JPH1190664A - レーザ加工ヘッド - Google Patents

レーザ加工ヘッド

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Publication number
JPH1190664A
JPH1190664A JP9251577A JP25157797A JPH1190664A JP H1190664 A JPH1190664 A JP H1190664A JP 9251577 A JP9251577 A JP 9251577A JP 25157797 A JP25157797 A JP 25157797A JP H1190664 A JPH1190664 A JP H1190664A
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JP
Japan
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gas
laser
protective glass
mirror
shield
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Pending
Application number
JP9251577A
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English (en)
Inventor
Kobo Inoue
弘法 井上
Yoshimi Kamito
好美 上戸
Hozumi Goda
穂積 郷田
Hiroshi Fujimura
浩史 藤村
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 スパッタによる保護ガラスの損傷を防止し、
溶接雰囲気を確実にシールドできるレーザ加工ヘッドを
提供することにある。 【解決手段】 レーザ伝送手段11により導かれるレー
ザ光を集光レンズ27,27’,27”により集光し、
反射ミラー15で屈折させるレーザ加工へッドにおい
て、レーザ照射孔に保護ガラス25を付設し、レーザ照
射孔からガスシールドを兼ねたスパッタ排除ガスを噴出
させるとともに、レーザ照射孔を中心として同心円状に
スリット47を設けてシールドガスを噴出させるための
ガス誘導経路を設けたことを特徴とする

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ加工ヘッド
に関する。例えば、レーザ溶接、レーザ切断、レーザマ
ーキング等の加工ヘッドに適用されるものである。
【0002】
【従来の技術】従来技術に係るレーザ溶接の一例とし
て、管の突き合わせ円周溶接の状況を図8に示す。図8
に示すように、溶接の対象となる管1、1’が相互に突
き合わせられ、レーザ溶接ヘッド9が、管1、1’の廻
りを回転しながら、溶接部2を円周方向に溶接してい
る。管1、1’は、図に描かれていない構造体で支持さ
れている。
【0003】ここで、レーザ溶接ヘッド9を管1、1’
の廻りに回転させる機構として、溶接機本体3、固定チ
ャック4及びその制御装置8等が設けられている。即
ち、管1’に対して固定チャック4がハンドル5にて着
脱自在に取り付けられ、この固定チャック4に溶接機本
体3が一体に装着されている。
【0004】溶接機本体3には、管1’を中心として回
転し得るように馬蹄形回転体7が取り付けられると共に
モータ6が取り付けられ、更に、その溶接機本体3の内
部にはモータ6からの動力を馬蹄形回転体7へ伝達して
その馬蹄形回転体7を回転させる動力伝達機構(図示省
略)が組み込まれている。馬蹄形回転体7には、レーザ
溶接ヘッド9が固定されると共にこの溶接ヘッド9には
コネクター10を介してオプティカルファイバー11の
一端が接続し、その他端はレーザー発振器12に接続し
ている。
【0005】従って、図8に示すように、溶接機本体3
及び固定チャック4をハンドル5を操作して管1’に取
り付け、制御装置8で駆動モータ6を駆動すれば、馬蹄
形回転体7及びレーザ溶接ヘッド9が管1、1’の廻り
