JPH05509040A - 管のレーザ溶接装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 管のレーザ溶接装置および方法 本発明は管内に導入可能なプローブを用いて管内周に沿って管をレーザ溶接する ための装置および方法に関する。

管内に導入可能なプローブを用いて管をレーザ溶接するための装置は例えばヨー ロッパ特許出願公開第０３００４５８号公報によって公知である。この公開公報 に記載されたプローブは光導波路を介してＮｄ：ＹＡＧ固体レーザに接続されて いる。プローブの内部において先導波路の一端部から出射したレーザ光は複数の レンズから構成されたレンズ系および転向ミラーを通ってプローブの外部に位置 する焦点へ集束される。転向ミラーはプローブの長手軸線に対して４５°の角変 で傾斜しており、レンズ系によって集束されてプローブの内部においてレンズ系 と転向ミラーとの間を伝播するレーザ光線を９０°転向させる６転向したレーザ 光線はプローブの容器内に半径方向へ配置された円筒状出射口を通ってプローブ から出射する。プローブはさらに保護ガス用の流れ管路が設けられており、この 流れ管路はプローブの容器壁内を通って出射口内へ開口し、そして転向ミラーと 溶接部位との間の空間内へ流出する。

従って、この公知の装置においては、溶接個所に直に向かい合う保護ガス流はプ ローブの内部へ向けられた部分ガス流と溶接個所へ向けられた部分ガス流とに分 割される。このことにより出射口の開城には渦流が形成され、それゆえ溶接墓気 または溶接プラズマおよび特にパルス状レーザを使用する際には溶融体から飛散 する滴が転向ミラー上および出射口のところに沈積し、プローブの寿命が著しく 短縮する。

そこで、本発明の課題は、転向ミラー上および出射口の領域内への溶接痕気の沈 積が大幅に減少するような、管内に導入可能なプローブを用いて管内周に沿って 管をレーザ溶接するための装！および方法を捷供することにある。

上述の課題は本発明によればそれぞれ請求の範囲第１項および１Ｊ１６項に記載 の特徴により解決される０本発明による管内へ導入可能なプローブは、ａ）１０ −ブの内部において主としてその長手軸線に沿って伝播するレーザ光線束を集束 および転向させるための少なくとも１つの結像素子と、ｂ）結像素子によって作 られて転向して集束されたレーザ光線束をプローブから流出させる出射口と、 Ｃ）プローブの内部に配置され、少なくとも一部分が出射口を通って流出する保 護ガス流を出射口まで案内する手段と、ｄ）プローブの内部を流動する保護ガス 流の一部分を出射口に到達する前に分流可能でありかつ出射口へ向けられた軸線 方向の流れ成分でもってプローブの外表面へ案内可能である手段と、 を含む。

これによってプローブの外壁と管の内周との間には軸線方向へ向く流れが生じ、 この流れによって、溶接溶融体から飛散した溶接材料は迅速に出射口の領域から プローブのヘッド方向へ導かれるようになる。これによって出射口の領域内およ び結像素子上への溶接莫気の沈積が減少する。

本発明の優れた実施Ｍ樟によれば、プローブの内部に画部分ガス流の流量比を調 整するための手段、特に部分ガス流用の流れ管路内に配置された減圧ノズルが設 けられる。

本発明の育利な実施ｇ櫂によれば、外部へ向けて分流された部分ガス流を案内す るためにプローブを取囲むスリーブが設けられ、このスリーブはその内表面に環 状溝が形成され、この環状溝内にはプローブ内を延びる部分ガス流用流れ管路が 開口する。スリーブはプローブのヘッド側のスリーブ端面から環状溝まで延びる 軸線方向孔が設けられる。これによって、プローブと管との間に存在する空所内 に特に均一な軸線方向の保護ガス流が生じる。

本発明の他の実施態様によれば、プローブの内部を流動する保護ガス流から出射 口のところで部分ガス流を分流させて、プローブの内部に位置する管路を通って 案内する手段が設けられ、これによって転向ミラー上への葵発した溶接材料の沈 積がより一層減少する。

特に管路は転向ミラーに形成されて出射口に直接向かい合っている切欠内へ開口 する。

本発明の他の有利な実施ＩＪ様によれば、結像素子が設けられ、この結像素子は プローブの外部に位置する焦点に集束して転向されかつ伝播方向が長手軸線に対 して斜めに向けられたレーザ光線束を生成する。この場合結像素子とは、レーザ 光線の伝播方向を変えることができる光学要素、例えば平面鏡、湾曲表面を備え たミラーまたはレンズを意味する。

