JPH11857A

JPH11857A - 磁力線ビーム加工装置

Info

Publication number: JPH11857A
Application number: JP32783097A
Authority: JP
Inventors: Takeo Suzumura; 進村武男; Yoshinori Shinpo; 新保義憲
Original assignee: KYOEI DENKO KK
Current assignee: KYOEI DENKO KK
Priority date: 1997-04-18
Filing date: 1997-11-28
Publication date: 1999-01-06

Abstract

(57)【要約】【課題】外面に狭幅のスリットを有するワークに対して
高精度かつ効率良くワークの表面のバリ取り、研磨及び
洗浄等の加工を行う。【解決手段】振動発生機構２２に連結された磁極ユニッ
ト２３と、該磁極ユニットに間隔をもって配置された少
なくとも一対の磁極３、４と、一対の磁極間に挿入され
磁気ブラシ５を形成する磁気研磨材と、該磁気ブラシ中
に保持装置により保持される非磁性体からなるワーク１
と、該ワークの外面に形成された狭幅のスリット１ｆ
と、前記ワークの内部に形成された開口部１ｅ又は孔１
ｄとを備え、前記振動発生機構により磁気ブラシに振動
を発生させワークの表面を加工する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、アルミ、ステンレ
ス、合成樹脂等の非磁性体からなる精密部品の製造に適
用され、特に、外面から内部にかけて幅の狭いスリット
を有するワークの表面のバリ取り、研磨及び洗浄等の加
工を行う磁力線ビーム加工装置に属する。

【０００２】

【従来の技術】従来、アルミ等の非磁性体からなる精密
部品の内部や手の届かない面のバリ取り作業は困難を極
めている。例えば、アルミ部品はダイキャスト成形か押
し出し成形又は引き抜き成形で作られているが、ダイキ
ャスト成形は、バリは少ないが「す」ができやすく、低
品質の部品にしか用いられない。従って、コンピュータ
用のハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の磁気ヘッド用
キャリッジ部材のようにミクロンオーダーの加工精度を
必要する精密部品は、バリの発生が多いことは判ってい
ても押し出し成形か引き抜き成形により形成したブロッ
クを切削加工する方法が多くなっている。

【０００３】図１４は、上記ヘッドアーム部材の斜視図
を示し、キャリッジ部材１は、基部１ａと、この基部１
ａから平行に延びるように櫛状に切削加工された複数の
プレート部（アーム部）１ｂとを備え、プレート部１ｂ
間に多数のスリット１ｆが形成された構造になってい
る。前記基部１ａには支持軸孔１ｃが形成されるととも
に、平面視で略三角形状に形成された各プレート部１ｂ
の先端部には、磁気ヘッドを取りつけるためのヘッド取
付孔１ｄと、プレート部１ｂの軽量化のための開口１ｅ
とが切削加工により形成されている。そして、複数のア
ーム部１ｂがＨＤＤの複数のディスク間に張り出すよう
に移動し磁気ヘッドがディスクの情報を読み取るように
構成される。各プレート部１ｂの外周や、孔１ｃ、１
ｄ、開口１ｅの角部には切削によりバリが発生するの
で、このまま組み立てるとバリがディスクに接触してデ
ィスク面を傷を付けたり、ディスクとヘッドの間にバリ
が挟まったり、切削屑がディスク上に落下してディスク
やヘッドが破損してしまうという問題があるため、各部
のバリ取り及び面取りを確実に行う必要がある。さら
に、その後のハードディスク組立工程においてプレート
部１ｂに被膜や異物が付着してしまう場合もあり、この
ような被膜や異物も確実に洗浄除去する必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たキャリッジ部材１の場合、櫛状のプレート部１ｂの内
部の孔１ｃ、１ｄや開口１ｅの角部に発生するバリ取り
は、加工工具が内部に入り込めないため自動化が困難で
あり、多くの人手をかけてブラシがけを行わざるを得
ず、単なる仕上げ処理のために多大な加工コストをかけ
ているのが現状である。また、人手を使っての手作業の
バリ取り方法においても、複雑に構成された上記キャリ
ッジ部材１の内部に対しては加工処理が不可能な場合が
あり、このためにキャリッジ部材１の構造を簡単なもの
に変更せざるを得ないことから、キャリッジ部材１の小
型化、軽量化を妨げているという問題を有している。こ
のような状況は、上記キャリッジ部材１のみならず、外
面に幅の狭いスリットを有し内部に開口部又は孔を有す
る精密部品の表面加工或は表面処理を行う場合にも存在
し、種々の製品の製造の可能性を妨げているという問題
を有している。

【０００５】さらに、このバリ取りに対して電解研磨や
ショット掛け、或は超音波研磨等の方法を採用すること
も考えられるが、ミクロン精度で作られている部品の元
の形状を崩してしまうという問題を有している。

【０００６】一方、磁界内でワーク（加工対象物）を研
磨処理する技術は、例えば特公昭５７−１３８９号公報
により知られている。しかしながら、この方式はワーク
が非磁性体の場合を考慮しておらず強磁性研磨材を用い
るため、アルミ等の比較的柔らかいワークの表面を傷つ
けてしまうという問題を有し、また、強磁性研磨材の中
でワーク側を振動させるため、ワークに強い力が作用し
ワークを保持することが困難であるという問題を有し、
特に大量のワークを自動加工する場合にワークを着脱自
在でかつ強力に保持するための装置が困難であるという
問題を有している。さらに、図１４に示したキャリッジ
部材１を研磨しようとする場合、前記方式は、ワークを
単に上下方向に振動させる方式のため、櫛状のプレート
部１ｂの内部の孔１ｃ、１ｄや開口１ｅの角部に発生す
るバリ取りは困難であるという問題を有している。

