JPH1194752A - 基板検査用ステージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、被検査基板を載置したまま表裏面の
欠陥検査を行うことができるとともに、検査作業の軽減
化も実現できる基板用ステージを提供する。 【解決手段】被検査基板を載置するホルダ２の両側面中
間部をアーム３により回動自在に支持するとともに、ガ
イド付ボールネジ４により上下動可能とし、ホルダ２両
端部に支点受け部１３、１４を設け、これら支点部１
５、１６をガイド付ボールネジ４とともに、装置本体１
の前後方向に移動可能なベース１０上に設け、ホルダ２
を水平にした状態で被検査基板表面の観察を、ホルダ２
の支点受け部１３を支点部１５に支持しガイド付ボール
ネジ４によりホルダ２を上方向に駆動した状態で被検査
基板表面の観察、ホルダ２の支点受け部１４を支点部１
６に支持しガイド付ボールネジ４によりホルダ２を上方
向に駆動し、さらにベース１０を装置本体１の前方に移
動した状態で被検査基板裏面の観察を実行する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、液晶ディ
スプレイ（ＬＣＤ）のガラス基板などの欠陥検査に用い
られる基板検査用ステージに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＬＣＤに用いられるガラス基板の
欠陥検査は、ガラス基板表面に照明光を当て、その反射
光の光学的変化から基板表面の傷などの欠陥部分を観察
するマクロ観察と、マクロ観察で検出された欠陥部分を
拡大して観察するミクロ観察を切り替えて可能にしたも
のがある。

【０００３】具体的には、特開平５−３２２７８３号公
報に開示されるように、Ｘ、Ｙ方向に水平移動可能にし
たＸ−Ｙステージに対応させてマクロ観察系とミクロ観
察系を設け、Ｘ−Ｙステージ上に被検査基板を載置した
状態から、Ｘ−ＹステージをＸ、Ｙ方向の２次元方向に
移動して被検査基板の検査部位をマクロ観察系またはミ
クロ観察系の観察領域に位置させることで、被検査基板
面の欠陥部分に対するマクロ観察またはミクロ観察を可
能にしたものがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、最近、ＬＣ
Ｄの大型化にともないガラス基板のサイズは、ますます
大型化の傾向にあり、このため、このような大型サイズ
のガラス基板の欠陥検査において、上述したようなＸ−
ＹステージをＸ、Ｙ方向の２次元方向に水平移動するよ
うにしたものでは、基板面積の４倍もの移動範囲が必要
となり、基板サイズの大型化とともに、装置の大型化を
免れない。

【０００５】さらに、最近、ガラス基板の品質をさらに
高めるため、基板裏面の検査を要求されることがある
が、これまでのものは、基板表面の欠陥検査に限られて
いるため、基板裏面の検査を行うには、ガラス基板を裏
返して、改めて欠陥の検査を行うなどしなければなら
ず、検査に手間がかかるという問題があった。

【０００６】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、被検査基板を載置したまま表裏面の欠陥検査を行う
ことができるとともに、検査作業の軽減化も実現できる
基板用ステージを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
被検査基板を保持する被検査基板保持部と、この被検査
基板保持部の両側面中間部を回動自在に支持するととも
に、前記被検査基板保持部に対し上下方向の駆動力を作
用させる第１の駆動手段と、前記被検査基板保持部の前
記第１の駆動手段による支持部を挟んだ両端部にそれぞ
れ設けられるとともに、相反関係で着脱され前記被検査
基板保持部を回動支持する回動支持手段と、前記第１の
駆動手段および回動支持手段を前記第１の駆動手段の駆
動方向と直交する水平方向に駆動する第２の駆動手段と
を具備している。

【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記第１の駆動手段は、前記被検査基板保持部の
両側面中間部を回動自在に支持する一対のアーム、これ
らアームを上下方向に駆動する一対の駆動手段、これら
駆動手段に同一駆動源からの駆動力を伝達し、前記被検
査基板保持部に対し相等しい駆動力を作用させる駆動力
伝達手段を具備している。

【０００９】請求項３記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記回動支持手段は、前記被検査基板保持部に設
けられる受孔部およびセンサを有する支点受け部と、こ
の支点受け部に対応して設けられ、前記受孔部に対応さ
れる支点軸、この支点軸を前記受孔部に対して挿脱させ
る駆動手段を有する支点部とを具備し、前記支点部の支
点軸が前記支点受け部の受孔部に挿入された状態で前記
センサにより前記支点軸の挿入状態を検知可能にしてい
る。

