JPH1186767A - 連結円筒部材および連結円筒部材により構成された電子レンズ - Google Patents
連結円筒部材および連結円筒部材により構成された電子レンズInfo
- Publication number
- JPH1186767A JPH1186767A JP23730797A JP23730797A JPH1186767A JP H1186767 A JPH1186767 A JP H1186767A JP 23730797 A JP23730797 A JP 23730797A JP 23730797 A JP23730797 A JP 23730797A JP H1186767 A JPH1186767 A JP H1186767A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- peripheral surface
- cylindrical member
- shaft
- yoke
- eccentric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課 題】 ２個の円筒部材が連結した連結円筒部材
または前記連結円筒部材により構成された電子レンズに
おいて、前記２個の円筒部材を分解、連結した場合に、
分解前と分解後とで、各円筒部材の中心軸が同心状態と
なるようにすること。 【解決手段】 第２ヨークＬ2の嵌合外周面１２に沿っ
て離れた２箇所の位置に形成されたシャフト挿入孔１３
aには、シャフト部１６aおよび偏心カム部１６bを有す
る偏心シャフト１６の前記シャフト部１６aがきつく嵌
合する。前記偏心シャフト１６のシャフト部１６aをシ
ャフト挿入孔１３aに挿入した状態で回転させたとき、
前記偏心カム部１６bの外周面であるカム面が前記第１
円筒部材Ｌ1の位置決め内周面３に当接する。このと
き、前記第２ヨークＬ2の前記嵌合外周面１２は前記当
接位置と反対側の部分が前記第１ヨークＬ1の位置決め
内周面３に押圧され、位置決めされる。
または前記連結円筒部材により構成された電子レンズに
おいて、前記２個の円筒部材を分解、連結した場合に、
分解前と分解後とで、各円筒部材の中心軸が同心状態と
なるようにすること。 【解決手段】 第２ヨークＬ2の嵌合外周面１２に沿っ
て離れた２箇所の位置に形成されたシャフト挿入孔１３
aには、シャフト部１６aおよび偏心カム部１６bを有す
る偏心シャフト１６の前記シャフト部１６aがきつく嵌
合する。前記偏心シャフト１６のシャフト部１６aをシ
ャフト挿入孔１３aに挿入した状態で回転させたとき、
前記偏心カム部１６bの外周面であるカム面が前記第１
円筒部材Ｌ1の位置決め内周面３に当接する。このと
き、前記第２ヨークＬ2の前記嵌合外周面１２は前記当
接位置と反対側の部分が前記第１ヨークＬ1の位置決め
内周面３に押圧され、位置決めされる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、２個の円筒部材の
各円筒面や、前記２個の円筒部材にそれぞれ形成された
円孔が同心状態となるように前記円筒部材を連結した
り、分離したりすることが可能な構成を備えた連結円筒
部材および前記連結円筒部材により構成された電子レン
ズに関する。本発明は、連結、分離が可能で、それぞれ
円筒面または円孔を有する２個の円筒部材を、前記各円
筒面または円孔等が同心状態となるように連結する必要
がある場合に適用できる。例えば、本発明は、電子レン
ズの上磁極を一体的に構成した上ヨーク（上磁極部材）
と、下磁極を一体的に連結した下ヨーク（下磁極部材）
とを着脱可能に連結した電子レンズ等に適用することが
できる。
各円筒面や、前記２個の円筒部材にそれぞれ形成された
円孔が同心状態となるように前記円筒部材を連結した
り、分離したりすることが可能な構成を備えた連結円筒
部材および前記連結円筒部材により構成された電子レン
ズに関する。本発明は、連結、分離が可能で、それぞれ
円筒面または円孔を有する２個の円筒部材を、前記各円
筒面または円孔等が同心状態となるように連結する必要
がある場合に適用できる。例えば、本発明は、電子レン
ズの上磁極を一体的に構成した上ヨーク（上磁極部材）
と、下磁極を一体的に連結した下ヨーク（下磁極部材）
とを着脱可能に連結した電子レンズ等に適用することが
できる。
【０００２】
【従来の技術】電子ビーム光学系においては、電子ビー
ムに対してレンズとして作用する電子ビーム通過孔を有
する複数の電子レンズが多段に積重ねた状態で使用され
ている。前記各電子レンズの中心（電子ビーム通過孔の
中心）位置は１本の直線上に配置することが望ましい。
しかしながら前記各電子レンズの中心は、製作誤差、組
立誤差等により前記直線から偏心する。現在の電子ビー
ム光学系において、前記偏心量は、非常に小さい値が要
求される。特に、電子レンズにより収束させた電子ビー
ムで微細なパターンを描く描画装置では、電子レンズの
中心位置の偏心はパターンの出来上がり精度にも影響す
るので、前記偏心量を小さくしなければならない。前記
各電子レンズの電子ビームの通過孔の中心位置を同軸上
に配置する方法としては従来、下記の技術（Ｊ01）が知
られている。
ムに対してレンズとして作用する電子ビーム通過孔を有
する複数の電子レンズが多段に積重ねた状態で使用され
ている。前記各電子レンズの中心（電子ビーム通過孔の
中心）位置は１本の直線上に配置することが望ましい。
しかしながら前記各電子レンズの中心は、製作誤差、組
立誤差等により前記直線から偏心する。現在の電子ビー
ム光学系において、前記偏心量は、非常に小さい値が要
求される。特に、電子レンズにより収束させた電子ビー
ムで微細なパターンを描く描画装置では、電子レンズの
中心位置の偏心はパターンの出来上がり精度にも影響す
るので、前記偏心量を小さくしなければならない。前記
各電子レンズの電子ビームの通過孔の中心位置を同軸上
に配置する方法としては従来、下記の技術（Ｊ01）が知
られている。
【０００３】（Ｊ01）（図４に示す技術） 図４は本発明を適用可能な、磁極と一体的に形成された
ヨークを有する電子レンズの説明図で、図４Ａは平面
図、図４Ｂは図４ＡのＩＶＢ−ＩＶＢ線断面図である。
図４において、電子ビーム描画装置等に使用する電子レ
ンズ０１は内部にコイル０２を組み込めるように下ヨー
ク０３と上ヨーク０４の部品に分割し、下ヨーク０３に
設けたリング状の第１接合面０３aと上ヨーク０４に設
けたリング状の第２接合面０４aとを接合した状態で複
数のボルト０６により締結する構成となっている。整っ
た断面形状の電子ビームを得るためには電子レンズ０１
の上ヨーク０４および下ヨーク０３の中心軸は精度良く
一致する必要がある。
ヨークを有する電子レンズの説明図で、図４Ａは平面
図、図４Ｂは図４ＡのＩＶＢ−ＩＶＢ線断面図である。
図４において、電子ビーム描画装置等に使用する電子レ
ンズ０１は内部にコイル０２を組み込めるように下ヨー
ク０３と上ヨーク０４の部品に分割し、下ヨーク０３に
設けたリング状の第１接合面０３aと上ヨーク０４に設
けたリング状の第２接合面０４aとを接合した状態で複
数のボルト０６により締結する構成となっている。整っ
た断面形状の電子ビームを得るためには電子レンズ０１
の上ヨーク０４および下ヨーク０３の中心軸は精度良く
一致する必要がある。
【０００４】このため、前記リング状の第１、第２接合
面の円周方向に離れた２か所の位置に対応して、下ヨー
ク０３にはテーパピン挿入孔０７aを有するテーパピン
挿入部材０７を装着し、上ヨーク０４にはテーパピン０
８を装着している。そして、前記上ヨーク０４に装着し
たテーパピン０８を前記テーパピン挿入孔０７aに挿入
して下ヨーク０３および上ヨーク０４の位置決めを行っ
ている。そして、前記下ヨーク０３および上ヨーク０４
を前記ボルト０６により締結し、その状態で下ヨーク０
３および上ヨーク０４の電子ビーム通過孔０３bおよび
０４bのの中心軸が精度良く一致するように仕上げ加工
を行う。その後、前記下ヨーク０３および上ヨーク０４
を分解して、内部に前記コイル０２を組み付けたり、組
み付けたものを取り出したりして再度組み立てを行う場
合、前記テーパピン挿入孔０７aおよびテーパピン０８
の精度が良ければ前記下ヨーク０３および上ヨーク０４
はの中心軸は精度良く一致する。
面の円周方向に離れた２か所の位置に対応して、下ヨー
ク０３にはテーパピン挿入孔０７aを有するテーパピン
挿入部材０７を装着し、上ヨーク０４にはテーパピン０
８を装着している。そして、前記上ヨーク０４に装着し
たテーパピン０８を前記テーパピン挿入孔０７aに挿入
して下ヨーク０３および上ヨーク０４の位置決めを行っ
