JPH1195909A - コンソール画面入力装置および半導体製造システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンソール入力が必要になる場合に、オペレ
ータの操作性に対する問題およびごみ発生の問題を解決
する。 【解決手段】 半導体製造装置のコマンド、パラメー
タ、スイッチ入力を入力したり、各装置などのステータ
スを表示することができるコンソール画面と、視線、ま
たはリモートポインタとして機能しているときのポイン
タの先がコンソール画面のどの位置を指しているかを表
わし、かつポインタとして機能する手段と、視線または
ポインタの先がコンソール画面の中にあるかどうかを調
べる手段と、入力したいところ、または範囲指定させた
いところに視線、またはリモートポインタとして機能し
ているときのポインタの先が来た時、インプットのため
にシステムに信号を送るための手段とで入力装置を構成
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置の
コンソールからの入力などと同様の入力を視線、音声、
またはペンデバイスによって入力できる視線入力、音声
入力およびぺンデバイス入力装置に関するものである。

【０００２】

【従来技術】従来、コンソール入力をキーボード、また
はタッチパネルを用いて手入力で行なっていた。

【０００３】

【発明が解決しようとしている課題】このように、従来
のシステムでは例としてアライメントまでタッチパネル
を用いて行なっていたり、コンソール画面上のウィンド
ウを表面に出すにも、マウスや手入力で行なっていたの
で、操作が面倒になる場合があった。また、マウスやキ
ーボードを操作することによって、ごみが発生すること
も問題となっていた。

【０００４】本発明は、このような背景下になされたも
ので、その目的は、コンソール入力が必要になる場合
に、オペレータの操作性に対する問題を解決することを
目的をする。

【０００５】

【問題点を解決するための手段】上記目的を達成するた
めに、本発明では、コンソール入力が必要になる場合
に、視線入力やぺンデバイス入力、音声入力装置を用い
て、オペレータの操作性に対する問題を解決する。

【０００６】具体例を挙げれば、本発明の視線入力およ
びペンデバイス入力装置は以下のような構成からなる。
半導体製造装置のコマンド、パラメータ、スイッチ入力
を入力したり、各装置などのステータスを表示すること
ができるコンソール画面と、視線、またはリモートポイ
ンタとして機能しているときのポインタの先がコンソー
ル画面のどの位置を指しているかを表わし、かつポイン
タとして機能する手段と、視線またはポインタの先がコ
ンソール画面の中にあるかどうかを調べる手段と、入力
したいところ、または範囲指定させたいところに視線、
またはリモートポインタとして機能しているときのポイ
ンタの先が来た時、インプットのためにシステムに信号
を送るための手段とを具備する。

【０００７】上記の手段を単独で、または複数組み合わ
せて、オペレータが操作できるぺンデバイス入力装置、
視線入力装置を構成し、単独で、または視線入力装置と
ともに使用する音声によってシステムにコマンドなどを
送るための手段と組み合わせて半導体製造システムを構
築する。

【０００８】

【作用】以上の構成において、視線、またはリモートポ
インタとして機能しているときのポインタの先がリモー
トポインタがコンソール画面上にある場合か、ぺンデバ
イス装置がコンソール画面かスイッチセンサを触ってい
る場合、視線が向いた先、リモートポインタとして機能
しているときのポインタの向けられている先、またはぺ
ンデバイスが触った場所が、画面上のウィンドウやアイ
コン上にある時にそのウィンドウやアイコンをポップア
ップし、同様な場合において、コンソール画面に対して
ボタン入力や音声入力があった場合には、ボタンを押し
た回数（１クリックまたはダブルクリック）やボタンを
押した所、音声による命令によって、様々な処理を実行
するように作用する。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の一形態で
は、半導体製造装置のコマンドやパラメータ入力および
スイッチセンサを操作する場合などにおいて、 １：視線、またはリモートポインタとして機能している
ときのポインタの先がコンソール画面のどの位置を指し
ているかを表わし、かつポインタとして機能する手段
と、 ２：視線またはポインタの先がコンソール画面の中にあ
るかどうかを調べる手段と、 ３：入力したいところ、または範囲指定させたいところ
に視線、またはリモートポインタとして機能していると
きのポインタの先が来た時、インプットのためにシステ
ムに信号を送るための手段と、 ４：１，２，３を単独で、または複数組み合わせること
によるリモートポインタとしてシステムに信号を送るた
めの手段と、 ５：３が１個以上と４を単独で、または複数組み合わせ
てオペレータが操作できるペンデバイス装置と ６：音声によってシステムにコマンドなどを送るための
手段と、 ７：３が１個以上と４と６を単独で、または複数組み合
わせて、オペレータが操作ができる視線入力装置と、 ８：各入力装置によって送られるコマンドやパラメータ
の入力を認識したり、各装置のステータスなどを表示す
ることができるコンソール画面と、を備えることを特徴
とする。