【０００７】本発明は上記従来の問題を解決するもので
あって、その第１の目的は、ワークを非磁性体に限定し
た場合に、磁力線がＸ線と同様にワーク内部を自由に通
過し、この透過した磁力線に磁気ブラシを保持させて磁
気力をワークに作用させることができることに着目し、
外面から内部にかけて狭幅のスリットを有するワークに
対して、高精度かつ効率良くワークの表面のバリ取り、
研磨及び洗浄等の加工を行うことができ、しかも自動化
が容易な磁力線ビーム加工装置を提供することであり、
また、第２の目的は、ワーク内部の加工すべき箇所に狙
いを定めてワークの表面のバリ取り、研磨及び洗浄を高
精度かつ効率良く行うことができる磁力線ビーム加工装
置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の請求項１記載の磁力線ビーム加工装置は、振
動発生機構２２に連結された磁極ユニット２３と、該磁
極ユニットに間隔をもって配置された少なくとも一対の
磁極３、４と、一対の磁極間に挿入され磁気ブラシ５を
形成する磁気研磨材と、該磁気ブラシ中に保持装置によ
り保持される非磁性体からなるワーク１と、該ワークの
外面に形成された狭幅のスリット１ｆと、前記ワークの
内部に形成された開口部１ｅ又は孔１ｄとを備え、前記
振動発生機構により磁気ブラシに振動を発生させワーク
の表面を加工することを特徴とし、また、請求項２記載
の発明は、請求項１において、上記振動発生機構２２
は、電動モータ２１に連結された回転軸２６と、該回転
軸に固定された偏心カム２７と、該偏心カムにベアリン
グ１９を介して装着された作動プレート２８と、該作動
プレートと上記磁極ユニット２３間に連結された摺動ロ
ッド２９とを備えたことを特徴とし、また、請求項３記
載の発明は、請求項１において、上記振動発生機構２２
は、電動モータ２１に連結された回転軸２６と、該回転
軸に固定された偏心カム２７と、該偏心カムの両側にこ
れに当接するように配設された作動ローラ６１と、該作
動ローラを弾性リング５９を介して支持するローラ支持
部材５６とを備え、該ローラ支持部材を磁極ユニット２
３を固定する基台３０に固定したことを特徴とし、ま
た、請求項４記載の発明は、請求項１において、上記振
動発生機構２２は、電動モータ２１に連結された回転軸
２６と、該回転軸に固定された偏心カム７０と、該偏心
カムに形成されたカム溝７０ａと、磁極ユニット２３を
固定する基台３０に回動自在に装着された係合ローラ７
１とを備え、該係合ローラを前記カム溝に係合させたこ
とを特徴とし、また、請求項５記載の発明は、請求項１
において、上記振動発生機構は、電動モータ２１にベル
ト７７を介して連結された偏心ローラ７５と、該偏心ロ
ーラに形成された偏心溝７８と、該偏心溝に嵌合された
回動ピン７９と、該回動ピンを複数のリンク８１、８
２、７４を介して磁極ユニット２３を固定する基台３０
に連結したことを特徴とし、また、請求項６記載の発明
は、請求項１〜５において、上記振動発生機構２２及び
磁極ユニット２３は架台５０上に設置され、該架台に振
動を付与させることを特徴とし、また、請求項７記載の
発明は、請求項１〜６において、上記保持装置はロボッ
ト２０であり、上記ワーク基部１ａは支持軸孔１ｃを有
し、該支持軸孔にロボット２０の保持用フィンガー３５
を挿入しワークを保持したことを特徴とし、また、請求
項８記載の発明は、請求項１〜７において、上記磁気研
磨材が弱磁性体のピンであることを特徴とし、また、請
求項９記載の発明は、請求項１〜８において、上記ワー
ク１に高周波振動を付与することを特徴とし、また、請
求項１０記載の発明は、請求項１〜９において、上記ロ
ボット２０によりワーク１の加工面を磁極により生じる
磁界の方向に対して三次元的に変化させたことを特徴と
し、また、請求項１１記載の発明は、請求項１〜１０に
おいて、上記磁極３、４の外周に非磁性体からなる磁気
ブラシ規制板４１を設けたことを特徴とし、また、請求
項１２記載の発明は、請求項１〜１１において、上記対
向する磁極の内面に不均一磁場３ａ、３ｂ、３ｃ、４
ａ、４ｂ、１３ａ、１３ｂ、１４ａ、１４ｂを形成した
ことを特徴とし、また、請求項１３記載の発明は、請求
項１２において、一対の磁極３、４は、それぞれ矩形状
の２つの磁極３ａと３ｂ、４ａと４ｂを積層して構成さ
れ、一方の磁極３ａ、４ａに対して他方の磁極３ｂ、４
ｂを４５度回転させた位置で固定したことを特徴とし、
また、請求項１４記載の発明は、請求項１〜１３におい
て、上記磁極３、４間に洗浄若しくは加工用液体噴射ノ
ズル１６を配設したことを特徴とする。なお、上記構成
に付加した番号は、本発明の理解を容易にするために図
面と対比させるもので、これにより本発明が何ら限定さ
れるものではない。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は、本発明の磁力線ビーム
加工装置の１実施形態を示す全体斜視図である。図１に
おいて、本発明の磁力線ビーム加工装置は、概略、ロボ
ット２０と、架台５０上に配設された電動モータ２１、
振動発生機構２２、複数（図では３台）の磁極ユニット
２３及び粗研磨用砥粒入りナイロンブラシ群２４とから
構成される。前記振動発生機構２２は、架台５０上に固
定された軸受２５、２５と、軸受２５、２５間に回転自
在に枢支され、電動モータ２１に連結された回転軸２６
と、回転軸２６に固定された複数の偏心カム２７と、偏
心カム２７にベアリング１９を介して装着された作動プ
レート２８と、この作動プレート２８に連結された摺動
ロッド２９を備え、回転軸２６の回転を偏心カム２７に
より摺動ロッド２９の往復運動に変換するようにしてい
る。

【００１０】前記各磁極ユニット２３は、基台３０と、
基台３０上に対向するように配設された一対の磁極支持
部材３１と、この磁極支持部材３１に対向するように配
置された異なる極性を持つ磁極３（例えばＮ極）と磁極
４（例えばＳ極）とを備えている。基台３０は、架台５
０上に設けられたレール３２上に摺動自在に配設される
とともに、各摺動ロッド２９に連結され、これにより磁
極ユニット２３が振動される構成になっている。磁極
３、４間には弱磁性体のピンからなる磁気研磨材が挿入
され、これにより磁極３と磁極４の間の磁力線そって弱
磁性体からなる磁気研磨材が配列した磁気ブラシ（後
述）を形成する。また、磁極ユニット２３の上部には洗
浄又は加工用液体噴射ノズル１６（図では１つしか示し
ていないが各磁極ユニットに配設される）が配設され、
磁極ユニット２３内にオイルや液体を噴射し研磨された
切り粉を磁気ブラシ中から除去するようにしている。

