JPH1194753A - 基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、被検査基板に対し精度の高いマクロ
観察を行うことができる基板検査装置を提供する。 【解決手段】ホルダ２の前側支点受け部１３を支点部１
５に支持するとともに、ガイド付ボールネジ４によりホ
ルダ２を下方向に位置させホルダ２を水平に保持した状
態から、液晶フィルタ２１の透明動作で、メタルハライ
ドランプ１７からの光をフレネルレンズ２０を介して収
束光としてホルダ２上の被検査基板面に照射し、また、
液晶フィルタ２１の不透明動作で、ナトリウムランプ１
８からの光を散乱して面光源としてホルダ２上の被検査
基板面に照射する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、液晶ディ
スプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板などの欠陥検査に用い
られる基板検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＬＣＤに用いられるガラス基板な
どの被検査基板の欠陥検査は、被検査基板表面に照明光
を当て、その反射光の光学的変化から基板表面の傷など
の欠陥部分を観察するマクロ観察と、マクロ観察で検出
された欠陥部分を拡大して観察するミクロ観察を切り替
えて可能にしたものがある。

【０００３】ところで、従来、マクロ観察用の光源に
は、点光源からなるメタルハライドランプが用いられ、
このメタルハライドランプからの光をフレネルレンズを
通し収束光にして被検査基板面を照射し、この被検査基
板面での反射光の光学的変化を検査者が目視で探し出す
ことで基板表面の欠陥を観察するようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
マクロ観察用光源として、メタルハライドランプを用い
たものによると、被検査基板面での反射光の光学的変化
から検出できるのは、被検査基板表面での傷や汚れであ
って、被検査基板上の膜むらなどを検出できないことか
ら、マクロ観察として完全なものでなく、精度の高い欠
陥検査を行うことができないという問題があった。本発
明は、上記事情に鑑みてなされたもので、被検査基板に
対し精度の高いマクロ観察を行うことができる基板検査
装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
被検査基板面に照明光を照射し、その反射光の光学的変
化から基板表面の欠陥を観察するマクロ観察を可能にし
た基板検査装置において、前記被検査基板面に対応して
設けられる点光源および特定波長の光を出射する線光源
と、光の透明状態と散乱状態を切り替え可能にし、透明
状態で前記点光源からの光を透過するとともに、散乱状
態で、前記線光源からの光を散乱させる光学的フィルタ
手段と、前記点光源からの光を収束する光学系とを具備
し、前記光学的フィルタ手段の切り替えにより前記線光
源による散乱光または前記点光源による収束光を前記被
検査基板面に選択的に照射可能にしている。

【０００６】請求項２記載の発明は、被検査基板を保持
する被検査基板保持部と、この被検査基板保持部の両側
面中間部を回動自在に支持するとともに、前記被検査基
板保持部に対し上下方向の駆動力を作用させる第１の駆
動手段と、前記被検査基板保持部の前記第１の駆動手段
による支持部を挟んだ両端部にそれぞれ設けられるとと
もに、相反関係で着脱され前記被検査基板保持部を回動
支持する回動支持手段と、前記第１の駆動手段および回
動支持手段を前記第１の駆動手段の駆動方向と直交する
水平方向に駆動する第２の駆動手段と、前記被検査基板
保持部上方に設けられる点光源および特定波長の光を出
射する線光源と、光の透明状態と散乱状態を切り替え可
能にし、透明状態で前記点光源からの光を透過するとと
もに、散乱状態で前記線光源からの光を散乱させる光学
的フィルタ手段と、前記点光源からの光を収束する光学
系とを具備し、前記光学的フィルタ手段の切り替えによ
り前記線光源による散乱光または前記点光源による収束
光を前記被検査基板保持部に保持された被検査基板面に
照射可能にしている。

【０００７】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載において、前記線光源は、ナトリウムランプからな
っている。この結果、請求項１記載の発明によれば、点
光源による収束光および特定波長の光を出射する線光源
による散乱光を光学的フィルタ手段の切り替えにより選
択的に被検査基板面に照射することができるので、光学
的フィルタ手段の切り替え操作のみで点光源による収束
光により被検査基板表面での傷や汚れを検出できるとと
もに、線光源による散乱光により被検査基板上での膜む
らなどを検出できる。