【００１０】この結果、請求項１記載の発明によれば、
被検査基板保持部を水平または所望の角度に傾斜させた
状態で被検査基板表面の観察を、被検査基板保持部の一
方端部を回動支持するとともに、被検査基板保持部を上
方向に駆動し被検査基板保持部を前方に立ち上げた状態
で検査者の目に近い位置で被検査基板表面の観察を、被
検査基板保持部の他方端部を回動支持するとともに、被
検査基板保持部を上方向に駆動し被検査基板保持部を後
方に立ち上げ、さらにこの状態を水平方向に駆動するこ
とで検査者の目に近い位置で被検査基板裏面の観察をそ
れぞれ実行できるので、被検査基板表面は勿論、裏面に
ついても精度の高い欠陥検査を効率よく行うことができ
る。また、これらの各検査は、被検査基板保持部の動き
を切り替えるだけで連続して行えるので、検査作業の軽
減化も実現できる。

【００１１】請求項２記載の発明によれば、被検査基板
保持部の両側面中間部を回動自在に支持する一対のアー
ムを介して作用される駆動力を相等しくできるので、被
検査基板保持部の立上げ、立下げの際に、がたつきのな
いスムーズな動きを得られる。

【００１２】請求項３記載の発明によれば、着脱可能な
回動支持手段は、支点部の支点軸が支点受け部の受孔部
に挿入された状態でセンサにより、この挿入状態を検知
するようにして、回動支持手段の動作状態を確認しなが
ら次の動作に進むようにできるので、常に動作の安全性
を確保することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に従い説明する。図１および図２は、本発明の一実施
の形態が適用される基板検査装置の概略構成を示してい
る。図において、１は装置本体で、この装置本体１内部
には、被検査基板保持手段としてホルダ２を配置してい
る。このホルダ２は、ＬＣＤに用いられるガラス基板の
ような大型の被検査基板を載置保持するものである。

【００１４】ホルダ２は、両側面中間部を一対のアーム
３先端に回動自在に支持されている。これらアーム３
は、図３に示すように垂直方向に配置されるもので、そ
の基端部を一対のガイド付ボールネジ４の可動部４０１
に各別に回動自在に接続している。

【００１５】これらガイド付ボールネジ４は、図示しな
いボールネジの回転によりガイドに沿って可動部４０１
を上下方向に移動するもので、可動部４０１の移動によ
りアーム３を介してホルダ２に上下方向の駆動力を作用
させるようにしている。また、これらガイド付ボールネ
ジ４は、図４に示すように、それぞれプーリ５、５を設
けていて、これらプーリ５、５の間にベルト６を架け渡
すとともに、一方のガイド付ボールネジ４のプーリ５に
直結したプーリ５０１に、図３に示すようにベルト７を
介してモータ８の回転軸に接続し、モータ８の回転によ
りベルト７、６およびプーリ５０１、５を介して、それ
ぞれのガイド付ボールネジ４のボールネジを同時に回転
させ、ホルダ２の両側面中間部に作用する上下方向の駆
動力が相等しくなるようにしている。

【００１６】なお、図４において、符号９は、プーリ
５、５間のベルト６の張力を調整するための中継プーリ
である。アーム３を介してホルダ２を支持する一対のガ
イド付ボールネジ４は、共通ベース１０に設けている。
このベース１０は、図４および図５に示すように装置本
体１側の固定部１０１に所定の間隔をおいて平行に設け
られた一対のレール１０２に対し、ガイド１１を介して
移動可能に設けている。また、装置本体１側の固定部１
０１の一対のレール１０２の間には、エアシリンダ１２
を設け、このエアシリンダ１２によりベース１０を一対
のレール１０２に沿って移動させるようにしている。つ
まり、共通ベース１０に設けられた一対のガイド付ボー
ルネジ４は、アーム３を介してホルダ２を支持した状態
で、図２に示す装置本体１の前方（図示左側）および後
方（図示右側）のそれぞれの方向に所定範囲で往復移動
できるようになっている。

【００１７】一方、ホルダ２は、図３に示すようにアー
ム３による支持部を挟んだ両端部のうち、装置本体１前
方に対応する端部の両側に、前側支点受け部１３を設
け、また、装置本体１後方に対応する端部の両側に、後
側支点受け部１４を設けている。さらに、ベース１０上
には、前側支点受け部１３に対応する支点部１５および
後側支点受け部１４に対応する支点部１６を設けてい
る。この場合、前側支点受け部１３に対応する支点部１
５は、後側支点受け部１４に対応する支点部１６より僅
かに高い位置に設けられている。

