JPH1187421A - 導電性ボールの移載装置および移載方法 - Google Patents
導電性ボールの移載装置および移載方法Info
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- JPH1187421A JPH1187421A JP24381597A JP24381597A JPH1187421A JP H1187421 A JPH1187421 A JP H1187421A JP 24381597 A JP24381597 A JP 24381597A JP 24381597 A JP24381597 A JP 24381597A JP H1187421 A JPH1187421 A JP H1187421A
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- conductive
- ball
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
- H05K3/3457—Solder materials or compositions; Methods of application thereof
- H05K3/3478—Applying solder preforms; Transferring prefabricated solder patterns
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- Wire Bonding (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 導電性ボールのピックアップミスを確実かつ
迅速に検知し、導電性ボールをワークの電極上に正しく
移載することができる導電性ボールの移載装置および移
載方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 ボール供給部１０から導電性ボール７を
真空吸着してピックアップした吸着ヘッド３１がワーク
の位置決めテーブル２に移動する経路に、余分に付着し
た導電性ボール７を検出する検査部４０を設ける。導電
性ボール７を吸着した吸着ヘッド３１を検査部４０の当
接テーブル４３に当接させ、当接テーブル４３の変位を
近接スイッチ４６により検出することにより、吸着ヘッ
ド３１下面の余分な導電性ボール７の有無を判定する。
これにより、余分に吸着された導電性ボールの有無を確
実に検出することができる。
迅速に検知し、導電性ボールをワークの電極上に正しく
移載することができる導電性ボールの移載装置および移
載方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 ボール供給部１０から導電性ボール７を
真空吸着してピックアップした吸着ヘッド３１がワーク
の位置決めテーブル２に移動する経路に、余分に付着し
た導電性ボール７を検出する検査部４０を設ける。導電
性ボール７を吸着した吸着ヘッド３１を検査部４０の当
接テーブル４３に当接させ、当接テーブル４３の変位を
近接スイッチ４６により検出することにより、吸着ヘッ
ド３１下面の余分な導電性ボール７の有無を判定する。
これにより、余分に吸着された導電性ボールの有無を確
実に検出することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールをワ
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。
ークに移載する導電性ボールの移載装置および移載方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】フリップチップやＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇ
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。
ｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのバンプ付きの電子部品を製
造する方法として、半田ボールなどの導電性ボールを用
いる方法が知られている。また導電性ボールをチップや
基板などのワークに移載する方法として、吸着ヘッドを
用いる方法が実施されている。
【０００３】この方法は、容器などに貯溜された導電性
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
ボールを、吸着ヘッドの下面に多数形成された吸着孔に
真空吸着してピックアップし、吸着ヘッドをワークの上
方に移動させてこれらの導電性ボールをワークの電極上
に移載するものであり、多数の導電性ボールを一括して