転向したレーザ光線束を斜めに出射させることによって、出射口が溶接部位に直 接向かい合わなければならないことが回避され、それにより出射口の領域および プローブの内部への溶接庫気の沈積が減少する。

転向したレーザ光線がプローブの長手軸線に対して形成するＩ頃斜角は好適には ６０°〜８０°の大きさである。これによって、レーザ光の出射口が大きくても レーザ光がプローブの内部へ反射されて戻されることが実際上回避される。

本発明の優れた寞施Ｂ様によれば、プローブ内には、集束されたレーザ光線を転 向させるために平面状ミラー面を有しその表面法線がプローブの長手軸線に対し て４５゛以上、特に５０’　〜６０°の大きさの角度を形成する転向ミラーが設 けられる。

本発明の他の実施Ｕ様によれば、平均的にプローブの長手軸線に沿って伝播する レーザ光線を集束および転向させるために凹面状転向ミラーが設けられる。これ によって、転向ミラーに当たるレーザ光線束の断面積は平面状転向ミラーを備え た実施例に比べて増大する。単位面積当たりに転向ミラーに入射する光線量、従 って転向ミラーの局部加勢がそれによって減少する。

本発明の他の優れた実施ｔＩｌ様によれば、結像系の結像特性を改善するために 、光導波路を介してレーザに光学的に結合されたプローブにおいて、光導波路の 端部と凹面状転向ミラーとの間に、光導波路から出射したレーザ光線束をコリメ ートするための手段が設けられる。

特に高勢伝導率の材料、特に！１ｉｃｕから構成された転向ミラーが設けられる 。

このような措！を施すことによって、転向ミラーの熱負荷がより一層減少し、従 って反射膜の盲動寿命がさらに高まる。

本発明の優れた実施態様によれば、転向したレーザ光線束をプローブから出射さ せるために出射口が設けられ、この出射口は出射口から流出する保護ガス流に軸 線方向へ向いた流れ成分を与える。

本発明による管をその内周に沿ってレーザ溶接するための方法は以下の特徴、る レーザ光線束から、転向されかつ管の内周の一個所へ集束されるレーザ光線束を 生成し、 ｂ）レーザ光線束は出射口を通ってプローブから出射し、Ｃ）プローブにはその 内部において出射口の方向へ流れる保護ガス流が供給され、 ｄ）保護ガス流の一部分は出射口を通って流出し、ｅ）保護ガス流の他の部分は 出射口へ到達する前に分流され、軸線方向の流れ成分でもって管とプローブとの 間に存在する空所内へ導かれる、という特徴ををする。

プローブの内部を出射口へ流れる保護ガス流から、プローブの内部において出射 口のところで、軸線方向に向けられた流れ成分を有する別の部分ガス流が分流さ れて、プローブの内部を流れるようにすることによって、転向ミラー上への溶接 材料の沈積がより一層減少する。

方法に関する本発明の優れた実施ａｍによれば、レーザ光線束はプローブの長手 軸線に対して斜めに転向される。

方法に関する本発明の他の有利な実施１！ＩＪＩによれば、ＣＷ方式で動作する 固定レーザが使用される。これによって、溶接溶融体から滴が飛散するのが回避 される。

次に本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

図１は管内に挿入された本発明によるプローブの拡大縦断面図である。

図２、図３および図４は転向装置の領域におけるプローブのそれぞれ異なった実 施例の拡大断面図である。

図１によれば、本発明によるプローブ１は心出しユニット２と、転向ユニット４ と、集束ユニット６と、駆動ユニット８とを含んでおり、これらはプローブｌの 長手軸線１０に沿って前後に配置されている。プローブｌは加工すべき管１２内 に導入され、転向ユニット４を含むそのヘッド部が管１２内に導入されてこの管 １２に溶接されるべきスリーブ管１４の内部に突入している。

