JPH1194601A - ワーク検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークの検査を連続して行なうことができる
とともに、全体の検査効率を高めることができるワーク
検査装置を提供する。 【解決手段】 ワーク検査装置１０はワーク供給部１１
と、ワークを２個ずつまとめてバッチ式で搬送する複数
ワーク搬送部１２とを備えている。複数ワーク搬送部１
２のワークは、耐圧検査部１３において２個ずつまとめ
て検査される。耐圧検査を終了したワークは、単独ワー
ク搬送部１９によって１個ずつ搬送され、耐圧検査以外
の電気測定が１個ずつのワークに対して行なわれる。そ
の後ワークはワーク送出部２１から外方へ送り出され
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体素子等の電子
部品（ワーク）に対して必要な電気的測定を行なうワー
ク検査装置に係り、とりわけワークに対する電気的測定
を迅速かつ連続的に行なうことができるワーク検査装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来よりワークに対して電気的測定を行
なうワーク検査装置として、ワークをバッチ式で搬送す
るワーク搬送部と、このワーク搬送部に沿って設けられ
た電気測定ステーションとを備えたものが知られてい
る。

【０００３】この場合、ワーク搬送部は単数のワークを
バッチ式で搬送する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ワークは、上述のよう
に電気測定ステーションでその電気的特性が測定される
が、このうち耐圧検査部は他の検査部に比べて比較的長
い時間を必要とする。このため、耐圧検査部に対応させ
てワークを搬送した場合、他の検査部においてワークを
休止させる必要があり、この場合は全体の検査時間が長
くなってしまう。

【０００５】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、耐圧検査部およびその他の検査部を有する
とともに、ワークを迅速かつ連続的に検査することがで
きるワーク検査装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、被測定物であ
るワークを順次供給するワーク供給部と、ワーク供給部
の下流側に配置され、ワークを複数個ずつまとめてバッ
チ式で搬送する複数ワーク搬送部と、複数ワーク搬送部
の下流側に配置され、複数個のワークに対して同時に耐
圧検査を行なう耐圧検査部と、耐圧検査部に接続され、
ワークを単数個ずつバッチ式で搬送する単数ワーク搬送
部と、単数ワーク搬送部に沿って設けられ、耐圧検査以
外の電気測定を行なう電気測定ステーションと、単数ワ
ーク搬送部の下流側に設けられたワーク送出部と、を備
えたことを特徴とするワーク検査装置である。

【０００７】本発明によれば、複数ワーク搬送部により
耐圧検査部まで複数個のワークをまとめてバッチ式で搬
送することにより、複数個のワークに対して、比較的時
間を要する耐圧検査を同時に行なうことができる。耐圧
検査終了後のワークは単数ワーク搬送部により一個ずつ
搬送され、ワーク一個ずつに対して電気測定ステーショ
ンにより耐圧検査以外の電気測定が施され、その後ワー
クはワーク送出部より外方へ送り出される。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１乃至図６は本発明によ
るワーク検査装置の一実施の形態を示す図である。

【０００９】まず、図１により、ワーク検査装置の概略
について述べる。図１に示すように、ワーク検査装置１
０は被測定物であるワークＷ（図２（ｂ）参照）を順次
供給するワーク供給部１１と、ワーク供給部１１の下流
側に配置され、ワークＷを複数個、例えば２個ずつまと
めてバッチ式で搬送する複数ワーク搬送部１２とを備え
ている。

【００１０】この場合、図２（ｂ）に示すように、ワー
クＷは半導体素子のような電子部品からなり、その一面
に２〜３本のリードＬを有している。

【００１１】また図１に示すように、複数ワーク搬送部
１２の下流側に、２個のワークＷに対して同時に耐圧検
査を行なう耐圧検査部１３が設けられている。この耐圧
検査部１３は検査に比較的長時間を要するため、上記の
ように２個のワークＷに対して同時に検査を行なって検
査の効率化を図っている。