【００１０】

【実施例】以下に、図面を参照して本発明の実施例を説
明する。全体構成の説明 図１は、本発明の一実施例に係る半導体製造システムの
全体構成図である。図１において、１０は視線が向けら
れた場所をポインタとして表わすことが出来るポインタ
機能部であり、２０は視線がコンソール画面またはスイ
ッチセンサのどの部分を見ているかを判断するポインタ
判定部であり、３０は入力や範囲指定などのためボタン
部７０が押された時に信号を半導体製造装置（１１０）
のコンソール画面部（１００）に送るためのボタン押下
時信号伝送部であり、４０はボタン部７０が押されてい
る間、信号をシステムに送るためのボタン押下間信号伝
送部であり、５０はポインタ機能部（１０）からボタン
押下間信号伝送部（４０）までを単独、または複数組み
合わせたリモートポインタ部である。６０は音声によっ
てシステムにコマンドなどを送るための音声入力部であ
り、７０はボタン押下時信号伝送部（３０）やボタン押
下間信号伝送部（４０）を作動させるためのボタン部で
あり、８０は、リモートポインタ部（５０）と音声入力
部（６０）とボタン部（７０）を単独、または複数組み
合わせた視線入力装置であり、９０はリモートポインタ
部（５０）とボタン部（７０）を単独、または複数組み
合わせたぺンデバイス入力装置である。１００は視線入
力やぺンデバイスによるコマンドやパラメータの入力を
認識したり、各装置のステータスを表示したりすること
が出来るコンソール画面部であり、半導体製造装置（１
１０）に搭載、または何らかの手段で取り付けられてい
る。１２０は音声入力装置を作動させるかどうかのスイ
ッチである。

【００１１】図１の装置の動作説明 図２は、図１のシステムにおけるコンソール画面入力処
理のフローチャートの一例である。このフローチャート
は、半導体製造装置（１１０）が立ち上がってから、電
源を落とすまでの無限ループとして表わされている。

【００１２】図２において、まず処理２０１では、使用
しているデバイスによって処理を振り分ける。まず、 １．音声入力装置（６０）を使用した場合 まずは、音声を半導体製造装置（１１０）に送信するス
イッチ（１２０）が入っているかどうかを調べ（処理２
０４）、入っていなかったら何もしないが、入っていれ
ばその音声を聞き取る（処理２０５）。次にその聞き取
った音が半導体製造装置（１１０）で認識できたなら
（処理２０６）、認識した内容に関する処理を実行する
（処理２０７）。また、認識できなかったら、何もしな
い。

【００１３】２．視線入力装置（８０）、ぺンデバイス
入力装置（９０）を使用した場合 まずは、ポインタ機能部（１０）ポインタ判定部（２
０）を用いて使用した場所がコンソール画面上（１０
０）であるかを調べる（処理２０３）。もしコンソール
画面外であれば、何もしない。コンソール内であれば、
次にそれぞれの装置（８０、９０）でボタン（７０）を
使っての入力があったかを調べる（処理２０８）。もし
ボタン（７０）での入力が無くて、指定位置でのぺンデ
バイス装置（９０）の入力があったなら（処理２０
９）、その入力内容が半導体製造装置（１１０）で認識
できるかどうかを調べる（処理２１０）。もしできれ
ば、その認識した内容に関する処理を実行する（処理２
１１）が、指定位置でのぺンデバイス装置（９０）の入
力がないか入力内容が半導体製造装置（１１０）で認識
できなかったらなにもしない。もしボタン（７０）の入
力があれば、その後にボタン押下時信号伝送部（３０）
とボタン押下間信号伝送部（４０）から送られた内容を
チェック（処理２１２）し、それぞれに応じた処理を実
行する（処理２１３、２１４、２１５）。図２では、処
理２１３、２１４、２１５として、それぞれ１クリッ
ク、ダブルクリック、ドラッグ処理をあげている。