に回転することになる。レーザ溶接ヘッド9は、図9、
図10に示すように、レンズ群27,27’,27”、
ミラー15等を外筒13内に組み込み、オプティカルフ
ァイバー11により導かれるレーザ光をレンズ群27,
27’,27”で集光しミラー15で屈曲させて溶接線
2へ照射するものである。
【0006】即ち、外筒13にはその一端側に端筒17
が一体に設けられると共にこの端筒17にはコネクタ1
0を介してオプティカルファイバー11の一端が接続し
ている。この端板17の内側には保持筒16が固定さ
れ、この保持筒16にはオプティカルファイバー11に
より導かれるレーザ光を集光するためのレンズ群27,
27’,27”が固定されている。
【0007】更に、端筒17にはミラー冷却ガス供給管
21、レンズ冷却ガス供給管22及びスパッタ除去ガス
供給管23が接続し、これら供給管21、22、23に
連通するミラー冷却ガス導入孔18、レンズ冷却ガス導
入孔19、スパッタ除去ガス導入孔20が設けられてい
る。外筒13の他端側には端板14が取り付けられると
共にこの端板14の内側には、レーザ光を90°屈曲さ
せる反射面を有するミラー15の基端部が固定され、こ
のミラー15の側面はミラー位置調整ネジ26にて外筒
13に支持されている。
【0008】外筒13には、ミラー15により屈曲した
レーザ光を外部に出力する開口部が設けられ、その開口
部には保護ガラス25が保護ガラス保持板24にて固定
されている。従って、オプティカルファイバー11から
レーザ溶接ヘッド9へ導かれたレーザ光は、図中矢印3
6で示すように、レンズ群27,27’,27”で集光
され、ミラー15で方向を変えられた後に、保護ガラス
25を通して被溶接管1,1’の溶接部2上に焦点を結
び、これを溶融することになる。
【0009】この状態で、図8で説明したように溶接ヘ
ッドが被溶接管1、1’のまわりを周回すれば、全周に
わたって溶接金属37が形成され、溶接が完遂する。こ
こで、レンズ群27,27’,27”の透過率、ミラー
15の反射率はいづれも100%ではないので、レーザ
強度が大きくなるにつれて、レンズ群27,27’,2
7”、ミラー15に吸収される熱量は増大し、溶接に必
要な強度レベルでは、数分もしない内に損傷を受けてし
まう。
【0010】また、溶融した金属からは金属蒸気が発生
し、ガス成分が多い場合には、溶融金属37を吹き上
げ、いわゆるスパッタ38を発生するが、これらが保護
ガラス25の表面に付着すると透過率が急激に低下し、
保護ガラス25は瞬時に損傷をうけることになる。この
ため、従来のレーザ溶接ヘッドでも種々の対策が採られ
ており、レンズ冷却ガス供給管22から供給されたレン
ズ冷却ガスは、レンズ冷却ガス導入管19を通って矢印
29に示すように、レンズ保持筒16の中を通過すると
きにそれぞれのレンズ群27,27’,27”を冷却す
る。
【0011】また、ミラー冷却ガス供給管21から供給
された冷却ガスはミラー冷却ガス導入孔18を通過し
て、矢印28で示すように噴出し、矢印30で示される
レンズを冷却した後のガスと合流した後に、ミラー15
を矢印31で示すように通過して冷却し、端板14に開
けられた孔から矢印33で示すように外部に搬出され
る。更に、スパッタ除去は、スパッタ除去ガス供給管2
3から供給されるガスが、スパッタ除去ガス導入孔20
を経由して矢印34で示されるように、保護ガラス25
の表面を横切る方向に噴出させることによって達成しよ
うとしている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たレーザ加工ヘッドでは、以下のような問題がある。 1.スパッタ除去 従来のスパッタ除去方法は、ガスを保護ガラス25の表
面に沿って平行に噴出させることによってスパッタを吹
き飛ばそうとしていた。しかし、この噴出ガスは、溶接
金属37から保護ガラス25の方向に噴出してくるスパ
ッタ38に対して、それを阻止するベクトル成分はない
ために、スパッタの噴出速度が大きい場合には完全に除
去することができず、保護ガラス25の損傷を引き起こ
し、度々溶接を中断して保護ガラス25を交換する不具
合があった。