【００１２】また耐圧検査部１３の近傍に、耐圧検査の
結果、不良と判定されたワークＷを排出する耐圧排出部
１５が設けられ、さらに耐圧検査部１３の下流側にワー
クＷを単数個ずつバッチ式で搬送する単数ワーク搬送部
１９が設けられている。

【００１３】また単数ワーク搬送部１９に沿って電気測
定ステーション１４と、電気測定排出部２３が各々設け
られている。このうち電気測定ステーション１４は、ワ
ークＷの熱抵抗値等、耐圧検査以外の電気測定を行なう
ものであり、電気測定ステーション１４によって不良と
判定されたワークＷは電気測定排出部２３へ排出され
る。

【００１４】また単数ワーク搬送部１９に沿って、電気
測定ステーション１４の下流側に、ワークＷに対してマ
ーキングを施すレーザマーカ１６と、ワークＷのモール
ド状態、マーキング状態およびリードＬの状態を外観検
査する外観検査部１７と、外観検査の結果、不良と判定
されたワークＷを排出する外観検査排出部１８とが順次
配設されている。また単数ワーク搬送部１９の途中に
は、水平方向に搬送されたワークＷを垂直方向に反転す
る９０°反転部２０が設けられている。

【００１５】さらにまた、単数ワーク搬送部１９の下流
側に、検査済のワークＷを送り出すワーク送出部２１が
設けられている。

【００１６】次に各部の構成についてさらに詳述する。
まず複数ワーク搬送部１２について図２および図４によ
り詳述する。図２に示すように、複数ワーク搬送部１２
は第１複数ワーク搬送部１２ａと、この第１複数ワーク
搬送部１２ａに乗継部２６を介して接続された第２複数
ワーク搬送部１２ｂとからなっている。

【００１７】第１および第２複数ワーク搬送部１２ａ，
１２ｂは、略同一の構造となっており、各々図４に示す
ように凹凸面３２ａと平坦面３２ｂとを有するタイミン
グベルト３２と、タイミングベルト３２の平坦面３２ｂ
に所定間隔をおいて固着されるとともに複数のワークＷ
を保持するワーク保持部３３とを有している。

【００１８】またタイミングベルト３２の凹凸面３２ｂ
は駆動プーリ３１に係合し、このようにしてタイミング
ベルト３２はバッチ式に駆動プーリ３１により駆動され
るようになっている。

【００１９】図４に示すように、ワーク保持部３３はタ
イミングベルト３２に合成樹脂製連結具３５を介して固
着されており、ワーク保持部３３はワークＷを収納する
２個のワーク収納空間３３ａ，３３ａを有している。ワ
ーク保持部３３は全体としてテフロン樹脂から成形され
るとともに、２個のワーク収納空間３３ａ，３３ａの底
部にはクロムメッキが施された鉄板３４が埋め込まれて
いる。

【００２０】また図２に示すように、耐圧検査部１３は
第２複数ワーク搬送部１２ｂに沿って設けられており、
耐圧検査部１３による耐圧検査が終了したワークＷは移
載装置２５の送出しピン２５ａによって、単数ワーク搬
送部１９側に送られる。

【００２１】図２および図３に示すように、単数ワーク
搬送部１７は第１単数ワーク搬送部１９ａと、第１単数
ワーク搬送部１９ａに９０°反転部２０を介して接続さ
れた第２単数ワーク搬送部１９ｂとからなっている。９
０°反転部２０は円板状をなし、その外周にワークＷを
収納するための複数の溝２０ａが形成されている。

【００２２】また図５および図６に示すように、第１お
よび第２単数ワーク搬送部１９ａ，１９ｂは略同一の構
造となっており、各々凹凸面４２ａと平坦面３４ｂを有
するタイミングベルト４２と、タイミングベルト４２の
平坦面４２ｂに所定間隔をおいて固着されるとともに単
数のワークＷを保持するワーク保持部４３とを有してい
る。

【００２３】またタイミングベルト４２の凹凸面４２ｂ
は、駆動プーリ３０と係合し、このようにしてタイミン
グベルト４２はバッチ式に駆動プーリ３０により駆動さ
れるようになっている。

