JPH1186569A - 不揮発性メモリ、不揮発性メモリの書込パルスのパルス幅決定方法、不揮発性メモリの消去パルスのパルス幅決定方法及び不揮発性メモリ内蔵マイコン - Google Patents

不揮発性メモリ、不揮発性メモリの書込パルスのパルス幅決定方法、不揮発性メモリの消去パルスのパルス幅決定方法及び不揮発性メモリ内蔵マイコン

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JPH1186569A
JPH1186569A JP23968897A JP23968897A JPH1186569A JP H1186569 A JPH1186569 A JP H1186569A JP 23968897 A JP23968897 A JP 23968897A JP 23968897 A JP23968897 A JP 23968897A JP H1186569 A JPH1186569 A JP H1186569A
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pulse
pulse width
data
clock signal
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JP23968897A
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Kenji Onishi
賢治 大西
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 不揮発性メモリ専用の独立したクロック信号
の発生回路を不要とし、不揮発性メモリを安価に提供す
ることを目的とする。 【解決手段】 書込パルスのパルス幅データを記憶する
パルス幅記憶手段16と、パルス幅記憶手段16への書
き込みを行うパルス幅書込手段2と、クロック信号CK
1を供給するクロック供給手段5と、パルス幅記憶手段
16のパルス幅データに基づいてクロック信号CK1を
分周し、クロック信号CK2を出力するクロック分周手
段15と、クロック信号CK2に基づいて書込パルスの
タイミング信号を生成するパルス発生手段13とを備え
て構成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は不揮発性メモリ、不
揮発性メモリへの書込パルスのパルス幅決定方法、不揮
発性メモリへの消去パルスのパルス幅決定方法及び不揮
発性メモリ内蔵マイコンに係り、さらに詳しくは、不揮
発性メモリ、特にフラッシュEEPROM(以下、フラ
ッシュメモリと呼ぶ)とその制御回路を備えた半導体装
置において、フラッシュメモリへの制御パルスの供給方
法及び供給回路の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図8は、従来のフラッシュメモリ内蔵マ
イコンの構成を示したブロック図である。図中の1がフ
ラッシュメモリ、2がCPU、3がRAM、4が周辺回
路、5が内部クロック発生回路である。また、フラッシ
ュメモリ1内の10がメモリセルアレイ、11がアドレ
スデコーダ、12がリングオシレータ、13がパルス発
生回路、14が電圧発生回路である。
【0003】内部クロック発生回路5は、図示しない発
振回路又は外部から入力されるクロック信号を分周し、
CPU2や周辺回路4の動作に用いられる内部クロック
を発生する回路である。ユーザは、その使用目的や使用
条件などに応じて、前記発振回路の発振周波数や、外部
から入力するクロック信号の周波数を決定することがで
き、これに応じて内部クロックの周波数も変化する。
【0004】また、フラッシュメモリ1についても、パ
ルス発生回路13に一定周期のクロック信号を供給する
必要がある。このため、フラッシュメモリ1は、リング
オシレータ12を備え、内部クロックとは独立の一定周
期のクロック信号を生成するように構成されている。
【0005】メモリセルアレイ10にデータの書き込み
を行う場合、CPU2は、フラッシュメモリ1に割り当
てられたアドレスをアドレスバスABに出力するととも
に、書込コマンド及び書込データをデータバスDBに出
力する。そして、アドレスにより選択されたフラッシュ
メモリ1が、書込コマンド及び書込データを受け取る。
【0006】フラッシュメモリ1は、書込コマンド及び
書込データの入力完了後、リングオシレータ12を動作
させ、書込パルスのためのクロック信号を発生し、パル
ス発生回路13は、このクロック信号に同期した書込パ
ルスのタイミング信号を発生する。
【0007】また、フラッシュメモリ1は、電圧発生回
路14を動作させて書き込み電圧を出力し、アドレスデ
コーダ11が、メモリセルアレイ10の所定のワードラ
インを選択し、書込パルスを印加する。この書込パルス
は、パルス発生回路13からのタイミング信号に基づい
て出力され、電圧発生回路14の出力電圧に基づく波高
値を有するパルス信号である。
【0008】アドレスデコーダ11は、書込パルスの印
加後にベリファイ信号を印加し、書込データの確認を行
う。書き込みベリファイがパスすれば書き込み動作を終
了する。一方、書き込みベリファイがフェイルした場合
には、再度、書込パルスとベリファイ信号の印加を行
い、書き込みベリファイがパスするまでこの動作を繰り
返す。
【0009】そして、書込パルスの発生回数が、予め定
められた所定回数に達しても書き込みベリファイがフェ
イルする場合は書き込み動作を終了し、書き込み動作を
正常に完了することができなかったことをCPU2へ知
らせる。
【0010】メモリセルアレイ10の記憶データを消去
する場合にも、同様にして、メモリセルアレイ10に対
し消去パルスが印加され、データが消去される。即ち、
CPU2が、フラッシュメモリ1に割り当てられたアド
レスをアドレスバスABに出力するとともに、消去コマ
ンドをデータバスDBに出力する。
【0011】そして、フラッシュメモリ1は、消去コマ
ンドの入力完了後、リングオシレータ12を動作させ、
消去パルスのためのクロック信号を発生し、タイミング
発生回路13は、このクロック信号に同期した消去パル
スのタイミング信号を発生する。
【0012】また、フラッシュメモリ1は、電圧発生回
路14を動作させて消去電圧を出力し、アドレスデコー
ダ11が、メモリセルアレイ10に消去パルスを印加す
る。この消去パルスは、タイミング発生回路13からの
タイミング信号に基づいて出力され、電圧発生回路14
の出力電圧に基づく波高値を有するパルス信号である。
【0013】アドレスデコーダ11は、消去パルスの印
加後にベリファイ信号を印加し、消去データの確認を行
う。この結果、消去ベリファイがパスすれば消去動作を
終了する。一方、消去ベリファイがフェイルした場合に
は、再度、消去パルスとベリファイ信号の印加を行い、
消去ベリファイがパスするまでこの動作を繰り返す。
【0014】そして、消去パルスの発生回数が、予め定
められた所定回数に達しても消去ベリファイがフェイル
する場合は消去動作を終了し、消去がフェイルしたこと
をCPU2へ知らせる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】従来のフラッシュメモ
リ内蔵マイコンの場合、フラッシュメモリの書込パルス
のパルス幅が短かすぎる場合には、予め定められた所定