【0013】また冷却ガスに中性ガスまたは不活性ガス
を使用したとしても、矢印34のような高速流がある
と、これに吸引される形で矢印35で示される空気流が
形成されるために、溶接金属が酸化されて、強度的、外
観的に、溶接継手としてははなはだ不適格なものになっ
ていた。
【0014】2.温度上昇 保護ガラス25は上記スパッタ38のみならず、溶接部
2からのレーザ反射光及び輻射熱が保護ガラス保持板2
4にあたり、熱伝導による温度上昇に伴って損傷すると
いう問題もあった。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の請求項1に係るレーザ加工ヘッドは、レーザ伝送手
段により導かれるレーザ光を集光レンズにより集光し、
反射ミラーで屈曲させるレーザ加工ヘッドにおいて、レ
ーザ照射孔に保護ガラスを付設し、レーザ照射孔からガ
スシールドを兼ね備えたスパッタ排除ガスを噴出させる
とともに、レーザ照射孔を中心として同心円状にスリッ
トを設けてシールドガスを噴出させるためのガス誘導経
路を設けたことを特徴とする。
【0016】上記課題を解決する本発明の請求項2に係
るレーザ加工ヘッドは、請求項1において、前記保護ガ
ラスと前記シールドノズルとの間に断熱材で形成された
保護ガラス支持片を配設し、かつ、レーザ照射孔の屈曲
ガス流路からガスシールドを兼ね備えたスパッタ排除ガ
スを旋回流として噴出させたことを特徴とする。
【0017】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例に係るレーザ加
工ヘッドを図1〜図7に示す。図1はそのレーザ加工ヘ
ッドを上から見た平面図、図2は正面から見た正面図、
図3は右側から見た側面図、図4は底面から見た平面
図、図5は図4中のv−v線での断面図、図6は図4中
のIV−IV線での断面図、図7は図4中のIIV−IIV線での
断面図である。
【0018】このレーザ加工ヘッドは、図1〜7に示す
ように、レンズ群27,27’,27”、ミラー15等
を内筒40、底板41、外筒42内に組み込み、オプテ
ィカルファイバー11により導かれるレーザ光をレンズ
群27,27’,27”で集光しミラー15で屈曲させ
て溶接線2へ照射するものである。即ち、外筒42と底
板41により矩形断面の容器が形成されると共にその内
部に内筒40が挿入され、内筒15の両側にガス溜め空
間53,54が気密に仕切られている。
【0019】ここで、底板41は内筒40に線状に接触
し、また、外筒42は内筒15と底板41との間を気密
に覆っている。内筒40の一端側にはコネクタ10を介
してオプティカルファイバー11の一端が接続し、この
内筒40の内側部分には、レーザ光を集光するためのレ
ンズ群27,27’,27”が固定されている。外筒4
2の一端側にはミラー冷却ガス供給管21、レンズ冷却
ガス供給管22が接続し、このミラー冷却ガス供給管2
1に連通する冷却ガス導入管44がガス溜め空間54内
に配置され、また、レンズ冷却ガス供給管22はガス溜
め空間53内に接続している。
【0020】冷却ガス導入管44は、外筒42と内筒4
0の間を長手方向に沿って配設され、図5に示すよう
に、他端側において内筒40の内壁に接触する方向にそ
の一端が接続している。レンズ群27,27’,27”
の間における内筒40の壁面には、それぞれガス溜め空
間53,54と連通する通気孔が形成されている。
【0021】従って、レンズ冷却ガス供給管22からガ
ス溜め空間53へ供給された冷却ガスは、図1、図7に
矢印29で示すように通気孔を通じて内筒40内に導入
され、レンズ群27,27’,27”の周囲を通過する
際に熱を奪い、更に図1、図7に矢印30で示すように
通気孔を経てガス溜め空間54へ排出されることにな
る。
【0022】外筒13の他端側には端板14が取り付け
られると共にこの端板14には内筒40の内側において
レーザ光を90°折り曲げる反射面を有するミラー15
の基端部が固定されている。ミラー15の背面15’
は、円錐状に加工され、その円錐面には放射状に針状フ
ィン15”が植え付けられている。
【0023】従って、ミラー冷却ガス供給管21、ミラ