心出しユニット２は軸２１を含んでおり、この軸２１はプローブｌのヘッド側の 端部に玉軸受２２によって転向ユニット４に回転可能に支持されかつ袋ナツト２ ３によって軸線方向に固定されている。心出しユニット２は少なくとも３個のロ ーラ２４を含んでおり（但し図にはそのうち２個のローラしか示されていない） 、これらのローラは２個のリンク２５を有する回転継手機構によってそれぞれ弾 性的に支持されている０両リンク２５は二等辺三角形の辺対を形成し、ローラ２ ４に取付けられた回転継手２６に接触している。軸２１上には両リンク２５が同 様に回転継手２８によって移動可能に支持されている。これらの再回転継手２８ の一方は軸２１を取囲む可動フランジ２９に力結合されている。軸２１の自由端 部には別のフランジ３０が固定されている。フランジ２９とフランジ３０との間 にはコイルばね３１が配！され、それゆえローラ２６の半径方向へ内部に向けた 移動はこのコイルばね３１の作用に抗して行われる。軸２１上に配置された間隔 スリーブ２７は回転継手２６の折りたたみを阻止し、管１２内へのプローブ１の 導入を容易にする。

転向ユニット４は転０ミラー４１が配置されている円筒状容器４０を含んでいる 。転向ミラー４１は中実の円柱状銅ブロックから構成されており、この銅ブロッ クは袋ナツト４３によって転向ミラー４１を軸線方向に固定するために使われる フランジ状拡大部４２を心出しユニット２側の端部に有している。ｉ＊ブロック はフランジ状拡大部４２とは反対側の端部にその長手軸線に対して斜めに向く端 面が形成されている。この端面ば鏡面状被膜によって覆われ、鏡面４４を形成し ている。＊面状被嘆としては例えば誘電体膜、特に窒化チタン（ＴｉＮ）穿たば 金属膜、特に厚着された金（Ａｕ）が設けられる０反射膜にはさらに石英製保護 膜を設けてもよい。

鏡面４４はその法線１８がプローブ１の長手軸線１０に対して４５゛以上、特に ５０°〜６０゛の大きさの角度β１を形成するようにプローブ１の内部に配置さ れる。平均的に長手軸線１０に沿って伝播して鏡面４４に入射するレーザ光線束 ５８は従って斜めに前方へ向けて転向される。転向したレーザ光線束５９の中心 光線は長手軸線１０に対して６０°〜８０°の角度β２にて容器４０から出射口 ４５を通って出射する０図の例では出射口４５として長手軸線１０に対して同様 に斜めに延びる孔が設けられている。

転向ミラー４１はさらに長手軸線１０に対して平行に延在している溝４６と取付 はピン４７とによって容器４０内に回動不能に取付けられている。

転向ミラー４１として中実の銅ブロックを使用することによって、レーザ光線５ ８によるミラー面の加熱が減少し、ミラー被膜の寿命が延びる。

転向ユニット４の容器４０は転向ミラー４１とは反対側の端部のことろで内周部 に歯車リム４８が設けられており、この歯車リム４８には駆動ユニット８によっ て駆動されるピＬオン４９が噛み合っている。このピニオン４９は駆動ユニット ８内に配！された電動１１８１の駆動軸に結合された可撓軸５０とトルク結合さ れている。電動機８１によって駆動されるピニオン４９によって容器４０が回転 運動を行わされ、それにより出射したレーザ光＊５９が溶接すべきスリーブ管１ ４の内壁へ当たる個所Ｆが周囲方向へ移動し、環状線を描Ｘ。

転向ユニット４と駆動ユニット８との間には集束ユニット６が配置されており、 その容器６０は駆動ユニット８の容器８０に強固に結合されている。容器６０は 中心孔６１を含んでおり、この中心孔６１内には駆動ユニット８側に先導波路６ ３を収容するためのスリーブ６２が挿入されている。先導波路６３はその自由端 部６４が孔６１内へ開口し、スリーブ６２によって軸線方向へ心出しされている 。

先導波路６３はその他端部が図示されていないレーザ、特に固体レーザ、特にＮ ｄ　：　ＹＡＣレーザに結合されている。

集束ユニット６の転向ミラー４１側の＃１部には集束素子、特にレンズ６５また はレンズ系が配置され、このレンズ６５は光導波路６３の端部６４から出射した 発散レーザ光線束５７を集束する。レーザ光線束５９の焦点Ｆの位置は端部６４ とレンズ６５との間の間隔を変えることによって調整することができる。