【００１４】以下に、図２の動作の具体例をあげる。具体例１ 音声入力装置が使われる場合（処理２０１−２０４−２
０５−２０６−２０７） 音声入力装置は、ステッパのコマンドを実行させたい
時、パラメータを入力したい時、ステッパにログイン、
ログアウトしたい場合などに用いる。ここで処理２０６
において、１つのコマンドで何通りかの呼び方を設けた
り（例として、あるコマンドを実行させたい時に、コマ
ンド名をそのまま呼ぶ、○○を○○する、とコマンドの
機能を表わす感じで入力するなど）、同時にパラメータ
を指定したりした時に処理２０７を実行するようにする
が、パラメータを指定する時に範囲外、対象外のパラメ
ータを指定した時は、処理２０６で認識しなかったと判
断され、何も処理しない。すなわち、入力を受け付けな
い。

【００１５】具体例２ 視線入力装置、ぺンデバイス入力装置が使われる場合で
ボタンによる入力がない場合（処理２０１−２０３−２
０８−２０９−２１０−２１１） このモードは、視線入力装置については、コンソール画
面内に視線によるポインタがあったとき、ペンデバイス
入力装置については、コンソール画面内にぺンデバイス
の先が向けられているときか、ペン先がついている場
合、または、指定されている位置でのペンデバイスによ
りコマンド、パラメータなどを手書きで入力したり、対
象のショットを指定する場合などに用いられる。図２で
はコンソール画面内に視線によるポインタがあっても、
ボ夕ンの入力がなければ、基本的には何もしない。ペン
デバイスの場合、コンソール画面内にペンデバイスの先
が向けられても、ボタンの入力や、ペン先がコンソール
画面内に触れられなかった場合には何もしない。また、
ぺンデバイス入力装置の処理において、処理２１０で記
入された内容が認識されれば、処理２１１の処理を施
す。

【００１６】具体例３ 視線入力装置、ぺンデバイス入力装置が使われる場合で
ボタンによる入力があった場合（処理２０１−２０３−
２０８−２１２−（２１３，２１４，２１５）） 視線入力装置、ペンデバイス入力装置それぞれについ
て、視線、ぺンデバイスの向けられた先がコンソール上
にある場合にボタン入力があった場合である。またボタ
ン入力がどのような方法で行なわれても、処理２１２ま
では同じ経路を通る。対象となるショットを１つ指定す
る場合や、入力場所への移動などの場合は、１クリック
処理の場合にあたるので、２１２−２１３の経路をたど
り、あるショットの属性を調べるなどダブルクリックの
処理が入る場合は、２１２−２１４の経路をたどり、複
数のショットの範囲や複数のデータを指定するとき、ア
ライメントマークを探すときなどドラッグの処理が入る
場合は、２１２−２１５の経路をたどり、それぞれにお
ける処理を施す。

【００１７】

【発明の適用範囲】図３は図１のうち本発明に係るコン
ソール画面入力装置部分を示している。図１において
は、半導体製造装置（１１０）のコンソール画面部（１
００）と半導体製造装置（１１０）以外の部分が本発明
の適用範囲である。

【００１８】上述においては、半導体製造装置に搭載さ
れているコンソール画面の場合についての実施例を挙げ
たが、本発明は、その他の視線入力とペンデバイス入
力、音声入力が認識出来るようなコンソール画面、スイ
ッチセンサなどにも適用される。また、上述において
は、視線入力装置、ぺンデバイス入力装置、音声入力装
置を用いた場合についての例を挙げたが、これらの装置
のうちの１つ、または２つだけを用いる場合にも本発明
は適用される。また、上述においては、入力を知らせる
手段としてボタンを押すことによる手段をあげたが、こ
の件については、ボタンを使わない場合（それぞれの装
置にボタンとなる装置がない場合）、例として視線入力
装置においては目の開閉、ぺンデバイス入力装置におい
てはぺンを握る力の強弱でボタンの代わりとして機能さ
せる場合にも本発明は適用される。また、音声入力部で
は、システムに音声を送信する／しないのスイッチ装置
が含まれている場合についてとり上げたが、そうでない
場合にも本発明は適用される。図２において、音声入力
装置と視線入力装置、ぺンデバイス入力装置で単独で作
動する場合について、処理を振り分けたが、それぞれの
装置が２つ、または３つ同時に動作している場合にも本
発明は適用される。また、上述の実施例においては、視
線入力装置の視線の先がコンソール内に向けられたと
き、またはぺンデバイス入力装置の先がコンソール画面
を触れているときでかつボタンの入力がなかったときは
なにもしないと処理したが、視線入力装置の視線の先、
ぺンデバイス入力装置が触れられた場所にウィンドウが
あった場合にそのウィンドウをポップアップしたりする
ように出来るような場合にも本発明は適用される。上述
においては、音声入力装置のみにその装置を作動させる
かどうかのスイッチをつけたが、視線入力装置、ぺンデ
バイス入力装置につく場合にも本発明は適用される。