ー冷却ガス導入管44によって内筒40の端部近くに導
かれたミラー冷却ガスは、図1、図2に矢印31で示す
ように、円錐面15’に植え付けられた針状フィン1
5”の問を旋回しながら熱を奪って通過し、更に、図
2、図6に矢印32で示すように、ミラー15の前面の
空間に至ることになる。ミラー15により反射したレー
ザ光を外部に案内するための開口部が底板41に設けら
れ、その開口部には保護ガラス25が保護ガラス支持片
49にて固定されている。
【0024】更に、内筒40と底板41との間には、ミ
ラー15で反射したレーザ光を保護ガラス25へ導く経
路を中心として円筒状の隔壁43が気密的に連結して配
置されている。従って、ミラー15の前面において、内
筒40、隔壁43、レンズ27”でこの空間が密閉され
ることになる。保護ガラス支持片49は、図6に示すよ
うに、保護ガラス25との間にスパッタ排除ガス溜まり
48を形成すると共にその中央部にはスパッタ排除ガス
噴出孔であるレーザ照射孔50が形成されている。
【0025】従って、オプティカルファイバー11から
レーザ溶接ヘッド9へ導かれたレーザ光は、図中矢印3
6で示すように、レンズ群27,27’,27”で集光
され、ミラー15で方向を変えられた後に、保護ガラス
25を通して被溶接管1,1’の溶接部2上に焦点を結
び、これを溶融することになる。スパッタ排除ガス溜ま
り48は、保護ガラス25の周辺の隙間からレーザ照射
孔50へ至る屈曲したガス通路である。従って、ミラー
15の前面の空間に至ったミラー冷却ガスは、図6中矢
印で示すように、保護ガラス25に平行に沿って流れた
後垂直に折れ曲がって、レーザ照射孔50からシールド
を兼ねたスパッタ排除ガスとして噴出することになる。
【0026】更に、保護ガラス支持片49は、レーザ照
射孔50から噴出するスパッタ排除ガスを旋回流とする
構成となっている。また、保護ガラス支持片49の材料
として、本実施例では、ボロンナイトライドを用いた。
但し、その他の断熱材を使用することで、保護ガラス2
5の温度上昇を抑制することができる。保護ガラス支持
片49の周囲には、レーザ照射孔50を中心として同心
状にシールドガス噴出スリット47を形成するように、
シールドノズル45が配設され、このシールドノズル4
5の内側には環状溝形状にシールドガス溜まり46が形
成されている。
【0027】シールドガス溜まり46は、底板41に設
けられた通気孔を介してガス溜め空間54に連通してお
り、従って、図7に矢印30で示すようにガス溜め空間
54に排出されたレンズ冷却ガスは、図6に矢印51で
示すように、この通気孔を通じたシールドガス溜まり4
6に流入し、さらにはシールドガス噴出スリット47か
ら噴出することになる。
【0028】本実施例に係るレーザ加工ヘッドにおい
て、ミラー冷却ガス、スパッタ排除ガス、シールドガス
は次の作用・効果を奏する。先ず、ミラー冷却ガス供給
管21および、ミラー冷却ガス導入管44によって内筒
40の端部近くに導かれたミラー冷却ガスは、図1、図
2に矢印31で示すように、円錐面15’に植え付けら
れた針状フィン15”の問を熱を奪いながら通過し、図
2、図6に矢印32で示すように、ミラー15の前面の
空間に至り、更に、保護ガラス25の周辺の間隙を通っ
てスパッタ排除ガス溜まり48にはいり、シールドを兼
ねたスパッタ排除ガスとして矢印52に示す経路でスパ
ッタ排除ガス噴出孔50から旋回流として噴出すること
になる。
【0029】一方、レンズ冷却ガス供給管22で、レン
ズ冷却ガスが外筒42と内筒40の間のガス溜め空間5
3に供給されたレンズ冷却ガスは、図1、図7で矢印2
9で示すように内筒40に開けられている通気孔を通じ
てレンズ群27,27’,27”を冷却した後、図1、
図7に矢印30で示すように、内筒40の他方の壁に開
けられている通気孔を通じてもう一つのガス溜め空間5
4に排出され、更に、図6中に矢印51で示すように、
シールドガス溜まり46に流入し、さらにはシールドガ
ス噴出スリット47から噴出する。
【0030】このように、本実施例では、ミラー15を
冷却した後のガスをシールドを兼ねたスパッタ排除ガス