【００２４】図５および図６に示すように、ワーク保持
部４３とタイミングベルト４２は合成樹脂製連結具４５
を介して固着されており、ワーク保持部４３はワークＷ
を収納する１個のワーク収納空間４３ａを有している。
ワーク保持部４３は全体としてアルミニウム製となって
おり、ワーク収納空間４３ａの側面にはタンガロイ、タ
ングステン等の超硬合金板４４が設けられている。また
ワーク保持部４３には、両側壁４８を貫通してワークＷ
を押えるコマ４６が設けられている。このコマ４６は外
側端が板バネ４７によって係止され、この板バネ４７に
よって常時内方へ向かう方向へ付勢されている。

【００２５】次に、このような構成からなる本実施の形
態の作用について説明する。

【００２６】図１に示すように、まずワーク供給部１１
からワークＷが複数ワーク搬送部１２に供給される。ワ
ークＷは複数ワーク搬送部１２のうち、第１複数ワーク
搬送部１２ａから乗継部２６を介して第２複数ワーク搬
送部１２ｂへ送られる（図２参照）。

【００２７】第１および第２複数ワーク搬送部１２ａ，
１２ｂにおいて、ワークＷはワーク保持部３３のワーク
収納空間３３ａ，３３ａ内に収納され、第１および第２
複数ワーク搬送部１２ａ，１２ｂによって、２個のワー
クＷが同時にバッチ式で搬送される。

【００２８】次に、第２複数ワーク搬送部１２ｂによっ
て搬送されたワークＷは耐圧検査部１３へ送られ、この
耐圧検査部１３において２個のワークＷに対して耐圧検
査が同時に施される。

【００２９】耐圧検査が終了したワークＷのうち、不良
品と判定されたワークＷは耐圧排出部１５内へ排出さ
れ、良品と判定されたワークＷは移載装置２５の送出し
ピン２５ａによって、単数ワーク搬送部１９のうち第１
単数ワーク搬送部１９ａへ送られる。

【００３０】第１単数ワーク搬送部１９ａにおいて、ワ
ークＷはワーク保持部４３のワーク収納空間４３ａ内に
収納され、ワークＷは板バネ４７によって内方へ付勢さ
れた一対のコマ４６によってワーク収納空間４３ａ内で
堅固に保持される。このようにして第１単数ワーク搬送
部１９ａにより１個ずつバッチ式に搬送される。

【００３１】次に第１単数ワーク搬送部１９ａに送られ
たワークＷは、電気測定ステーション１４において耐圧
検査以外の検査、例えばワークＷの熱抵抗値等が測定さ
れる。この電気測定ステーション１４における測定は、
上述した耐圧検査に比べて短時間で終了する。

【００３２】電気測定ステーション１４において不良品
と判定されたワークＷは、電気測定排出部２３へ排出さ
れる。次に第１単数ワーク搬送部１９ａ内のワークＷ
は、レーザマーカ１６により所望の文字等が印字され
る。さらに第１単数ワーク搬送部１９ａ内のワークＷ
は、外観検査部１７に送られ、外観検査部１７に内蔵さ
れたカメラによってワークＷのモールド状態、レーザマ
ーカ１６により印字された文字等のマーキング状態およ
びリードＬの折曲状態等の外観が検査される。

【００３３】外観検査部１７によって不良品と判定され
たワークＷは、その後、外観検査排出部１８へ排出され
る。良品と判定されたワークＷは、その後第１単数ワー
ク搬送部１９ａから９０°反転部２０を介して第２単数
ワーク搬送部１９ｂへ送られる。

【００３４】この場合、第１単数ワーク搬送部１９ａ内
においてワークＷは水平方向に保持されて搬送され、円
板状の９０°反転部２０の外周に形成された溝２０ａ内
に収納される。