【００１８】ここで、ホルダ２に設けられる前側支点受
け部１３は、図６（ａ）に示すように筒状の受け部ケー
ス１３１の中空部にベアリング１３２を介して受け部本
体１３３を回転可能に収容している。この受け部本体１
３３は、前方に受孔部１３４を有するとともに、軸方向
に移動可能に軸１３５を挿通していて、後述する支点部
１５の支点軸１５１が受孔部１３４に挿入されると、こ
の状態で、支点軸１５１を回転自在に支持するととも
に、軸１３５を押込みむことで、センサ１３６により支
点軸１５１の挿入状態を検知するようにしている。一
方、支点部１５は、図６（ａ）（ｂ）に示すように支点
軸１５１を有する可動部１５２をガイド１５３に沿って
移動可能に設け、この可動部１５２にエアシリンダ１５
４の可動軸１５５に接続することで、エアシリンダ１５
４により可動部１５２を介して支点軸１５１を進退可能
に移動させ、支点受け部１３の受孔部１３４に挿脱可能
にしている。ここで、図６（ａ）は、支点部１５の支点
軸１５１が後退して支点受け部１３の受孔部１３４から
抜け出た状態、図７は、支点部１５の支点軸１５１が前
進して支点受け部１３の受孔部１３４に挿入した状態を
示している。

【００１９】なお、後側支点受け部１４および支点部１
６についても、上述した前側支点受け部１３および支点
部１５と同様な構成からなっているので、ここでの説明
は省略している。

【００２０】装置本体１の上方に、被検査基板表面のマ
クロ観察用照明に用いられる点光源としてのメタルハラ
イドランプ１７と線光源としてのナトリウムランプ１８
を設けている。メタルハライドランプ１７は、主にフレ
ネルレンズ２０により収束光を得るためのものである。
また、ナトリウムランプ１８は、干渉を生じ易い特定波
長の光を液晶フィルタ２１で散乱させて、散乱光を得る
ためのものである。この場合、ナトリウムランプ１８
は、図示しないシャッタなどを用いて光の発生、しゃ断
を切り替えできるようにしている。

【００２１】そして、これらメタルハライドランプ１７
およびナトリウムランプ１８に対向させて反射ミラー１
９を配置している。このミラー１９は、４５°傾けて設
けられていて、メタルハライドランプ１７およびナトリ
ウムランプ１８からの光を反射しフレネルレンズ２０に
与えるようにしている。このフレネルレンズ２０には、
液晶フィルタ２１を設けている。

【００２２】液晶フィルタ２１は、常時不透明で、電源
投入により透明に切り替わるようにしたもので、不透明
の状態（散乱状態）では、ナトリウムランプ１８からの
光を散乱して面光源としてマクロ観察時のホルダ２上を
照射し、また、透明な状態では、メタルハライドランプ
１７からの光をフレネルレンズ２０を通して、収束光に
してマクロ観察時のホルダ２上を照射するようにしてい
る。

【００２３】装置本体１の後方に蛍光灯を内蔵したバッ
クライト２２を設けている。このバックライト２２は、
ミクロ観察用照明に用いられるもので、バックライト２
２の表面には、外光の反射を防止するためのＮＤフィル
タ２３を設けている。

【００２４】さらに、装置本体１の前方下部には、被検
査基板裏面のマクロ観察用照明として用いられる蛍光灯
などからなる光源２４を設けている。装置本体１前方に
は、装置本体１前面の横方向、つまり図示Ｘ方向に沿っ
てＸガイド２５を設け、このＸガイド２５に沿って実体
顕微鏡２６を移動可能に設けている。また、Ｘガイド２
５全体は、装置本体１前面の縦方向、つまり図示Ｙ方向
にも移動可能になっていて、これにより、実体顕微鏡２
６をガイド２５に沿ってＸ方向に移動させながら、ガイ
ド２５全体をＹ方向に移動させることで、実体顕微鏡２
６により、ホルダ２上の被検査基板全面のミクロ観察を
行うことができるようになっている。

【００２５】なお、２７１、２７２は、装置本体１前方
のＸ方向およびＹ方向にそれぞれ配置されたスケール
で、これらスケール２７１、２７２により被検査基板上
の実体顕微鏡２６の位置座標を収集できるようになって
いる。