回数だけ書込パルスを印加しても、書き込みベリファイ
がパスせず、書き込み動作が完了しない場合があり、書
込パルスが長すぎる場合には、書き込みベリファイが初
めてパスした時点で、既にオーバープログラムされる場
合がある。
【0016】また、同様にして、フラッシュメモリの消
去パルスが短かすぎる場合には、予め定められた所定回
数だけ消去パルスを印加しても、消去ベリファイがパス
せず、消去動作が完了しない場合があり、消去パルスが
長すぎる場合には、消去ベリファイが初めてパスした時
点で、既にオーバイレーズされる場合がある。
【0017】即ち、フラッシュメモリに対し、適切なパ
ルス幅を有する書込パルス又は消去パルスを印加する必
要がある。このため、従来のフラッシュメモリ内蔵マイ
コンでは、ユーザが周波数を決定する内部クロックとは
別に常に一定周期のクロック信号を供給し、このクロッ
ク信号に基づいて書込パルス、消去パルスを発生させる
ことが必要となる。
【0018】従って、内部クロック発生回路5から安定
した内部クロックが供給されているにもかかわらず、リ
ングオシレータ等を用いたフラッシュメモリ専用の独立
したクロック信号の発生回路が必要となるという問題が
あった。
【0019】また、クロック信号の発生回路としてリン
グオシレータを用いた場合、リングオシレータの発振周
波数が電源電圧に依存して変化することから、広範囲の
電源電圧について、動作保証を行うことができないとい
う問題があった。
【0020】さらに、オーバープログラムすることな
く、データ書き込みを行うための書込パルスのパルス幅
は、不揮発性メモリセルアレイの製造プロセス上のバラ
ツキによる影響を受け、個体差を有している。同様に、
オーバーイレーズすることなく、データ消去を行うため
の消去パルスのパルス幅も、メモリセルアレイの製造プ
ロセス上のバラツキによる影響を受け、個体差を有して
いる。
【0021】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、不揮発性メモリ専用の独立したクロック信号の
発生回路を不要とし、不揮発性メモリ及び不揮発性メモ
リ内蔵マイコンを安価に提供することを目的とする。
【0022】また、本発明は、広範囲の電源電圧におい
て、安定したデータ書き込み又はデータ消去を行うこと
ができる不揮発性メモリ又は不揮発性メモリ内蔵マイコ
ンを提供することを目的とする。
【0023】また、本発明は、製造プロセス上のバラツ
キに起因する不揮発性メモリの個体差によらず、安定し
たデータ書き込み又はデータ消去を行うことができる不
揮発性メモリ又は不揮発性メモリ内蔵マイコンを提供す
ることを目的とする。
【0024】また、本発明は、オーバープログラムする
ことなく、所定回数以内の書込パルス印加により、不揮
発性メモリセルアレイに正しくデータ書き込みを行うこ
とができる書込パルスのパルス幅決定方法を提供するこ
とを目的とする。
【0025】また、本発明は、オーバーイレーズするこ
となく、所定回数以内の消去パルス印加により、不揮発
性メモリセルアレイに正しくデータ書き込みを行うこと
ができる消去パルスのパルス幅決定方法を提供すること
を目的とする。
【0026】また、本発明は、製造プロセス上のバラツ
キに起因する不揮発性メモリの個体差に応じて書込パル
ス又は消去パルスのパルス幅を決定するパルス幅決定方
法を提供することを目的とする。
【0027】
【課題を解決するための手段】本発明による不揮発性メ
モリは、書込パルスによりデータが書き込まれる不揮発
性メモリセルアレイと、書込パルスのパルス幅データを
記憶可能なパルス幅記憶手段と、書込パルスのパルス幅
データをパルス幅記憶手段へ書き込むパルス幅書込手段
と、第一のクロック信号を供給するクロック供給手段
と、パルス幅記憶手段の保持するパルス幅データに基づ
いて第一のクロック信号を分周し、第二のクロック信号
を出力するクロック分周手段と、第二のクロック信号に
基づいて書込パルスのタイミング信号を生成するパルス
発生手段とを備えて構成される。
【0028】また、本発明による不揮発性メモリは、不
揮発性メモリセルアレイが、書込パルスのパルス幅デー
タを記憶保持するデータ領域を有し、前記パルス幅書込
手段が、このデータ領域から読み出したパルス幅データ
を前記パルス幅記憶手段へ書き込むように構成される。
【0029】また、本発明による不揮発性メモリは、消
去パルスによりデータが消去される不揮発性メモリセル
アレイと、この消去パルスのパルス幅データを記憶可能
なパルス幅記憶手段と、消去パルスのパルス幅データを
パルス幅記憶手段へ書き込むパルス幅書込手段と、第一
のクロック信号を供給するクロック供給手段と、パルス
幅記憶手段の保持するパルス幅データに基づいて第一の
クロック信号を分周し、第二のクロック信号を出力する
クロック分周手段と、第二のクロック信号に基づいて書
込パルスのタイミング信号を生成するパルス発生手段と
を備えて構成される。
【0030】また、本発明による不揮発性メモリは、不
揮発性メモリセルアレイが、消去パルスのパルス幅デー
タを記憶保持するデータ領域を有し、前記パルス幅書込
手段が、このデータ領域から読み出したパルス幅データ
を前記パルス幅記憶手段へ書き込むように構成される。
【0031】また、本発明による不揮発性メモリは、不
揮発性メモリセルアレイが、複数のフラッシュEEPR
OMセルにより構成される。
【0032】また、本発明による不揮発性メモリの書込
パルスのパルス幅決定方法は、データの書き込み毎に不
揮発性メモリに対し、予め定められた所定範囲内の回数
だけ印加される書込パルスのパルス幅決定方法であっ
て、前記所定範囲の下限回数未満の回数だけ、不揮発性
メモリに対し書込パルスを印加した後、書き込まれたデ
ータをベリファイする第一の行程と、前記所定範囲の上
限回数となるまで、さらに、不揮発性メモリに対し書込
パルスを印加し、書き込まれたデータをベリファイする
第二の行程と、第一の行程又は第二の行程のベリファイ
結果に基づいて、書込パルスのパルス幅を増加又は減少
させ、第一の行程又は第二の行程を繰り返す第三の行程
とを備え、書込パルスのパルス幅を所定のベリファイ結
果が得られた場合の値とするように構成される。
【0033】また、本発明による不揮発性メモリの消去
パルスのパルス幅決定方法は、データの消去毎に不揮発
性メモリに対し予め定められた所定範囲内の回数だけ印
加される消去パルスのパルス幅決定方法において、前記
所定範囲の下限回数未満の回数だけ、不揮発性メモリに
対し消去パルスを印加した後、消去されたデータをベリ
ファイする第一の行程と、前記所範囲の上限回数となる
まで、さらに、不揮発性メモリに対し消去パルスを印加
し、消去されたデータをベリファイする第二の行程と、
第一の行程又は第二の行程のベリファイ結果に基づい
て、消去パルス幅を増加又は減少させ、第一の行程及び
第二の行程を繰り返す第三の行程とを備え、消去パルス
のパルス幅を所定のベリファイ結果が得られた場合の値
とするように構成される。
【0034】また、本発明による不揮発性メモリの書込
パルスのパルス幅決定方法は、データ書き込み前の不揮
発性メモリに対する読み出し電圧を変化させ、メモリセ
ルのゲート閾値電圧を求める行程と、データ書き込み後
の不揮発性メモリに対する読み出し電圧を変化させ、ゲ
ート閾値電圧を求める行程と、求められたデータ書き込
