中の円筒電極
板の中心部に設けた案内ガイドピンで案内して移動させ
るので、可動電極１６は可動リード２の軸線方向に正確
に移動し得るとともに、この案内部は真空容器内にある
ので塵や埃等の浸入は無く、摺動性も阻害されることが
ない等の優れた効果を発揮する。
【００１２】図４は図３に示した容量可変形の真空コン
デンサの長所を生かし、且つ真空コンデンサの長さを短
縮するように、静電容量を調整する調整手段の構成を改
善したものである。
デンサの長所を生かし、且つ真空コンデンサの長さを短
縮するように、静電容量を調整する調整手段の構成を改
善したものである。
【００１３】図４はその要部断面図で、図４において、
３１はねじ受部で、該ねじ受部３１は可動側端１４の内
側に立設され、内端部に鍔部３１ａが設けてある。３２
は外周にねじが螺設された可動リードで、一端側は可動
リード２を短くしたその先端部の接続部３７に取り付け
られ、他端側は軸線に沿って前記鍔部３１ａ内の空隙を
遊貫してねじ受部３１内に突設されている。３３は調整
ナットで、可動リード３２が螺合するねじ孔３３ｃ（図
５）を有し、その一端側はねじ受部３１内に突出した可
動リード３２の端部に螺合し、ベアリング等の軸受３４
を介して鍔部３１ａの内底に回転自在に取り付けられて
いる。３５は最大静電容量調節部（手段）で、該最大静
電容量調節部３５は、図５の拡大図に示すように、可動
リード３２の先端にねじ穴３２ａと、該ねじ穴３２ａに
螺入する調節ねじ３６と、調整ナット３３と可動リード
３２との螺合部分の調整ナット３３内に、可動リード３
２が螺合するねじ孔３３ｃより大径で調節ねじ３６が挿
入されるように穿設された大径部３３ａと、この大径部
３３ａとねじ孔３３ｃとの境の段部３３ｂとから形成さ
れている。
３１はねじ受部で、該ねじ受部３１は可動側端１４の内
側に立設され、内端部に鍔部３１ａが設けてある。３２
は外周にねじが螺設された可動リードで、一端側は可動
リード２を短くしたその先端部の接続部３７に取り付け
られ、他端側は軸線に沿って前記鍔部３１ａ内の空隙を
遊貫してねじ受部３１内に突設されている。３３は調整
ナットで、可動リード３２が螺合するねじ孔３３ｃ（図
５）を有し、その一端側はねじ受部３１内に突出した可
動リード３２の端部に螺合し、ベアリング等の軸受３４
を介して鍔部３１ａの内底に回転自在に取り付けられて
いる。３５は最大静電容量調節部（手段）で、該最大静
電容量調節部３５は、図５の拡大図に示すように、可動
リード３２の先端にねじ穴３２ａと、該ねじ穴３２ａに
螺入する調節ねじ３６と、調整ナット３３と可動リード
３２との螺合部分の調整ナット３３内に、可動リード３
２が螺合するねじ孔３３ｃより大径で調節ねじ３６が挿
入されるように穿設された大径部３３ａと、この大径部
３３ａとねじ孔３３ｃとの境の段部３３ｂとから形成さ
れている。
【００１４】真空コンデンサの最大静電容量値を調節す
る場合には、まず調節ねじ３６を螺入して固定する前に
調整ナット３３を若干右に回し（右ねじの場合）、ガイ
ドピン１の先端１ａと可動リード３２の接続部３７の終
端面３２ｂが突き当たる最大静電容量の位置より若干可
動リード２を下方に移動させ、定義した最大静電容量値
に調節する。この若干の調節量は真空コンデンサの静電
容量のばらつきの程度で決まる。
る場合には、まず調節ねじ３６を螺入して固定する前に
調整ナット３３を若干右に回し（右ねじの場合）、ガイ
ドピン１の先端１ａと可動リード３２の接続部３７の終
端面３２ｂが突き当たる最大静電容量の位置より若干可
動リード２を下方に移動させ、定義した最大静電容量値
に調節する。この若干の調節量は真空コンデンサの静電
容量のばらつきの程度で決まる。
【００１５】次に、この状態で調節ねじ３６をその頭部
の当接面が段部３５ｂに当接するまで調節ねじ３６をね
じ穴３２ａに螺入し、当接したところで調節ねど３６を
可動リード３２に接着剤等で固定し、可動リード３２の
上昇位置を規制する（調整ナットとは接着しない）。
の当接面が段部３５ｂに当接するまで調節ねじ３６をね
じ穴３２ａに螺入し、当接したところで調節ねど３６を
可動リード３２に接着剤等で固定し、可動リード３２の
上昇位置を規制する（調整ナットとは接着しない）。
【００１６】このように可動リード３２の上昇位置を規
制することにより、製作された真空コンデンサの最大静
電容量値にばらつきがあっても、各真空コンデサごとに
最大静電容量値が調節でき、定義された最大静電容量値
に合致した品質の真空コンデンサが得られる。
制することにより、製作された真空コンデンサの最大静
電容量値にばらつきがあっても、各真空コンデサごとに
最大静電容量値が調節でき、定義された最大静電容量値
に合致した品質の真空コンデンサが得られる。
【００１７】また、調節ねじ３６は、その最大静電容量
値の位置よりも調整ナット３３を左に回そうとしても調
節ねじ３６が段部３３ｂに当たり、それ以上左に回らな
いので、調整ナット３３が可動リードボルトから抜ける
のを防止するストッパの機能をも併せ持つ。