【０００８】請求項２記載の発明によれば、被検査基板
保持部を水平、傾斜または揺動した状態で被検査基板表
面のマクロ観察を、被検査基板保持部の一方端部を回動
支持するとともに、被検査基板保持部を上方向に駆動し
被検査基板保持部を立ち上げた状態で被検査基板表面の
ミクロ観察を、被検査基板保持部の他方端部を回動支持
するとともに、被検査基板保持部を上方向に駆動し被検
査基板保持部を立ち上げ、さらにこの状態を水平方向に
駆動することで被検査基板裏面のマクロ観察をそれぞれ
実行できるものにおいて、被検査基板保持部を水平、傾
斜または揺動した状態で点光源による収束光および特定
波長の光を出射する線光源による散乱光を光学的フィル
タ手段の切り替えにより選択的に被検査基板面に照射す
ることができ、被検査基板面の傷や汚れおよび膜むらな
どのマクロ観察を実現できる。請求項３記載の発明によ
れば、干渉を生じ易い特定波長の光を発生するナトリウ
ムランプによる散乱光により被検査基板面の膜むらを効
果的に検出できる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に従い説明する。図１および図２は、本発明の一実施
の形態が適用される基板検査装置の概略構成を示してい
る。図において、１は装置本体で、この装置本体１内部
には、被検査基板保持手段としてホルダ２を配置してい
る。このホルダ２は、ＬＣＤに用いられるガラス基板の
ような大型の被検査基板を載置保持するものである。

【００１０】ホルダ２は、両側面中間部を一対のアーム
３先端に回動自在に支持されている。これらアーム３
は、図３に示すように垂直方向に配置されるもので、そ
の基端部を一対のガイド付ボールネジ４の可動部４０１
に各別に回動自在に接続している。

【００１１】これらガイド付ボールネジ４は、図示しな
いボールネジの回転によりガイドに沿って可動部４０１
を上下方向に移動するもので、可動部４０１の移動によ
りアーム３を介してホルダ２に上下方向の駆動力を作用
させるようにしている。また、これらガイド付ボールネ
ジ４は、図４に示すように、それぞれプーリ５、５を設
けていて、これらプーリ５、５の間にベルト６を架け渡
すとともに、一方のガイド付ボールネジ４のプーリ５に
直結したプーリ５０１に、図３に示すようにベルト７を
介してモータ８の回転軸に接続し、モータ８の回転によ
りベルト７、６およびプーリ５０１、５を介して、それ
ぞれのガイド付ボールネジ４のボールネジを同時に回転
させ、ホルダ２の両側面中間部に作用する上下方向の駆
動力が相等しくなるようにしている。

【００１２】なお、図４において、符号９は、プーリ
５、５間のベルト６の張力を調整するための中継プーリ
である。アーム３を介してホルダ２を支持する一対のガ
イド付ボールネジ４は、共通ベース１０に設けている。
このベース１０は、図４および図５に示すように装置本
体１側の固定部１０１に所定の間隔をおいて平行に設け
られた一対のレール１０２に対し、ガイド１１を介して
移動可能に設けている。また、装置本体１側の固定部１
０１の一対のレール１０２の間には、エアシリンダ１２
を設け、このエアシリンダ１２によりベース１０を一対
のレール１０２に沿って移動させるようにしている。つ
まり、共通ベース１０に設けられた一対のガイド付ボー
ルネジ４は、アーム３を介してホルダ２を支持した状態
で、図２に示す装置本体１の前方（図示左側）および後
方（図示右側）のそれぞれの方向に所定範囲で往復移動
できるようになっている。

【００１３】一方、ホルダ２は、図３に示すようにアー
ム３による支持部を挟んだ両端部のうち、装置本体１前
方に対応する端部の両側に、前側支点受け部１３を設
け、また、装置本体１後方に対応する端部の両側に、後
側支点受け部１４を設けている。さらに、ベース１０上
には、前側支点受け部１３に対応する支点部１５および
後側支点受け部１４に対応する支点部１６を設けてい
る。この場合、前側支点受け部１３に対応する支点部１
５は、後側支点受け部１４に対応する支点部１６より僅
かに高い位置に設けられている。