み前後におけるゲート閾値電圧の変化量に基づいて、書
込パルスのパルス幅を求める行程を備えて構成される。
【0035】また、本発明による不揮発性メモリの消去
パルスのパルス幅決定方法は、データ消去前の不揮発性
メモリに対する読み出し電圧を変化させ、メモリセルの
ゲート閾値電圧を求める行程と、データ消去後の不揮発
性メモリに対する読み出し電圧を変化させ、ゲート閾値
電圧を求める行程と、求められたデータ消去前後におけ
るゲート閾値電圧の変化量に基づいて、消去パルスのパ
ルス幅を求める行程を備えて構成される。
【0036】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、書込パルスによりデータが書き込まれる不揮
発性メモリと、書込パルスのパルス幅データを記憶可能
なパルス幅記憶手段と、書込パルスのパルス幅データを
パルス幅記憶手段へ書き込むCPUと、第一のクロック
信号を供給するクロック供給手段と、パルス幅記憶手段
の保持するパルス幅データに基づいて第一のクロック信
号を分周し、第二のクロック信号を出力するクロック分
周手段と、第二のクロック信号に基づいて書込パルスの
タイミング信号を生成するパルス発生手段とを備えて構
成される。
【0037】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、不揮発性メモリが、書込パルスのパルス幅デ
ータを記憶保持するデータ領域を有し、CPUが、この
データ領域から読み出したパルス幅データをパルス幅記
憶手段へ書き込むように構成される。
【0038】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、書込パルスによりデータが書き込まれ、書込
パルスのパルス幅データを記憶保持するデータ領域を有
する不揮発性メモリと、第一のクロック信号を供給する
クロック信号供給手段と、データ領域からパルス幅デー
タを読み出し、クロック信号供給手段からの第一のクロ
ック信号及び読み出されたパルス幅データに基づいて書
込パルスのタイミング信号を生成するCPUとを備えて
構成される。
【0039】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、消去パルスによりデータが消去される不揮発
性メモリと、消去パルスのパルス幅データを記憶可能な
パルス幅記憶手段と、消去パルスのパルス幅データをパ
ルス幅記憶手段へ書き込むCPUと、第一のクロック信
号を供給するクロック信号供給手段と、パルス幅記憶手
段の保持するパルス幅データに基づいて第一のクロック
信号を分周し、第二のクロック信号を出力するクロック
分周手段と、第二のクロック信号に基づいて消去パルス
のタイミング信号を生成するパルス発生手段とを備えて
構成される。
【0040】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、不揮発性メモリが、消去パルスのパルス幅デ
ータを記憶保持するデータ領域を有し、CPUが、この
データ領域から読み出したパルス幅データをパルス幅記
憶手段へ書き込むように構成される。
【0041】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、消去パルスによりデータが消去され、消去パ
ルスのパルス幅データを記憶保持するデータ領域を有す
る不揮発性メモリと、第一のクロック信号を供給するク
ロック信号供給手段と、前記データ領域からパルス幅デ
ータを読み出し、クロック信号供給手段からの第一のク
ロック信号及び読み出されたパルス幅データに基づいて
消去パルスのタイミング信号を生成するCPUとを備え
て構成される。
【0042】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図を用いて説明する。なお、従来の技術において示
した構成要素と同一の構成要素については、同一の符号
を付して説明を省略する。
【0043】実施の形態1.図1は、本発明の実施の形
態1によるフラッシュメモリ内蔵マイコンの一構成例を
示したブロック図である。図中の1aがフラッシュメモ
リ部、2がパルス幅書込手段としてのCPU、3がRA
M、4が周辺回路、5がクロック供給手段としての内部
クロック発生回路である。
【0044】また、フラッシュメモリ部1a内の10が
メモリセルアレイ、11がアドレスデコーダ、13がパ
ルス発生手段としてのパルス発生回路、14が電圧発生
回路、15がクロック分周手段としてのクロック分周回
路、16がパルス幅記憶手段としてのパルス幅レジスタ
である。
【0045】メモリセルアレイ10は複数のフラッシュ
メモリのメモリセルによって構成される。パルス幅デー
タ領域100はこれらのメモリセルの一部であり、書込
パルスと消去パルスのパルス幅データが記憶保持されて
いる。このデータ領域100に記憶されているパルス幅
データは、CPU2により読み出すことができる。
【0046】パルス幅レジスタ16は、書込パルスと消
去パルスのパルス幅データを記憶するパルス幅データの
記憶手段であり、CPU2によって書き込まれたパルス
幅データを記憶保持し、クロック分周回路15へ出力す
る。
【0047】クロック分周回路15は、パルス幅レジス
タ16の保持するパルス幅データに基づいて、内部クロ
ック発生回路5からのクロック信号を分周し、パルス発
生回路13へ出力する。即ち、内部クロック発生回路5
から入力された第一のクロック信号CK1を分周して第
二のクロック信号CK2を生成する。データ書き込み時
には、そのパルス幅が書込パルスのパルス幅となる第二
のクロック信号CK2を生成し、データ消去時には、消
去パルスのパルス幅となる第二のクロック信号CK2を
生成し、パルス発生回路13へ出力する。
【0048】このクロック分周回路15は、例えば、第
一のクロック信号CK1の立ち上がりエッジを計数する
周期カウンタにより構成することができる。即ち、クロ
ック分周回路15をダウンカウンタ及びリロード回路に
より構成し、カウント値がオーバーフローする毎にリロ
ード回路がダウンカウンタへ初期値としてパルス幅デー
タをリロードすることにより、第一のクロック信号CK
1を所定の周期ごとに分周することができる。
【0049】パルス発生回路13は、クロック分周回路
15からの第二のクロック信号CK2に同期した書込パ
ルスのタイミング信号を生成するパルス生成手段であ
り、第二のクロック信号CK2のパルスを取捨して生成
されるタイミング信号はアドレスデコーダ11へ出力さ
れる。
【0050】次に、データ書き込み時の動作について説
明する。図2のステップS20〜S25はデータ書き込
み時の動作の一例を示したフローチャートである。な
お、データ領域100には、書込パルスのパルス幅とし
て第一のクロック信号CK1の分周数Nwが予め記憶さ
れているものとする。
【0051】メモリセルアレイ10にデータ書き込みを
行う場合、まず、CPU2は、データ領域100に割り
当てられたアドレスをアドレスバスABへ出力して書込
パルスのパルス幅データを読み出す(ステップS2
0)。次に、パルス幅レジスタ16に割り当てられたア
ドレスをアドレスバスABへ出力するとともに、先に読
み出したパルス幅データをデータバスDBへ出力し、パ
ルス幅データをパルス幅レジスタ16に書き込む(ステ