として図6中に矢印52で示す経路でスパッタ排除ガス
噴出孔であるレーザ照射孔50から旋回流で噴出させる
ことができるため、溶接金属37から発生する金属蒸気
やスパッタ38が、保護ガラス25に付着するのを阻止
するとともに、保護ガラス支持片49によって熱伝導に
よる温度上昇を抑制する効果があり、保護ガラス25、
並びにミラー15、複数のレンズ群27,27’,2
7”の損傷を防ぐことができる。
【0031】また、レンズ群27,27’,27”を冷
却したガスを最終的にはレーザ照射孔50を中心に同心
円上に設けたシールドガス噴出スリット47から噴出さ
せて、空気が溶接雰囲気に侵入するのを防ぐことができ
る。このため、スパッタ排除ガスおよびシールドガスに
アルゴン、ヘリウム、窒素などの不活性または中性ガス
を用いることにより、溶接金属の酸化劣化を防止でき、
健全な溶接継手を得ることができる。
【0032】
【発明の効果】以上、実施例に基づいて具体的に説明し
たように、本発明の請求項1に係るレーザ加工ヘッド
は、レーザ伝送手段により導かれるレーザ光を集光レン
ズにより集光し、反射ミラーで屈折させるレーザ加工ヘ
ッドにおいて、レーザ照射孔に保護ガラスを付設し、レ
ーザ照射孔からガスシールドを兼ねたスパッタ排除ガス
を噴出させるとともに、レーザ照射孔を中心として同心
円状にスリットを設けてシールドガスを噴出させるため
のガス誘導経路を設けたため、シールドを兼ねたスパッ
タ排除ガスをレーザ照射孔から噴出させて、溶接金属か
ら発生する金属蒸気やスパッタが、保護ガラスに付着す
るのを阻止することができ、また、レーザ照射孔を中心
に同心円上に設けたシールドガス噴出スリットからシー
ルドガスを噴出させて、空気が溶接雰囲気に侵入するの
を防ぐことができる。
【0033】また、本発明の請求項2に係るレーザ加工
ヘッドは、請求項1において、前記保護ガラスと前記シ
ールドノズルとの間に断熱材で形成された保護ガラス支
持片を配設し、かつ、レーザ照射孔の屈曲ガス流路から
ガスシールドを兼ね備えたスパッタ排除ガスを旋回流と
して噴出させたため、保護ガラス支持片によって熱伝導
による保護ガラスの温度上昇を抑制する効果があり、保
護ガラス、ミラー、複数のレンズ群の損傷を防ぐことが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係るレーザ加工ヘッドを上
から見た平面図である。
【図2】本発明の一実施例に係るレーザ加工ヘッドを正
面から見た正面図である。
【図3】本発明の一実施例に係るレーザ加工ヘッドを右
側から見た側面図である。
【図4】本発明の一実施例に係るレーザ加工ヘッドを底
面から見た平面図である。
【図5】図4中のv−v線での断面図である。
【図6】図4中のIV−IV線での断面図である。
【図7】図4中のIIV−IIV線での断面図である。
【図8】レーザ溶接の一例に係る管の突き合わせ円周溶
接の状況を示す説明図である。
【図9】従来のレーザ溶接ヘッドの平面図である。
【図10】従来のレーザ溶接ヘッドの正面図である。
【符号の説明】
1,1’ 溶接の対象である管 2 溶接部 3 溶接機本体 4 固定チャック 5 ハンドル 6 駆動モータ 7 馬蹄形回転体 8 溶接制御装置 9 レーザ溶接ヘッド 10 コネクター 11 オプティカルファイバー 12 レーザ発振器 13 外筒 14 端板 15 ミラー 16 レンズ保持筒 17 端筒 18 ミラー冷却ガス導入孔 19 レンズ冷却ガス導入孔 20 スパッタ除去ガス導入孔 21 ミラー冷却ガス供給管 22 レンズ冷却ガス供給管 23 スパッタ除去ガス供給管 24 保護ガラス保持板 25 保護ガラス 26 ミラー位置調整ネジ 27,27’,27”は複数のレンズ群 28 ミラー冷却ガスの流れを示す矢印 29,30 レンズ冷却ガスの流れを示す矢印 31,32 ミラー冷却ガスの流れを示す矢印 33 排出冷却ガスの流れを示す矢印 34 スパッタ除去ガスの流れを示す矢印 35 吸引された空気の流れを示す矢印 36 レーザ光の経路を示す模式線 37 溶接金属 38 スパッタ 15’ ミラー15の背面 15” 針状フィン 40 内筒 41 底板 42 外筒 43 隔壁 44 ミラー冷却ガス導入管 45 シールドノズル 46 シールドガス溜まり 47 シールドガス噴出スリット 48 スパッタ排除ガス溜まり 49 保護ガラス支持片 50 レーザ照射孔 51 シールドガスの流れを示す矢印 52 シールドを兼ねたスパッタ排除ガスの流れを示す