容器４０はレンズ６５の領域において容器６０と係合し、玉軸受６６および間隔 スリーブ６８によって容器６０上に回転可能に支持され、この容器６０に力結合 されている。ビニすン４９が回転すると、転向ミラー４１を担持している容器４ ０だけが回転運動を行う、レンズ６５および光導波路６３はこの回転運動に関与 しない。

レンズ６５は容器４０の内部へ突入しており複数個の互いに力結合して回転しな い容器部材６０ａ、６０ｂ、６０ｃによって支持されている。容器部材６０ｂ、 ６０ｃは容器部材６０ｃ内に配設された流れ管路７０に孔Ｔ８ａを介して連通ず るほぼｖ字状の空所７１を形成している。この流れ管路７０はレンズ６５と光導 波路６３の自由端部６４との間に存在する空所７１内へ保護ガス、例えばアルゴ ンを導く、流れ管路７０内には断面を狭くされた減圧ノズル７７が挿入されてい る。ｆＬれ管路７０内において減圧ノズル７７の上方へ流れる保護ガスは孔７８ ａを通って空所７１内へ流入し、容器部材６０ｂの孔７８ｂを通って空所７１を 流出して、環状管路７９内へ流入し、そしてそこからレンズ６５と転向ミラー４ １との間に存在する空所７２内へ到達する。

このようにしてレンズ６５の周囲を流れて転向ミラー４１の傍を通って流れる保 護ガスは出射口４５を通ってプローブから流出する。これによって溶接個所に保 護ガスが吹付けられると共に、さらにレーザ光線５７．５８を与えられる結像素 子の冷却が行われる。さらに外部へ流出する保護ガスによって転向ミラー４１上 へ溶接襄気が沈積するのが防止される。

出射口４５は図の例では容器４０の壁内に斜めに前方へ向けられた孔によって形 成されている。これによって出射口４５を通って流れる保護ガスはさらに出射口 ４５の領域から溶接蒸気を排出するのを助成する軸線方向の流れ成分を与えられ る。

流れ管路７０はさらに半径方向に分岐している流れ管路７３に連通しており、こ の流れ管路７３は容３６０の環状溝７４を取囲むスリーブ７５内へ開口している 。このスリーブ７５はプローブ１の鍔状拡大部を形成している。プローブ１の長 手軸線ｌＯに対して平行にスリーブ７５には環状溝７４に連通ずる多数の孔７６ が設けられている。横方向管路７３によって、駆動ユニット８から出発して流れ 管路７０内へ流入する保護ガス流から半径方向の部分ガスが分流され、この部分 ガスは環状溝７４内において軸線方向へ転向し、転向ユニット４側にあるスリー ブ７５の端面で管１２とプローブ】の外被との間に存在する管路内へ流入する。

これによって溶接個所の領域に有効な保護ガス雰囲気を維持することが保証され る。さらに溶融の際に発生する溶接蒸気は軸線方向流によって溶接個所から効果 的に排出され、溶接蒸気がプローブ１の内部へ沈積する危険が減少する。

プローブ１の内部において転向ミラー４１へ向けて流れる保護ガス流と半径方向 へ外部へ向けて排出される保護ガス流との間の流量比を調整するために、流れ管 路７０内に挿入された減圧ノズル７７が設けられている。

駆動ユニット８の容器８０は図示されていない移動ホースを収容するために集束 ユニット６とは反対側の端部に設けられている。なおこの移動ホースによって保 護ガスがプローブへ輸送され、そしてこの移動ホースは光導波路６３と電動機８ １に給電するために必要であるり−Ｆ線８２とを収容する。

図２の実施例においては、転向ミラー４１にはフランジ状拡大部４２から出発し て転向ミラー４１の内部へ案内されている中心孔５１が設けられており、この中 心孔５１は斜めに外部へ向けて延びて出射口４５の領域のミラー面４４のところ で切欠５６内へ通じる孔５２に連通している。フランジ状拡大部４２は袋ナツト ４３例の端面に多数の半径方向溝５４が設けられている。この半径方向溝５４は 中心孔５１と袋ナンド４３の内部において斜めに外部へ向けて延びる孔５５とを 連通ずる。