ップS21)。
【0052】その後、CPU2は、フラッシュメモリ部
1aへ書込コマンド及び書込データを出力する(ステッ
プS22)。即ち、CPU2は、フラッシュメモリ部1
aに割り当てられたアドレスをアドレスバスABに出力
するとともに、書込コマンド及び書込データをデータバ
スDBに出力する。そして、アドレスにより選択された
フラッシュメモリ部1aが、書込コマンド及び書込デー
タを受け取る。
【0053】フラッシュメモリ部1aは、書込コマンド
及び書込データの入力完了後に、クロック分周回路15
を動作させ、パルス幅レジスタ16に記憶したパルス幅
データに基づいて第一のクロック信号CK1を分周し、
第二のクロック信号CK2を出力する。ここでは、パル
ス幅データが分周数Nwであるため、第二のクロック信
号CK2は、第一のクロック信号CK1のNw倍の周期
となる。
【0054】パルス発生回路13は、第二のクロック信
号CK2に同期した書込パルスのタイミング信号を生成
し出力するとともに、電圧発生回路14は、書き込み電
圧を出力する。アドレスデコーダ11は、これらのタイ
ミング信号と書き込み電圧に基づいて書込パルスを生成
し、メモリセルアレイ10の所定のワードラインに印加
する(ステップS23)。
【0055】書込パルスの印加後にベリファイ信号を印
加し(ステップS24)、データ書き込みの確認を行う
(ステップS25)。ベリファイがパスするまで書き込
み及びベリファイを繰り返す動作は従来の場合と同様で
ある(ステップS22〜S25)。なお、CPU2がデ
ータ領域10からパルス幅データを読み出し、パルス幅
レジスタ16に書き込む動作は、書込パルスを最初に印
加する時にのみ行えばよい。
【0056】次に、データ消去時の動作について説明す
る。図3のステップS30〜S35はデータ消去時の動
作の一例を示したフローチャートである。なお、データ
領域100には、消去パルスのパルス幅として第一のク
ロック信号CK1の分周数Neが予め記憶されているも
のとする。
【0057】メモリセルアレイ10のデータ消去を行う
場合も、データ書き込み時と同様、CPU2が、消去パ
ルスのパルス幅データをデータ領域100から読み出
し、読み出されたパルス幅データをパルス幅レジスタ1
6に書き込む(ステップS30、S31)。
【0058】ここで、パルス幅レジスタ16は、例え
ば、書込パルスと消去パルスの2種のパルス幅データを
記憶可能とし、書き込み動作又は消去動作に応じて、必
要なパルス幅データを選択してクロック分周回路15に
出力する構成とすることができる。この場合、電源投入
後の最初のデータ消去時までに、消去パルスのパルス幅
データの書き込みを行い、電源投入後の最初のデータ書
き込み時までに、書込パルスのパルス幅データの書き込
みを行う必要がある。
【0059】また、パルス幅レジスタ16は、1つのパ
ルス幅データのみを記憶可能とし、書き込み時は書込パ
ルスのパルス幅データのみを記憶させ、消去時は消去パ
ルスのパルス幅データのみを記憶させる構成とすること
ができる。この場合には、一連の書き込み動作又は一連
の消去動作ごとに、CPU2が必要なパルス幅データの
書き込みを行う必要がある。
【0060】但し、この場合であっても、書込パルスと
消去パルスとが同一パルス幅であるならば、データ領域
に記憶するデータは、1つのパルス幅データでよく、電
源投入後の最初のデータ消去時に、消去パルスのパルス
幅データを書き込めば、その後に書き込みを行う必要は
ない。
【0061】パルス幅レジスタ16にパルス幅データが
書き込まれた後、CPU2が消去コマンドを出力する
(ステップS32)。フラッシュメモリ部1aは、この
消去コマンドの入力完了後に、クロック分周回路15を
動作させ、パルス幅レジスタ16に記憶したパルス幅デ
ータに基づいて第一のクロック信号CK1を分周し、第
二のクロック信号CK2を出力する。ここでは、パルス
幅データが分周数Neであるため、第二のクロック信号
CK2は、第一のクロック信号CK1のNe倍の周期と
なる。
【0062】パルス発生回路13は、第二のクロック信
号CK2に同期した消去パルスのタイミング信号を出力
するとともに、電圧発生回路14は、消去電圧を出力す
る。アドレスデコーダ11は、これらのタイミング信号
と出力電圧に基づいて消去パルスを生成し、メモリセル
アレイ10に印加する(ステップS33)。消去パルス
の印加後にベリファイ信号を印加し、データ消去の確認
を行って、ベリファイがパスするまで消去を繰り返す動
作は従来の場合と同様である(ステップS32〜S3
5)。
【0063】この様にして、パルス幅データ記憶手段1
6には、任意のパルス幅データを記憶させることがで
き、このパルス幅データに基づいてクロック信号を分周
することにより、任意のクロック信号を生成することが
できる。即ち、所望のパルス幅を有する書込パルス、消
去パルスを生成し、メモリセルアレイに印加することが
できる。このため、ユーザが周波数を決定する様なCP
U等のためのクロック信号をフラッシュメモリにも使用
することができ、フラッシュメモリ専用の発振回路が不
要となる。
【0064】また、リングオシレータは、電源電圧の変
化により、出力信号の周波数が変化するが、CPU等に
供給されるクロック信号は、一般に、水晶発振子等を用
いて生成されており、電源電圧の変動に対しても周波数
の比較的安定したクロック信号である。従って、このク
ロック信号を用いることによって、より広範囲の電源電
圧について正常に動作させることができる。
【0065】また、フラッシュメモリに対する書込パル
ス、消去パルスのパルス幅を、フラッシュメモリ自身に
データとして記憶保持させることにより、電源を遮断し
た後も記憶保持することができ、再び電源投入された後
に読み出すことができる。
【0066】なお、本実施の形態では、パルス幅データ
を記憶するためのデータ領域100を一般データを記憶
するためのメモリアレイ10内に設けているが、データ
領域100を一般データ用のブロックとは別の専用ブロ
ックとして構成することもできる。
【0067】また、本実施の形態ではフラッシュメモリ
内蔵のマイコンについて説明したが、メモリセルアレイ
10からパルス幅データを読み出し、パルス幅レジスタ
に書き込む回路を備えていれば、CPUを備えることな
く構成することもできる。また、クロック供給回路は、
外部から入力されるクロック信号を供給する回路であれ
ばよく、バッファ回路等のみから構成される様なもので
あってもよい。
【0068】実施の形態2.図4は、本発明の実施の形
態2によるフラッシュメモリ内蔵マイコンの一構成例を
示したブロック図である。このフラッシュメモリ内蔵マ
イコンは、図1に示した実施の形態1によるフラッシュ
メモリ内蔵マイコンが、パルス発生回路13、クロック
分周回路15及びパルス幅レジスタ16を備えることな
く構成され、CPU2の出力するタイミング信号がアド
レスデコーダ11に入力されるように構成される。
【0069】このCPU2は、書込パルス又は消去パル
スのパルス幅データを記憶可能なレジスタ(不図示)を
備え、このレジスタにパルス幅データを書き込み、書き
込まれたパルス幅データに基づいて、第二のクロック信
号を生成して出力する。即ち、CPU2が、パルス幅記
憶手段、パルス幅書込手段及びパルス発生手段として機
能する。
【0070】例えば、CPU2のアキュムレータ(不図