ワークに移載できるので作業性がよいという利点があ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、吸着ヘッド
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、１つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着する場合や、吸着孔
以外の位置に導電性ボールが付着したままで吸着ヘッド
が上昇することもある。
を用いて導電性ボールをワークに移載する方法では、導
電性ボールを真空吸着する際に、以下に説明するような
ピックアップミスが発生しやすい。すなわち、吸着ヘッ
ドに導電性ボールを真空吸着させるに際しては、多数の
導電性ボールが積層して貯溜された導電性ボールの供給
部内に吸着ヘッドを下降させるが、このときに吸着ヘッ
ドの各吸着孔に対して１つの導電性ボールが確実に真空
吸着されるとは限らない。例えば、１つの吸着孔に複数
の導電性ボールが真空吸着され、吸着ヘッドの下面に多
数個の導電性ボールが連なって付着する場合や、吸着孔
以外の位置に導電性ボールが付着したままで吸着ヘッド
が上昇することもある。
【０００５】このように余分に吸着された導電性ボール
を検出するため、従来はカメラにより導電性ボールを吸
着した吸着ヘッドの下面を撮像し、画像認識によって余
分な導電性ボールの有無を判定する方法が用いられてい
た。しかしながら、導電性ボールの小径化にともない、
画像認識による方法では、反射光のばらつきなどのため
判定結果が必ずしも安定せず、また認識に相当の時間を
要するという問題点があった。
を検出するため、従来はカメラにより導電性ボールを吸
着した吸着ヘッドの下面を撮像し、画像認識によって余
分な導電性ボールの有無を判定する方法が用いられてい
た。しかしながら、導電性ボールの小径化にともない、
画像認識による方法では、反射光のばらつきなどのため
判定結果が必ずしも安定せず、また認識に相当の時間を
要するという問題点があった。
【０００６】そこで本発明は、導電性ボールのピックア
ップミスを確実かつ迅速に検知し、導電性ボールをワー
クの電極上に正しく移載することができる導電性ボール
の移載装置および移載方法を提供することを目的とす
る。
ップミスを確実かつ迅速に検知し、導電性ボールをワー
クの電極上に正しく移載することができる導電性ボール
の移載装置および移載方法を提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の導電性ボ
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動さ
せる移動手段と、前記吸着ヘッドの下面に余分に付着し
た導電性ボールの有無を検査する検査部を備え、この検
査部に前記吸着ヘッドの下面に吸着された導電性ボール
を当接させる当接テーブルと、この当接テーブルの上下
方向の変位を検出する変位検出手段とを設けた。
ールの移載装置は、下面に導電性ボールを吸着する複数
の吸着孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供
給するボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め
部と、前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前
記吸着ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動さ
せる移動手段と、前記吸着ヘッドの下面に余分に付着し
た導電性ボールの有無を検査する検査部を備え、この検
査部に前記吸着ヘッドの下面に吸着された導電性ボール
を当接させる当接テーブルと、この当接テーブルの上下
方向の変位を検出する変位検出手段とを設けた。
【０００８】請求項２記載の導電性ボールの移載方法
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、導
電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを吸着ヘッドの下
面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査する検査
部に対して相対的に下降させる工程と、この検査部の当
接テーブルに吸着ヘッドの下面に吸着された導電性ボー
ルを当接させる工程と、当接テーブルの変位を変位検出
手段により検出する工程と、この変位の検出結果に基い
て前記余分に付着した導電性ボールの有無を判定する工
程とを含む。
は、下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着孔が形成