値の位置よりも調整ナット３３を左に回そうとしても調
節ねじ３６が段部３３ｂに当たり、それ以上左に回らな
いので、調整ナット３３が可動リードボルトから抜ける
のを防止するストッパの機能をも併せ持つ。
【００１８】真空コンデンサの静電容量の調整は、調整
ナット３３を回転することにより、例えば右回転では可
動リード３２が下方に移動し、左回転では上方に移動
し、可動電極１６を上下動させ、固定電極１５との対向
総面積を可変して静電容量を任意に調整する。この調整
手段は、手動又は図３の静電容量調整手段による。
ナット３３を回転することにより、例えば右回転では可
動リード３２が下方に移動し、左回転では上方に移動
し、可動電極１６を上下動させ、固定電極１５との対向
総面積を可変して静電容量を任意に調整する。この調整
手段は、手動又は図３の静電容量調整手段による。
【００１９】
【発明が解決しようとする課題】容量可変形の真空コン
デンサでは、静電容量値の調整を、図３の場合はねじ部
２３ａ、図４の場合は調整ナット３３を回転操作して行
うので、この調整を繰り返し調整すると、ねじ部２３ａ
と可動リード２のねじ部２ｃの螺合部、又は調整ナット
３３と可動リード３２の螺合部は摩擦により摩耗する。
特に、真空コンデンサでは、真空との差圧により、常に
可動リードを固定電極側に押し上げる力が作用し、螺合
部にその力を受ける。
デンサでは、静電容量値の調整を、図３の場合はねじ部
２３ａ、図４の場合は調整ナット３３を回転操作して行
うので、この調整を繰り返し調整すると、ねじ部２３ａ
と可動リード２のねじ部２ｃの螺合部、又は調整ナット
３３と可動リード３２の螺合部は摩擦により摩耗する。
特に、真空コンデンサでは、真空との差圧により、常に
可動リードを固定電極側に押し上げる力が作用し、螺合
部にその力を受ける。
【００２０】これらの摩擦による摩耗を少なくするた
め、従来は、螺合部に鉱油＋石けん系増稠剤のグリース
潤滑剤を使用してきた。
め、従来は、螺合部に鉱油＋石けん系増稠剤のグリース
潤滑剤を使用してきた。
【００２１】しかし、真空コンデンサの大電流化に伴い
ベローズ部が発熱し、そのベローズからの輻射熱により
グリース潤滑剤が固化し、回転トルクの上昇や螺合部の
寿命を低下させるとともに、大電流化が阻害されるとい
う問題があった。
ベローズ部が発熱し、そのベローズからの輻射熱により
グリース潤滑剤が固化し、回転トルクの上昇や螺合部の
寿命を低下させるとともに、大電流化が阻害されるとい
う問題があった。
【００２２】本発明はこのような問題点を解決すべくな
されたものである。
されたものである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに本発明においては、調整手段におけるねじ螺合部に
高温潤滑性に優れた耐熱特性の潤滑剤を塗布する。
めに本発明においては、調整手段におけるねじ螺合部に
高温潤滑性に優れた耐熱特性の潤滑剤を塗布する。
【００２４】耐熱特性の潤滑剤としては、使用可能上限
温度が、真空コンデンサの使用温度である１２５℃に対
して１．５倍以上の耐熱特性を有するものを使用する。
温度が、真空コンデンサの使用温度である１２５℃に対
して１．５倍以上の耐熱特性を有するものを使用する。
【００２５】具体的には、シリコン油系のグリース潤滑
剤、フッ素油系のグリース潤滑剤を塗布し、又は二硫化
モリブデン，グラファイトなどの固体潤滑剤の粉末，薄
膜を塗布して使用する。
剤、フッ素油系のグリース潤滑剤を塗布し、又は二硫化
モリブデン，グラファイトなどの固体潤滑剤の粉末，薄
膜を塗布して使用する。
【００２６】
【発明の実施の形態】発明者らは、数種類の潤滑剤の耐
熱温度特性と可動リードの回転寿命との関係を実験調査
した。その結果、図１に示す特性が得られた。
熱温度特性と可動リードの回転寿命との関係を実験調査
した。その結果、図１に示す特性が得られた。
【００２７】実験に供した試料は、従来使用されていた
鉱油＋石けん系増稠剤を試料１、鉱油＋非石けん系増稠
剤を試料２、シリコン油系潤滑剤（グリス）を試料３、
フッ素油系潤滑剤（グリス）を試料４、固体潤滑剤を試
料５とした。
鉱油＋石けん系増稠剤を試料１、鉱油＋非石けん系増稠
剤を試料２、シリコン油系潤滑剤（グリス）を試料３、
フッ素油系潤滑剤（グリス）を試料４、固体潤滑剤を試
料５とした。
【００２８】図１は横軸に温度（相対値）をとり、縦軸
に回転寿命（回転数）をとったもので、横軸の温度は、
従来使用されている試料１の回転寿命が極端に下がる温
度（使用可能温度）Ｔを１とし、これと比較したもので
ある。この図から試料３〜５は使用可能温度が試料１お
よび２と比較して高く、使用可能温度が上昇することこ
とがわかる。
に回転寿命（回転数）をとったもので、横軸の温度は、
従来使用されている試料１の回転寿命が極端に下がる温
度（使用可能温度）Ｔを１とし、これと比較したもので
ある。この図から試料３〜５は使用可能温度が試料１お
よび２と比較して高く、使用可能温度が上昇することこ