【００１１】前記ロボット２０の回動アーム３３にはワ
ーク保持指３５が回動可能に装着され、このワーク保持
指３５にワーク１（例えば、図１４のヘッドアーム部材
１）を着脱可能に装着、保持できるようにしている。ま
た、回動アーム３３の基部には超音波又は高周波による
振動装置３６が装着されている。なお、図ではロボット
２０が１台しか示していないが磁極ユニット２３の周囲
に磁極ユニットの数だけ複数台設置される。なお、本発
明においては必ずしもロボットを用いる必要はなく、ワ
ーク１を着脱自在に保持する保持装置を採用するように
してもよい。

【００１２】図２は、図１の振動発生機構２２を示す断
面図である。回転軸２６には偏心カム２７が固定され、
この偏心カム２７にベアリング１９のインナレース１９
ａが固定され、また、作動プレート２８にベアリング１
９のアウタレース１９ｂがネジ１８により固定され、回
転軸２６の回転を偏心カム２７、ベアリング１９により
摺動ロッド２９の往復運動に変換するようにしている。
しかしながら、本発明においては、偏心カム２７により
摺動ロッド２９の往復運動に変換するようにしているた
め、摺動ロッド２９の先端部の往復運動は、Ｘ方向の水
平振動成分に加えて、Ｚ方向の微小な垂直振動成分とＹ
方向（図１）の微小な水平振動成分を有するする三次元
振動となる。なお、これに加えて架台５０を水平振動或
は三次元振動させるようにしてもよい。

【００１３】図３は、図１の磁極ユニット２３を示し、
図３（Ａ）は断面図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）のＢ−Ｂ
線に沿って矢印方向に見た断面図である。基台３０には
枢支軸３７ａを有するブラケット３７が設けられ、この
枢支軸３７ａに回動ピン３８が枢支され、回動ピン３８
に摺動ロッド２９が連結され、前述した摺動ロッド２９
の先端部の楕円運動を許容可能に構成している。基台３
０の下面にはガイド部材３９が設けられ、このガイド部
材３９をベアリング１７を介してレール３２上に摺動自
在に載置している。対向する磁極支持部材３１にはヨー
ク４０、磁極３、４が固定される。

【００１４】磁極３、４はそれぞれ矩形状の２つの磁極
３ａと３ｂ、４ａと４ｂを積層して構成され、図３
（Ｂ）に示すように一方の磁極３ａに対して他方の磁極
３ｂを４５度回転させた位置で固定している。磁極４
ａ、４ｂについても同様であり、そして対向する磁極３
ａと４ａおよび３ｂと４ｂとが異なる極性（Ｎ極とＳ
極）を持つように配置している。ヨーク４０、磁極３、
４の外周には磁気ブラシ規制板４１が固定されている。
この磁気ブラシ規制板４１は非磁性体で製作され、ヨー
ク４０、磁極３、４の外周を覆う外周部４１ａと、この
外周部から上下左右に広がる規制部４１ｂが形成されて
いる。この規制部４１ｂは、対向する磁極３、４間に挿
入された磁気研磨材が反対側方向に回り込むのを防止す
るとともに、磁気ブラシが磁極３、４間の外方に広がる
のを防止し、磁気ブラシが常時磁極３、４間に整列する
ようにしている。なお、規制部４１ｂを略半球状ないし
椀状にすれば更に磁気ブラシの規制効果が向上される。

【００１５】図４は、図１のロボット２０の保持用フィ
ンガー３５を示し、図４（Ａ）、（Ｂ）は軸方向断面
図、図４（Ｃ）は図４（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿って矢印方
向に見た断面図である。

【００１６】図４（Ａ）において、保持用フィンガー３
５は、エアシリンダ５１に固定されている。保持用フィ
ンガー３５内には、エアシリンダ５１のピストン５２に
連結された保持ロッド５３が摺動自在に嵌合されてい
る。保持用フィンガー３５の先端部には円錐形状の係止
部３５ａが形成され、また、保持ロッド５３の先端部に
は逆円錐形状の押圧部５３ａが固定されている。保持ロ
ッド５３の周囲には、係止部３５ａと押圧部５３ａの間
に断面台形状の楔部材５４ａ、５４ｂ、５４ｃが嵌合さ
れ、弾性リング５５により連結されている。

【００１７】図４（Ａ）は保持用フィンガー３５の保持
ロッド５３をワーク１の支持孔１ｃに挿入した状態を示
し、この状態からエアシリンダ５１を駆動してピストン
５２を図４（Ｂ）の矢印に示す如く後退させると、楔部
材５４ａ〜５４ｃの上端が保持ロッド５３の押圧部５３
ａにより押圧され、楔部材５４ａ〜５４ｃの下端は保持
用フィンガー３５の係止部３５ａに沿って嵌合されてい
くため、楔部材５４ａ〜５４ｃが弾性リング５５に抗し
てワーク１に向かって押し付けられ、保持用フィンガー
３５にワーク１が保持される。ワーク１を保持した保持
用フィンガー３５は、ロボット２０により三次元方向に
移動、回転運動を行うことができる。

【００１８】図５および図６は、上記磁力線ビーム加工
装置を用いた加工方法を説明するための模式図であり、
図５（Ａ）は平面図、図５（Ｂ）及び図６（Ａ）は、図
５（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿って矢印方向に見た断面図、図
６（Ｂ）は図６（Ａ）の拡大断面図である。

【００１９】本実施形態は、図１４で説明したハードデ
ィスクドライブのキャリッジ部材１の研磨及びバリ取り
を行う例である。図１４で説明したように、ワーク１
は、ワーク基部１ａと、この基部１ａから平行に延びる
ように櫛状に切削加工された複数のプレート部（アーム
部）１ｂとを備え、プレート部１ｂ間に多数のスリット
１ｆが形成された構造になっている。前記基部１ａには
ワーク１を支持する支持軸孔１ｃが形成されるととも
に、平面視で略三角形状に形成された各プレート部１ｂ
の先端部には、磁気ヘッドを取りつけるためのヘッド取
付孔１ｄと、プレート部１ｂの軽量化のための開口１ｅ
とがいずれも切削加工により形成されている。