ている。そして、前記下ヨーク０３および上ヨーク０４
を前記ボルト０６により締結し、その状態で下ヨーク０
３および上ヨーク０４の電子ビーム通過孔０３bおよび
０４bのの中心軸が精度良く一致するように仕上げ加工
を行う。その後、前記下ヨーク０３および上ヨーク０４
を分解して、内部に前記コイル０２を組み付けたり、組
み付けたものを取り出したりして再度組み立てを行う場
合、前記テーパピン挿入孔０７aおよびテーパピン０８
の精度が良ければ前記下ヨーク０３および上ヨーク０４
はの中心軸は精度良く一致する。
【０００５】
（前記（Ｊ01）の問題点）前記従来の技術（Ｊ01）で
は、テーパピン０８およびテーパピン挿入孔０７aの形
状がお互いに少しでも異なると、テーパピン挿入孔０７
aおよびテーパピン０８間に隙間が発生したり、上ヨー
ク０４および下ヨーク０３間に隙間が発生し、上ヨーク
０４および下ヨーク０３の中心軸が精度良く一致しなく
なる。したがって、テーパピン０８およびテーパピン挿
入孔０７aの加工は非常に精度の高い加工が要求され
る。そして、その加工は非常に難しい。本発明は、前述
の事情に鑑み、下記の記載内容を課題とする。 （Ｏ01）２個の円筒部材が連結した連結円筒部材または
前記連結円筒部材により構成された電子レンズにおい
て、前記２個の円筒部材を分解、連結した場合に、分解
前と分解後とで、各円筒部材の中心軸が同心状態となる
ようにすること。
は、テーパピン０８およびテーパピン挿入孔０７aの形
状がお互いに少しでも異なると、テーパピン挿入孔０７
aおよびテーパピン０８間に隙間が発生したり、上ヨー
ク０４および下ヨーク０３間に隙間が発生し、上ヨーク
０４および下ヨーク０３の中心軸が精度良く一致しなく
なる。したがって、テーパピン０８およびテーパピン挿
入孔０７aの加工は非常に精度の高い加工が要求され
る。そして、その加工は非常に難しい。本発明は、前述
の事情に鑑み、下記の記載内容を課題とする。 （Ｏ01）２個の円筒部材が連結した連結円筒部材または
前記連結円筒部材により構成された電子レンズにおい
て、前記２個の円筒部材を分解、連結した場合に、分解
前と分解後とで、各円筒部材の中心軸が同心状態となる
ようにすること。
【０００６】
【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決し
た本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施
例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符
号をカッコで囲んだものを付記する。また、本発明を後
述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明
の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例
に限定するためではない。
た本発明を説明するが、本発明の要素には、後述の実施
例の要素との対応を容易にするため、実施例の要素の符
号をカッコで囲んだものを付記する。また、本発明を後
述の実施例の符号と対応させて説明する理由は、本発明
の理解を容易にするためであり、本発明の範囲を実施例
に限定するためではない。
【０００７】（第１発明）前記課題を解決するために、
本出願の第１発明の連結円筒部材は、下記の要件を備え
たことを特徴とする、（Ａ01）一端にリング状の第１接
合面（２）が形成され、前記第１接合面（２）の周囲に
円筒状の位置決め内周面（３）が形成された第１円筒部
材（Ｌ1）、（Ａ02）前記第１接合面（２）に当接する
第２接合面（１１）と、前記位置決め内周面（３）に小
さな隙間を持ってゆるく嵌合する嵌合外周面（１２）
と、前記嵌合外周面（１２）に沿って離れた２箇所の位
置に形成されたシャフト挿入孔（１３a）とを有する第
２円筒部材（Ｌ2）、（Ａ03）前記第２円筒部材（Ｌ2）
の前記各シャフト挿入孔（１３a）に嵌合するシャフト
部（１６a）および偏心カム部（１６b）を有し、前記シ
ャフト挿入孔（１３a）に前記シャフト部（１６a）を挿
入して回転させたときに前記偏心カム部（１６b）の外
周面であるカム面が前記第１円筒部材（Ｌ1）の前記位
置決め内周面（３）に当接する偏心シャフト（１６）、
（Ａ04）前記各偏心シャフト（１６）のカム面が前記位
置決め内周面（３）に当接し、且つ前記第１接合面
（２）および第２接合面（１１）が接合した状態で前記
第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒部材（Ｌ2）を連結
固定する連結固定部材（７）。
本出願の第１発明の連結円筒部材は、下記の要件を備え
たことを特徴とする、（Ａ01）一端にリング状の第１接
合面（２）が形成され、前記第１接合面（２）の周囲に
円筒状の位置決め内周面（３）が形成された第１円筒部
材（Ｌ1）、（Ａ02）前記第１接合面（２）に当接する
第２接合面（１１）と、前記位置決め内周面（３）に小
さな隙間を持ってゆるく嵌合する嵌合外周面（１２）
と、前記嵌合外周面（１２）に沿って離れた２箇所の位
置に形成されたシャフト挿入孔（１３a）とを有する第
２円筒部材（Ｌ2）、（Ａ03）前記第２円筒部材（Ｌ2）
の前記各シャフト挿入孔（１３a）に嵌合するシャフト
部（１６a）および偏心カム部（１６b）を有し、前記シ
ャフト挿入孔（１３a）に前記シャフト部（１６a）を挿
入して回転させたときに前記偏心カム部（１６b）の外
周面であるカム面が前記第１円筒部材（Ｌ1）の前記位
置決め内周面（３）に当接する偏心シャフト（１６）、
（Ａ04）前記各偏心シャフト（１６）のカム面が前記位
置決め内周面（３）に当接し、且つ前記第１接合面
（２）および第２接合面（１１）が接合した状態で前記
第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒部材（Ｌ2）を連結
固定する連結固定部材（７）。
【０００８】（第１発明の作用）前記構成を備えた本出
願の第１発明の連結円筒部材では、第１円筒部材（Ｌ
1）には、軸方向の一端にリング状の第１接合面（２）
が形成され、前記第１接合面（２）の周囲に円筒状の位
置決め内周面（３）が形成される。第２円筒部材（Ｌ
2）の第２接合面（１１）は前記第１接合面（２）に当
接し、第２円筒部材（Ｌ2）の嵌合外周面（１２）は前
記第１円筒部材（Ｌ1）の位置決め内周面（３）に小さ
な隙間を持ってゆるく嵌合する。前記第２円筒部材（Ｌ
2）には前記嵌合外周面（１２）に沿って離れた２箇所
の位置にそれぞれシャフト挿入孔（１３a）が形成され
ている。
願の第１発明の連結円筒部材では、第１円筒部材（Ｌ
1）には、軸方向の一端にリング状の第１接合面（２）
が形成され、前記第１接合面（２）の周囲に円筒状の位
置決め内周面（３）が形成される。第２円筒部材（Ｌ
2）の第２接合面（１１）は前記第１接合面（２）に当
接し、第２円筒部材（Ｌ2）の嵌合外周面（１２）は前
記第１円筒部材（Ｌ1）の位置決め内周面（３）に小さ
な隙間を持ってゆるく嵌合する。前記第２円筒部材（Ｌ
2）には前記嵌合外周面（１２）に沿って離れた２箇所
の位置にそれぞれシャフト挿入孔（１３a）が形成され
ている。
【０００９】前記第２円筒部材（Ｌ2）の前記各シャフ
ト挿入孔（１３a）には偏心シャフト（１６）のシャフ
ト部（１６a）が嵌合する。前記シャフト挿入孔（１３
a）に前記シャフト部（１６a）を挿入して回転させたと
きに偏心シャフト（１６）の偏心カム部（１６b）の外
周面であるカム面が前記第１円筒部材（Ｌ1）の前記位
置決め内周面（３）に当接する。このとき、偏心シャフ
ト（１６）およびこれを支持する第２円筒部材（Ｌ2）
は、前記第１接合面（２）上で、前記カム面および前記
位置決め内周面（３）の当接位置と反対側に移動する力
を受けて移動する。このとき、前記第２円筒部材（Ｌ
2）の嵌合外周面（１２）は前記当接位置と反対側の部
分が前記第１円筒部材（Ｌ1）の位置決め内周面（３）
に押圧される。この状態では前記第１円筒部材（Ｌ1）
および第２円筒部材（Ｌ2）の相対的位置は固定され
る。この状態、すなわち、前記各偏心シャフト（１６）
のカム面が前記位置決め内周面（３）に当接し、且つ前
記第１接合面（２）および第２接合面（１１）が接合し
た状態で、連結固定部材（７）は、前記第１円筒部材
（Ｌ1）および第２円筒部材（Ｌ2）を連結固定する。前
記第１接合面（２）上の前記第２円筒部材（Ｌ2）の移
動量は、偏心シャフト（１６）を回転させるときのシャ
フト回転トルクにより定まる。したがって、前記固定連