された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性ボールを
ワークに移載する導電性ボールの移載方法であって、導
電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを吸着ヘッドの下
面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査する検査
部に対して相対的に下降させる工程と、この検査部の当
接テーブルに吸着ヘッドの下面に吸着された導電性ボー
ルを当接させる工程と、当接テーブルの変位を変位検出
手段により検出する工程と、この変位の検出結果に基い
て前記余分に付着した導電性ボールの有無を判定する工
程とを含む。
【０００９】上記構成の本発明によれば、吸着ヘッドを
検査部の当接テーブルに対して下降させて吸着ヘッドの
下面に吸着された導電性ボールを当接テーブルに当接さ
せ、当接テーブルの上下方向の変位を検出することによ
り、吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールの
有無を判定することができる。
検査部の当接テーブルに対して下降させて吸着ヘッドの
下面に吸着された導電性ボールを当接テーブルに当接さ
せ、当接テーブルの上下方向の変位を検出することによ
り、吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電性ボールの
有無を判定することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電
性ボールの移載装置の正面図、図２は同導電性ボールの
移載装置の検査部の断面図、図３、図４は同導電性ボー
ルの移載装置のボール供給部の部分断面図、図５は同導
電性ボールの移載装置の吸着ヘッドの部分断面図、図６
は同導電性ボールの移載装置の位置決めテーブルの部分
正面図である。
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の導電
性ボールの移載装置の正面図、図２は同導電性ボールの
移載装置の検査部の断面図、図３、図４は同導電性ボー
ルの移載装置のボール供給部の部分断面図、図５は同導
電性ボールの移載装置の吸着ヘッドの部分断面図、図６
は同導電性ボールの移載装置の位置決めテーブルの部分
正面図である。
【００１１】まず、図１を参照して導電性ボールの移載
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。
装置の全体構造を説明する。図１において、基台１上に
は位置決めテーブル２が設けられている。位置決めテー
ブル２はＹテーブル３、Ｘテーブル４から構成される。
Ｘテーブル４上にはホルダ５が設けられており、ホルダ
５はワーク６を保持する。したがって位置決めテーブル
２を駆動することにより、ワーク６が所定位置に位置決
めされる。
【００１２】また基台１上の位置決めテーブル２の反対
側の端部には、導電性ボール７の供給部１０が配設され
ている。ボール供給部１０はボール槽１１より成り、ボ
ール槽１１の内部には複数層のメッシュプレート１２が
水平に展張されている。メッシュプレート１２は導電性
ボール７が通過できない大きさの開孔を無数に設けたも
のである。最上層のメッシュプレート１２上には導電性
ボール７が貯溜される。ボール槽１１の底部にはノズル
１４が配設されており、ノズル１４はガス供給源（図
外）に接続されている。ノズル１４にガスを供給するこ
とにより、ノズル１４から上方に吹き出されたガスはメ
ッシュプレート１２の開孔を通過して導電性ボール７の
層に吹き込まれ、導電性ボール７を流動化させる。
側の端部には、導電性ボール７の供給部１０が配設され
ている。ボール供給部１０はボール槽１１より成り、ボ
ール槽１１の内部には複数層のメッシュプレート１２が
水平に展張されている。メッシュプレート１２は導電性
ボール７が通過できない大きさの開孔を無数に設けたも
のである。最上層のメッシュプレート１２上には導電性
ボール７が貯溜される。ボール槽１１の底部にはノズル
１４が配設されており、ノズル１４はガス供給源（図
外）に接続されている。ノズル１４にガスを供給するこ
とにより、ノズル１４から上方に吹き出されたガスはメ
ッシュプレート１２の開孔を通過して導電性ボール７の
層に吹き込まれ、導電性ボール７を流動化させる。
【００１３】次に導電性ボール７を移載する吸着ヘッド
３１について説明する。図１に示す２０は、吸着ヘッド
３１をボール供給部１０と位置決めテープル２との間を
移動させる移動手段である。吸着ヘッド３１は、ブロッ
ク３０に保持されており、吸着ヘッド３１の下面には複
数の吸着孔３１ａが設けられている。ブロック３０はブ
ラケット２４の前面に設けられた垂直なガイドレール２