【００２０】図５（Ａ）に示すように、磁極３（Ｎ極）
と磁極４（Ｓ極）とを対向配置し、この間に磁気研磨材
を挿入する。磁気研磨材としては、比透磁率が１．１〜
１００の弱磁性体のもの、例えば、弱磁性体のステンレ
ス（例えば、１８−８ステンレスを冷間加工したもの）
からなり、長さが０．５〜１．５ｍｍの円筒形状或は多
角形状の角柱のものを用いる。これは、アルミ部品の表
面に突き刺さったり表面を傷つけることがなく、かつ、
磁極間に適度の保持力をもって磁気ブラシを保持させる
ことにより、ワーク内部の加工すべき箇所に狙いを定め
てワークの表面のバリ取り、研磨及び洗浄を高精度かつ
効率良く行うためであり、また、磁気研磨材が磁極の裏
側に回り込むの防止するためである。そして、磁極３と
磁極４の間には図５（Ｂ）に示すように磁力線に沿って
磁気研磨材が配列した磁気ブラシ５が形成される。

【００２１】ワーク１は、先ず、図５（Ａ）に示すよう
に、その支持軸孔１ｃ内にロボットの把持アーム２０ａ
が挿入され、強固にロボットに支持され、このワーク１
のプレート部１ｂ先端を前記一対の磁極３、４の間にＹ
方向から水平に挿入し、ワーク１を磁気ブラシ５内に差
し込んで磁極３、４の中間に垂直姿勢で保持する。この
ようにワーク１のプレート部１ｂ先端を磁極３、４の間
にＹ方向から挿入する理由は、プレート部１ｂの側面を
挿入すると磁極３、４間の幅を大きくしなければなら
ず、磁極３、４間の磁界を有効に利用できないためであ
る。

【００２２】そして、磁極３、４に例えばＸ方向ストロ
ークが７ｍｍ、Ｙ、Ｚ方向ストロークが１ｍｍ、振動周
波数が４０Ｈｚの振動を加える。図５（Ｂ）の姿勢で磁
極３、４にＸ、Ｙ、Ｚ方向の振動を加えると、磁気ブラ
シ５が同様にＸ、Ｙ、Ｚ方向に振動し、ワーク１に対し
て磁気研磨材が接触し、主としてプレート部１ｂの表裏
の表面と、プレート部１ｂの外周縁に形成された角部が
研磨される。この方法は、主としてワーク１の複数のプ
レート部１ｂの表面を研磨する際に用いることができる
が、磁気ブラシがプレート部１ｂ面に対して平行なため
加工力が弱いので、ワーク１におけるプレート部１ｂの
内面奥部の角部のバリ取りを高精度に行う場合には、概
略以下のようにして研磨を行う。

【００２３】まず、図５（Ｂ）に示す姿勢で磁極３、４
を水平及び垂直振動させ、所定時間加工した後、図６
（Ａ）に示すように、ワーク１の挿入方向に延びる軸線
を中心にしてワーク１を約１５度程度反時計周りＣ方向
に回転させて傾けた状態とし、この姿勢のまま水平及び
垂直振動を加え、上記と同様に加工を行う。図中一点鎖
線で示す垂直姿勢での加工工程と、当該傾斜姿勢での加
工工程の時間はそれぞれワーク１の形状や角部の処理に
対する要求水準により適宜決定される。さらに、図６
（Ａ）の傾斜姿勢での加工を所定時間行った後、上記と
同様の軸線を中心にして今度は時計周りＤ方向に回転さ
せ、垂直姿勢に対して約１５度ワーク１を逆側に傾斜さ
せた状態とし、この姿勢で加工を行う。

【００２４】ワーク１のプレート部１ｂには、その外周
縁に形成された２つの角部２ａ、２ｂと開口部１ｅの内
周縁に形成された２つの角部２ｃ、２ｄとを備えてい
る。図５（Ｂ）に示す姿勢では、プレート部１ｂの面内
から他のプレート部に向かって（すなわち、プレート部
１ｂの表面と交差する方向に向かって）突出するバリを
除去することはできるが、プレート部２の外周縁から外
側へ突出するバリ及び開口部１ｅの内周縁から内側へ突
出するバリ（すなわち、プレート部１ｂの表面と平行な
方向に突出するバリ）を除去することは困難である。

【００２５】図６（Ａ）に示す姿勢で行われる加工で
は、磁力線の延長方向に配列された磁気ブラシ５が角部
２ａ及び２ｄに接触するようになり、角部２ａに存在す
る外周縁から外側に突出するバリ、角部２ｄに存在する
内周縁から内側に突出するバリを除去できるとともに、
角部２ａ及び２ｄを所定の形状に加工する（角部の面取
りまたはＲ面付け加工等を行う）ことができる。また、
図６（Ａ）でワーク１をＤ方向逆側に傾斜させた状態で
は、磁束方向に配列された磁気研磨材の鎖が角部２ｂ及
び２ｃに接触するようになり、角部２ｂに存在する外周
縁から外側に突出するバリ、角部２ｃに存在する外周縁
から内側に突出するバリを除去できるとともに、角部２
ｂ及び２ｃを所定の形状に加工することができる。

【００２６】図６（Ｂ）に示すように、プレート部１ｂ
（スリット面）と磁力線のなす傾き角θは、磁気研磨材
５ａとワークが衝突する角度を決定するため、本加工法
においては極めて重要なファクターである。角度θが過
大であると、磁気研磨材のワークへの作用力が増大して
加工力が大きくなる反面、剛性の弱いワークの形状精度
が悪くなり、許容値を逸脱させ不良率を高める。この角
度θの大きさは、相対運動の振動振幅の値が相互に関係
する。θが大きくても振幅がかなり低い値であればワー
クの低剛性による形状精度の劣化はある値に抑えられ
る。

【００２７】ワークがハードディスクドライブのキャリ
ッジ部材の場合には、磁気研磨剤５ａの選択が重要であ
る。キャリッジ部材には磁性粉や研磨剤が残留してはな
らないという厳しい条件が要求されるからである。従っ
て、磁気研磨剤５ａはワークに突き刺さって残留しやす
い形状であってはならず、ピン形状でエッジがシャープ
な磁性ピンが好ましい。この磁性ピンは図６（Ｂ）に示
すように、磁力線の作用により長軸方向が磁力線方向を
向くように磁力を受けて加工に関与し、ピン端面エッジ
の切れ刃は磁力を受けて常に一定方向に向いて加工作用
する。