【００２６】次に、以上のように構成した実施の形態の
動作を説明する。まず、被検査基板表面のマクロ観察を
行う場合は、ホルダ２上に被検査基板を載置保持し、図
２に示すようにホルダ２の前側支点受け部１３を支点部
１５により支持させた状態で、ガイド付ボールネジ４に
よりアーム３を下方向に移動させる。この場合、支点部
１５は、図７に示すようにエアシリンダ１５４により可
動部１５２を介して支点軸１５１を前進させ、支点軸１
５１を支点受け部１３の受孔部１３４に挿入している。

【００２７】この状態では、ホルダ２は、水平もしくは
所定の角度、好ましくは３０〜４５°に傾斜して保持さ
れる。次いで、メタルハライドランプ１７を点灯し、同
時に液晶フィルタ２１の電源を投入して透明状態に切り
替えると、メタルハライドランプ１７からの光は、反射
ミラー１９で反射され、フレネルレンズ２０を通して、
点Ｆに収束する光としてホルダ２上の被検査基板面に照
射される。これにより、検査者の目視により被検査基板
表面の傷や汚れなどの欠陥を検査するマクロ観察が実行
される。

【００２８】次に、メタルハライドランプ１７に代え
て、図示しないシャッタを開いてナトリウムランプ１８
の光を発生させ、また、液晶フィルタ２１の電源を切っ
て不透明状態（散乱状態）に切り替える。すると、今度
は、ナトリウムランプ１８からの光が、不透明な液晶フ
ィルタ２１で散乱され、面光源としてマクロ観察時のホ
ルダ２上に照射される。この場合も、検査者の目視によ
る被検査基板表面のマクロ観察になるが、ここでのナト
リウムランプ１８は、干渉を生じ易い特定波長の光を発
生するので、被検査基板上の膜むらなど欠陥を検出する
ことができる。この表面マクロ観察では、アーム３を上
方に移動させてホルダ２を所望の角度に傾斜させたり、
アーム３を上下動させてホルダ２を揺動させることも可
能である。

【００２９】次に、被検査基板裏面のマクロ観察を行う
場合は、ガイド付ボールネジ４によりアーム３を僅かに
下方向に移動させる。すると、ホルダ２は、前側支点受
け部１３を支点部１５により支持されているので、支点
部１５を中心に反時計方向に僅かに回転し、後側支点受
け部１４が支点部１６に対向して位置される。そして、
この状態から、図７に示す動作に準じて後側支点受け部
１４を支点部１６により支持させる。また、後側支点受
け部１４を支点部１６により支持されたことをセンサ
（図７に示すセンサ１３６が相当）が検知したのち、今
度は、前側支点受け部１３の支点部１５による支持を解
除する。この場合、図６（ａ）に示すようにエアシリン
ダ１５４により可動部１５２を介して支点軸１５１を後
退させ、支点軸１５１を支点受け部１３の受孔部１３４
より抜き取るようになる。

【００３０】次いで、ガイド付ボールネジ４によりアー
ム３を上方向に移動する。この場合、図３および図４に
示すようにモータ８の回転によりベルト７、６およびプ
ーリ５０１、５を介して、それぞれのガイド付ボールネ
ジ４のボールネジを同時に回転させ、ホルダ２の両側縁
中央部に相等しい上方向の駆動力を作用させる。する
と、ホルダ２は、支点部１６を中心に時計方向に回転
し、図２の（２Ａ）に示す位置まで立ち上げられる。

【００３１】次に、図５に示すようにエアシリンダ１２
を付勢してガイド付ボールネジ４を設けた共通ベース１
０をレール１０２に沿って装置本体１の前方に移動させ
る。この時、アーム３も、ガイド付ボールネジ４の可動
部４０１の支持部を中心に回動されている。これによ
り、ホルダ２は、立ち上げられた状態のままで、図２の
（２Ｂ）に示す装置本体１の前方位置まで移動される。
その後、装置本体１の前方下部の光源２４を点灯する
と、この光源２４からの光は、ホルダ２上の被検査基板
裏面に照射され、この状態で、検査者の目視により被検
査基板裏面の傷や汚れなどの欠陥を検査するマクロ観察
が実行される。