【００１４】ここで、ホルダ２に設けられる前側支点受
け部１３は、図６（ａ）に示すように筒状の受け部ケー
ス１３１の中空部にベアリング１３２を介して受け部本
体１３３を回転可能に収容している。この受け部本体１
３３は、前方に受孔部１３４を有するとともに、軸方向
に移動可能に軸１３５を挿通していて、後述する支点部
１５の支点軸１５１が受孔部１３４に挿入されると、こ
の状態で、支点軸１５１を回転自在に支持するととも
に、軸１３５を押込みむことで、センサ１３６により支
点軸１５１の挿入状態を検知するようにしている。一
方、支点部１５は、図６（ａ）（ｂ）に示すように支点
軸１５１を有する可動部１５２をガイド１５３に沿って
移動可能に設け、この可動部１５２にエアシリンダ１５
４の可動軸１５５に接続することで、エアシリンダ１５
４により可動部１５２を介して支点軸１５１を進退可能
に移動させ、支点受け部１３の受孔部１３４に挿脱可能
にしている。ここで、図６（ａ）は、支点部１５の支点
軸１５１が後退して支点受け部１３の受孔部１３４から
抜け出た状態、図７は、支点部１５の支点軸１５１が前
進して支点受け部１３の受孔部１３４に挿入した状態を
示している。

【００１５】なお、後側支点受け部１４および支点部１
６についても、上述した前側支点受け部１３および支点
部１５と同様な構成からなっているので、ここでの説明
は省略している。

【００１６】装置本体１の上方に、被検査基板面のマク
ロ観察用照明として用いられるメタルハライドランプ１
７とナトリウムランプ１８を設けている。この場合、メ
タルハライドランプ１７は、点光源からなっていて主に
フレネルレンズ２０により収束光を得るためのものであ
る。また、ナトリウムランプ１８は、線光源からなって
いて、干渉を生じ易い５８９ｎｍ程度の特定波長光の液
晶フィルタ２１で散乱させて散乱光を得るためのもので
ある。また、ナトリウムランプ１８は、安定性や耐久性
の点で常時点灯させた状態で使用するのが望ましいこと
から、図示しないシャッタなどを用いて光の照射、しゃ
断を切り替えできるようになっている。

【００１７】これらメタルハライドランプ１７およびナ
トリウムランプ１８に対向させて反射ミラー１９を配置
している。このミラー１９は、４５°傾けて設けられて
いて、メタルハライドランプ１７およびナトリウムラン
プ１８からの光を反射しフレネルレンズ２０に入射する
ようにしている。このフレネルレンズ２０には、液晶フ
ィルタ２１を設けている。

【００１８】液晶フィルタ２１は、光の透明状態と散乱
状態を切り替えるシャッタ動作を得られるもので、常時
は不透明で、電源投入により透明に切り替わるようにな
っており、不透明の状態では、ナトリウムランプ１８か
らの光を散乱して面光源としてマクロ観察時のホルダ２
上を照射させ、また、透明な状態では、メタルハライド
ランプ１７からの光をフレネルレンズ２０を介して透過
することで、収束光をマクロ観察時のホルダ２上を照射
させるようにしている。

【００１９】装置本体１の後方に蛍光灯を内蔵したバッ
クライト２２を設けている。このバックライト２２は、
ミクロ観察用照明に用いられるもので、バックライト２
２の表面には、外光の反射を防止するためのＮＤフィル
タ２３を設けている。

【００２０】さらに、装置本体１の前方下部には、被検
査基板裏面のマクロ観察用照明として用いられる蛍光灯
などからなる光源２４を設けている。図１に示す装置本
体１前方には、該装置本体１の前面両側縁に沿って図示
しないガイドレールを設け、また、装置本体１前面を左
右に横切るように観察ユニット支持部２５を配置し、こ
の観察ユニット支持部２５を前記ガイドレールに沿って
装置本体１前面を図示Ｙ軸方向、つまり装置本体１前方
に立ち上げられたホルダ２上の被検査基板面の上下方向
に移動可能に設けている。