結された第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒部材（Ｌ
2）を分離した後に再度同じ位置関係で連結するときに
は、前記シャフト回転トルクを同じ大きさとする必要が
ある。
ト挿入孔（１３a）には偏心シャフト（１６）のシャフ
ト部（１６a）が嵌合する。前記シャフト挿入孔（１３
a）に前記シャフト部（１６a）を挿入して回転させたと
きに偏心シャフト（１６）の偏心カム部（１６b）の外
周面であるカム面が前記第１円筒部材（Ｌ1）の前記位
置決め内周面（３）に当接する。このとき、偏心シャフ
ト（１６）およびこれを支持する第２円筒部材（Ｌ2）
は、前記第１接合面（２）上で、前記カム面および前記
位置決め内周面（３）の当接位置と反対側に移動する力
を受けて移動する。このとき、前記第２円筒部材（Ｌ
2）の嵌合外周面（１２）は前記当接位置と反対側の部
分が前記第１円筒部材（Ｌ1）の位置決め内周面（３）
に押圧される。この状態では前記第１円筒部材（Ｌ1）
および第２円筒部材（Ｌ2）の相対的位置は固定され
る。この状態、すなわち、前記各偏心シャフト（１６）
のカム面が前記位置決め内周面（３）に当接し、且つ前
記第１接合面（２）および第２接合面（１１）が接合し
た状態で、連結固定部材（７）は、前記第１円筒部材
（Ｌ1）および第２円筒部材（Ｌ2）を連結固定する。前
記第１接合面（２）上の前記第２円筒部材（Ｌ2）の移
動量は、偏心シャフト（１６）を回転させるときのシャ
フト回転トルクにより定まる。したがって、前記固定連
結された第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒部材（Ｌ
2）を分離した後に再度同じ位置関係で連結するときに
は、前記シャフト回転トルクを同じ大きさとする必要が
ある。
【００１０】前記第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒
部材（Ｌ2）を連結固定した状態で、それらの相対的回
転位置を確認するための目印を前記第１円筒部材（Ｌ
1）および第２円筒部材（Ｌ2）に付けておく。そうする
と、前記第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒部材（Ｌ
2）を分離してから再度連結固定する際に、分離する前
と同一の位置関係で連結固定することが可能となる。し
たがって、前記第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒部
材（Ｌ2）を連結固定して、同心の孔を形成する等の加
工を施してから、前記第１円筒部材（Ｌ1）および第２
円筒部材（Ｌ2）を分離する際、前記相対的回転位置を
確認するための目印（Ｍ）を付けておく。そして、前記
偏心シャフト（１６）を回転させて偏心カム部（１６
b）を前記位置決め用内周面（３）から離した状態で前
記第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒部材（Ｌ2）を分
離する。そして、再度連結するときには、前記目印
（Ｍ）により前記第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒
部材（Ｌ2）の円周方向の位置（回転位置）を合わせた
状態で前記偏心シャフト（１６）を回転させて偏心カム
部（１６b）を前記位置決め用内周面（３）に当接させ
る。このときのシャフト回転トルクは最初に連結固定し
た場合の大きさと同じ大きさとする。そして、前記連結
固定部材（７）により、前記第１円筒部材（Ｌ1）およ
び第２円筒部材（Ｌ2）を再度連結固定する。この場
合、分離する前と同一の位置関係（前記同心に形成した
孔の中心軸が一致した関係）で連結固定することができ
る。
部材（Ｌ2）を連結固定した状態で、それらの相対的回
転位置を確認するための目印を前記第１円筒部材（Ｌ
1）および第２円筒部材（Ｌ2）に付けておく。そうする
と、前記第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒部材（Ｌ
2）を分離してから再度連結固定する際に、分離する前
と同一の位置関係で連結固定することが可能となる。し
たがって、前記第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒部
材（Ｌ2）を連結固定して、同心の孔を形成する等の加
工を施してから、前記第１円筒部材（Ｌ1）および第２
円筒部材（Ｌ2）を分離する際、前記相対的回転位置を
確認するための目印（Ｍ）を付けておく。そして、前記
偏心シャフト（１６）を回転させて偏心カム部（１６
b）を前記位置決め用内周面（３）から離した状態で前
記第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒部材（Ｌ2）を分
離する。そして、再度連結するときには、前記目印
（Ｍ）により前記第１円筒部材（Ｌ1）および第２円筒
部材（Ｌ2）の円周方向の位置（回転位置）を合わせた
状態で前記偏心シャフト（１６）を回転させて偏心カム
部（１６b）を前記位置決め用内周面（３）に当接させ
る。このときのシャフト回転トルクは最初に連結固定し
た場合の大きさと同じ大きさとする。そして、前記連結
固定部材（７）により、前記第１円筒部材（Ｌ1）およ
び第２円筒部材（Ｌ2）を再度連結固定する。この場
合、分離する前と同一の位置関係（前記同心に形成した
孔の中心軸が一致した関係）で連結固定することができ
る。
【００１１】（第２発明）また、前記課題を解決するた
めに、本出願の第２発明の電子レンズは、下記の要件を
備えたことを特徴とする、（Ｂ01）リング状の第１接合
面（２）と、前記第１接合面（２）の周囲に形成された
円筒状の位置決め内周面（３）と、軸に垂直に設けられ
て中央部に電子ビーム通過用のビーム通過孔（４a）が
形成された第１環状部（４）を有する磁性材料製の第１
ヨーク（Ｌ1）、（Ｂ02）前記第１接合面（２）に当接
する第２接合面（１１）と、前記位置決め内周面（３）
に小さな隙間を持ってゆるく嵌合する円筒状の嵌合外周
面（１２）と、前記嵌合外周面（１２）に沿って離れた
２箇所の位置に形成されたシャフト挿入孔（１３a）
と、中央部に前記第１環状部（４）のビーム通過孔（４
a）と同心の電子ビーム通過用のビーム通過孔（１４a）
が形成された第２環状部（１４）とを有する磁性材料製
の第２ヨーク（Ｌ2）、（Ｂ03）前記第２ヨーク（Ｌ2）
の前記各シャフト挿入孔（１３a）に嵌合するシャフト
部（１６a）および偏心カム部（１６b）を有し、前記シ
ャフト挿入孔（１３a）に前記シャフト部（１６a）を挿
入して回転させたときに前記偏心カム部（１６b）の外
周面であるカム面が前記第１ヨーク（Ｌ1）の前記位置
決め内周面（３）に当接する偏心シャフト（１６）、
（Ｂ04）前記各偏心シャフト（１６）のカム面が前記位
置決め内周面（３）に当接し、且つ前記第１接合面
（２）および第２接合面（１１）が接合した状態で前記
第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を連結固定
する連結固定部材（７）、（Ｂ05）前記第１環状部
（４）および第２環状部（１４）の間においてビーム通
過孔（４a，１４a）の外側に配置された電磁コイル（１
９）。
めに、本出願の第２発明の電子レンズは、下記の要件を
備えたことを特徴とする、（Ｂ01）リング状の第１接合
面（２）と、前記第１接合面（２）の周囲に形成された
円筒状の位置決め内周面（３）と、軸に垂直に設けられ
て中央部に電子ビーム通過用のビーム通過孔（４a）が
形成された第１環状部（４）を有する磁性材料製の第１
ヨーク（Ｌ1）、（Ｂ02）前記第１接合面（２）に当接
する第２接合面（１１）と、前記位置決め内周面（３）
に小さな隙間を持ってゆるく嵌合する円筒状の嵌合外周
面（１２）と、前記嵌合外周面（１２）に沿って離れた
２箇所の位置に形成されたシャフト挿入孔（１３a）
と、中央部に前記第１環状部（４）のビーム通過孔（４
a）と同心の電子ビーム通過用のビーム通過孔（１４a）
が形成された第２環状部（１４）とを有する磁性材料製
の第２ヨーク（Ｌ2）、（Ｂ03）前記第２ヨーク（Ｌ2）
の前記各シャフト挿入孔（１３a）に嵌合するシャフト
部（１６a）および偏心カム部（１６b）を有し、前記シ
ャフト挿入孔（１３a）に前記シャフト部（１６a）を挿
入して回転させたときに前記偏心カム部（１６b）の外
周面であるカム面が前記第１ヨーク（Ｌ1）の前記位置
決め内周面（３）に当接する偏心シャフト（１６）、
（Ｂ04）前記各偏心シャフト（１６）のカム面が前記位