示)がレジスタに格納されたデータをダウンカウント
し、オーバーフローが発生した場合に出力信号を反転さ
せる動作を繰り返すことにより、第二のクロック信号を
生成することができる。
【0071】次に、データ書き込み時の動作について説
明する。データ領域100には、書込パルスのパルス幅
として第一のクロック信号CK1の分周数Nwが予め記
憶されるものとする。
【0072】メモリセルアレイ10にデータ書き込みを
行う場合、まず、CPU2は、データ領域100から書
込パルスのパルス幅データを読み出し、このパルス幅デ
ータをCPU2内部のレジスタに格納する。また、フラ
ッシュメモリ部1bの書込コマンド及び書込データを別
のレジスタに格納する。
【0073】そして、CPU2にフラッシュメモリの制
御命令を実行させると、CPU2は、まず、書込コマン
ド及び書込データをフラッシュメモリ部1bに転送す
る。その後、アドレスデコーダ11への出力レベルを
「H」レベルにするとともに、レジスタに格納されてい
るデータを1ずつ減算してダウンカウントする。そし
て、オーバーフローが発生すれば出力レベルを「L」レ
ベルとする。
【0074】ここで、CPU2は、レジスタ内データの
ダウンカウントを1サイクルタイム、即ち、第一のクロ
ック信号CK1の1周期で実行できるものとすれば、第
二のクロック信号CK2のパルス幅は、第一のクロック
信号の周期のNw倍となる。
【0075】データ消去を行う場合も同様にして、CP
U2が、パルス幅データ領域100から消去パルスのパ
ルス幅データNeを読み出して内部レジスタに格納した
後に、レジスタデータをダウンカウントし、オーバーフ
ローすれば出力レベルを反転させて、Ne倍の周期の第
二のクロック信号を生成することができる。
【0076】実施の形態3.実施の形態3では、図1又
は図4のデータ領域100に格納するパルス幅データを
決定する方法について説明する。ここでは、メモリセル
アレイ10に対し書込パルスを所定範囲内の回数だけ印
加することにより、データ書き込みを行うフラッシュメ
モリ内蔵マイコンを例にとって説明する。
【0077】一般に、書込パルスの印加回数には、製造
プロセスにより決まる下限値Lと上限値Hがある。例え
ば、書込パルスの印加回数が多すぎると、同一ワード線
に対し長期間にわたり電圧を印加することとなり、書き
込みを行わないビットにも書き込みが行われてしまうデ
ィスターブと呼ばれる現象が生ずる。この様な不都合を
回避するため、書込パルスの印加回数を所定範囲内とす
る必要がある。
【0078】図5は、データ領域100に格納する書込
パルスのパルス幅データを決定する方法の一例を示した
フローチャートである。フローチャート中のXがクロッ
ク分周回路15における分周数であり、Yは書き込みブ
ロック番号である。
【0079】まず、分周数X、ブロック番号Yの値をと
もに初期値0とした後(ステップS50)、分周数X、
ブロック番号Yのそれぞれに1を加算する(ステップS
51)。そして、特定のワード線に対し書込パルスを
(L−1)回だけ印加する(ステップS52)。
【0080】書込パルスを印加した後に、書き込みベリ
ファイ信号を生成して書込データの確認を行う(ステッ
プS53)。この結果、ベリファイがパスした場合、即
ち、(L−1)回の書込パルス印加により既に書き込み
が行われていたならば、そのフラッシュメモリは規格外
品であり、パルス幅データの決定行程を終了する(ステ
ップS54)。ベリファイがフェイルした場合には、同
一ワード線に対し、さらに(H−L+1)回だけ書込パ
ルスを印加した後(ステップS55)、書き込みベリフ
ァイ信号を生成して書込データの確認を行う(ステップ
S56)。
【0081】この結果、ベリファイがパスした場合、即
ち、合計H回の書込パルス印加により書き込みが行われ
ていたならば、Xをパルス幅データと決定し、データ領
域10に格納する(ステップS57、S58)。ベリフ
ァイがフェイルしていれば、分周数X、ブロック番号Y
のそれぞれに1を加算して、上記の動作を繰り返す(ス
テップ51〜S57)。この様にして、予め定められた
所定範囲内の印加回数でデータ書き込みを行うためのパ
ルス幅データを求めることができる。
【0082】図6は、図5のステップS52〜S56に
おける主な信号の様子を示したタイミング図である。図
中の(a)が図1又は図4の第一のクロック信号CK2
の波形であり、(b)が、図1のパルス発生回路13又
は図4のCPU2の出力する書込パルスのタイミング信
号の波形であり、(c)がベリファイ信号の波形であ
る。
【0083】なお、本実施の形態においては、書込パル
スのパルス幅の決定方法について説明したが、消去パル
スのパルス幅についても全く同様の方法により決定する
ことができる。
【0084】なお、本実施の形態においては、書込パル
スをH回印加後にベリファイでフェイルした場合には、
ブロック番号Yに1だけ加算して異なるブロックに対し
新たに書込パルスの印加を開始し、印加回数が累積され
ることを防止している。しかし、H回印加後にベリファ
イでフェイルした場合に、ブロック番号Yのブロックに
対し十分に長い消去パルスを印加し、同一ブロックに対
し新たに書込パルスの印加を開始する様にしてもよい。
【0085】この様な方法を用いて、書込パルス又は消
去パルスのパルス幅を決定することにより、内部クロッ
ク発生回路5から供給されるクロック信号の周波数に応
じて、パルス幅データを容易に決定することができる。
【0086】また、フラッシュメモリの製造プロセス等
に起因して、書込パルス又は消去パルスとしての最適な
パルス幅には個体差が生ずる場合があるが、このパルス
幅決定方法は、各個体の特性に応じて個別にパルス幅を
決定するものであるため、画一的なパルス幅決定方法に
比べ、より適したパルス幅データを設定することができ
る。
【0087】さらに、フラッシュメモリへ供給される電
源電圧によっても、書込パルス又は消去パルスとしての
最適なパルス幅が異なる場合があるが、このパルス幅決
定方法は、実際の動作条件の下で、パルス幅を決定する
ものであるため、より適したパルス幅データを設定する
ことができる。
【0088】実施の形態4.図7は、本発明の実施の形
態4によるフラッシュメモリ内蔵マイコンの一構成例を
示したブロック図である。このマイコンは、図1に示し
たマイコンが、電圧発生回路14の出力電圧を制御する
電圧レジスタ17をさらに備えて構成される。この電圧
レジスタ17は、CPU2からの電圧データを記憶保持
する記憶手段であり、電圧発生回路14が、この電圧デ
ータに基づく電圧をアドレスデコーダ11へ出力する。
【0089】電圧レジスタ17の記憶データに基づく読
み出し電圧を特定のワードラインに対して印加する。こ
の時、特定のメモリセルのデータを正しく読み出すこと
ができなければ電圧レジスタ17の記憶データを変更す
る。この動作をデータ読み出しが正常に行われるまで繰
り返すと、正常にデータ読み出しを行うための読み出し
電圧の限界値を得ることができる。即ち、電圧レジスタ
15の記憶データとして、メモリVthを計測すること
ができる。ここで、メモリVthとはメモリセルのゲー
ト閾値電圧である。
【0090】まず、この方法でデータ書き込み前のメモ
リセルのメモリVthを計測する。そして、内部クロッ
ク発生回路5からの第一のクロック信号をある一定の分