【００２８】ワーク１は非磁性体であるため、ワーク１
を傾斜させても磁力線はワーク１を自由に透過するた
め、複雑な三次元構造の精密部品の表面に形成された多
数の角部を一度に処理することができ、加工の自動化も
含めて容易である。特に、開口部や孔等のワークの内側
の部位に対して効率良く処理でき、例えばハードディス
クの性能及び品質を向上させることができるとともに、
製造加工コストを抑制することができる。

【００２９】図７は、加工方法の他の例を示し、この場
合には、ワーク１のプレート部１ｂの表面を磁力線の方
向とほぼ直交させた状態としている。非磁性体のワーク
１には磁力線が透過するため、磁極３と４との間の磁界
内に保持された磁気ブラシ５中にワーク１のプレート部
１ｂを差し込んでも、磁力線に沿って保持された磁気ブ
ラシ５の状態はほとんど変化せず、磁気ブラシ中に含ま
れる磁気研磨材は、各プレート部１ｂの間に侵入し、ほ
とんど元の状態に再配列される。この状態で磁極３、４
をプレート部１ｂの表面と平行な方向に振動させ、或は
前述の如くワーク１を傾斜させると、磁気研磨材はプレ
ート部１ｂの表面に対して擦られ、プレート部１ｂの表
面や角部を研磨することができる。

【００３０】ここで、磁気研磨材は、配置されている場
所における磁界の状態に応じてプレート部１ｂの表面に
対して所定の加工圧で接触し、この加工圧によって研磨
が行われる。磁界中において磁気研磨材に加わる磁気力
（加工力）は、Ｆｘ＝ｋＤ³χＨ（δＨ／δｘ） …（１）Ｆｙ＝ｋＤ³χＨ（δＨ／δｙ）Ｆｚ＝ｋＤ³χＨ（δＨ／δｚ）によって表される。ここで、Ｆｘ、Ｆｙ、Ｆｚはｘ、
ｙ、ｚ方向の加工力、ｋは定数、Ｄは研磨材の粒径、χ
は研磨剤の磁化率、Ｈは磁界強度、（δＨ／δｘ）、
（δＨ／δｙ）、（δＨ／δｚ）は磁界強度のｘ、ｙ、
ｚ方向の変化率である。この式によれば、磁気研磨剤に
加わる磁気力は、磁気研磨材の容積に比例し、磁気研磨
材の磁化率に比例し、磁界強度及びその変化率に比例し
て大きくなることが判る。

【００３１】従って、図６（Ｂ）に示した、磁力線方向
と異なるピン軸方向（角度θ）の磁性ピン５ａには、次
式のモーメントＭが作用し、磁力線方向に常に向かおう
とする。

【００３２】Ｍ＝Ｖ・χ・Ｈ²・Ｓｉｎθ この磁性ピンに働くモーメントＭによって、磁性ピンの
方向は加工中、常に磁力線方向に向かおうとしてワーク
表面に対してエッジに形成させた鋭利な切れ刃を作用さ
せることができる。このモーメント力はピンの体積Ｖ、
すなわちピンの直径と長さに関係するため、ピンの形
状、寸法の規定は重要な因子とな。

【００３３】図８は、粒状の磁気研磨材５ａとプレート
部１ｂの表面との作用関係を示すものである。磁気研磨
材５ａは、プレート部１ｂの表面に接触し、磁気研磨材
５ａを図示下方に移動させた場合、図示の加工圧Ｆｘと
保持力Ｆｙによってプレート部１ｂの表面を研磨する。
加工圧Ｆｘは研磨する際に必要な磁気研磨材の圧力であ
り、保持力Ｆｙは磁気研磨材５ａを研磨抵抗に打ち勝っ
て磁気研磨材５ａを保持させて相対運動を生じさせる保
持力である。プレート部１ｂの表面を研磨するには、こ
れらの加工圧Ｆｘ及び保持力Ｆｙの双方が必要であり、
いずれか一方がかけても研磨効果は得られない。すなわ
ち、加工圧Ｆｘが存在しないと保持力Ｆｙが存在しても
プレート部１ｂの表面に対する研磨力が得られず、一
方、保持力Ｆｙが存在しないと加工圧Ｆｘが存在しても
磁気研磨材５ａとワークとの間に相対運動が生ぜず、や
はり研磨はできない。

【００３４】図示の加工圧Ｆｘと保持力Ｆｙはともに上
記（１）式にしたがって発生するものであるため、磁気
研磨材５ａの粒径及び磁化率を一定とすると、上記の磁
界中における磁界強度とその変化率とによって各場所に
おける加工圧Ｆｘ及び保持力Ｆｙが定まる。磁界強度は
磁極３、４に接近するほど大きくなるが、上記実施形態
のように磁極同士が比較的接近した状態で対向配置され
ている場合には、プレート部１ｂの場所によってもそれ
程大きな差は生じない。一方、磁界強度の変化率は、磁
極近傍において比較的大きな磁力線に沿った方向の変化
率が存在し、また、図６に示す磁気ブラシ５を保持して
いる磁極間空間の上下外周部において大きな磁界強度の
変化率が存在する。さらに、磁極間空間の中央部は比較
的磁界強度の変化率が小さい。このような状況にあるた
め、実質的な研磨作用は磁界強度の変化率の分布に基づ
いて磁極間空間の外周側においてより強く発生する。

【００３５】したがって、上記図５（Ｂ）に示す例で
は、磁力線の方向とプレート部の表面とが基本的にほぼ
平行な状態で処理を行っているが、この場合には図８に
示す保持力Ｆｙを十分に確保することが困難である。図
７に示す姿勢で磁極３、４を上下方向に振動させると、
特に磁気研磨材の保持領域の上部及び下部近傍で磁界の
強度変化が大きいため、保持力Ｆｙを十分に確保するこ
とができる。