【００３５】そして９０°反転部２０が９０°回転する
ことによりワークＷが垂直方向に向いて第２単数ワーク
搬送部１９ｂへ送られる。

【００３６】この場合、第２単数ワーク搬送部１９ｂの
保持作用は、第１単数ワーク搬送部１９ａにおける保持
作用と同様である。

【００３７】次に第２単数ワーク搬送部１９ｂ内のワー
クＷは、ワーク送出部２１から外方へ送り出される。

【００３８】本実施の形態によれば、複数ワーク搬送部
１２によりワークＷを２個ずつバッチ式で耐圧検査部１
３まで送り、この耐圧検査部１３により２個のワークＷ
に対して同時に耐圧検査を行なうことができるので、耐
圧検査に比較的長い時間を要したとしても、全体の検査
効率を高めることができる。また耐圧検査終了後は、１
個ずつのワークＷを単数ワーク搬送部１９により搬送し
ながら、ワークＷに対して耐圧検査以外の電気測定およ
びマーキングと外観検査を施すので、１個ずつのワーク
Ｗを確実に検査することができ、このようにしてワーク
Ｗに対して全体として迅速かつ連続的な検査を施すこと
ができる。

【００３９】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、耐圧検査
部まで複数のワークをまとめて複数ワーク搬送部により
搬送し、比較的時間を要する耐圧検査を複数のワークに
対して同時に施すことができる。また耐圧検査後のワー
クを単数ワーク搬送部により１個ずつ搬送して、１個ず
つのワークに対して電気測定を行なうことができる。こ
のようにワークＷの検査作業を連続して行なうことがで
きるとともに、全体の検査作業を効率良く行なうことが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるワーク検査装置の一実施の形態を
示す概略図。

【図２】複数ワーク搬送部、単数ワーク搬送部およびワ
ークを示す図。

【図３】単数ワーク搬送部と９０°反転部を示す図。

【図４】複数ワーク搬送部の説明斜視図。

【図５】単数ワーク搬送部の詳細斜視図。

【図６】単数ワーク搬送部の平面図。

【符号の説明】

１０ ワーク検査装置 １１ ワーク供給部 １２ 複数ワーク搬送部 １３ 耐圧検査部 １４ 電気測定ステーション １６ レーザマーカ １７ 外観検査部 １９ 単数ワーク搬送部 ２０ ９０°反転部 ２１ ワーク送出部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被測定物であるワークを順次供給するワー
   ク供給部と、 ワーク供給部の下流側に配置され、ワークを複数個ずつ
   まとめてバッチ式で搬送する複数ワーク搬送部と、 複数ワーク搬送部の下流側に配置され、複数個のワーク
   に対して同時に耐圧検査を行なう耐圧検査部と、 耐圧検査部に接続され、ワークを単数個ずつバッチ式で
   搬送する単独ワーク搬送部と、 単数ワーク搬送部に沿って設けられ、耐圧検査以外の電
   気測定を行なう電気測定ステーションと、 単数ワーク搬送部の下流側に設けられたワーク送出部
   と、 を備えたことを特徴とするワーク検査装置。
2. 【請求項２】単数ワーク搬送部に沿って、電気測定ステ
   ーションの下流側に、ワークに対してマーキングを施す
   マーキング装置と、ワークの外観を検査する外観検査部
   と、 を設けたことを特徴とする請求項１記載のワーク検査装
   置。
3. 【請求項３】複数ワーク搬送部は、凹凸と平坦面を有す
   るタイミングベルトと、タイミングベルトの平坦面に所
   定間隔をおいて固着されるとともに複数のワークを保持
   するワーク保持部と、タイミングベルトの凹凸面に係合
   する駆動部とを有することを特徴とする請求項１記載の
   ワーク検査装置。
4. 【請求項４】単数ワーク搬送部は、凹凸面と平坦面とを
   有するタイミングベルトと、タイミングベルトの平坦面
   に所定間隔をおいて固着されるとともに単数のワークを
   保持するワーク保持部と、タイミングベルトの凹凸面に
   係合する駆動部とを有することを特徴とする請求項１記
   載のワーク検査装置。