周数で分周して書込パルスを生成し、上記メモリセルに
対してデータの書き込みを行う。その後、このメモリセ
ルに対し上記の方法と同様の方法により、メモリVth
を計測する。
【0091】この様にして求められたデータ書き込み前
後のメモリVthにより、データ書き込みにともなうメ
モリVthのシフト量を求めることができる。このメモ
リVthのシフト量は、書込時間に対応して変化する値
である。書込時間が変化すれば、フローティングゲート
の電荷量が変化し、書き込み後のコントロールゲート、
フローティングゲート間の電界強度が変化するからであ
る。
【0092】この様なメモリVthのシフト量と、書込
時間との関係は、フラッシュメモリのデザインルールや
プロセス構造により決定されるものである。このため、
この相関関係をテーブルとして予め求めておけば、メモ
リVthのシフト量から書込パルスのパルス幅を容易に
決定することができる。
【0093】また、このパルス幅決定方法は、実際の動
作条件の下で、パルス幅を決定するものであるため、実
施の形態3の場合と同様、より最適なパルス幅に設定す
ることができる。
【0094】なお、本実施の形態においては、書込パル
スのパルス幅の決定方法について説明したが、消去パル
スのパルス幅についても全く同様の方法により決定する
ことができる。
【0095】また、実施の形態3又は4によるパルス幅
データの決定方法は、フラッシュメモリの使用前に1回
行えばよいが、フラッシュメモリは、使用中にその特性
が変化する場合がある。このため、使用後において適宜
にパルス幅データを決定し直すことにより、フラッシュ
メモリの特性の変化に応じたパルス幅とすることもでき
る。
【0096】
【発明の効果】本発明による不揮発性メモリは、パルス
幅書込手段が、書込パルスのパルス幅データをパルス幅
記憶手段へ書き込み、クロック分周手段が、このパルス
幅データに基づいて第一のクロック信号を分周して第二
のクロック信号を生成し、パルス発生手段が、第二のク
ロック信号に基づいて書込パルスのタイミング信号を生
成する。このため、パルス幅記憶手段に書き込むパルス
幅データを変化させることにより、第一のクロック信号
の周波数にかかわらず、パルス発生手段に入力する第二
のクロック信号を所望の周波数とすることができるの
で、不揮発性メモリ専用の発振回路が不要となる。従っ
て、不揮発性メモリを安価に提供することができる。ま
た、外部からの安定したクロック信号に基づき、所望の
パルス幅の書込パルスを生成することができる。このた
め、パルス幅の変動を低減して書き込み動作の信頼性を
向上させることも可能となる。
【0097】また、本発明による不揮発性メモリは、不
揮発性メモリセルアレイが、書込パルスのパルス幅デー
タを記憶保持するデータ領域を有し、パルス幅書込手段
が、このデータ領域からパルス幅データを読み出し、パ
ルス幅記憶手段へ書き込む。即ち、不揮発性メモリに対
する書込パルスのパルス幅を不揮発性メモリ自身にデー
タとして記憶保持させる。このため、電源を遮断した後
もパルス幅データを記憶保持することができ、再び電源
投入された後にパルス幅データを読み出すことができ
る。
【0098】本発明による不揮発性メモリは、パルス幅
書込手段が、消去パルスのパルス幅データをパルス幅記
憶手段へ書き込み、クロック分周手段が、このパルス幅
データに基づいて第一のクロック信号を分周して第二の
クロック信号を生成し、パルス発生手段が、第二のクロ
ック信号に基づいて消去パルスのタイミング信号を生成
する。このため、パルス幅記憶手段に書き込むパルス幅
データを変化させることにより、第一のクロック信号の
周波数にかかわらず、パルス発生手段に入力する第二の
クロック信号を所望の周波数とすることができるので、
不揮発性メモリ専用の発振回路が不要となる。従って、
不揮発性メモリを安価に提供することができる。また、
外部からの安定したクロック信号に基づき、所望のパル
ス幅の消去パルスを生成することができる。このため、
パルス幅の変動を低減して消去動作の信頼性を向上させ
ることも可能となる。
【0099】また、本発明による不揮発性メモリは、不
揮発性メモリセルアレイが、消去パルスのパルス幅デー
タを記憶保持するデータ領域を有し、パルス幅書込手段
が、このデータ領域からパルス幅データを読み出し、パ
ルス幅記憶手段へ書き込む。即ち、不揮発性メモリに対
する消去パルスのパルス幅を不揮発性メモリ自身にデー
タとして記憶保持させる。このため、電源を遮断した後
もパルス幅データを記憶保持することができ、再び電源
投入された後にパルス幅データを読み出すことができ
る。
【0100】また、本発明による不揮発性メモリは、不
揮発性メモリセルアレイが、フラッシュメモリセルによ
り構成されるため、フラッシュメモリ専用の発振回路が
不要となり、フラッシュメモリを安価に提供することが
できる。また、外部から安定したクロック信号を用いる
ことによりパルス幅の変動を低減し、フラッシュメモリ
の書き込み動作、消去動作の信頼性を向上させることも
可能となる。
【0101】また、本発明による不揮発性メモリの書込
パルスのパルス幅決定方法は、第一の行程において、下
限回数未満の回数だけ不揮発性メモリに対し書込パルス
を印加した後、書き込まれたデータをベリファイし、第
二の行程において、上限回数となるまで、さらに不揮発
性メモリに対し書込パルスを印加し、書き込まれたデー
タをベリファイし、第三の行程において、第一の行程又
は第二の行程のベリファイ結果に基づいて、書込パルス
のパルス幅を増加又は減少させ、書込パルスのパルス幅
を所定のベリファイ結果が得られた場合の値とする。こ
のため、供給されるクロック信号の周波数に応じて、書
込パルスのパルス幅を容易に決定することができる。ま
た、各不揮発性メモリごとに個別にパルス幅を決定する
ものであるため、製造プロセス等に起因する個体差をも
考慮した、より最適なパルス幅に設定することができ
る。さらに、実際の動作条件の下で、パルス幅を決定す
るものであるため、より最適なパルス幅に設定すること
ができる。
【0102】また、本発明による不揮発性メモリの消去
パルスのパルス幅決定方法は、第一の行程において、下
限回数未満の回数だけ不揮発性メモリに対し消去パルス
を印加した後、消去されたデータをベリファイし、第二
の行程において、上限回数となるまで、さらに不揮発性
メモリに対し消去パルスを印加し、消去されたデータを
ベリファイし、第三の行程において、第一の行程又は第
二の行程のベリファイ結果に基づいて、消去パルスのパ
ルス幅を増加又は減少させ、消去パルスのパルス幅を所
定のベリファイ結果が得られた場合の値とする。このた
め、供給されるクロック信号の周波数に応じて、消去パ
ルスのパルス幅を容易に決定することができる。また、
各不揮発性メモリごとに個別にパルス幅を決定するもの
であるため、製造プロセス等に起因する個体差をも考慮
した、より最適なパルス幅に設定することができる。さ
らに、実際の動作条件の下で、パルス幅を決定するもの
であるため、より最適なパルス幅に設定することができ
る。
【0103】また、本発明による不揮発性メモリの書込
パルスのパルス幅決定方法は、データ書き込み前後にお
けるメモリセルのゲート閾値電圧を求め、その変化量に
基づいて書込パルスのパルス幅を求める。このため、供
給されるクロック信号の周波数に応じて、書込パルスの