容器４０の内部において転向ミラー４１に沿って流動する保護ガス流は従って出 射口４５を通ってこの容器４０から流出する前にもう一度分流する。この部分ガ ス流は孔５２を通って転向ミラー４１の孔５１内へ到達し、そして袋ナツト４３ 内の孔５５を通ってプローブ１から流出する。転向ミラー４１の内部におけるこ のガス流によって転向ミラー４１の冷却が改善され、その寿命が延びる。

出射口４５と切欠５６とは直接つながっており、それゆえ保護ガスの流れに関係 しないデッドスペースの形成が回避される。転向ミラー４１と出射口４５が配設 されている容器壁との間に形成されるこのようなデッドスペースによって渦流が 発生し、それによりミラー面４４上への溶接材料の沈積が多くなる。

図からさらに明らかなように、プローブ１から出射したレーザ光線束５９は管１ ４の内表面に対して斜めに焦点Ｆに入射する。焦点Ｆから出て管１４の内表面上 に直立する法線１６とレーザ光線束５９の中心光線とは特に１０゛〜３０”の大 きさの角度β３を形成する。

図３の実施例においては、転向ユニット４内にはミラー面１４４が凹面状に湾曲 している転向ミラー１４１が設けられている。転向ミラー１４１はこの実施例に おいてはプローブの内部を伝播するレーザ光線束５日を転向させるためおよびこ のレーザ光線束５８をプローブｌの外部に位置する焦点Ｆへ集束させるために使 われる。この実施例においては、先導波路から出射したレーザ光線を集束させる ためのレンズ装置はもはや必要ではない。

図４によれば、凹面状転向ミラー１４１ａの前には光導波路６３から出射したレ ーザ光線束５７を平行束５８ａにコリメートするコリメータレンズ６５ａが配置 されている。なお、その平行束５８ａは転向ミラー１４１ａによって集束されて 転向される。これによって転向ミラー１４１ａからの焦点Ｆの距離が等しい場合 には先導波路６３と転向ミラー１４１ａとの間の間隔を大きくすることが可能と なる。

要約書 管（１４）内に導入可能なプローブ（１）を用いて管内周に沿って管（１４）を レーザ溶接するための装置は、プローブ（１）の内部に配置され、プローブ（１ ）の内部を流れる保護ガス流の一部分を集束かつ転向されたレーザ光線束（５９ ）用の出射口（４５）に到達する前に分流して出射口（４５）へ向けられた軸線 方向の流れ成分でもってプローブ（１）の外表面へ案内する手段（７３〜７６） を含む、これによって、出射口（４５）の領域およびプローブ（１）の内部への 溶接材料の沈積が減少する。

図１ 国際調査報告

Claims (19)