とがわかる。
【００２９】此の種の真空コンデンサの通常の使用温度
は真空コンデンサの外面（真空容器の外面）で決めら
れ、１２５℃までとされている。調整手段の螺合部の温
度は、それより＋α高くなっている。
は真空コンデンサの外面（真空容器の外面）で決めら
れ、１２５℃までとされている。調整手段の螺合部の温
度は、それより＋α高くなっている。
【００３０】また、図１の各試料における潤滑剤の使用
可能上限温度と真空コンデンサの使用温度（１２５℃）
との関係を調査した、その結果を表１に示す。
可能上限温度と真空コンデンサの使用温度（１２５℃）
との関係を調査した、その結果を表１に示す。
【００３１】
【表１】
【００３２】この表から試料３はコンデンサ使用温度の
１．６倍、試料４は１．７倍、試料５は２．８倍である
ことがわかった。
１．６倍、試料４は１．７倍、試料５は２．８倍である
ことがわかった。
【００３３】このことから、真空コンデンサの使用温度
の１２５℃に対して１．５倍以上の耐熱特性を有する潤
滑剤を使用すれば長寿命の真空コンデンサが得られるこ
とが判明した。
の１２５℃に対して１．５倍以上の耐熱特性を有する潤
滑剤を使用すれば長寿命の真空コンデンサが得られるこ
とが判明した。
【００３４】図２は通電電流と温度特性の関係を示した
特性図で、横軸に通電電流（相対値）、縦軸に温度（使
用可能温度に対する相対値）をとったもので、使用可能
温度Ｔの高い潤滑剤を使用することにより真空コンデン
サの大電流化が図れることがわかる。即ち、真空コンデ
ンサの使用可能温度Ｔ（１２５℃）に対して２倍の温度
２Ｔで使用可能な潤滑剤を使用することにより、通電電
流が１．３倍となる。
特性図で、横軸に通電電流（相対値）、縦軸に温度（使
用可能温度に対する相対値）をとったもので、使用可能
温度Ｔの高い潤滑剤を使用することにより真空コンデン
サの大電流化が図れることがわかる。即ち、真空コンデ
ンサの使用可能温度Ｔ（１２５℃）に対して２倍の温度
２Ｔで使用可能な潤滑剤を使用することにより、通電電
流が１．３倍となる。
【００３５】
【発明の効果】本発明は上述のように、静電容量値を調
整する調整手段のねじ螺合部に使用可能上限温度が真空
コンデンサの使用温度に対し、１．５倍以上の耐熱特性
を有する潤滑剤を使用するようにしたので、ベローズか
らの輻射熱による固化が防げるため、回転トルクの上昇
を低減でき、螺合部のねじの寿命を延ばすことができ
る。
整する調整手段のねじ螺合部に使用可能上限温度が真空
コンデンサの使用温度に対し、１．５倍以上の耐熱特性
を有する潤滑剤を使用するようにしたので、ベローズか
らの輻射熱による固化が防げるため、回転トルクの上昇
を低減でき、螺合部のねじの寿命を延ばすことができ
る。
【００３６】また、真空コンデンサの大電流化を図るこ
とができる等の効果を奏する。
とができる等の効果を奏する。
【図１】真空コンデンサの温度特性−回転寿命特性図。
【図２】真空コンデンサの通電電流−温度特性図。
【図３】本発明の説明用の真空コンデンサの構成図。
【図４】本発明の説明用の他の真空コンデンサの要部断
面図。
面図。
【図５】図４の要部拡大図。
１…ガイドピン ２…可動リード ２ａ…自由端部 ３…ガイド挿入孔 ５…ガイド部 １０…真空容器 １３…固定電極取付導体 １４…可動側端板 １５…固定電極 １６…可動電極 １８…可動電極取付導体 １９…ベローズ ２０…静電容量調整手段 ２１…ねじ受部 ２３…調整ねじ ２３ａ…ねじ部 ２３ｂ…操作部 ３１…ねじ受部 ３２…可動リード ３３…調整ナット ３４…軸受 ３５…最大静電容量調節部 ３６…調節ねじ ３７…接続部
Claims (3)
- 【請求項１】 真空容器内に、同心円状で径の異なる複
数の円筒状電極板を取付けてなる固定電極と、該固定電
極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入する径の異
なる複数の円筒電極板を取り付けてなる可動電極とを互
いに絶縁して設け、この可動電極を円筒電極板の軸線方
向に移動させて静電容量値を調整する調整手段を設ける
とともに、該調整手段は、真空を維持した状態で変形す
るベローズ内に、ねじの螺合部を回転操作することによ
って移動するように構成した真空コンデンサにおいて、 前記ねじの螺合部に、使用可能上限温度が、真空コンデ
ンサの使用温度の１．５倍以上の耐熱特性をもった潤滑
剤を塗布したことを特徴とする真空コンデンサ。 - 【請求項２】 耐熱特性をもった潤滑剤は、シリコン油
系若しくはフッ素油系のグリス潤滑剤であることを特徴
とする請求項１記載の真空コンデンサ。 - 【請求項３】 耐熱特性をもった潤滑剤は固体潤滑剤の
粉末、若しくは薄膜であることを特徴とする請求項１記