置決め内周面（３）に当接し、且つ前記第１接合面
（２）および第２接合面（１１）が接合した状態で前記
第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を連結固定
する連結固定部材（７）、（Ｂ05）前記第１環状部
（４）および第２環状部（１４）の間においてビーム通
過孔（４a，１４a）の外側に配置された電磁コイル（１
９）。
【００１２】（第２発明の作用）前記構成を備えた本出
願の第２発明の電子レンズでは、磁性材料製の第１ヨー
ク（Ｌ1）は、リング状の第１接合面（２）と、前記第
１接合面（２）の周囲に形成された円筒状の位置決め内
周面（３）と、軸に垂直に設けられて中央部に電子ビー
ム通過用のビーム通過孔（４a）が形成された第１環状
部（４）を有する。磁性材料製の第２ヨーク（Ｌ2）の
第２接合面（１１）は前記第１接合面（２）に当接し、
第２ヨーク（Ｌ2）の円筒状の嵌合外周面（１２）は前
記位置決め内周面（３）に小さな隙間を持ってゆるく嵌
合する。前記第２ヨーク（Ｌ2）の嵌合外周面（１２）
に沿って離れた２箇所の位置に形成されたシャフト挿入
孔（１３a）には、シャフト部（１６a）および偏心カム
部（１６b）を有する偏心シャフト（１６）の前記シャ
フト部（１６a）が嵌合する。前記偏心シャフト（１
６）のシャフト部（１６a）をシャフト挿入孔（１３a）
に挿入した状態で回転させたとき、前記偏心カム部（１
６b）の外周面であるカム面が前記第１ヨーク（Ｌ1）の
前記位置決め内周面（３）に当接する。このとき、偏心
シャフト（１６）およびこれを支持する第２ヨーク（Ｌ
2）は、前記第１接合面（２）上で、前記カム面および
前記位置決め内周面（３）の当接位置と反対側に移動す
る力を受けて移動する。このとき、前記第２ヨーク（Ｌ
2）の前記嵌合外周面（１２）は前記当接位置と反対側
の部分が前記第１ヨーク（Ｌ1）の位置決め内周面
（３）に押圧される。
願の第２発明の電子レンズでは、磁性材料製の第１ヨー
ク（Ｌ1）は、リング状の第１接合面（２）と、前記第
１接合面（２）の周囲に形成された円筒状の位置決め内
周面（３）と、軸に垂直に設けられて中央部に電子ビー
ム通過用のビーム通過孔（４a）が形成された第１環状
部（４）を有する。磁性材料製の第２ヨーク（Ｌ2）の
第２接合面（１１）は前記第１接合面（２）に当接し、
第２ヨーク（Ｌ2）の円筒状の嵌合外周面（１２）は前
記位置決め内周面（３）に小さな隙間を持ってゆるく嵌
合する。前記第２ヨーク（Ｌ2）の嵌合外周面（１２）
に沿って離れた２箇所の位置に形成されたシャフト挿入
孔（１３a）には、シャフト部（１６a）および偏心カム
部（１６b）を有する偏心シャフト（１６）の前記シャ
フト部（１６a）が嵌合する。前記偏心シャフト（１
６）のシャフト部（１６a）をシャフト挿入孔（１３a）
に挿入した状態で回転させたとき、前記偏心カム部（１
６b）の外周面であるカム面が前記第１ヨーク（Ｌ1）の
前記位置決め内周面（３）に当接する。このとき、偏心
シャフト（１６）およびこれを支持する第２ヨーク（Ｌ
2）は、前記第１接合面（２）上で、前記カム面および
前記位置決め内周面（３）の当接位置と反対側に移動す
る力を受けて移動する。このとき、前記第２ヨーク（Ｌ
2）の前記嵌合外周面（１２）は前記当接位置と反対側
の部分が前記第１ヨーク（Ｌ1）の位置決め内周面
（３）に押圧される。
【００１３】この状態では前記第１ヨーク（Ｌ1）およ
び第２ヨーク（Ｌ2）の相対的位置は固定される。この
状態、すなわち、前記各偏心シャフト（１６）のカム面
が前記位置決め内周面（３）に当接し、且つ前記第１接
合面（２）および第２接合面（１１）が接合した状態
で、連結固定部材（７）は、前記第１ヨーク（Ｌ1）お
よび第２ヨーク（Ｌ2）を連結固定する。前記第１接合
面（２）上の前記第２ヨーク（Ｌ2）の移動量は、偏心
シャフト（１６）を回転させるときのシャフト回転トル
クにより定まる。したがって、前記固定連結された第１
ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を分離した後に
再度同じ位置関係で連結するときには、前記シャフト回
転トルクを同じ大きさとする必要がある。
び第２ヨーク（Ｌ2）の相対的位置は固定される。この
状態、すなわち、前記各偏心シャフト（１６）のカム面
が前記位置決め内周面（３）に当接し、且つ前記第１接
合面（２）および第２接合面（１１）が接合した状態
で、連結固定部材（７）は、前記第１ヨーク（Ｌ1）お
よび第２ヨーク（Ｌ2）を連結固定する。前記第１接合
面（２）上の前記第２ヨーク（Ｌ2）の移動量は、偏心
シャフト（１６）を回転させるときのシャフト回転トル
クにより定まる。したがって、前記固定連結された第１
ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を分離した後に
再度同じ位置関係で連結するときには、前記シャフト回
転トルクを同じ大きさとする必要がある。
【００１４】前記第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク
（Ｌ2）を連結固定した状態で、それらの相対的回転位
置を確認するための目印（Ｍ）を前記第１ヨーク（Ｌ
1）および第２ヨーク（Ｌ2）に付けておく。そうする
と、前記第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を
分離してから再度連結固定する際に、分離する前と同一
の位置関係で連結固定することが可能となる。したがっ
て、前記第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を
連結固定して、前記第１ヨーク（Ｌ1）の第１環状部
（４）および第２ヨーク（Ｌ2）の第２環状部（１４）
にそれぞれ形成されるビーム通過孔（４a，１４a）を同
心に仕上げ加工してから、前記第１ヨーク（Ｌ1）およ
び第２ヨーク（Ｌ2）を分離する際、前記相対的回転位
置を確認するための目印（Ｍ）を付けておく。そして、
前記偏心シャフト（１６）を回転させて偏心カム部（１
６b）を前記位置決め用内周面（３）から離した状態で
前記第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を分離
する。その後、前記第１環状部（４）および第２環状部
（１４）の間においてビーム通過孔（４a，１４a）の外
側に電磁コイル（１９）を配置固定してから、再度第１
ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を連結する際に
は、前記目印（Ｍ）により前記第１円筒部材（Ｌ1）お
よび第２円筒部材（Ｌ2）の円周方向の位置（回転位
置）を合わせた状態で前記偏心シャフト（１６）を回転
させて偏心カム部（１６b）を前記位置決め用内周面
（３）に当接させる。このときのシャフト回転トルクは
最初に連結固定した場合の大きさと同じ大きさとする。
そして、前記連結固定部材（７）により、前記第１ヨー
ク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を再度連結固定す
る。この場合、第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク
（Ｌ2）のビーム通過孔（４a，１４a）の中心軸を一致
した状態で連結することができる。
（Ｌ2）を連結固定した状態で、それらの相対的回転位
置を確認するための目印（Ｍ）を前記第１ヨーク（Ｌ
1）および第２ヨーク（Ｌ2）に付けておく。そうする
と、前記第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を
分離してから再度連結固定する際に、分離する前と同一
の位置関係で連結固定することが可能となる。したがっ
て、前記第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を
連結固定して、前記第１ヨーク（Ｌ1）の第１環状部
（４）および第２ヨーク（Ｌ2）の第２環状部（１４）
にそれぞれ形成されるビーム通過孔（４a，１４a）を同
心に仕上げ加工してから、前記第１ヨーク（Ｌ1）およ
び第２ヨーク（Ｌ2）を分離する際、前記相対的回転位
置を確認するための目印（Ｍ）を付けておく。そして、
前記偏心シャフト（１６）を回転させて偏心カム部（１
６b）を前記位置決め用内周面（３）から離した状態で
前記第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を分離
する。その後、前記第１環状部（４）および第２環状部