【００２１】観察ユニット支持部２５は、実体顕微鏡２
６を移動可能に支持している。この場合、実体顕微鏡２
６は、観察ユニット支持部２５に沿って、装置本体１前
面の観察ユニット支持部２５の移動方向と直交する図示
Ｘ軸方向、つまり被検査基板面上の左右方向に移動可能
になっており、ホルダ２上の被検査基板全面についてミ
クロ観察を行うことができるようにしている。

【００２２】また、装置本体１前方のＸ方向およびＹ方
向のそれぞれの側縁には、Ｘスケール２７１およびＹス
ケール２７２を設けている。これらＸスケール２７１お
よびＹスケール２７２は、実体顕微鏡２６の位置座標を
検出するためのもので、この場合、実体顕微鏡２６の位
置座標をホルダ２の被検査基板面に対応させておくこと
により、被検査基板上における実体顕微鏡２６の位置座
標データを収集できるようにしている。

【００２３】次に、以上のように構成した実施の形態の
動作を説明する。まず、被検査基板表面のマクロ観察を
行う場合は、ホルダ２上に被検査基板を載置保持し、図
２に示すようにホルダ２の前側支点受け部１３を支点部
１５により支持させた状態で、ガイド付ボールネジ４に
よりアーム３を下方向に移動させる。この場合、支点部
１５は、図７に示すようにエアシリンダ１５４により可
動部１５２を介して支点軸１５１を前進させ、支点軸１
５１を支点受け部１３の受孔部１３４に挿入している。

【００２４】この状態では、ホルダ２は、水平もしく所
定の角度、好ましくは３０〜４５°に傾斜させて保持さ
れる。次いで、メタルハライドランプ１７を点灯し、同
時に液晶フィルタ２１の電源を投入して透明状態に切り
替えると、メタルハライドランプ１７からの光は、反射
ミラー１９で反射され、フレネルレンズ２０を通して、
収束点Ｆに収束する光としてホルダ２上の被検査基板面
に照射される。これにより、検査者の目視により被検査
基板面での反射光の光学的変化箇所を探し出すことによ
り、被検査基板表面の傷や汚れなどの欠陥を検査するマ
クロ観察が実行される。

【００２５】次に、メタルハライドランプ１７に代え
て、ナトリウムランプ１８の図示しないシャッタを開い
てナトリウムランプ１８からの光を出射させ、また、液
晶フィルタ２１の電源を切って不透明状態（散乱状態）
に切り替える。すると、今度は、ナトリウムランプ１８
からの光が、不透明な液晶フィルタ２１で散乱され、面
光源としてマクロ観察時のホルダ２上に照射される。こ
の場合も、検査者の目視による被検査基板表面のマクロ
観察になるが、ここでのナトリウムランプ１８は、干渉
を生じ易い特定波長の光を発生するので、上述の傷や汚
れなどの欠陥以外の被検査基板上の膜むらなどの欠陥を
検出することができる。この裏面マクロ観察では、アー
ム３を上方に移動させてホルダ２を所定の角度に傾斜さ
せたり、アーム３を上下動させてホルダ２を揺動させる
ことも可能である。

【００２６】次に、被検査基板裏面のマクロ観察を行う
場合は、ガイド付ボールネジ４によりアーム３を僅かに
下方向に移動させる。すると、ホルダ２は、前側支点受
け部１３を支点部１５により支持されているので、支点
部１５を中心に反時計方向に僅かに回転し、後側支点受
け部１４が支点部１６に対向して位置される。そして、
この状態から、図７に示す動作に準じて後側支点受け部
１４を支点部１６により支持させる。また、後側支点受
け部１４を支点部１６により支持されたことをセンサ
（図７に示すセンサ１３６が相当）が検知したのち、今
度は、前側支点受け部１３の支点部１５による支持を解
除する。この場合、図６（ａ）に示すようにエアシリン
ダ１５４により可動部１５２を介して支点軸１５１を後
退させ、支点軸１５１を支点受け部１３の受孔部１３４
より抜き取るようになる。