パルス幅を容易に決定することができる。さらに、実際
の動作条件の下で、パルス幅を決定するものであるた
め、より最適なパルス幅に設定することができる。
【0104】また、本発明による不揮発性メモリの消去
パルスのパルス幅決定方法は、データ消去前後における
メモリセルのゲート閾値電圧を求め、その変化量に基づ
いて消去パルスのパルス幅を求める。このため、供給さ
れるクロック信号の周波数に応じて、消去パルスのパル
ス幅を容易に決定することができる。さらに、実際の動
作条件の下で、パルス幅を決定するものであるため、よ
り最適なパルス幅に設定することができる。
【0105】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、CPUが、書込パルスのパルス幅データをパ
ルス幅記憶手段へ書き込み、クロック分周手段が、この
パルス幅データに基づいて第一のクロック信号を分周し
て第二のクロック信号を生成し、パルス発生手段が、第
二のクロック信号に基づいて書込パルスのタイミング信
号を生成する。このため、パルス幅記憶手段に書き込む
パルス幅データを変化させることにより、第一のクロッ
ク信号の周波数にかかわらず、パルス発生手段に入力す
る第二のクロック信号を所望の周波数とすることができ
るので、不揮発性メモリ専用の発振回路が不要となる。
従って、不揮発性メモリ内蔵マイコンを安価に提供する
ことができる。また、外部からの安定したクロック信号
に基づき、所望のパルス幅の書込パルスを生成すること
ができる。このため、パルス幅の変動を低減して不揮発
性メモリへの書き込み動作の信頼性を向上させることも
可能となる。
【0106】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、不揮発性メモリセルアレイが、書込パルスの
パルス幅データを記憶保持するデータ領域を有し、CP
Uが、このデータ領域からパルス幅データを読み出し、
パルス幅記憶手段へ書き込む。即ち、不揮発性メモリに
対する書込パルスのパルス幅を不揮発性メモリ自身にデ
ータとして記憶保持させる。このため、電源を遮断した
後もパルス幅データを記憶保持することができ、再び電
源投入された後もパルス幅データを読み出すことができ
る。
【0107】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、CPUが、不揮発性メモリのデータ領域から
パルス幅データを読み出し、クロック信号供給手段から
の第一のクロック信号及び読み出されたパルス幅データ
に基づいて書込パルスを生成する。このため、不揮発性
メモリ専用のクロック分周手段およびパルス発生手段が
不要となる。従って、不揮発性メモリ内蔵マイコンを安
価に提供することができる。
【0108】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、CPUが、消去パルスのパルス幅データをパ
ルス幅記憶手段へ書き込み、クロック分周手段が、この
パルス幅データに基づいて第一のクロック信号を分周し
て第二のクロック信号を生成し、パルス発生手段が、第
二のクロック信号に基づいて消去パルスのタイミング信
号を生成する。このため、パルス幅記憶手段に書き込む
パルス幅データを変化させることにより、第一のクロッ
ク信号の周波数にかかわらず、パルス発生手段に入力す
る第二のクロック信号を所望の周波数とすることができ
るので、不揮発性メモリ専用の発振回路が不要となる。
従って、不揮発性メモリ内蔵マイコンを安価に提供する
ことができる。また、外部からの安定したクロック信号
に基づき、所望のパルス幅の消去パルスを生成すること
ができる。このため、パルス幅の変動を低減して不揮発
性メモリの消去動作の信頼性を向上させることも可能と
なる。
【0109】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、不揮発性メモリセルアレイが、消去パルスの
パルス幅データを記憶保持するデータ領域を有し、CP
Uが、このデータ領域からパルス幅データを読み出し、
パルス幅記憶手段へ書き込む。即ち、不揮発性メモリに
対する消去パルスのパルス幅を不揮発性メモリ自身にデ
ータとして記憶保持させる。このため、電源を遮断した
後もパルス幅データを記憶保持することができ、再び電
源投入された後もパルス幅データを読み出すことができ
る。
【0110】また、本発明による不揮発性メモリ内蔵マ
イコンは、CPUが、不揮発性メモリのデータ領域から
パルス幅データを読み出し、クロック信号供給手段から
の第一のクロック信号及び読み出されたパルス幅データ
に基づいて消去パルスを生成する。このため、不揮発性
メモリ専用のクロック分周手段およびパルス発生手段が
不要となる。従って、不揮発性メモリ内蔵マイコンを安
価に提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1によるフラッシュメモ
リ内蔵マイコンの一構成例を示したブロック図である。
【図2】 データ書き込み時の動作の一例を示したフロ
ーチャートである。
【図3】 データ消去時の動作の一例を示したフローチ
ャートである。
【図4】 本発明の実施の形態2によるフラッシュメモ
リ内蔵マイコンの一構成例を示したブロック図である。
【図5】 本発明の実施の形態3による書込パルスのパ
ルス幅データを決定する方法の一例を示したフローチャ
ートである。
【図6】 図5のステップS52〜S56における主な
信号の様子を示したタイミング図である。
【図7】 本発明の実施の形態4によるフラッシュメモ
リ内蔵マイコンの一構成例を示したブロック図である。
【図8】 従来のフラッシュメモリ内蔵マイコンの構成
を示したブロック図である。
【符号の説明】
1a、1b、1c 不揮発性メモリ部 10 不揮発性メモリセルアレイ 100 データ領域 13 パルス発生手段 15 クロック分周手段 16 パルス幅記憶手段 2 パルス幅書込手段、CPU

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 書込パルスによりデータが書き込まれる
    不揮発性メモリセルアレイと、書込パルスのパルス幅デ
    ータを記憶可能なパルス幅記憶手段と、書込パルスのパ
    ルス幅データをパルス幅記憶手段へ書き込むパルス幅書
    込手段と、第一のクロック信号を供給するクロック供給
    手段と、パルス幅記憶手段の保持するパルス幅データに
    基づいて第一のクロック信号を分周し、第二のクロック
    信号を出力するクロック分周手段と、第二のクロック信
    号に基づいて書込パルスのタイミング信号を生成するパ
    ルス発生手段とを備えたことを特徴とする不揮発性メモ
    リ。
  2. 【請求項2】 前記不揮発性メモリセルアレイは、書込
    パルスのパルス幅データを記憶保持するデータ領域を有
    し、前記パルス幅書込手段は、このデータ領域から読み
    出したパルス幅データを前記パルス幅記憶手段へ書き込
    むことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ。
  3. 【請求項3】 消去パルスによりデータが消去される不
    揮発性メモリセルアレイと、この消去パルスのパルス幅