（１４）の間においてビーム通過孔（４a，１４a）の外
側に電磁コイル（１９）を配置固定してから、再度第１
ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を連結する際に
は、前記目印（Ｍ）により前記第１円筒部材（Ｌ1）お
よび第２円筒部材（Ｌ2）の円周方向の位置（回転位
置）を合わせた状態で前記偏心シャフト（１６）を回転
させて偏心カム部（１６b）を前記位置決め用内周面
（３）に当接させる。このときのシャフト回転トルクは
最初に連結固定した場合の大きさと同じ大きさとする。
そして、前記連結固定部材（７）により、前記第１ヨー
ク（Ｌ1）および第２ヨーク（Ｌ2）を再度連結固定す
る。この場合、第１ヨーク（Ｌ1）および第２ヨーク
（Ｌ2）のビーム通過孔（４a，１４a）の中心軸を一致
した状態で連結することができる。
【００１５】
（第１発明の実施の形態１）本出願の第１発明の連結円
筒部材の実施の形態１は、前記第１発明において下記の
要件を備えたことを特徴とする、（Ａ05）前記嵌合外周
面（１２）に沿って９０度離れた２箇所の位置に形成さ
れた前記シャフト挿入孔（１３a）。
筒部材の実施の形態１は、前記第１発明において下記の
要件を備えたことを特徴とする、（Ａ05）前記嵌合外周
面（１２）に沿って９０度離れた２箇所の位置に形成さ
れた前記シャフト挿入孔（１３a）。
【００１６】（第１発明の実施の形態１の作用）本出願
の第１発明の連結円筒部材の実施の形態１では、前記シ
ャフト挿入孔（１３a）は、前記嵌合外周面（１２）に
沿って９０度離れた２箇所の位置に形成されている。前
記偏心シャフト（１６）のシャフト部（１６a）をシャ
フト挿入孔（１３a）に挿入した状態で回転させたと
き、前記偏心カム部（１６b）の外周面であるカム面が
前記第１円筒部材（Ｌ1）の前記位置決め内周面（３）
に当接する。このとき、偏心シャフト（１６）およびこ
れを支持する第２円筒部材（Ｌ2）は、前記第１円筒部
材（Ｌ1）の第１接合面（２）上で、前記２個のカム面
および前記位置決め内周面（３）の当接位置と反対側に
移動する力を受けて移動する。前記第１接合面（２）上
で前記第２円筒部材（Ｌ2）が前記２個のカム面から受
ける力の方向は、互いに直交する方向となる。すなわ
ち、前記第２円筒部材（Ｌ2）は前記２か所の前記当接
位置から互いに直交する方向の力を受けて前記第１円筒
部材（Ｌ1）の第１接合面（２）上で移動する。
の第１発明の連結円筒部材の実施の形態１では、前記シ
ャフト挿入孔（１３a）は、前記嵌合外周面（１２）に
沿って９０度離れた２箇所の位置に形成されている。前
記偏心シャフト（１６）のシャフト部（１６a）をシャ
フト挿入孔（１３a）に挿入した状態で回転させたと
き、前記偏心カム部（１６b）の外周面であるカム面が
前記第１円筒部材（Ｌ1）の前記位置決め内周面（３）
に当接する。このとき、偏心シャフト（１６）およびこ
れを支持する第２円筒部材（Ｌ2）は、前記第１円筒部
材（Ｌ1）の第１接合面（２）上で、前記２個のカム面
および前記位置決め内周面（３）の当接位置と反対側に
移動する力を受けて移動する。前記第１接合面（２）上
で前記第２円筒部材（Ｌ2）が前記２個のカム面から受
ける力の方向は、互いに直交する方向となる。すなわ
ち、前記第２円筒部材（Ｌ2）は前記２か所の前記当接
位置から互いに直交する方向の力を受けて前記第１円筒
部材（Ｌ1）の第１接合面（２）上で移動する。
【００１７】（第２発明の実施の形態１）本出願の第２
発明の電子レンズの実施の形態１は、前記第２発明にお
いて下記の要件を備えたことを特徴とする、（Ｂ06）前
記嵌合外周面（１２）に沿って９０度離れた２箇所の位
置に形成された前記シャフト挿入孔（１３a）。 （第２発明の実施の形態１の作用）本出願の第２発明の
電子レンズの実施の形態１では、偏心シャフト（１６）
およびこれを支持する第２ヨーク（Ｌ2）は、前記第１
ヨーク（Ｌ1）の第１接合面（２）上で、前記２個のカ
ム面および前記位置決め内周面（３）の当接位置と反対
側に移動する力を受けて移動する。前記第１接合面
（２）上で前記第２ヨーク（Ｌ2）が前記２個のカム面
から受ける力の方向は、互いに直交する方向となる。す
なわち、前記第２ヨーク（Ｌ2）は前記２か所の前記当
接位置から互いに直交する方向の力を受けて前記第１ヨ
ーク（Ｌ1）の第１接合面（２）上で移動する。
発明の電子レンズの実施の形態１は、前記第２発明にお
いて下記の要件を備えたことを特徴とする、（Ｂ06）前
記嵌合外周面（１２）に沿って９０度離れた２箇所の位
置に形成された前記シャフト挿入孔（１３a）。 （第２発明の実施の形態１の作用）本出願の第２発明の
電子レンズの実施の形態１では、偏心シャフト（１６）
およびこれを支持する第２ヨーク（Ｌ2）は、前記第１
ヨーク（Ｌ1）の第１接合面（２）上で、前記２個のカ
ム面および前記位置決め内周面（３）の当接位置と反対
側に移動する力を受けて移動する。前記第１接合面
（２）上で前記第２ヨーク（Ｌ2）が前記２個のカム面
から受ける力の方向は、互いに直交する方向となる。す
なわち、前記第２ヨーク（Ｌ2）は前記２か所の前記当
接位置から互いに直交する方向の力を受けて前記第１ヨ
ーク（Ｌ1）の第１接合面（２）上で移動する。
【００１８】
【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の連結円筒
部材および連結円筒部材により構成された電子レンズの
実施の形態の例（実施例）を説明するが、本発明は以下
の実施例に限定されるものではない。
部材および連結円筒部材により構成された電子レンズの
実施の形態の例（実施例）を説明するが、本発明は以下
の実施例に限定されるものではない。
【００１９】（実施例１）図１は本発明の実施例１の電
子レンズの説明図で、図１Ａは平面図、図１Ｂは前記図
１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図である。図２は同実施例１の
要部説明図であり、前記図１Ｂの矢印ＩＩで示す部分の
部分拡大図である。図３は同実施例１の作用説明図であ
る。図１に示す本発明の実施例１の電子レンズＬは磁性
の第１円筒部材により構成された下ヨーク（第１ヨー
ク）Ｌ1および磁性の第２円筒部材により構成された上
ヨーク（第２ヨーク）Ｌ2により構成されている。図１
Ｂにおいて、電子ビームＢの通路は電子レンズＬの光軸
方向（上下方向）である。前記下ヨークＬ1は円筒部
１、この円筒部１の上端に設けられたリング状の第１接
合面２と、前記第１接合面の周囲に形成された円筒状の
位置決め内周面３と、前記円筒部１の下端に設けられた
第１環状部４と、前記円筒部１の内側面に形成されたコ
イル取付部５とを有している。前記第１環状部４の中央
部には電子ビームＢが通過するためのビーム通過孔４a
が形成されてり、ビーム通過孔４aの周辺部は下磁極４b
として構成されている。前記第１接合面２には複数の連
結ネジ（連結固定部材）７がそれぞれ螺合するネジ孔２
aが形成されている。また、前記コイル取付部５には複
数の取付ネジ８がそれぞれ螺合するネジ孔５aが形成さ
れている。
子レンズの説明図で、図１Ａは平面図、図１Ｂは前記図
１ＡのＩＢ−ＩＢ線断面図である。図２は同実施例１の
要部説明図であり、前記図１Ｂの矢印ＩＩで示す部分の
部分拡大図である。図３は同実施例１の作用説明図であ
る。図１に示す本発明の実施例１の電子レンズＬは磁性
の第１円筒部材により構成された下ヨーク（第１ヨー
ク）Ｌ1および磁性の第２円筒部材により構成された上
ヨーク（第２ヨーク）Ｌ2により構成されている。図１
Ｂにおいて、電子ビームＢの通路は電子レンズＬの光軸
方向（上下方向）である。前記下ヨークＬ1は円筒部
１、この円筒部１の上端に設けられたリング状の第１接
合面２と、前記第１接合面の周囲に形成された円筒状の
位置決め内周面３と、前記円筒部１の下端に設けられた
第１環状部４と、前記円筒部１の内側面に形成されたコ
イル取付部５とを有している。前記第１環状部４の中央
部には電子ビームＢが通過するためのビーム通過孔４a
が形成されてり、ビーム通過孔４aの周辺部は下磁極４b
として構成されている。前記第１接合面２には複数の連
結ネジ（連結固定部材）７がそれぞれ螺合するネジ孔２
aが形成されている。また、前記コイル取付部５には複
数の取付ネジ８がそれぞれ螺合するネジ孔５aが形成さ
れている。
【００２０】前記上ヨークＬ2は前記第１接合面２に当
接する第２接合面１１と、前記位置決め内周面３に小さ
な隙間を持って嵌合する円筒状の嵌合外周面１２と、前
記嵌合外周面１２に沿って離れた２箇所の位置に形成さ