【特許請求の範囲】
1. １．管（１２、１４）内に導入可能なプローブ（１）を用いて管内周に沿って管 （１２、１４）をレーザ溶接するために、ａ）プローブ（１）の内部において主 としてその長手軸線（１０）に沿って伝播するレーザ光線束（５７）を集束およ び転向させるための少なくとも１つの結像素子（４１、６５）と、 ｂ）結像素子（４１、６５）によって作られて転向されて集束されたレーザ光線 束（５９）をプローブ（１）から流出させる出射口（４５）と、ｃ）プローブ（ １）の内部に配置され、少なくとも一部分が出射口（４５）を通って流出する保 護ガス流を出射口まで実内する手段（７０、７８ａ、７８ｂ、７９）と、 ｄ）プローブ（１）の内部を流動する保護ガス流の一部分を出射口（４５）に到 達する前に分流可能でありかつ出射口（４５）へ向けられた軸線方向の流れ成分 でもってプローブ（１）の外表面へ案内可能である手段（７３、７４、７６）と 、 を備えることを特徴とする管のレーザ溶接装置。
2. ２．プローブ（１）の内部に両部分ガス流の流量比を調整するための手段（７７ ）が設けられることを特徴とする請求項１記載の装置。
3. ３．部分ガス流用の流れ管路（７０）内に減圧ノズル（７７）が設けられること を特徴とする請求項２記載の装置。
4. ４．外部へ向けて分流された部分ガス流を実内するためにプローブ（１）を取囲 むスリーブ（７５）が設けられ、このスリーブはその内表面に環状溝（７４）が 形成され、この環状構内にはプローブ（１）内を延びる部分ガス流用流れ管路（ ７３）が開口し、前記スリーブはプローブ（１）のヘッド側のスリーブ（７５） 端面から環状溝（７４）まで延びる軸線方向孔（７６）が設けられることを特徴 とする請求項１ないし３の１つに記載の装置。
5. ５．プローブ（１）の内部を流動する保護ガス流から出射口（４５）のところで 部分ガス流を分流させて、プローブ（１）の内部に位置する管路（５３、５４、 ５５）を通って案内する手段が設けられることを特徴とする請求項１ないし４の １つに記載の装置。
6. ６．管路（５３、５４、５５）は転向ミラー（４１、１４１）に形放されて出射 口（４５）に直接向かい合っている切欠（５６）内へ開口することを特徴とする 請求項５記載の装置。
7. ７．プローブ（１）の外部に位置する焦点（Ｆ）に集束して転向され伝播方向が 長手軸線（１０）に対して斜めに向けられたレーザ光線束（５９）を生放する結 像素子（４１、６５）が設けられることを特徴とする請求項１ないし６の１つに 記載の装置。
8. ８．転向したレーザ光線束（５９）の中心光線が長手軸線（１０）に対して形成 する傾斜角（β２）は平均的に６０°〜８０°の大きさであることを特徴とする 請求項７記載の装置。
9. ９．プローブ（１）は少なくとも１つのレンズ（６５）を備えた集束ユニット（ ６）と、平面状ミラー面（４４）を有する転向ミラー（４１）を備えた転向ユニ ット（４）とを含み、ミラー面（４４）の表面法線（１８）はプローブ（１）の 長手軸線（１０）に対して４５°以上の角度（β１）を形成することを特徴とす る請求項９記載の装置。
10. １０．角度（β１）は５０°〜６０°の大きさであることを特徴とする請求項７ 記載の装置。
11. １１．プローブ（１）はレーザ光線束（５７）の集束および転向のために設けら れた凹面状転向ミラー（１４１）を含むことを特徴とする請求項７または８記載 の装置。
12. １２．光導波路（６３）を介してレーザに光学的に結合されたプローブ（１）に おいて、光導波路（６３）の端部（６４）と凹面状転向ミラー（１４１）との間 に、光導波路（６３）から出射したレーザ光線束（５７）をコリメートするため の手段が設けられることを特徴とする請求項１１記載の装置。
13. １３．転向ミラー（４１、１４１）は高熱伝導率の材料から構成されることを特 徴とする請求項９ないし１２の１つに記載の装置。
14. １４．転向ミラー（４１もしくは１４１）のミラー表面（４４、１４４）は金（ Ａｕ）が蒸着されることを特徴とする請求項１３記載の装置。
15. １５．転向したレーザ光線束（５９）をプローブ（１）から出射させるために出 射口（４５）が設けられ、この出射口（４５）は出射口（４５）から流出する保 護ガス流に軸線方向へ向いた流れ成分を与えることを特徴とする請求項７ないし １４の１つに記載の装置。
16. １６．管（１２、１４）をその内周に沿ってレーザ溶接するために、ａ）管（１ ２、１４）内へ導入可能なプローブ（１）の内部において主としてその軸線方向 へ伝播するレーザ光線束（５７）から、転向されかつ管（１４）の内周の一個所 へ集束されるレーザ光線束（５９）を生成し、ｂ）レーザ光線束（５９）は出射 口（４５）を通ってプローブ（１）から出射し、 ｃ）プローブ（１）にはその内部において出射口（４５）の方向へ流れる保護ガ ス流が供給され、 ｄ）保護ガス流の一部分は出射口（４５）を通って流出し、ｅ）保護ガス流の他 の部分は出射口（４５）へ到達する前に分流され、軸線方向の流れ成分でもって 管（１２、１４）とプローブ（１）との間に存在する空所内へ導かれる、 ニとを特徴とする管のレーザ溶接方法。
17. １７．プローブ（１）の内部を出射口（４５）へ向けて流れる保護ガス流から、 プローブ（１）の内部において出射口（４５）のところで、軸線方向に向けられ た流れ成分を有する別の部分ガス流が分流されて、プローブ（１）の内部を流れ ることを特徴とする請求項１６記載の方法。
18. １８．レーザ光線束（５７）はプローブ（１）の長手軸線（１０）に対して斜め に転向されることを特徴とする請求項１６または１７に記載の方法。
19. １９．ＣＷ方式で動作する固定レーザが使用されることを特徴とする請求項１６ ないし１８の１つに記載の方法。