矢印 2は溶接部、 3は溶接機本体、 4は溶接機本体3と一体化した固定チャック、 5は固定チャック4のハンドル、 6は駆動モータ、 7は溶接機本体3に回動自在に固定された馬蹄形回転体
で、溶接機本体3内に組み込まれている動力伝達機構を
介して駆動モータ6により回動する。 8は溶接制御装置、 9は馬蹄形回転体7に固定されたレーザ溶接ヘッド、 10はコネクター、 11はオプティカルファイバー、 12はレーザ発振器である。 13は外筒、 14は端板、 15はミラー、 16はレンズ保持筒、 17は外筒13と一体化している端筒、 18は端筒17内に設けられたミラー冷却ガス導入孔、 19は同じく端筒17内に設けられたレンズ冷却ガス導
入孔、 20も端筒17内に設けられたスパッタ除去ガス導入
孔、 21はミラー冷却ガス供給管、 22はレンズ冷却ガス供給管、 23はスパッタ除去ガス供給管、 24は保護ガラス保持板、 25は保護ガラス、 26はミラー位置調整ネジ、 27、27’、27”は複数のレンズ群、 28はミラー冷却ガスの流れを示す矢印、 29、30はレンズ冷却ガスの流れを示す矢印、 31、32はミラー冷却ガスの流れを示す矢印、 33は排出冷却ガスの流れを示す矢印、 34はスパッタ除去ガスの流れを示す矢印、 35は吸引された空気の流れを示す矢印、 36はレーザ光の経路を示す模式線、 37は溶接金属、 38はスパッタである。 15’は円錐形に加工されたミラー15の背面、 15’は円錐面15’に植え付けられた針状フィン、 40はレンズ27,27’,27”やミラー15を収納
保持する内筒、 41は内筒40と線状に接触して設けられた底板、 42は内筒15と底板43の間を気密的に囲った外筒、 43はミラー15で反射したレーザ光の経路を中心とし
た円筒状に内筒40と底板41との間を気密的に連結し
た隔壁、 44はミラー冷却ガス供給管21のミラー冷却ガスを内
筒40の端部近くに導くミラー冷却ガス導入管、 45はシールドノズル、 46はシールドノズル45中に環状溝形状に加工された
シールドガス溜まり、 47はシールドガス溜まりの底部から外部に向かって設
けられたシールドガス噴出スリット、 48はスパッタ排除ガス溜まり、 49はスパッタ排除ガス溜まり48を部分的に埋める形
でレーザ照射孔からのシールドガスの流れが旋回流とな
るように形成されている保護ガラス支持片で本実施例で
はBN(ボロンナイトライド)を用いた。 50はレーザ照射孔であり、シールドを兼ねたスパッタ
排除ガス噴出孔、 51はシールドガスの流れを示す矢印、52はシールド
を兼ねたスパッタ排除ガスの流れを示す矢印である。図
9はレーザ溶接ヘッド9を上から見た断面図、図10は
レーザ溶接ヘッド9を側面から見た断面図である。レー
ザ溶接ヘッド9は、図9、図10に示すように、オプテ
ィカルファイバー11から導かれるレーザ光をレンズ群
27,27’,27”で集光しミラー15溶接機本体3
には、管1’を中心として回転し得るように馬蹄形回転
体7が取り付けられると共にモータ6が取り付けられ、
更に、その溶接機本体3の内部にはモータ6からの動力
を伝達してその馬蹄形回転体7を回転させる動力伝達機
構(図示省略)が組み込まれている。馬蹄形回転体7に
は、レーザ溶接ヘッド9が固定されると共にこの溶接ヘ
ッド9にはコネクター10を介してオプティカルファイ
バー11の一端が接続し、その他端はレーザー発振器1
2に接続している。従って、図8に示すように、溶接機
本体3及び固定チャック4をハンドル5を操作して管
1’に取り付け、制御装置8で駆動モータ6を駆動すれ
ば、馬蹄形回転体7及びレーザ溶接ヘッド9が管1、
1’の廻りに回転する。保護ガラス支持片49は、保護
ガラス25と保護ガラス保持板26との間において回転
自在に、 15’は円錐形に加工されたミラー15の背面、 35’は円錐面15’に植え付けられた針状フィン、 40はレンズ27,27’,27”やミラー15を収納