５に上下動自在に装着されている。ブロック３０には、
ナット２８が一体的に設けられており、ナット２８には
垂直の送りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モ
ータ２７が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転する
と、吸着ヘッド３１はガイドレール２５に案内されて上
下動する。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ
２６は吸着ヘッド３１を上下させる上下動手段となって
いる。
３１について説明する。図１に示す２０は、吸着ヘッド
３１をボール供給部１０と位置決めテープル２との間を
移動させる移動手段である。吸着ヘッド３１は、ブロッ
ク３０に保持されており、吸着ヘッド３１の下面には複
数の吸着孔３１ａが設けられている。ブロック３０はブ
ラケット２４の前面に設けられた垂直なガイドレール２
５に上下動自在に装着されている。ブロック３０には、
ナット２８が一体的に設けられており、ナット２８には
垂直の送りねじ２６が螺合している。したがってＺ軸モ
ータ２７が正逆駆動して送りねじ２６が正逆回転する
と、吸着ヘッド３１はガイドレール２５に案内されて上
下動する。したがって、Ｚ軸モータ２７および送りねじ
２６は吸着ヘッド３１を上下させる上下動手段となって
いる。
【００１４】ブラケット２４の背面に設けられたナット
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。
（図示せず）は、水平な送りねじ２２に螺合している。
２１は送りねじ２２の保持テーブルである。したがって
Ｘ軸モータ２３が正逆回転すると、送りねじ２２は正逆
回転し、ブラケット２４に保持された吸着ヘッド３１は
位置決めテーブル２とボール供給部１０の間を水平移動
する。
【００１５】図１において、基台１上のボール供給部１
０の側方には、検査部４０が配設されている。検査部４
０は、吸着ヘッド３１の下面に余分に吸着された導電性
ボール７の有無を検査する。以下、図２を参照して検査
部４０について説明する。図２において、基台４１上に
は左右１対のブラケット４２が立設されている。ブラケ
ット４２の側面にはスライドベアリング４４が固着され
ている。スライドベアリング４４の可動部には水平な当
接テーブル４３が結合されている。
０の側方には、検査部４０が配設されている。検査部４
０は、吸着ヘッド３１の下面に余分に吸着された導電性
ボール７の有無を検査する。以下、図２を参照して検査
部４０について説明する。図２において、基台４１上に
は左右１対のブラケット４２が立設されている。ブラケ
ット４２の側面にはスライドベアリング４４が固着され
ている。スライドベアリング４４の可動部には水平な当
接テーブル４３が結合されている。
【００１６】当接テーブル４３の下面はシリンダ４５の
ロッド４５ａによって支持されている。シリンダ４５
は、当接テーブル４３の自重より大きな付勢力で当接テ
ーブル４３を上方へ押し上げている。したがって、この
付勢力より大きな荷重で当接テーブル４３を下方へ押圧
すると、当接テーブル４３は下方へ変位する。また基台
４１のブロック４６上には変位検出手段としての近接セ
ンサ４７が配設されている。近接センサ４７は、当接テ
ーブル４３の下面との間隔Ｃが設定間隔Ｃ０以下になっ
たときに異常変位として検出されるように高さ位置やセ
ンサ感度が調整されている。
ロッド４５ａによって支持されている。シリンダ４５
は、当接テーブル４３の自重より大きな付勢力で当接テ
ーブル４３を上方へ押し上げている。したがって、この
付勢力より大きな荷重で当接テーブル４３を下方へ押圧
すると、当接テーブル４３は下方へ変位する。また基台
４１のブロック４６上には変位検出手段としての近接セ
ンサ４７が配設されている。近接センサ４７は、当接テ
ーブル４３の下面との間隔Ｃが設定間隔Ｃ０以下になっ
たときに異常変位として検出されるように高さ位置やセ
ンサ感度が調整されている。
【００１７】設定間隔Ｃ０は、吸着ヘッド３１の下面に
導電性ボール７が正常に吸着された状態、即ち吸着孔３
１ａにのみ導電性ボールが真空吸着された状態で、吸着
ヘッド３１を当接テーブル４３上に下降させて導電性ボ
ール７を当接テーブル４３の上面に当接させたときの間
隔を基準にして設定される。したがって、吸着ヘッド３
１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に導電性ボール７が
付着して存在する場合には、当接テーブル４３は上記基
準より余分に下方に押し下げられて変位し、近接センサ
４７と当接テーブル４３との距離が設定間隔Ｃ０より小
さくなることにより、当接テーブル４３の異常変位、即