【００２７】次いで、ガイド付ボールネジ４によりアー
ム３を上方向に移動する。この場合、図３および図４に
示すようにモータ８の回転によりベルト７、６およびプ
ーリ５０１、５を介して、それぞれのガイド付ボールネ
ジ４のボールネジを同時に回転させ、ホルダ２の両側縁
中央部に相等しい上方向の駆動力を作用させる。する
と、ホルダ２は、支点部１６を中心に時計方向に回転
し、図２の（２Ａ）に示す位置まで立ち上げられる。

【００２８】次に、図５に示すようにエアシリンダ１２
を付勢してガイド付ボールネジ４を設けた共通ベース１
０をレール１０２に沿って装置本体１の前方に移動させ
る。この時、アーム３も、ガイド付ボールネジ４の可動
部４０１の支持部を中心に回動されている。これによ
り、ホルダ２は、立ち上げられた状態のままで、図２の
（２Ｂ）に示す装置本体１の前方位置まで移動される。
その後、装置本体１の前方下部の光源２４を点灯する
と、この光源２４からの光は、ホルダ２上の被検査基板
裏面に照射され、この状態で、検査者の目視により被検
査基板裏面の傷や汚れなどの欠陥を検査するマクロ観察
が実行される。

【００２９】次に、被検査基板表面のミクロ観察を行う
には、図２に示すホルダ２の前側支点受け部１３を支点
部１５により支持させた被検査基板表面のマクロ観察の
状態から、ガイド付ボールネジ４によりアーム３を上方
向に移動する。この場合、図３および図４に示すように
モータ８の回転によりベルト７、６およびプーリ５０
１、５を介して、それぞれのガイド付ボールネジ４のボ
ールネジを同時に回転させ、ホルダ２の両側縁中央部に
相等しい上方向の駆動力を作用させる。すると、ホルダ
２は、支点部１５を中心に反時計方向に回転され、図２
の（２Ｃ）、（２Ｄ）、（２Ｅ）の順に、（２Ｆ）に示
す装置本体１の前方位置に立ち上げられる。

【００３０】この状態から、装置本体１の後方のバック
ライト２２を点灯すると、バックライト２２の光は、ホ
ルダ２上の被検査基板背面から照射される。この状態
で、検査者により、実体顕微鏡２６を用いて被検査基板
表面の傷などの欠陥を検査するミクロ観察が行われる。

【００３１】この場合、実体顕微鏡２６を観察ユニット
支持部２５に沿ってＸ方向に移動させながら、観察ユニ
ット支持部２５をＹ方向に移動させることで、実体顕微
鏡２６を被検査基板全面にわたって走査でき、この状態
で、ミクロ観察を行う。また、このミクロ観察で、実体
顕微鏡２６により被検査基板表面の傷などを見付けた場
合は、確認操作を行うと、この時の被検査基板上での実
体顕微鏡２６の位置座標がＸスケール２７１、Ｙスケー
ル２７２により検出され、位置座標データとして収集す
ることができる。

【００３２】従って、このようにすれば、ホルダ２の前
側支点受け部１３を支点部１５に支持するとともに、ガ
イド付ボールネジ４によりホルダ２を下方向に位置させ
ホルダ２を水平に保持した状態から、液晶フィルタ２１
の透明状態で、メタルハライドランプ１７からの光をフ
レネルレンズ２０を介して収束光としてホルダ２上の被
検査基板面に照射し、また、液晶フィルタ２１の散乱状
態（不透明動作）で、ナトリウムランプ１８からの光を
散乱して面光源としてホルダ２上の被検査基板面に照射
することができるので、液晶フィルタ２１の透明状態と
散乱状態を切り替えることによりメタルハライドランプ
１７の収束光により被検査基板表面での傷や汚れを検出
できるとともに、ナトリウムランプ１８の散乱光により
被検査基板上での膜むらも検出でき、被検査基板に対し
精度の高いマクロ観察を行うことができる。

【００３３】また、干渉を生じ易い特定波長の光を発生
するナトリウムランプ１８による散乱光を用いたことに
より被検査基板面の膜むらを効果的に検出することがで
きる。