【００３６】式（１）で説明したように、磁性体に加わ
るｘ方向の磁気力は、磁界強度及びそのｘ方向の変化率
に比例して大きくなる。そのために、本実施形態では、
図３で説明したように、磁極３、４はそれぞれ矩形状の
２つの磁極３ａと３ｂ、４ａと４ｂを積層して構成さ
れ、図３（Ｂ）に示すように一方の磁極３ａに対して他
方の磁極３ｂを４５度回転させた位置で固定している。
従って、図９に示すように、磁極３ａと４ａの角部同志
および磁極３ｂと４ｂ同志で磁界強度の強い部分が多数
形成され、磁極の角部が増大する結果、磁界の中で強弱
をもった不均一磁場（後述）が形成され、弱磁性体の磁
気研磨材を強力に磁界中に保持することができ、加工力
が大となり研磨効率を向上させることができる。

【００３７】図１０には、上記実施形態とは異なる磁極
形状を用いた実施形態を示す。この実施形態において
は、一対の磁極１３、１４の外周に複数の凸部１３ａ、
１３ｂ、１４ａ、１４ｂを設け、磁極１３と１４との間
に形成される磁界について、磁力線の方向に対して直交
する方向（図示上下方向）に磁界強度を変化させてい
る。このため、図１０に示す状態で図示上下方向に磁極
１３、１４を往復動させると、図１１に示すように、磁
気研磨材のワーク１に対する保持力Ｆｙは上記の磁界強
度の変化によって大きくなっているので、抵抗を受けて
も不均一磁場の磁界強度の高い位置に保持されてワーク
表面との間に相対運動を生じ、その結果、研磨効率が向
上する。なお、磁極内に不均一磁場を形成或は増加させ
る方法としては、磁極の形状を図１２に示すように、断
面三角形或は円錐形状に形成し多数の凹凸を設けるよう
にしてもよいし、図１３に示すように、磁極３の中に複
数の非磁極部３ｃを形成するようにしてもよい。

【００３８】図１５〜図１８は、本発明における振動発
生機構の他の実施形態を示し、図１５は全体構成を示す
平面図、図１６は図１５のＡ−Ａ線に沿って矢印方向に
見た断面図、図１７はカムの変形例を示す図、図１８は
作用を説明するための図である。なお、以下の説明で前
記実施形態と同一の構成には同一番号を付けて説明を省
略する。

【００３９】図１５〜図１６において、振動発生機構２
２は、架台５０上に固定された軸受２５、２５と、軸受
２５、２５間に回転自在に枢支され、電動モータ２１に
カップリング２１ａを介して連結された回転軸２６と、
回転軸２６にピン２７ａにより固定された偏心カム２７
を備えている。基台３０の一側に磁極ユニット２３が固
定され、基台３０の他側には一対のローラ支持部材５６
が回転軸２６を挟むように固定されている。ローラ支持
部材５６の軸受部５７には、ウレタンゴム等の弾性リン
グ５９を介して回動軸６０が枢支され、この回動軸６０
には作動ローラ６１が設けられている。そして、偏心カ
ム２７の両側には一対の作動ローラ６１が当接するよう
に配設されている。

【００４０】なお、上記の例では偏心カム２７は円形で
あるが、図１７に示すように、一点鎖線で示す円に対し
て変形曲面を形成させるようにしてもよい。

【００４１】上記構成からなる振動発生機構２２の作用
を図１８をも参照して説明する。図１８（Ａ）の状態
で、偏心カム２７が図示矢印のように回動すると、偏心
カム２７が右側の作動ローラ６１を弾性リング５９に抗
して押圧するため、図（Ｂ）に示すように基台３０は右
方向に移動し、偏心カム２７の回動角度が９０゜を越え
ると、図（Ｃ）に示すように、弾性リング５９の弾性力
により基台３０は左方向に移動する。偏心カム２７の回
動角度が１８０゜を越えると、図（Ｄ）に示すように、
偏心カム２７が左側の作動ローラ６１を弾性リング５９
に抗して押圧するため、基台３０は左方向に移動し、偏
心カム２７の回動角度が２７０゜を越えると、弾性リン
グ５９の弾性力により基台３０は右方向に移動し図
（Ａ）の状態となる。

【００４２】以下、この運動を繰り返して基台３０が図
（Ｅ）に示すように、振動することになる。本実施形態
は、図１の摺動ロッド２９を用いないで、直接、磁極ユ
ニット２３の基台３０を振動させるため、振動機構が簡
単になるとともに、弾性リング５９を介して振動させる
ため振動音を低減させることができる。

【００４３】図１９は、本発明における振動発生機構の
他の実施形態を示し、図（Ａ）は側面図、図（Ｂ）は正
面図である。本実施形態においては、回転軸２６にカム
溝７０ａを有するカム７０を固定するとともに、基台３
０の下面に係合ローラ７１を回動自在に装着し、この係
合ローラをカム溝７０ａに係合させるように構成してい
る。本実施形態においては、回転軸２６及びカム７０が
回動すると、係合ローラ７１は、カム溝７０ａの形状に
沿って移動するため、基台３０は図（Ａ）に示すように
左右に振動することになる。本実施形態によれば、図１
の摺動ロッド２９あるいは図１５のローラ支持部材を用
いないため、振動機構がさらに簡単になる。

【００４４】図２０は、本発明における振動発生機構の
他の実施形態を示す側面図である。架台５０上には、モ
ータ２１、偏心ローラ７５及びハウジング７２が固定さ
れ、ハウジング７２上に一対のリンク７３、７４を介し
て磁極ユニット２３の基台３０が揺動自在に支持されて
いる。モータ２１及び偏心ローラ７５の回転軸２６、７
６にはベルト７７が懸架されている。偏心ローラ７５の
側面には、回転中心に対して偏心する偏心溝７８が形成
され、該偏心溝７８内に回動ピン７９が嵌合されてい
る。ハウジング７２には支持部材８０を介して垂直リン
ク８１が軸８０ａに揺動自在に枢支され、垂直リンク８
１の下端には回動ピン７９が回動自在に枢支され、リン
ク８１の上端には水平リンク８２が回動自在に連結され
ている。

【００４５】本実施形態においては、回転軸２６及び偏
心ローラ７５が回動すると、回動ピン７９は、偏心溝７
８の形状に沿って移動するため、垂直リンク８１は図示
矢印の如く揺動し、この振動は、水平リンク８２、リン
ク７４を介して基台３０に伝達され、基台３０左右に振
動することになる。