ち吸着ヘッド３１の下面に余分な導電性ボール７が存在
することを検出する。
導電性ボール７が正常に吸着された状態、即ち吸着孔３
１ａにのみ導電性ボールが真空吸着された状態で、吸着
ヘッド３１を当接テーブル４３上に下降させて導電性ボ
ール７を当接テーブル４３の上面に当接させたときの間
隔を基準にして設定される。したがって、吸着ヘッド３
１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に導電性ボール７が
付着して存在する場合には、当接テーブル４３は上記基
準より余分に下方に押し下げられて変位し、近接センサ
４７と当接テーブル４３との距離が設定間隔Ｃ０より小
さくなることにより、当接テーブル４３の異常変位、即
ち吸着ヘッド３１の下面に余分な導電性ボール７が存在
することを検出する。
【００１８】なお、ここでは変位検出手段として近接セ
ンサ４７を用いているが、これ以外でも、当接テーブル
４３の変位を必要な精度で検出できるものであればよ
く、例えば一般の変位センサやタッチセンサなどであっ
てもよい。
ンサ４７を用いているが、これ以外でも、当接テーブル
４３の変位を必要な精度で検出できるものであればよ
く、例えば一般の変位センサやタッチセンサなどであっ
てもよい。
【００１９】この導電性ボールの移載装置は上記のよう
な構成より成り、次に動作を説明する。まず、図１にお
いて、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボー
ル供給部１０の上方へ移動させる。そこで、Ｚ軸モータ
２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降させ、図３に示す
ように吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７の層に幾
分沈み込ませる。このとき、ボール槽１１のノズル１４
よりガスが上方に向って吹き出されており（矢印ａ参
照）、導電性ボール７はこのガスの流れによって流動化
している。このため導電性ボール７は上方に吹き上げら
れ、吸着ヘッド３１の下面に突き当って吸着孔３１ａに
真空吸着される。
な構成より成り、次に動作を説明する。まず、図１にお
いて、Ｘ軸モータ２３を駆動して吸着ヘッド３１をボー
ル供給部１０の上方へ移動させる。そこで、Ｚ軸モータ
２７を駆動して吸着ヘッド３１を下降させ、図３に示す
ように吸着ヘッド３１の下面を導電性ボール７の層に幾
分沈み込ませる。このとき、ボール槽１１のノズル１４
よりガスが上方に向って吹き出されており（矢印ａ参
照）、導電性ボール７はこのガスの流れによって流動化
している。このため導電性ボール７は上方に吹き上げら
れ、吸着ヘッド３１の下面に突き当って吸着孔３１ａに
真空吸着される。
【００２０】このとき、図４に示すように、吸着ヘッド
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７が付着したまま吸着ヘッド３１が上昇することが
ある。図４では余分な導電性ボール７が１個付着した例
を示しているが、この例以外にも複数の導電性ボール７
が連なって付着する場合など、余分な導電性ボール７の
付着には様々な態様がある。
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７が付着したまま吸着ヘッド３１が上昇することが
ある。図４では余分な導電性ボール７が１個付着した例
を示しているが、この例以外にも複数の導電性ボール７
が連なって付着する場合など、余分な導電性ボール７の
付着には様々な態様がある。
【００２１】このような導電性ボール７の付着状態を検
査するため、検査部４０にて余分に付着した導電性ボー
ル７の有無が検出される。まず、導電性ボール７を吸着
した吸着ヘッド３１を検査部４０の上方に移動させ、次
いで吸着ヘッド３１を当接テーブル４３に対して下降さ
せる。吸着ヘッド３１の下面に吸着された導電性ボール
７の下端部が当接テーブル４３の上面に当接することに
より、当接テーブル４３は押し下げられる。
査するため、検査部４０にて余分に付着した導電性ボー
ル７の有無が検出される。まず、導電性ボール７を吸着
した吸着ヘッド３１を検査部４０の上方に移動させ、次
いで吸着ヘッド３１を当接テーブル４３に対して下降さ
せる。吸着ヘッド３１の下面に吸着された導電性ボール
７の下端部が当接テーブル４３の上面に当接することに
より、当接テーブル４３は押し下げられる。
【００２２】このとき、図５に示すように、吸着ヘッド
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７ａが付着している場合には、図５に示す距離ｄだ
け余分に当接テーブル４３を押し下げることとなり、す
なわち、前述の近接センサ４７と当接テーブル４３の下
