JPS61120070A - スクリ−ニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、スクリーニング技術、特Ｋ、リードレスダイ
オードの異物スクリーニングに適用して効果のある技術
に関する。

〔背景技術〕

リードレスダイオード（以下、ＬＬＤという）の製造過
程において、ＬＬＤに存在する異物を除去する場合、Ｌ
ＬＤを整列治具に手でセットし、叩き治具を整列治具と
組み合せて全体を手動で振動させることにより異物のス
クリーニングを行うことが考えられる。

ところが、このスクリーニング式では、叩き治具を叩い
た瞬間だけしか計測できないため、検査の信頼性が劣る
という問題がある。また、複数個のＬＬＤを一括して計
測しているため、不良品の摘出に時間がかかるという問
題もあることを本発明者は見い出した。

なお、半導体装置のスクリーニング技術にすし・ては、
株式会社工業調査会、昭和５６年１１月１０日発行、「
電子材料Ｊ　１９８１年１１月号別冊ｐ２３２〜ｐ２３
３に説明されている、 〔発明の目的〕 本発明の目的は、スクリーニングを自動的に行うことが
できる技術を提供することにある。

本発明の他の目的は、良品と不良品を個別的に判定でき
、信頼性を高め、歩留りを向上させることのできる技術
を提供することＫある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らか忙なるであろう
。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、被スクリーニング物を搬送テーブルと円版治
具で搬送しなから加振装置により被スクリーニングに振
動を加え、確実かつ効率的に自動スクリーニングを行う
ものである。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例であるスクリーニング装置を
第３図の［−Ｉ線の位置で切った加振部の拡大部分断面
図、第２図はその電極接触部の拡大部分断面図、第３図
は装置の全体的概略を示す平面図である。

本実施例において、被り１７−ニング物であるＬＬＤＩ
は、時計方向に回転可能な搬送テーブル２の所定角度毎
の回転、本実施例では９０度毎の間欠回転につれて、挿
入ステーションＡから、予備ステーションＢ、加振ステ
ーションＣを経て放出ステーションＤから良品と不良品
に分けて排出される。

各ステーションＡ、Ｂ、Ｃ，Ｄには、その上面の周辺部
＜′ＶＣＬＬＤを縦方向に整列して保持する孔を有する
円版治具３が搬送テーブル２上に載置されるよう配設さ
れている。円版治具３のうち、少なくとも挿入ステーシ
ョンＡとＤにおける回転治具３は、搬送テーブル２とは
独立に時計方向に回転できる。

搬送テーブル２は下側の固定ベース２ａと上側の可動ベ
ース２ｂとに分離可能であり、可動ベー・ス２ｂは上下
移動可能であると共Ｋ、モータ４により時計方向に回転
される。

加振ステージ３ンＣにおいては、スクリーニングされる
ＬＬＤｌに対して振動を与えるための加振装置５が設け
られている。すなわち、加振装置５として、本実施例で
は、円版治具３の上方まで垂直方向から水平方向に延び
る加振アーム６と、この加振アーム６の上に設けられた
加振器７とを備えている。

また、加振ステーションＣＫは、円版治具３を搬送テー
ブル２から持ち上げて、該円版治具３で縦方向に保持さ
れたＬＬＤＩの上端を第２図に示す如く、加振アーム６
の下側の上電極治具８の下に設けた上電極９に接触させ
る持上げアーム１゜が配設されている。

上電極９は導線１１を介してテスター（図示せず）Ｋ接
続されると共に、持上げアーム１０に接続した導線１２
もテスターに電気的に導通ずる。

そのため、ＬＬＤＩの下部を保持する円版治具３は導電
材料で作られており、上電極９に対して下電極としての
機能も果たす。

次に、本実施例の作用について説明する。

まず、スクリーニングされるＬＬＤＩは挿入ステージ３
ンＡで円版治具３の上面周辺部の孔に縦方向に整列して
挿入され保持される。

そのＬＬＤｌは搬送テーブル２０９０度ずつの間欠回転
につれて予備ステーションＢを経て加振ステーションＣ
に搬送される。

加振ステーションＣでは、円版治具３は持上げアーム１
０により搬送テーブル２上から持ち上げられ、円版治具
３に保持されたＬＬＤｌの上端は上電極９に接触される
。それにより、ＬＬＤＩは導線１１を介してテスター（
図示せず）に接続され、通電により特性測定が行われる
と共に、上電極治具８と加振アーム６を介して加振器７
からの振動を受ける。

したがって、ＬＬＤＩは異物スクリーニングを受ける。

その時に不良品と判定されたＬＬＤＩはその場所をテス
ターに記憶させておく。

この特性測定、加振、異物スクリーニングの後、円版治
具３は加振アーム６への接触のための上昇位置から搬送
テーブル２上に戻され、放出ステーシコンＤに搬送され
る。

放出ステーシランＤでは、ＬＬＤｌは良品と不良品を別
々に排出され、良品は次の処理工程忙搬送される。

〔効果〕

（１１回転可能な搬送テーブルと円版治具により被スク
リーニング物を搬送しなから加振装置で振動を与えかつ
電極と接触させることによって、異物スクリーニングを
自動的に行うことができ、効率の良いスクリーニングが
可能である。

（２）加振中に被スクリーニング物の導通を個々にテス
ターで判定でき、信頼性を高め、歩留りの向上を図るこ
とができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもな〜Ａ０ たとえば、加脂装置や持上げ手段として前記以外の構造
のものを用いることもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例であるスクリーニング装置を
第３図の■−■線の位置で切った加振部の拡大部分断面
図、 第２図はその電極接触部の拡大部分断面図、第３図は装
置の全体的概略を示す平面図である。 １・・・リードレスダイオード（被スクリーニング物）
２・・・搬送テーブル、３・・・円版治具、４・・・モ
ータ、５・・・加振装置、６・・・加振アーム、７・・
・加振器、８・・・上電極治具、９・・・上電極、１０
・・・持上げアーム（持上げ手段）、１１　、１２・・
・導線。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、回転可能な搬送テーブルと、被スクリーニング物を
   収容して前記搬送テーブルの上に載置される円板治具と
   、スクリーニング位置に設けられ、被スクリーニング物
   に振動を与えて異物をスクリーニングする加振装置と、
   被スクリーニング物がスクリーニング位置に来た時に前
   記円板治具を前記搬送テーブルから持ち上げて前記加振
   装置側に設けた電極に接触させる持上げ手段とからなる
   スクリーニング装置。 ２、円板治具が複数個設けられ、少なくとも挿入位置お
   よび放出位置における円版治具が前記搬送テーブルとは
   独立に回転可能であることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載のスクリーニング装置。 ３、被スクリーニング物がリードレスダイオードである
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のスクリー
   ニング装置。