【００４６】以上、本発明の実施の形態について説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではなく種々の変
更が可能である。例えば、上記実施形態では、磁極の表
面に種々の角部や凹凸、非磁極部を形成することによっ
て磁界強度を変化させているが、上記のような方法以外
にも種々の方法で不均一磁界を形成することが可能であ
る。例えば、多数の磁極を相互に間隔をおいて配列させ
たり、磁界強度の異なる磁極を配列したり、または磁界
強度の異なる磁極部位を形成したりする方法もある。ま
た、磁極としては電磁ソレノイドの磁極を用いることも
可能であり、この場合には磁界強度を電磁ソレノイドの
電流量によって制御することができる。

【００４７】また、上記各実施形態では、磁極ユニット
２３に二次元又は三次元振動を付与して加工を施してい
るが、ワーク１側に種々の振動を加えることにより、ワ
ーク角部のバリ取りや面取り加工の均一性を更に高める
ことができる。例えばワーク１に回転動作、旋回動作、
首振り動作に加え、ロボット２０側の振動装置３６によ
り微細なストロークの高周波振動を重畳させるようにし
てもよい。一般的には、複雑な動作の方が処理の均一性
や処理効率を向上させる上で好ましい。このようにする
と、反復速度（振動数）を高めると加工量が上がるが広
い範囲を処理したり、処理の均一性を高めるために移動
ストロークを確保することが困難になり、移動ストロー
クを大きくすると、反復速度を高めることが困難になる
という処理装置構成上のジレンマを解決でき、複数種類
の運動を組み合わせることによって処理効率を高めると
ともに、処理の均一性や処理範囲を確保できる。特に研
磨などの処理においては、複数種類の運動の相乗効果を
得て、研磨表面の品質向上を図ることも可能である。

【００４８】また、振動の周波数は、処理効率を挙げる
ためには機構的に可能な範囲である程度高くすることが
望ましい。さらに振動ストロークについては細部まで均
一に処理できるようにするためにワーク角部の形成周期
と同等か、または小さいことが好ましい。

【００４９】また、上記各実施形態においては、一対の
相互に対向する磁極間に磁界を形成しているが、磁界さ
え形成されれば、磁極は必ずしも相互に対向している必
要はなく、また、３以上の任意の数の磁極間に磁界が形
成されていてもよい。

【００５０】なお、上記各実施形態においては、磁気研
磨材を用いたワークの表面研磨やバリ取り、面取り等の
研磨処理を行う場合について説明したが、本発明は研磨
処理に限らず、磁気研磨材によって行うことのできる種
々の表面処理に適用させることができる。例えば、ワー
ク表面に粒状体を衝突させることによって粗面を形成す
るホーニング処理、粒状体に含浸させたり、粒状体の周
りに付着させた洗浄液によってワーク表面を洗浄する洗
浄処理、同様に粒状体に付着させた液をワーク表面に塗
布して行う各種液体の塗布処理等、種々の場合が考えら
れる。

【００５１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１、２記載の発明によれば、外面に狭幅のスリットを有
し内部に開口部又は孔を有するワークが、アルミ、ステ
ンレス、合成樹脂等の非磁性材料であれば、磁力線はワ
ークを自由に透過するため、ワークの形状、構造がどの
ようなものであってもほとんど影響されずに処理を行う
ことができ、また、磁気研磨材に振動を発生させワーク
の表面を加工するため、高精度かつ効率良くバリ取り、
研磨、洗浄等の表面加工を行うことができ、しかも、バ
リ取りの自動化を容易に行うことができる。

【００５２】また、請求項３〜５記載の発明によれば、
振動機構を簡素化することができるとともに振動音を低
減させることができ、請求項６記載の発明によれば、よ
り複雑な振動を与えることができる。

【００５３】また、請求項７記載の発明によれば、予め
ワークに形成されている支持孔を利用してロボットによ
りワークを強固に保持することができる。

【００５４】また、請求項８記載の発明によれば、磁気
研磨材として弱磁性体のピンを用いるため、精密部品の
表面精度に影響を与えることなく、バリ取り、研磨、洗
浄を行うことができるとともに、磁気研磨材が磁極の裏
側に回り込むの防止することができる。また、弱磁性体
の磁気研磨材側を振動させるため、ワーク内部の加工す
べき箇所に狙いを定めてワークの表面のバリ取り、研磨
及び洗浄を高精度かつ効率良く行うことができる。

【００５５】また、請求項９記載の発明によれば、ワー
クに高周波振動を付与することにより、より高精度にワ
ークの表面のバリ取り、研磨及び洗浄等の加工を行うこ
とができる。

【００５６】また、請求項１０記載の発明によれば、ワ
ークの加工面を磁極により生じる磁界の方向に対して三
次元的に変化させるため、手や通常の工具の届かない箇
所、例えばスリット内部、孔の内部、平行に配設された
プレート表面等に対してコストをかけずに容易に加工を
行うことが可能である。

【００５７】また、請求項１１記載の発明によれば、磁
気ブラシ規制部材により、対向する磁極間に挿入された
磁気研磨材が反対側方向に回り込むのを防止し、磁気ブ
ラシが常に磁極間に整列させることができる。

【００５８】また、請求項１２、１３記載の発明によれ
ば、磁力線の方向に対して直交する方向に磁界強度を変
化させるため、加工効率を向上させることができる。

【００５９】また、請求項１４記載の発明によれば、研
磨されたワークの切り粉がオイルや液体により洗浄除去
されるため、磁気ブラシを常に安定した状態に維持する
ことができる。

【００６０】以上のように、通常の加工や処理において
は、切削用バイトや研磨工具等を何らかに固定して作業
を行う必要があるが、本発明ではこれらに代わる弱磁性
体からなる磁気研磨材を磁界内に磁気的に保持している
ため、固定やセットが不要であり、このように本発明の
磁力線ビーム加工装置は、近年ますます複雑化、小型化
している精密部品の表面加工又は表面処理を行う方法と
して極めて有効なものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁力線ビーム加工装置の１実施形態を
示す全体斜視図である。

【図２】図１の振動発生機構を示す断面図である。

【図３】図１の磁極ユニットを示し、図３（Ａ）は断面
図、図３（Ｂ）は図３（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿って矢印方
向に見た断面図である。