載の真空コンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25170197A JPH1197293A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25170197A JPH1197293A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 真空コンデンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1197293A true JPH1197293A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17226724
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25170197A Pending JPH1197293A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 真空コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1197293A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009001778A1 (ja) * | 2007-06-22 | 2008-12-31 | Meidensha Corporation | 絶縁性真空機器 |
| WO2009030271A1 (en) * | 2007-09-04 | 2009-03-12 | Comet Ag | Drive system for variable vacuum capacitor |
| JP2010198524A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Daihen Corp | インピーダンス整合装置 |
| EP2518133A3 (en) * | 2011-04-27 | 2013-03-13 | Hitachi, Ltd. | Grease for electrical contact and slide electricity structure, power switch, vacuum circuit breaker, vacuum-insulated switchgear assembling method |
-
1997
- 1997-09-17 JP JP25170197A patent/JPH1197293A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009001778A1 (ja) * | 2007-06-22 | 2008-12-31 | Meidensha Corporation | 絶縁性真空機器 |
| JP2009004607A (ja) * | 2007-06-22 | 2009-01-08 | Meidensha Corp | 絶縁性真空機器 |
| WO2009030271A1 (en) * | 2007-09-04 | 2009-03-12 | Comet Ag | Drive system for variable vacuum capacitor |
| US8248751B2 (en) | 2007-09-04 | 2012-08-21 | Comet Ag | Drive system for variable vacuum capacitor |
| JP2010198524A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Daihen Corp | インピーダンス整合装置 |
| EP2518133A3 (en) * | 2011-04-27 | 2013-03-13 | Hitachi, Ltd. | Grease for electrical contact and slide electricity structure, power switch, vacuum circuit breaker, vacuum-insulated switchgear assembling method |
| US9238784B2 (en) | 2011-04-27 | 2016-01-19 | Hitachi, Ltd. | Grease for electrical contact and slide electricity structure, power switch, vacuum circuit breaker, vacuum insulated switchgear, and vacuum-insulated switchgear assembling method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040827 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041012 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050222 |