保持する内筒、 41は内筒40と線状に接触して設けられた底板、 42は内筒15と底板41の間を気密的に囲った外筒、 43はミラー15で反射したレーザ光の経路を中心とし
た円筒状に内筒40と底板41との間を気密的に連結し
た隔壁、 44はミラー冷却ガス供給管21のミラー冷却ガスを内
筒40の端部近くに導くミラー冷却ガス導入管、 45はシールドノズル、 46はシールドノズル45中に環状溝形状に加工された
シールドガス溜まり、 47はシールドガス溜まりの底部から外部に向かって設
けられたシールドガス噴出スリット、 48はスパッタ排除ガス溜まり、 49はスパッタ排除ガス溜まり48を部分的に埋める形
でレーザ照射孔からのシールドガスの流れが旋回流とな
るように形成されている保護ガラス支持片で本実施例で
はBN(ボロンナイトライド)を用いた。 50はレーザ照射孔であり、シールドを兼ねたスパッタ
排除ガス噴出孔、 51はシールドガスの流れを示す矢印、52はシールド
を兼ねたスパッタ排除ガスの流れを示す矢印である。
尚、前述した従来技術と同一部分には同一符号を付し
て、重複する説明を省略する。上記構成を有する本実施
例のレーザ加工ヘッドは、次の作用・効果を奏する。な
お、保護ガラス支持片49は保護ガラス25とシールド
ノズル45との間に配設されており、かつ、レーザ照射
孔からのシールドガスの流れは、この保護ガラス支持片
49によって旋回流となるように構成されている。本実
施例では、保護ガラス支持片49の材料としてボロンナ
イトライドを用いたが、適宜の断熱材を使用すること
で、保護ガラス25の温度上昇を抑制することができ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤村 浩史 長崎県長崎市深堀町5丁目717番地1 長 菱エンジニアリング株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ伝送手段により導かれるレーザ光
    を集光レンズにより集光し、反射ミラーで屈折させるレ
    ーザ加工ヘッドにおいて、レーザ照射孔に保護ガラスを
    付設し、レーザ照射孔からガスシールドを兼ねたスパッ
    タ排除ガスを噴出させるとともに、レーザ照射孔を中心
    として同心円状にスリットを設けてシールドガスを噴出
    させるためのガス誘導経路を設けたことを特徴とするレ
    ーザ加工ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記保護ガラスと前記シールドノズルと
    の間に断熱材で形成された保護ガラス支持片を配設し、
    かつ、レーザ照射孔の屈曲ガス流路からガスシールドを
    兼ね備えたスパッタ排除ガスを旋回流として噴出させた
    ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工ヘッド。
JP9251577A 1997-09-17 1997-09-17 レーザ加工ヘッド Pending JPH1190664A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1239993B1 (de) * 1999-12-22 2005-01-19 KUKA Schweissanlagen GmbH Blasvorrichtung für eine lasereinrichtung
JP2006123005A (ja) * 2004-10-25 2006-05-18 Snecma レーザビームによる穿孔または加工ヘッド用ノズル

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1239993B1 (de) * 1999-12-22 2005-01-19 KUKA Schweissanlagen GmbH Blasvorrichtung für eine lasereinrichtung
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