れたシャフト収容部１３と、中央部に前記ビーム通過孔
４aと同心の電子ビームＢ通過用のビーム通過孔１４aが
形成された第２環状部１４とを有している。前記２箇所
シャフト収容部１３にはそれぞれシャフト挿入孔１３a
が形成されている。前記２個のシャフト挿入孔１３aは
前記嵌合外周面１２に沿って９０度離れて配置されてい
る。前記「９０度離れて」の意味は、２個のシャフト挿
入孔１３a，１３aと前記嵌合外周面１２の中心とを結ぶ
線分のなす角度θ（図１Ａ参照）が９０度であるという
意味である。前記第２環状部１４の前記ビーム通過孔１
４aの周辺部は上磁極１４bとして構成されている。ま
た、前記第２接合面１１には前記連結ネジ７が貫通する
ネジ貫通孔１１a（図１Ｂ参照）が形成されている。
接する第２接合面１１と、前記位置決め内周面３に小さ
な隙間を持って嵌合する円筒状の嵌合外周面１２と、前
記嵌合外周面１２に沿って離れた２箇所の位置に形成さ
れたシャフト収容部１３と、中央部に前記ビーム通過孔
４aと同心の電子ビームＢ通過用のビーム通過孔１４aが
形成された第２環状部１４とを有している。前記２箇所
シャフト収容部１３にはそれぞれシャフト挿入孔１３a
が形成されている。前記２個のシャフト挿入孔１３aは
前記嵌合外周面１２に沿って９０度離れて配置されてい
る。前記「９０度離れて」の意味は、２個のシャフト挿
入孔１３a，１３aと前記嵌合外周面１２の中心とを結ぶ
線分のなす角度θ（図１Ａ参照）が９０度であるという
意味である。前記第２環状部１４の前記ビーム通過孔１
４aの周辺部は上磁極１４bとして構成されている。ま
た、前記第２接合面１１には前記連結ネジ７が貫通する
ネジ貫通孔１１a（図１Ｂ参照）が形成されている。
【００２１】偏心シャフト１６は、前記上ヨークＬ2の
前記各シャフト挿入孔１３aに回転可能に嵌合するシャ
フト部１６aおよび偏心カム部１６bを有し、前記シャフ
ト挿入孔１３aに前記シャフト部１６aを挿入して回転さ
せたときに前記偏心カム部１６bの外周面であるカム面
が前記位置決め内周面３に当接する。図２において、前
記下ヨークＬ1のコイル取付部５には、プラスチック製
の絶縁スペーサ１７を介して非磁性材料製のリング状の
コイル支持部材１８が取付ネジ８により取付られてい
る。前記コイル支持部材１８には電磁コイル１９が支持
されている。
前記各シャフト挿入孔１３aに回転可能に嵌合するシャ
フト部１６aおよび偏心カム部１６bを有し、前記シャフ
ト挿入孔１３aに前記シャフト部１６aを挿入して回転さ
せたときに前記偏心カム部１６bの外周面であるカム面
が前記位置決め内周面３に当接する。図２において、前
記下ヨークＬ1のコイル取付部５には、プラスチック製
の絶縁スペーサ１７を介して非磁性材料製のリング状の
コイル支持部材１８が取付ネジ８により取付られてい
る。前記コイル支持部材１８には電磁コイル１９が支持
されている。
【００２２】（実施例の作用）本実施例の電子レンズで
は、磁性材料製の上ヨーク（第２ヨーク）Ｌ2の第２接
合面１１は前記下ヨーク（第１ヨーク）Ｌ1の第１接合
面２に当接し、上ヨークＬ2の円筒状の嵌合外周面１２
は前記位置決め内周面３に小さな隙間を持って嵌合す
る。前記上ヨークＬ2の嵌合外周面１２に沿って離れた
２箇所の位置に形成されたシャフト挿入孔１３aには、
シャフト部１６a（図２参照）および偏心カム部１６bを
有する偏心シャフト１６の前記シャフト部１６aが嵌合
する。前記偏心シャフト１６のシャフト部１６aがシャ
フト挿入孔１３aに挿入された状態で回転させたとき、
前記偏心カム部１６bの外周面であるカム面が前記第１
ヨークＬ1の前記位置決め内周面３に当接する。このと
き、偏心シャフト１６およびこれを支持する上ヨークＬ
2は、前記第１接合面２上で、前記カム面および前記位
置決め内周面３の当接位置と反対側に移動する力を受け
て移動する。このとき、前記上ヨークＬ2の前記嵌合外
周面は前記当接位置と反対側の部分が前記下ヨークＬ1
の位置決め内周面３に押圧される。
は、磁性材料製の上ヨーク（第２ヨーク）Ｌ2の第２接
合面１１は前記下ヨーク（第１ヨーク）Ｌ1の第１接合
面２に当接し、上ヨークＬ2の円筒状の嵌合外周面１２
は前記位置決め内周面３に小さな隙間を持って嵌合す
る。前記上ヨークＬ2の嵌合外周面１２に沿って離れた
２箇所の位置に形成されたシャフト挿入孔１３aには、
シャフト部１６a（図２参照）および偏心カム部１６bを
有する偏心シャフト１６の前記シャフト部１６aが嵌合
する。前記偏心シャフト１６のシャフト部１６aがシャ
フト挿入孔１３aに挿入された状態で回転させたとき、
前記偏心カム部１６bの外周面であるカム面が前記第１
ヨークＬ1の前記位置決め内周面３に当接する。このと
き、偏心シャフト１６およびこれを支持する上ヨークＬ
2は、前記第１接合面２上で、前記カム面および前記位
置決め内周面３の当接位置と反対側に移動する力を受け
て移動する。このとき、前記上ヨークＬ2の前記嵌合外
周面は前記当接位置と反対側の部分が前記下ヨークＬ1
の位置決め内周面３に押圧される。
【００２３】この状態では前記下ヨークＬ1および上ヨ
ークＬ2の相対的位置は固定される。この状態、すなわ
ち、前記各偏心シャフト１６のカム面が前記位置決め内
周面３に当接し、且つ前記第１接合面２および第２接合
面１１が接合した状態で、連結固定部材７は、前記下ヨ
ークＬ1および上ヨークＬ2を連結固定する。前記第１接
合面２上の前記上ヨークＬ2の移動量は、偏心シャフト
１６を回転させるときのシャフト回転トルクにより定ま
る。したがって、前記固定連結された下ヨークＬ1およ
び上ヨークＬ2を分離した後に再度同じ位置関係で連結
するときには、前記シャフト回転トルクを同じ大きさと
する必要がある。
ークＬ2の相対的位置は固定される。この状態、すなわ
ち、前記各偏心シャフト１６のカム面が前記位置決め内
周面３に当接し、且つ前記第１接合面２および第２接合
面１１が接合した状態で、連結固定部材７は、前記下ヨ
ークＬ1および上ヨークＬ2を連結固定する。前記第１接
合面２上の前記上ヨークＬ2の移動量は、偏心シャフト
１６を回転させるときのシャフト回転トルクにより定ま
る。したがって、前記固定連結された下ヨークＬ1およ
び上ヨークＬ2を分離した後に再度同じ位置関係で連結
するときには、前記シャフト回転トルクを同じ大きさと
する必要がある。
【００２４】前記下ヨークＬ1および上ヨークＬ2を連結
固定した状態で、それらの相対的回転位置を確認するた
めの目印Ｍ（図１Ａ参照）を前記下ヨークＬ1および上
ヨークＬ2に付けておけば、前記下ヨークＬ1および上ヨ
ークＬ2を分離してから再度連結固定する際に、前記目
印Ｍにより、分離する前と同一の位置関係で連結固定す
ることが可能となる。したがって、前記下ヨークＬ1お
よび上ヨークＬ2を連結固定して、前記下ヨークＬ1の第
１環状部４および上ヨークＬ2の第２環状部１４にそれ
ぞれ形成されるビーム通過孔４a，１４aを同心に仕上げ
加工してから、前記下ヨークＬ1および上ヨークＬ2を分
離する際、前記相対的回転位置を確認するための目印Ｍ
を付けておく。そして、前記偏心シャフト１６を回転さ
せて偏心カム部１６bを前記位置決め用内周面３から離
した状態で前記下ヨークＬ1および上ヨークＬ2を分離す
る。
固定した状態で、それらの相対的回転位置を確認するた
めの目印Ｍ（図１Ａ参照）を前記下ヨークＬ1および上
ヨークＬ2に付けておけば、前記下ヨークＬ1および上ヨ
ークＬ2を分離してから再度連結固定する際に、前記目
印Ｍにより、分離する前と同一の位置関係で連結固定す
ることが可能となる。したがって、前記下ヨークＬ1お
よび上ヨークＬ2を連結固定して、前記下ヨークＬ1の第
１環状部４および上ヨークＬ2の第２環状部１４にそれ
ぞれ形成されるビーム通過孔４a，１４aを同心に仕上げ
加工してから、前記下ヨークＬ1および上ヨークＬ2を分
離する際、前記相対的回転位置を確認するための目印Ｍ
を付けておく。そして、前記偏心シャフト１６を回転さ
せて偏心カム部１６bを前記位置決め用内周面３から離
した状態で前記下ヨークＬ1および上ヨークＬ2を分離す
る。
【００２５】その後、前記第１環状部４および第２環状
部１４の間においてビーム通過孔４a，１４aの外側に電
磁コイル１９を配置固定してから、再度下ヨークＬ1お
よび上ヨークＬ2を連結する際には、前記目印Ｍにより
前記下ヨークＬ1および上ヨークＬ2の円周方向の位置
（回転位置）を合わせた状態で前記偏心シャフト１６を
回転させて偏心カム部１６bを前記位置決め用内周面３
に当接させる。このときのシャフト回転トルクは最初に
連結固定した場合の大きさと同じ大きさとする。そし
て、前記連結固定部材７により、前記下ヨークＬ1およ