【００１９】

【発明の効果】以上説明したように、コンソール入力を
視線入力やペンデバイス、音声入力を用いて行なえるよ
うにしたことにより、操作が面倒になることが少なくな
り、入力処理に時間をかけずに済む効果、マウスやキー
ボードを使用しないことでごみの発生を防ぐ効果があ
る。また、処理によって入力の方法を振り分けることに
より、ユーザー側で一番効果的な入力方法を採用するこ
とができるので、作業の効率が上がると言った効果も期
待できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係る半導体製造システム
の概略構成を示すブロック図である。

【図２】 図１のシステムの動作説明のためのフローチ
ャートである。

【図３】 本発明における適用範囲を表わした図であ
る。である。

【符号の説明】

１０：ポインタ機能部、２０：ポインタ判定部、３０：
ボタン押下時信号伝送部、４０：ボタン押下間信号伝送
部、５０：リモートポインタ部、６０：音声入力部、７
０：ボタン部、８０：視線入力装置、９０：ぺンデバイ
ス入力装置、１００：コンソール画面部、１１０：半導
体製造装置、１２０：スイッチ。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 本体装置のコマンドやパラメータ、スイ
   ッチ入力および本体装置のステータスを表示するための
   コンソール画面と、 該コンソール画面に向かう視線を検出する手段と、 該コンソール画面中の視線の向かっている位置を該コン
   ソール画面中に表示するポインタ手段と、 該ポインタ手段が指し示す位置に規定された事項を前記
   コンソール画面への入力として確定する手段とを具備す
   ることを特徴とするコンソール画面入力装置。
2. 【請求項２】 本体装置のコマンドやパラメータ、スイ
   ッチ入力および本体装置のステータスを表示するための
   コンソール画面と、 該コンソール画面への入力デバイスとしてのペンデバイ
   スと、 該ペンデバイスの先が前記コンソール画面に向けられて
   いる場合、該ペンデバイスの先が向けられている位置を
   該コンソール画面中に表示するポインタ手段と、 該ポインタ手段が指し示す位置に規定された事項を前記
   コンソール画面への入力として確定する手段とを具備す
   ることを特徴とするコンソール画面入力装置。
3. 【請求項３】 本体装置のコマンドやパラメータ、スイ
   ッチ入力および本体装置のステータスを表示するための
   コンソール画面と、 音声入力装置と、 入力された音声を認識する手段とを備え、 認識された音声に応じた事項を前記コンソール画面への
   入力として確定することを特徴とするコンソール画面入
   力装置。
4. 【請求項４】 前記確定手段がスイッチであることを特
   徴とする請求項１または２記載のコンソール画面入力装
   置。
5. 【請求項５】 前記確定手段は、前記視線を検出される
   目の開閉を検知して前記コンソール画面に信号を送るセ
   ンサであることを特徴とする請求項１記載のコンソール
   画面入力装置。
6. 【請求項６】 前記確定手段は、前記ペンデバイスの先
   端が前記コンソール画面に触れたことを検知して前記コ
   ンソール画面に信号を送るセンサであることを特徴とす
   る請求項２記載のコンソール画面入力装置。
7. 【請求項７】 前記確定手段は、前記ぺンデバイスを握
   る力の強弱が所定の力より大きいとき前記コンソール画
   面に信号を送る圧力センサであることを特徴とする請求
   項２記載のコンソール画面入力装置。
8. 【請求項８】 前記本体装置が半導体製造装置であるこ
   とを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載のコンソ
   ール画面入力装置。
9. 【請求項９】 請求項８記載のコンソール画面入力装置
   の少なくとも１種を備えたことを特徴とする半導体製造
   システム。