面との間隔Ｃが設定間隔Ｃ０以下となることにより、異
常変位として近接センサ４７が検出する。また、図５に
示す余分な導電性ボール７の付着の態様以外の場合、例
えば複数の導電性ボール７が連なって付着している場合
も当接テーブル４３を余分に押し下げることとなり、同
様に近接センサ４７により異常変位が検出される。した
がって、いずれの余分な導電性ボール７の付着の態様に
おいても、吸着ヘッド３１の下面に余分な導電性ボール
７の存在を検出することができる。
３１の下面の吸着孔３１ａ以外の位置に余分な導電性ボ
ール７ａが付着している場合には、図５に示す距離ｄだ
け余分に当接テーブル４３を押し下げることとなり、す
なわち、前述の近接センサ４７と当接テーブル４３の下
面との間隔Ｃが設定間隔Ｃ０以下となることにより、異
常変位として近接センサ４７が検出する。また、図５に
示す余分な導電性ボール７の付着の態様以外の場合、例
えば複数の導電性ボール７が連なって付着している場合
も当接テーブル４３を余分に押し下げることとなり、同
様に近接センサ４７により異常変位が検出される。した
がって、いずれの余分な導電性ボール７の付着の態様に
おいても、吸着ヘッド３１の下面に余分な導電性ボール
７の存在を検出することができる。
【００２３】このようにして、吸着ヘッド３１の下面に
余分な導電性ボール７が検出された場合には、移載装置
の動作を停止し、その旨をオペレータに報知する。オペ
レータは、余分に吸着された導電性ボール７を除去する
処置を行うか、または吸着ヘッド３１をボール供給部１
０に戻して真空吸着を解除した後再吸着動作を行わせる
などの処置を行う。
余分な導電性ボール７が検出された場合には、移載装置
の動作を停止し、その旨をオペレータに報知する。オペ
レータは、余分に吸着された導電性ボール７を除去する
処置を行うか、または吸着ヘッド３１をボール供給部１
０に戻して真空吸着を解除した後再吸着動作を行わせる
などの処置を行う。
【００２４】余分に付着した導電性ボール７が除去さ
れ、全ての吸着孔３１ａに１個づつ正しく導電性ボール
７を真空吸着してピックアップした吸着ヘッド３１は、
プレート１３から上昇し、次いで位置決めテーブル２の
上方に水平移動する。次に吸着ヘッド３１はホルダ５に
保持されたワーク６上に下降し、真空吸着を解除するこ
とにより図６に示すように電極６ａ上に導電性ボール７
を移載した後上昇し、導電性ボール７の移載を完了す
る。
れ、全ての吸着孔３１ａに１個づつ正しく導電性ボール
７を真空吸着してピックアップした吸着ヘッド３１は、
プレート１３から上昇し、次いで位置決めテーブル２の
上方に水平移動する。次に吸着ヘッド３１はホルダ５に
保持されたワーク６上に下降し、真空吸着を解除するこ
とにより図６に示すように電極６ａ上に導電性ボール７
を移載した後上昇し、導電性ボール７の移載を完了す
る。
【００２５】本発明は、上記実施の形態に限定されない
のであって、例えば上記実施の形態では導電性ボールの
検査部４０を固定し、検査部４０に対して吸着ヘッド３
１を下降させるようにしているが、検査部４０を可動な
ものとし、ボール供給部１０上で静止した吸着ヘッド３
１に対して検査部４０を移動させて余分な導電性ボール
７の有無を検出するようにしてもよいものである。
のであって、例えば上記実施の形態では導電性ボールの
検査部４０を固定し、検査部４０に対して吸着ヘッド３
１を下降させるようにしているが、検査部４０を可動な
ものとし、ボール供給部１０上で静止した吸着ヘッド３
１に対して検査部４０を移動させて余分な導電性ボール
７の有無を検出するようにしてもよいものである。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、ボール供給部の導電性
ボールを吸着した吸着ヘッドを検査部の当接テーブルに
当接させ、当接テーブルの変位を検出するようにしてい
るので、吸着ヘッドの下面に余分に吸着された導電性ボ
ールの有無を確実に検出することができ、したがって余
分に吸着された導電性ボールが検出された場合にはこれ
を除去し、ワークの電極上に１個づつ導電性ボールを移
載することができる。
ボールを吸着した吸着ヘッドを検査部の当接テーブルに
当接させ、当接テーブルの変位を検出するようにしてい
るので、吸着ヘッドの下面に余分に吸着された導電性ボ
ールの有無を確実に検出することができ、したがって余
分に吸着された導電性ボールが検出された場合にはこれ
を除去し、ワークの電極上に１個づつ導電性ボールを移
載することができる。
【図１】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の正面図
置の正面図
【図２】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の検査部の断面図