【図４】図１のロボット２０の保持用フィンガー３５を
示し、図４（Ａ）、（Ｂ）は軸方向断面図、図４（Ｃ）
は図４（Ｂ）のＣ−Ｃ線に沿って矢印方向に見た断面図
である。

【図５】本発明の磁力線ビーム加工装置を用いた加工方
法を説明するための模式図であり、図５（Ａ）は平面
図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿って矢印方
向に見た断面図である。

【図６】図６（Ａ）は図５に続く加工方法を説明するた
めの図５（Ｂ）と同様の断面図、図６（Ｂ）は図６
（Ａ）の一部拡大断面図である。

【図７】本発明による磁気加工方法の他の例を説明する
ための模式図である。

【図８】本発明におけるワーク表面と磁気研磨材との作
用を説明するための図である。

【図９】図３の実施形態の磁界強度の変化を示す模式図
である。

【図１０】本発明の他の実施形態を示す模式図である。

【図１１】図１０の実施形態におけるワーク表面と磁気
研磨材との作用を説明するための図である。

【図１２】本発明の他の実施形態を示す磁極の模式図で
ある。

【図１３】本発明の他の実施形態を示す磁極の模式図で
ある。

【図１４】本発明が適用されるワークの１例を示す斜視
図である。

【図１５】本発明における振動発生機構の他の実施形態
であり、全体構成を示す平面図である。

【図１６】図１５のＡ−Ａ線に沿って矢印方向に見た断
面図である。

【図１７】図１６のカムの変形例を示す図である。

【図１８】図１５〜図１６の実施形態の作用を説明する
ための図である。

【図１９】本発明における振動発生機構の他の実施形態
を示し、図（Ａ）は側面図、図（Ｂ）は正面図である。

【図２０】本発明における振動発生機構の他の実施形態
を示す側面図である。

【符号の説明】

１…キャリッジ部材（ワーク）、１ｃ…支持軸孔、１ｄ
…取付孔１ｅ…開口部、１ｆ…スリット２ａ〜２ｄ…角部３、３ａ、３ｂ、４、４ａ、４ｂ、１３、１４…磁極５…磁気ブラシ１６…洗浄若しくは加工用液体噴射ノズル１９…ベアリング２０…ロボット２１…電動モータ２２…振動発生機構２３…磁極ユニット２６…回転軸２７、７０…偏心カム、７０ａ…カム溝２８…作動プレート２９…摺動ロッド３０…基台３５…保持用フィンガー４１…磁気ブラシ規制板５０…架台５６…ローラ保持部材５９…弾性リング６１…作動ローラ７１…係合ローラ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】振動発生機構に連結された磁極ユニット
と、該磁極ユニットに間隔をもって配置された少なくと
も一対の磁極と、一対の磁極間に挿入され磁気ブラシを
形成する磁気研磨材と、該磁気ブラシ中に保持装置によ
り保持される非磁性体からなるワークと、該ワークの外
面に形成された狭幅のスリットとを備え、前記振動発生
機構により磁気ブラシに振動を発生させワークの表面を
加工することを特徴とする磁力線ビーム加工装置。
【請求項２】上記振動発生機構は、電動モータに連結さ
れた回転軸と、該回転軸に固定された偏心カムと、該偏
心カムにベアリングを介して装着された作動プレート
と、該作動プレートと上記磁極ユニット間に連結された
摺動ロッドとを備えたことを特徴とする請求項１記載の
磁力線ビーム加工装置。
【請求項３】上記振動発生機構は、電動モータに連結さ
れた回転軸と、該回転軸に固定された偏心カムと、該偏
心カムの両側にこれに当接するように配設された作動ロ
ーラと、該作動ローラを弾性リングを介して支持するロ
ーラ支持部材とを備え、該ローラ支持部材を磁極ユニッ
トを固定する基台に固定したことを特徴とする請求項１
記載の磁力線ビーム加工装置。
【請求項４】上記振動発生機構は、電動モータに連結さ
れた回転軸と、該回転軸に固定された偏心カムと、該偏
心カムに形成されたカム溝と、磁極ユニットを固定する
基台に回動自在に装着された係合ローラとを備え、該係
合ローラを前記カム溝に係合させたことを特徴とする請
求項１記載の磁力線ビーム加工装置。
【請求項５】上記振動発生機構は、電動モータにベルト
を介して連結された偏心ローラと、該偏心ローラに形成
された偏心溝と、該偏心溝に嵌合された回動ピンと、該
回動ピンを複数のリンクを介して磁極ユニットを固定す
る基台に連結したことを特徴とする請求項１記載の磁力
線ビーム加工装置。
【請求項６】上記振動発生機構及び磁極ユニットは架台
上に設置され、該架台に振動を付与させることを特徴と
する請求項１ないし５のいずれかに記載の磁力線ビーム
加工装置。
【請求項７】上記保持装置はロボットであり、上記ワー
クは支持軸孔を有し、該支持軸孔にロボットの保持用フ
ィンガーを挿入しワークを保持したことを特徴とする請
求項１ないし６のいずれか記載の磁力線ビーム加工装
置。
【請求項８】上記磁気研磨材が弱磁性体のピンであるこ
とを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の磁
力線ビーム加工装置。
【請求項９】上記ワークに高周波振動を付与することを
特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の磁力線
ビーム加工装置。
【請求項１０】上記ロボットによりワークの加工面を磁
極により生じる磁界の方向に対して三次元的に変化させ
たことを特徴とする請求項７ないし９のいずれかに記載
の磁力線ビーム加工装置。
【請求項１１】上記磁極の外周に非磁性体からなる磁気
ブラシ規制板を設けたことを特徴とする請求項１ないし
１０のいずれかに記載の磁力線ビーム加工装置。
【請求項１２】上記対向する磁極の内面に不均一磁場を
形成したことを特徴とする請求項１ないし１１のいずれ
かに記載の磁力線ビーム加工装置。
【請求項１３】一対の磁極は、それぞれ矩形状の２つの
磁極を積層して構成され、一方の磁極に対して他方の磁
極を４５度回転させた位置で固定したことを特徴とする
請求項１２記載の磁力線ビーム加工装置。
【請求項１４】上記磁極間に洗浄若しくは加工用液体噴
射ノズルを配設したことを特徴とする請求項１ないし１
３のいずれかに記載の磁力線ビーム加工装置。