    データを記憶可能なパルス幅記憶手段と、消去パルスの
    パルス幅データをパルス幅記憶手段へ書き込むパルス幅
    書込手段と、第一のクロック信号を供給するクロック供
    給手段と、パルス幅記憶手段の保持するパルス幅データ
    に基づいて第一のクロック信号を分周し、第二のクロッ
    ク信号を出力するクロック分周手段と、第二のクロック
    信号に基づいて書込パルスのタイミング信号を生成する
    パルス発生手段とを備えたことを特徴とする不揮発性メ
    モリ。
  4. 【請求項4】 前記不揮発性メモリセルアレイは、消去
    パルスのパルス幅データを記憶保持するデータ領域を有
    し、前記パルス幅書込手段は、このデータ領域から読み
    出したパルス幅データを前記パルス幅記憶手段へ書き込
    むことを特徴とする請求項3に記載の不揮発性メモリ。
  5. 【請求項5】 前記不揮発性メモリセルアレイが、複数
    のフラッシュEEPROMセルにより構成されることを
    特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の不揮発性
    メモリ。
  6. 【請求項6】 データの書き込み毎に不揮発性メモリに
    対し、予め定められた所定範囲内の回数だけ印加される
    書込パルスのパルス幅決定方法であって、前記所定範囲
    の下限回数未満の回数だけ、不揮発性メモリに対し書込
    パルスを印加した後、書き込まれたデータをベリファイ
    する第一の行程と、前記所定範囲の上限回数となるま
    で、さらに、不揮発性メモリに対し書込パルスを印加
    し、書き込まれたデータをベリファイする第二の行程
    と、第一の行程又は第二の行程のベリファイ結果に基づ
    いて、書込パルスのパルス幅を増加又は減少させ、第一
    の行程及び第二の行程を繰り返す第三の行程とを備え、
    書込パルスのパルス幅を所定のベリファイ結果が得られ
    た場合の値とすることを特徴とする不揮発性メモリの書
    込パルスのパルス幅決定方法。
  7. 【請求項7】 データの消去毎に不揮発性メモリに対し
    予め定められた所定範囲内の回数だけ印加される消去パ
    ルスのパルス幅決定方法において、前記所定範囲の下限
    回数未満の回数だけ、不揮発性メモリに対し消去パルス
    を印加した後、消去されたデータをベリファイする第一
    の行程と、前記所範囲の上限回数となるまで、さらに、
    不揮発性メモリに対し消去パルスを印加し、消去された
    データをベリファイする第二の行程と、第一の行程又は
    第二の行程のベリファイ結果に基づいて、消去パルス幅
    を増加又は減少させ、第一の行程及び第二の行程を繰り
    返す第三の行程とを備え、消去パルスのパルス幅を所定
    のベリファイ結果が得られた場合の値とすることを特徴
    とする不揮発性メモリの消去パルスのパルス幅決定方
    法。
  8. 【請求項8】 データ書き込み前の不揮発性メモリに対
    する読み出し電圧を変化させ、メモリセルのゲート閾値
    電圧を求める行程と、データ書き込み後の不揮発性メモ
    リに対する読み出し電圧を変化させ、ゲート閾値電圧を
    求める行程と、求められたデータ書き込み前後における
    ゲート閾値電圧の変化量に基づいて、書込パルスのパル
    ス幅を求める行程を備えたことを特徴とする不揮発性メ
    モリの書込パルスのパルス幅決定方法。
  9. 【請求項9】 データ消去前の不揮発性メモリに対する
    読み出し電圧を変化させ、メモリセルのゲート閾値電圧
    を求める行程と、データ消去後の不揮発性メモリに対す
    る読み出し電圧を変化させ、ゲート閾値電圧を求める行
    程と、求められたデータ消去前後におけるゲート閾値電
    圧の変化量に基づいて、消去パルスのパルス幅を求める
    行程を備えたことを特徴とする不揮発性メモリの消去パ
    ルスのパルス幅決定方法。
  10. 【請求項10】 書込パルスによりデータが書き込まれ
    る不揮発性メモリと、書込パルスのパルス幅データを記
    憶可能なパルス幅記憶手段と、書込パルスのパルス幅デ
    ータをパルス幅記憶手段へ書き込むCPUと、第一のク
    ロック信号を供給するクロック供給手段と、パルス幅記
    憶手段の保持するパルス幅データに基づいて第一のクロ
    ック信号を分周し、第二のクロック信号を出力するクロ
    ック分周手段と、第二のクロック信号に基づいて書込パ
    ルスのタイミング信号を生成するパルス発生手段とを備
    えることを特徴とする不揮発性メモリ内蔵マイコン。
  11. 【請求項11】 前記不揮発性メモリは、書込パルスの
    パルス幅データを記憶保持するデータ領域を有し、前記
    CPUは、このデータ領域から読み出したパルス幅デー
    タを前記パルス幅記憶手段へ書き込むことを特徴とする
    請求項10に記載の不揮発性メモリ内蔵マイコン。
  12. 【請求項12】 書込パルスによりデータが書き込ま
    れ、書込パルスのパルス幅データを記憶保持するデータ
    領域を有する不揮発性メモリと、第一のクロック信号を
    供給するクロック信号供給手段と、前記データ領域から
    パルス幅データを読み出し、クロック信号供給手段から
    の第一のクロック信号及び読み出されたパルス幅データ
    に基づいて書込パルスのタイミング信号を生成するCP
    Uとを備えることを特徴とする不揮発性メモリ内蔵マイ
    コン。
  13. 【請求項13】 消去パルスによりデータが消去される
    不揮発性メモリと、消去パルスのパルス幅データを記憶
    可能なパルス幅記憶手段と、消去パルスのパルス幅デー
    タをパルス幅記憶手段へ書き込むCPUと、第一のクロ
    ック信号を供給するクロック信号供給手段と、パルス幅
    記憶手段の保持するパルス幅データに基づいて第一のク
    ロック信号を分周し、第二のクロック信号を出力するク
    ロック分周手段と、第二のクロック信号に基づいて消去
    パルスのタイミング信号を生成するパルス発生手段とを
    備えることを特徴とする不揮発性メモリ内蔵マイコン。
  14. 【請求項14】 前記不揮発性メモリは、消去パルスの
    パルス幅データを記憶保持するデータ領域を有し、前記
    CPUは、このデータ領域から読み出したパルス幅デー
    タを前記パルス幅記憶手段へ書き込むことを特徴とする
    請求項13に記載の不揮発性メモリ内蔵マイコン。
  15. 【請求項15】 消去パルスによりデータが消去され、
    消去パルスのパルス幅データを記憶保持するデータ領域
    を有する不揮発性メモリと、第一のクロック信号を供給
    するクロック信号供給手段と、前記データ領域からパル
    ス幅データを読み出し、クロック信号供給手段からの第
    一のクロック信号及び読み出されたパルス幅データに基
    づいて消去パルスのタイミング信号を生成するCPUと
    を備えることを特徴とする不揮発性メモリ内蔵マイコ
    ン。
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