置の検査部の断面図
【図３】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図４】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置のボール供給部の部分断面図
置のボール供給部の部分断面図
【図５】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の吸着ヘッドの部分断面図
置の吸着ヘッドの部分断面図
【図６】本発明の一実施の形態の導電性ボールの移載装
置の位置決めテーブルの部分正面図
置の位置決めテーブルの部分正面図
１ 基台 ２ 位置決めテーブル ６ ワーク ７ 導電性ボール １０ ボール供給部 １１ ボール槽 ２３ Ｘ軸モータ ２７ Ｚ軸モータ ３１ 吸着ヘッド ３１ａ 吸着孔 ４０ 検査部 ４３ 当接テーブル ４５ シリンダ ４７ 近接センサ
Claims (2)
- 【請求項１】下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着
孔が形成された吸着ヘッドと、導電性ボールを供給する
ボール供給部と、ワークを位置決めする位置決め部と、
前記吸着ヘッドを上下動させる上下動手段と、前記吸着
ヘッドをボール供給部と位置決め部の間を移動させる移
動手段と、前記吸着ヘッドの下面に余分に付着した導電
性ボールの有無を検査する検査部を備え、この検査部に
前記吸着ヘッドの下面に吸着された導電性ボールを当接
させる当接テーブルと、この当接テーブルの上下方向の
変位を検出する変位検出手段とを設けたことを特徴とす
る導電性ボールの移載装置。 - 【請求項２】下面に導電性ボールを吸着する複数の吸着
孔が形成された吸着ヘッドによりボール供給部の導電性
ボールをワークに移載する導電性ボールの移載方法であ
って、導電性ボールを吸着した前記吸着ヘッドを吸着ヘ
ッドの下面に余分に付着した導電性ボールの有無を検査
する検査部に対して相対的に下降させる工程と、この検
査部の当接テーブルに吸着ヘッドの下面に吸着された導
電性ボールを当接させる工程と、当接テーブルの変位を
変位検出手段により検出する工程と、この変位の検出結
果に基いて前記余分に付着した導電性ボールの有無を判
定する工程とを含むことを特徴とする導電性ボールの移
載方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24381597A JP3449192B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24381597A JP3449192B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1187421A true JPH1187421A (ja) | 1999-03-30 |
| JP3449192B2 JP3449192B2 (ja) | 2003-09-22 |
Family
ID=17109348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24381597A Expired - Lifetime JP3449192B2 (ja) | 1997-09-09 | 1997-09-09 | 導電性ボールの移載装置および移載方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3449192B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112059946A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-12-11 | 盐城工学院 | 线控底盘加工治具 |
| KR102488502B1 (ko) * | 2022-07-08 | 2023-01-18 | (주)에스에스피 | 픽업 장치 |
-
1997
- 1997-09-09 JP JP24381597A patent/JP3449192B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112059946A (zh) * | 2020-07-28 | 2020-12-11 | 盐城工学院 | 线控底盘加工治具 |
| KR102488502B1 (ko) * | 2022-07-08 | 2023-01-18 | (주)에스에스피 | 픽업 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3449192B2 (ja) | 2003-09-22 |
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