び上ヨークＬ2を再度連結固定する。この場合、下ヨー
クＬ1および上ヨークＬ2のビーム通過孔４a，１４aの中
心軸を一致した状態で連結することができる。
部１４の間においてビーム通過孔４a，１４aの外側に電
磁コイル１９を配置固定してから、再度下ヨークＬ1お
よび上ヨークＬ2を連結する際には、前記目印Ｍにより
前記下ヨークＬ1および上ヨークＬ2の円周方向の位置
（回転位置）を合わせた状態で前記偏心シャフト１６を
回転させて偏心カム部１６bを前記位置決め用内周面３
に当接させる。このときのシャフト回転トルクは最初に
連結固定した場合の大きさと同じ大きさとする。そし
て、前記連結固定部材７により、前記下ヨークＬ1およ
び上ヨークＬ2を再度連結固定する。この場合、下ヨー
クＬ1および上ヨークＬ2のビーム通過孔４a，１４aの中
心軸を一致した状態で連結することができる。
【００２６】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。 （Ｈ01）本発明の実施例では、連結円筒部材により構成
された電子レンズの場合を例示したが、本発明は電子レ
ンズ以外の２個の円筒部材にも適応可能である。その場
合、前記２個の円筒部材の各円筒面や、前記２個の円筒
部材にそれぞれ形成された円孔が同心状態となるように
前記円筒部材を連結したり、分離したりすることが可能
である。
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。 （Ｈ01）本発明の実施例では、連結円筒部材により構成
された電子レンズの場合を例示したが、本発明は電子レ
ンズ以外の２個の円筒部材にも適応可能である。その場
合、前記２個の円筒部材の各円筒面や、前記２個の円筒
部材にそれぞれ形成された円孔が同心状態となるように
前記円筒部材を連結したり、分離したりすることが可能
である。
【００２７】
【発明の効果】前述の本発明の連結円筒部材および連結
円筒部材により構成された電子レンズは、下記の効果を
奏することができる。 （Ｅ01）２個の円筒部材が連結した連結円筒部材および
前記連結円筒部材により構成された電子レンズにおい
て、前記２個の円筒部材を分解、結合させても前記２個
の円筒部材の各円筒面および前記２個の円筒部材にそれ
ぞれ形成された円孔等を高精度で同心状態とすることが
できる。
円筒部材により構成された電子レンズは、下記の効果を
奏することができる。 （Ｅ01）２個の円筒部材が連結した連結円筒部材および
前記連結円筒部材により構成された電子レンズにおい
て、前記２個の円筒部材を分解、結合させても前記２個
の円筒部材の各円筒面および前記２個の円筒部材にそれ
ぞれ形成された円孔等を高精度で同心状態とすることが
できる。
【図１】 図１は本発明の実施例１の電子レンズの説明
図で、図１Ａは平面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−Ｉ
Ｂ線断面図である。
図で、図１Ａは平面図、図１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−Ｉ
Ｂ線断面図である。
【図２】 図２は同実施例１の要部説明図であり、前記
図１Ｂの矢印ＩＩで示す部分の部分拡大図である。
図１Ｂの矢印ＩＩで示す部分の部分拡大図である。
【図３】 図３は同実施例１の作用説明図である。
【図４】 図４は本発明を適用可能な、磁極と一体的に
形成されたヨークを有する電子レンズの説明図で、図４
Ａは平面図、図４Ｂは図４ＡのＩＶＢ−ＩＶＢ線断面図
である。
形成されたヨークを有する電子レンズの説明図で、図４
Ａは平面図、図４Ｂは図４ＡのＩＶＢ−ＩＶＢ線断面図
である。
Ｌ1…第１円筒部材（第１ヨーク、下ヨーク）、Ｌ2…第
２円筒部材（第２ヨーク、上ヨーク） ２…第１接合面、３…位置決め内周面、４…第１環状
部、４a…ビーム通過孔、１１…第２接合面、１２…嵌
合外周面、１３a…シャフト挿入孔、１４…第２環状
部、１４a…ビーム通過孔、１６…偏心シャフト、１６a
…シャフト部、１６b…偏心カム部、１９…電磁コイ
ル。
２円筒部材（第２ヨーク、上ヨーク） ２…第１接合面、３…位置決め内周面、４…第１環状
部、４a…ビーム通過孔、１１…第２接合面、１２…嵌
合外周面、１３a…シャフト挿入孔、１４…第２環状
部、１４a…ビーム通過孔、１６…偏心シャフト、１６a
…シャフト部、１６b…偏心カム部、１９…電磁コイ
ル。
Claims (2)
- 【請求項１】 下記の要件を備えた連結円筒部材、（Ａ
01）一端にリング状の第１接合面が形成され、前記第１
接合面の周囲に円筒状の位置決め内周面が形成された第
１円筒部材、（Ａ02）前記第１接合面に当接する第２接
合面と、前記位置決め内周面に小さな隙間を持ってゆる
く嵌合する嵌合外周面と、前記嵌合外周面に沿って離れ
た２箇所の位置に形成されたシャフト挿入孔とを有する
第２円筒部材、（Ａ03）前記第２円筒部材の前記各シャ
フト挿入孔に嵌合するシャフト部および偏心カム部を有
し、前記シャフト挿入孔に前記シャフト部を挿入して回
転させたときに前記偏心カム部の外周面であるカム面が
前記第１円筒部材の前記位置決め内周面に当接する偏心
シャフト、（Ａ04）前記各偏心シャフトのカム面が前記
位置決め内周面に当接し、且つ前記第１接合面および第
２接合面が接合した状態で前記第１円筒部材および第２
円筒部材を連結固定する連結固定部材。 - 【請求項２】 下記の要件を備えた連結円筒部材により
構成された電子レンズ、（Ｂ01）リング状の第１接合面
と、前記第１接合面の周囲に形成された円筒状の位置決
め内周面と、軸に垂直に設けられて中央部に電子ビーム
通過用のビーム通過孔が形成された第１環状部を有する
磁性材料製の第１ヨーク、（Ｂ02）前記第１接合面に当
接する第２接合面と、前記位置決め内周面に小さな隙間
を持ってゆるく嵌合する円筒状の嵌合外周面と、前記嵌
合外周面に沿って離れた２箇所の位置に形成されたシャ
フト挿入孔と、中央部に前記第１環状部のビーム通過孔
と同心の電子ビーム通過用のビーム通過孔が形成された
第２環状部とを有する磁性材料製の第２ヨーク、（Ｂ0
3）前記第２磁極の前記各シャフト挿入孔に嵌合するシ
ャフト部および偏心カム部を有し、前記シャフト挿入孔
に前記シャフト部を挿入して回転させたときに前記偏心
カム部の外周面であるカム面が前記第１円筒部材の前記
位置決め内周面に当接する偏心シャフト、（Ｂ04）前記
各偏心シャフトのカム面が前記位置決め内周面に当接
し、且つ前記第１接合面および第２接合面が接合した状
態で前記第１円筒部材および第２円筒部材を連結固定す
る連結固定部材、（Ｂ05）前記第１環状部および第２環
状部の間においてビーム通過孔およびビーム通過孔の外
側に配置された電磁コイル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23730797A JP3310592B2 (ja) | 1997-09-02 | 1997-09-02 | 連結円筒部材および連結円筒部材により構成された電子レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23730797A JP3310592B2 (ja) | 1997-09-02 | 1997-09-02 | 連結円筒部材および連結円筒部材により構成された電子レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1186767A true JPH1186767A (ja) | 1999-03-30 |
| JP3310592B2 JP3310592B2 (ja) | 2002-08-05 |
Family
ID=17013436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23730797A Expired - Fee Related JP3310592B2 (ja) | 1997-09-02 | 1997-09-02 | 連結円筒部材および連結円筒部材により構成された電子レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3310592B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1530229A1 (en) * | 2003-11-04 | 2005-05-11 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Beam optical component for charged particle beams |