【００３２】次に、被検査基板表面のミクロ観察を行う
には、図２に示すホルダ２の前側支点受け部１３を支点
部１５により支持させた被検査基板表面のマクロ観察の
状態から、ガイド付ボールネジ４によりアーム３を上方
向に移動する。この場合、図３および図４に示すように
モータ８の回転によりベルト７、６およびプーリ５０
１、５を介して、それぞれのガイド付ボールネジ４のボ
ールネジを同時に回転させ、ホルダ２の両側縁中央部に
相等しい上方向の駆動力を作用させる。すると、ホルダ
２は、支点部１５を中心に反時計方向に回転され、図２
の（２Ｃ）、（２Ｄ）、（２Ｅ）の順に、（２Ｆ）に示
すように装置本体１の前方位置に立ち上げられる。

【００３３】この状態から、装置本体１の後方のバック
ライト２２を点灯すると、バックライト２２の光は、ホ
ルダ２上の被検査基板背面から照射され、この状態で、
検査者は、実体顕微鏡２６を用いて被検査基板表面の傷
などの欠陥を検査するミクロ観察が実行される。この場
合、実体顕微鏡２６により被検査基板表面の傷などを見
付けた時に確認操作を行うことで、スケール２７１、２
７２により被検査基板上の実体顕微鏡２６の位置座標を
収集することができる。また、検査者は、実体顕微鏡２
６をガイド２５に沿ってＸ方向に移動させながら、ガイ
ド２５全体をＹ方向に移動させるようにすれば、実体顕
微鏡２６による被検査基板全面のミクロ観察を行うこと
ができる。

【００３４】従って、このようにすれば、被検査基板を
載置保持するホルダ２の両側面中間部を一対のアーム３
で回動自在に支持するとともに、これらアーム３をガイ
ド付ボールネジ４により上下方向に移動可能とし、ま
た、ホルダ２のアーム３による支持部を挟んだ両端部に
前側支点受け部１３および後側支点受け部１４を設ける
とともに、これらに対応する支点部１５および支点部１
６をガイド付ボールネジ４とともに、装置本体１の前後
方向に移動可能なベース１０上に設けて、ホルダ２を水
平に保持した状態で被検査基板表面のマクロ観察を、ホ
ルダ２の前側支点受け部１３を支点部１５に支持しガイ
ド付ボールネジ４によりホルダ２を上方向に駆動しホル
ダ２を立ち上げた状態で、検査者の目に近い位置で被検
査基板表面のミクロ観察を、ホルダ２の後側支点受け部
１４を支点部１６に支持しガイド付ボールネジ４により
ホルダ２を上方向に駆動し被検査基板保持部を立ち上
げ、さらにベース１０を装置本体１の前方に移動しする
ことで検査者の目に近い位置で被検査基板裏面のマクロ
観察をそれぞれ実行できるようにしたので、被検査基板
表面は勿論、裏面についても精度の高い欠陥検査を効率
よく行うことができる。また、これらの各検査は、被検
査基板保持部の動きを切り替えるだけで連続して行える
ので、検査作業の軽減化も実現できる。

【００３５】また、ホルダ２の両側面中間部を回動自在
に支持する一対のアーム３に駆動力を作用させるガイド
付ボールネジ４は、同一のモータ８によりベルト６を介
して駆動されるので、ホルダ２の両側面中間部に作用さ
れる駆動力を相等しくでき、これによりホルダ２の立上
げ、立下げの際に、がたつきのないスムーズな動きを得
られ、ホルダ２の動きに安定性を持たせることができ
る。る。

【００３６】さらに、支点部１５の支点軸１５１が支点
受け部１３の受孔部１３４に挿入された状態で、センサ
１３５により、この挿入状態を検知するようにしている
ので、センサ１３５の検知内容を確認しながら、次の動
作に進むようにできるので、被検ホルダ２の回動支持が
一度にすべて外れてしまうようなことがなくなり、ホル
ダ２の動きに対して安全性を確保することができる。

【００３７】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、被検
査基板保持部を水平もしくは所望の角度に傾斜させた状
態で被検査基板表面のマクロ観察を、被検査基板保持部
の一方端部を回動支持するとともに、被検査基板保持部
を前方に上方向に駆動し、被検査基板保持部を立ち上げ
た状態において検査者の目に近い位置で被検査基板表面
の観察を、被検査基板保持部の他方端部を回動支持する
とともに、被検査基板保持部を上方向に駆動し被検査基
板保持部を後方に立ち上げ、さらにこの状態を水平方向
に駆動することで検査者の目に近い位置で被検査基板裏
面の観察をそれぞれ実行できるので、被検査基板表面は
勿論、裏面についても精度の高い欠陥検査を効率よく行
うことができる。また、これらの各検査は、被検査基板
保持部の動きを切り替えるだけで連続して行えるので、
検査作業の軽減化も実現できる。

【００３８】被検査基板保持部の両側面中間部を回動自
在に支持する一対のアームを介して作用される駆動力を
相等しくできるので、被検査基板保持部の立上げ、立下
げの際に、がたつきのないスムーズな動きを得られ、被
検査基板保持部の動きに安定性を持たせることができ
る。

【００３９】着脱可能な回動支持手段は、支点部の支点
軸が支点受け部の受孔部に挿入された状態でセンサによ
り挿入状態を検知するようにして、回動支持手段の動作
状態を確認しながら次の動作に進むようにできるので、
被検査基板保持部の回動支持が一度にすべて外れてしま
うようなことがなくなり、被検査基板保持部の動きに対
して安全性を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態の概略構成を示す正面
図。

【図２】一実施の形態の概略構成を示す側面図。

【図３】一実施の形態に用いられるホルダの上下方向の
駆動部の概略構成を示す図。

【図４】一実施の形態に用いられるガイド付ボールネジ
の駆動部の概略構成を示す図。

【図５】一実施の形態に用いられるガイド付ボールネジ
を設けたベースの概略構成を示す図。

【図６】一実施の形態に用いられる支点受け部および支
点部の概略構成を示す図。

【図７】一実施の形態に用いられる支点受け部および支
点部の概略構成を示す図。

【符号の説明】

１…装置本体、 ２…ホルダ、 ３…アーム、 ４…ガイド付ボールネジ、 ４０１…可動部、 ５、５０１…プーリ、 ６、７…ベルト、 ８…モータ、 ９…中継プーリ、 １０…ベース、 １０１…固定部、 １０２…レール、 １０３…固定部、 １１…ガイド、 １２…エアシリンダ、 １３…前側支点受け部、 １３１…受け部ケース、 １３２…ベアリング、 １３３…受け部本体、 １３４…受孔部、 １３５…軸、 １４…後側支点受け部、 １５、１６…支点部、 １５１…支点軸、 １５２…可動部、 １５３…ガイド、 １５４…エアシリンダ、 １５５…可動軸、 １７…メタルハライドランプ、 １８…ナトリウムランプ、 １９…ミラー、 ２０…フレネルレンズ、 ２１…液晶フィルタ、 ２２…バックライト、 ２３…ＮＤフィルタ、 ２４…光源、 ２５…Ｘガイド、 ２６…実体顕微鏡、 ２７１、２７２…スケール。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査基板を保持する被検査基板保持部
   と、 この被検査基板保持部の両側面中間部を回動自在に支持
   するとともに、前記被検査基板保持部に対し上下方向の
   駆動力を作用させる第１の駆動手段と、 前記被検査基板保持部の前記第１の駆動手段による支持
   部を挟んだ両端部にそれぞれ設けられるとともに、相反
   関係で着脱され前記被検査基板保持部を回動支持する回
   動支持手段と、 前記第１の駆動手段および回動支持手段を前記第１の駆
   動手段の駆動方向と直交する水平方向に駆動する第２の
   駆動手段とを具備しタことを特徴とする基板検査用ステ
   ージ。
2. 【請求項２】 前記第１の駆動手段は、前記被検査基板
   保持部の両側面中間部を回動自在に支持する一対のアー
   ム、これらアームを上下方向に駆動する一対の駆動手
   段、これら駆動手段に同一駆動源からの駆動力を伝達
   し、前記被検査基板保持部に対し相等しい駆動力を作用
   させる駆動力伝達手段を具備したことを特徴とする請求
   項１記載の基板検査用ステージ。
3. 【請求項３】 前記回動支持手段は、前記被検査基板保
   持部に設けられる受孔部およびセンサを有する支点受け
   部と、 この支点受け部に対応して設けられ、前記受孔部に対応
   される支点軸、この支点軸を前記受孔部に対して挿脱さ
   せる駆動手段を有する支点部とを具備し、前記支点部の
   支点軸が前記支点受け部の受孔部に挿入された状態で前
   記センサにより前記支点軸の挿入状態を検知可能にした
   ことを特徴とする請求項１記載の基板検査用ステージ。