【００３４】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、点光
源による収束光および特定波長の光を出射する線光源に
よる散乱光を光学的シャッタ手段の切り替えにより選択
的に被検査基板面に照射することができるので、光学的
シャッタ手段の切り替え操作のみにより点光源による収
束光により被検査基板表面での傷や汚れを検出できると
ともに、線光源による散乱光により被検査基板上での膜
むらも検出でき、被検査基板に対し精度の高いマクロ観
察を行うことができる。また、干渉を生じ易い特定波長
の光を発生するナトリウムランプによる散乱光を用いた
ことにより被検査基板面の膜むらを効果的に検出するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の概略構成を示す正面
図。

【図２】一実施の形態の概略構成を示す側面図。

【図３】一実施の形態に用いられるホルダの上下方向の
駆動部の概略構成を示す図。

【図４】一実施の形態に用いられるガイド付ボールネジ
の駆動部の概略構成を示す図。

【図５】一実施の形態に用いられるガイド付ボールネジ
を設けたベースの概略構成を示す図。

【図６】一実施の形態に用いられる支点受け部および支
点部の概略構成を示す図。

【図７】一実施の形態に用いられる支点受け部および支
点部の概略構成を示す図。

【符号の説明】

１…装置本体、 ２…ホルダ、 ３…アーム、 ４…ガイド付ボールネジ、 ４０１…可動部、 ５、５０１…プーリ、 ６、７…ベルト、 ８…モータ、 ９…中継プーリ、 １０…ベース、 １０１…固定部、 １０２…レール、 １０３…固定部、 １１…ガイド、 １２…エアシリンダ、 １３…前側支点受け部、 １３１…受け部ケース、 １３２…ベアリング、 １３３…受け部本体、 １３４…受孔部、 １３５…軸、 １４…後側支点受け部、 １５、１６…支点部、 １５１…支点軸、 １５２…可動部、 １５３…ガイド、 １５４…エアシリンダ、 １５５…可動軸、 １７…メタルハライドランプ、 １８…ナトリウムランプ、 １９…ミラー、 ２０…フレネルレンズ、 ２１…液晶フィルタ、 ２２…バックライト、 ２３…ＮＤフィルタ、 ２４…光源、 ２５…観察ユニット支持部、 ２６…実体顕微鏡、 ２７１、２７２…スケール。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 伊藤 一也 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査基板面に照明光を照射し、その反
   射光の光学的変化から基板表面の欠陥を観察するマクロ
   観察を可能にした基板検査装置において、 前記被検査基板面に対応して設けられる点光源および特
   定波長の光を出射する線光源と、 光の透明状態と散乱状態を切り替え可能にし、透明状態
   で前記点光源からの光を透過するとともに、不透明状態
   で前記線光源からの光を散乱させる光学的フィルタ手段
   と、 前記点光源からの光を収束する光学系とを具備し、 前記光学的フィルタ手段の切り替えにより前記線光源に
   よる散乱光または前記点光源による収束光を前記被検査
   基板面に照射可能にしたことを特徴とする基板検査装
   置。
2. 【請求項２】 被検査基板を保持する被検査基板保持部
   と、 この被検査基板保持部の両側面中間部を回動自在に支持
   するとともに、前記被検査基板保持部に対し上下方向の
   駆動力を作用させる第１の駆動手段と、 前記被検査基板保持部の前記第１の駆動手段による支持
   部を挟んだ両端部にそれぞれ設けられるとともに、相反
   関係で着脱され前記被検査基板保持部を回動支持する回
   動支持手段と、 前記第１の駆動手段および回動支持手段を前記第１の駆
   動手段の駆動方向と直交する水平方向に駆動する第２の
   駆動手段と、 前記被検査基板保持部上方に設けられる点光源および特
   定波長の光を出射する線光源と、 光の透明状態と散乱状態を切り替え可能にし、透明状態
   で前記点光源からの光を透過するとともに、散乱状態で
   前記線光源からの光を散乱させる光学的フィルタ手段
   と、 この光学的フィルタ手段を透過される前記点光源からの
   光を収束する光学系とを具備し、 前記光学的シャッタ手段の切り替えにより前記線光源に
   よる散乱光または前記点光源による収束光を前記被検査
   基板保持部に保持された被検査基板面に選択的に照射可
   能にしたことを特徴とする基板検査装置。
3. 【請求項３】 前記線光源は、ナトリウムランプからな
   ることを特徴とする請求項１または２記載の基板検査装
   置。