| EP2278607A3 (de) * | 2009-07-24 | 2012-10-24 | Carl Zeiss NTS GmbH | Teilchenstrahlgerät mit einer Blendeneinheit und Verfahren zur Einstellung eines Strahlstroms in einem Teilchenstrahlgerät |
| US8916821B2 (en) | 2009-10-12 | 2014-12-23 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Assemblies for ion and electron sources and methods of use |
-
1997
- 1997-09-02 JP JP23730797A patent/JP3310592B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1530229A1 (en) * | 2003-11-04 | 2005-05-11 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Beam optical component for charged particle beams |
| WO2005043579A1 (en) * | 2003-11-04 | 2005-05-12 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Beam optical component for charged particle beams |
| US7675042B2 (en) | 2003-11-04 | 2010-03-09 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Beam optical component for charged particle beams |
| EP2278607A3 (de) * | 2009-07-24 | 2012-10-24 | Carl Zeiss NTS GmbH | Teilchenstrahlgerät mit einer Blendeneinheit und Verfahren zur Einstellung eines Strahlstroms in einem Teilchenstrahlgerät |
| US11139140B2 (en) | 2009-07-24 | 2021-10-05 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Particle beam apparatus having an aperture unit and method for setting a beam current in a particle beam apparatus |
| US8916821B2 (en) | 2009-10-12 | 2014-12-23 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Assemblies for ion and electron sources and methods of use |
| US9263243B2 (en) | 2009-10-12 | 2016-02-16 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Assemblies for ion and electron sources and methods of use |
| US9653274B2 (en) | 2009-10-12 | 2017-05-16 | Perkinelmer Health Sciences, Inc. | Assemblies for ion and electron sources and methods of use |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3310592B2 (ja) | 2002-08-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8422154B2 (en) | Light adjusting apparatus | |
| CA2258395A1 (en) | Universal joint | |
| JP2017184421A (ja) | モータおよびエンコーダ付きモータ、エンコーダ付きモータの製造方法、ならびにエンコーダ付きモータのエンコーダ交換方法 | |
| US4920294A (en) | Synchronous or stepping motor with simplified tooth alignment | |
| KR100230757B1 (ko) | 스테핑모우터 | |
| JP3310592B2 (ja) | 連結円筒部材および連結円筒部材により構成された電子レンズ | |
| US4938564A (en) | Gimbal assembly | |
| CN113054768A (zh) | 电动机的机架结构以及电动机的机架和电枢的制造方法 | |
| EP1361588A1 (en) | Bobbin structure and transformer and inductor employing same | |
| JPH10160993A (ja) | レンズの組み立て調整方法、レンズ調整機構、レンズ鏡筒、及び光学機器 | |
| JPS61161943A (ja) | 直流電動機 | |
| JPH11260480A (ja) | マイクロ部品接続装置 | |
| JPH0526926Y2 (ja) | ||
| JP2013005702A (ja) | 固定子鉄心 | |
| US6443017B1 (en) | Device for measuring torsional couple on a mechanical element | |
| JPH076606Y2 (ja) | 偏向ヨーク装置 | |
| JP2689073B2 (ja) | 光アイソレータ | |
| EP0309581B1 (en) | Gimbal assembly | |
| JP2721902B2 (ja) | 永久磁石ロータの製造方法 | |
| JP3378169B2 (ja) | 連結円筒部材および連結円筒部材により構成された電子レンズ | |
| JPH09289767A (ja) | ステッピングモータ | |
| JPH1056768A (ja) | ステッピングモータ | |
| CN114721109A (zh) | 一种具备调芯功能的镜头 | |
| JPS6091852A (ja) | 回転電動機 | |
| JPH02273046A (ja) | 永久磁石モータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020423 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080524 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090524 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090524 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100524 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100524 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110524 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120524 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120524 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130524 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130524 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |