JPH118426A - レーザ発振器の制御装置 - Google Patents
レーザ発振器の制御装置Info
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- JPH118426A JPH118426A JP16005797A JP16005797A JPH118426A JP H118426 A JPH118426 A JP H118426A JP 16005797 A JP16005797 A JP 16005797A JP 16005797 A JP16005797 A JP 16005797A JP H118426 A JPH118426 A JP H118426A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 レーザ共振器内のレーザガス圧のリークを自
動的にチェックして、レーザ発振器の異常を事前に予知
すると共に異常項目を予測できるようにする。 【解決手段】 レーザ共振器３のレーザガス圧を圧力計
５により測定されたレーザガス圧を入力せしめる圧力入
力部１１と、レーザ発振器１を停止した後真空引きした
レーザ共振器内のレーザガス圧を圧力計で測定し、一時
的に時刻と共に保存しておくテンポラリメモリ１３と、
次のレーザ発振器の起動の直前にレーザ共振器内のレー
ザガス圧を圧力計で測定し、この実際のレーザガス圧と
時刻とテンポラリメモリのレーザガス圧と時刻を基にし
てリーク率を演算処理するリーク率演算処理部１５と、
予めリーク率規定値を記憶せしめておくリーク率規定値
メモリ１９と、リーク率演算処理部で演算処理された実
際のリーク率とリーク率規定値とを比較演算するリーク
率比較判断部１７と、表示装置と、を備えている。
動的にチェックして、レーザ発振器の異常を事前に予知
すると共に異常項目を予測できるようにする。 【解決手段】 レーザ共振器３のレーザガス圧を圧力計
５により測定されたレーザガス圧を入力せしめる圧力入
力部１１と、レーザ発振器１を停止した後真空引きした
レーザ共振器内のレーザガス圧を圧力計で測定し、一時
的に時刻と共に保存しておくテンポラリメモリ１３と、
次のレーザ発振器の起動の直前にレーザ共振器内のレー
ザガス圧を圧力計で測定し、この実際のレーザガス圧と
時刻とテンポラリメモリのレーザガス圧と時刻を基にし
てリーク率を演算処理するリーク率演算処理部１５と、
予めリーク率規定値を記憶せしめておくリーク率規定値
メモリ１９と、リーク率演算処理部で演算処理された実
際のリーク率とリーク率規定値とを比較演算するリーク
率比較判断部１７と、表示装置と、を備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ発振器の
制御装置に係り、更に詳細にはレーザ発振器におけるレ
ーザ共振器内のレーザガス圧のリークを測定し自動的に
リーク率などを算出し、事前に異常を予知できるように
したレーザ発振器の制御装置に関する。
制御装置に係り、更に詳細にはレーザ発振器におけるレ
ーザ共振器内のレーザガス圧のリークを測定し自動的に
リーク率などを算出し、事前に異常を予知できるように
したレーザ発振器の制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ発振器におけるレーザ共振
器内のレーザガス圧のリークを、作業者がチェックして
リーク率を計算していた。または規定圧力まで真空引き
する時間からリーク率を計算していた。
器内のレーザガス圧のリークを、作業者がチェックして
リーク率を計算していた。または規定圧力まで真空引き
する時間からリーク率を計算していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の作業者がリーク率を算出する手段では、日常行うの
に手間がかかるという問題がある。また、規定圧力まで
真空引きする時間からリーク率を計算する手段では、リ
ーク率の精度が劣るという問題がある。しかも、問題が
発生して初めてチェックすることが多かった。
来の作業者がリーク率を算出する手段では、日常行うの
に手間がかかるという問題がある。また、規定圧力まで
真空引きする時間からリーク率を計算する手段では、リ
ーク率の精度が劣るという問題がある。しかも、問題が
発生して初めてチェックすることが多かった。
【０００４】この発明の目的は、レーザ発振器における
レーザ共振器内のレーザガス圧のリークを自動的にチェ
ックして、レーザ発振器の異常を事前に予知すると共に
異常項目を予測できるようにしたレーザ発振器の制御装
置を提供することにある。
レーザ共振器内のレーザガス圧のリークを自動的にチェ
ックして、レーザ発振器の異常を事前に予知すると共に
異常項目を予測できるようにしたレーザ発振器の制御装
置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明のレーザ発振器の制御装置
は、レーザ発振器におけるレーザ共振器のレーザガス圧
を測定する圧力計と、この圧力計により測定されたレー
ザガス圧を入力せしめる圧力入力部と、前記レーザ発振
器を停止した後真空引きしたレーザ共振器内のレーザガ
ス圧を前記圧力計で測定し、前記圧力入力部を介して一
時的に時刻と共に保存しておくテンポラリメモリと、次
のレーザ発振器の起動の直前にレーザ共振器内のレーザ
ガス圧を前記圧力計で測定し、前記圧力入力部を経て読
み取った実際のレーザガス圧と時刻と前記テンポラリメ
モリに一時的に保存してあるレーザガス圧と時刻を基に
してリーク率を演算処理するリーク率演算処理部と、予
めリーク率規定値を記憶せしめておくリーク率規定値メ
モリと、前記リーク率演算処理部で演算処理された実際
のリーク率とリーク率規定値メモリに記憶されているリ
ーク率規定値とを比較演算するリーク率比較判断部と、
種々のデータを表示せしめる表示装置と、を備えてなる
ことを特徴とするものである。
に請求項１によるこの発明のレーザ発振器の制御装置
は、レーザ発振器におけるレーザ共振器のレーザガス圧
を測定する圧力計と、この圧力計により測定されたレー
ザガス圧を入力せしめる圧力入力部と、前記レーザ発振
器を停止した後真空引きしたレーザ共振器内のレーザガ
ス圧を前記圧力計で測定し、前記圧力入力部を介して一
時的に時刻と共に保存しておくテンポラリメモリと、次
のレーザ発振器の起動の直前にレーザ共振器内のレーザ
ガス圧を前記圧力計で測定し、前記圧力入力部を経て読
み取った実際のレーザガス圧と時刻と前記テンポラリメ
モリに一時的に保存してあるレーザガス圧と時刻を基に
してリーク率を演算処理するリーク率演算処理部と、予
めリーク率規定値を記憶せしめておくリーク率規定値メ
モリと、前記リーク率演算処理部で演算処理された実際
のリーク率とリーク率規定値メモリに記憶されているリ
ーク率規定値とを比較演算するリーク率比較判断部と、
種々のデータを表示せしめる表示装置と、を備えてなる
ことを特徴とするものである。
【０００６】したがって、レーザ発振器を停止せしめた
後、真空引きにしたレーザ共振器内のレーザガス圧を圧
力計で読み取り、その時の時刻と共にテンポラリメモリ
に一時的に保存する。次のレーザ発振器の起動直前にレ
ーザ共振器内のレーザガス圧を読み取り、その時の時刻
と共にリーク率演算処理部に取り込ませる。リーク率演
算処理部にはテンポラリメモリに保存されているレーザ
ガス圧と時刻とが取り込まれているから、リーク率演算
処理部ではリーク率が演算処理される。
後、真空引きにしたレーザ共振器内のレーザガス圧を圧
力計で読み取り、その時の時刻と共にテンポラリメモリ
に一時的に保存する。次のレーザ発振器の起動直前にレ
ーザ共振器内のレーザガス圧を読み取り、その時の時刻
と共にリーク率演算処理部に取り込ませる。リーク率演
算処理部にはテンポラリメモリに保存されているレーザ
ガス圧と時刻とが取り込まれているから、リーク率演算
処理部ではリーク率が演算処理される。
【０００７】この演算処理された実際のリーク率がリー
ク率比較判断部に取り込まれると共に、リーク率比較判
断部にはすでにリーク率規定値メモリに記憶されている
リーク率規定値が取り込まれているから、実際のリーク
率とリーク率規定値とが比較判断され、実際のリーク率
がリーク率規定値以上であれば、表示装置にメッセージ
が出力される。
ク率比較判断部に取り込まれると共に、リーク率比較判
断部にはすでにリーク率規定値メモリに記憶されている
リーク率規定値が取り込まれているから、実際のリーク
率とリーク率規定値とが比較判断され、実際のリーク率
がリーク率規定値以上であれば、表示装置にメッセージ
が出力される。
【０００８】而して、毎日レーザ共振器内のレーザガス
圧のリーク率を自動的に測定することでレーザ共振器内
のレーザガス圧のリークをチェックでき、しかも使用者
の管理が不要となる。
圧のリーク率を自動的に測定することでレーザ共振器内
のレーザガス圧のリークをチェックでき、しかも使用者
の管理が不要となる。
【０００９】請求項２によるこの発明のレーザ発振器の
制御装置は、請求項１のレーザ発振器の制御装置におい
て、前記リーク率演算処理部で演算処理されたリーク率
と日時とを保存しておくリーク率メモリと、このリーク
率メモリから一定期間内のリーク率を読み込み、日時と
リーク率との関係をグラフにしその傾きを計算するリー
ク率分析部と、予め日時とリーク率との関係のグラフよ
り求めた傾き規定値を記憶しておく傾き規定値メモリ
と、前記リーク率分析部で求めた実際の傾きと傾き規定
値メモリに記憶されている傾き規定値とを比較判断する
傾き比較判断部と、を備えてなることを特徴とするもの
である。
制御装置は、請求項１のレーザ発振器の制御装置におい
て、前記リーク率演算処理部で演算処理されたリーク率
と日時とを保存しておくリーク率メモリと、このリーク
率メモリから一定期間内のリーク率を読み込み、日時と
リーク率との関係をグラフにしその傾きを計算するリー
ク率分析部と、予め日時とリーク率との関係のグラフよ
り求めた傾き規定値を記憶しておく傾き規定値メモリ
と、前記リーク率分析部で求めた実際の傾きと傾き規定
値メモリに記憶されている傾き規定値とを比較判断する
傾き比較判断部と、を備えてなることを特徴とするもの
である。
【００１０】したがって、リーク率演算部処理部で演算
処理された実際のリーク率と日時とがリーク率メモリに
保存される。このリーク率メモリから一定期間内のリー
ク率と日時とがリーク率分析部に取り込まれて日時とリ
ーク率との関係がグラフ化されてその傾きが計算され
る。この計算された実際の傾きと、傾き規定値メモリに
記憶されている傾き規定値とが傾き比較判断部に取り込
まれて比較判断される。実際の傾きが傾き規定値以上で
あればメッセージが、またリーク率規定値に到達する日
付が表示装置に出力される。
処理された実際のリーク率と日時とがリーク率メモリに
保存される。このリーク率メモリから一定期間内のリー
ク率と日時とがリーク率分析部に取り込まれて日時とリ
ーク率との関係がグラフ化されてその傾きが計算され
る。この計算された実際の傾きと、傾き規定値メモリに
記憶されている傾き規定値とが傾き比較判断部に取り込
まれて比較判断される。実際の傾きが傾き規定値以上で
あればメッセージが、またリーク率規定値に到達する日
付が表示装置に出力される。
【００１１】而して、事前に異常日が予測され、故障す
る前に対策が構じられ、レーザ発振器のダウンタイムが
減少される。
る前に対策が構じられ、レーザ発振器のダウンタイムが
減少される。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基いて詳細に説明する。
面に基いて詳細に説明する。
【００１３】図１を参照するに、例えばレーザ加工機に
使用されるレーザ発振器１にはレーザ共振器３が備えら
れており、このレーザ共振器３にはレーザ共振器３内の
レーザガス圧を測定する圧力計５が設けられている。前
記レーザ発振器１を制御せしめる制御装置７が設けられ
ており、この制御装置７の処理部９には、前記圧力計５
で測定されたレーザガス圧を入力せしめる圧力入力部１
１が設けられている。
使用されるレーザ発振器１にはレーザ共振器３が備えら
れており、このレーザ共振器３にはレーザ共振器３内の
レーザガス圧を測定する圧力計５が設けられている。前
記レーザ発振器１を制御せしめる制御装置７が設けられ
ており、この制御装置７の処理部９には、前記圧力計５
で測定されたレーザガス圧を入力せしめる圧力入力部１
１が設けられている。
【００１４】この圧力入力部１１には前記レーザ発振器
１を停止した後真空引きしたレーザ共振器３内のレーザ
ガス圧を圧力計５で測定して一時的に保存しておくテン
ポラリメモリ１３が接続されていると共に、リーク率を
演算処理するリーク率演算処理部１５が接続されてい
る。このリーク率演算処理部１５にはリーク率比較判断
部１７が接続されている。
１を停止した後真空引きしたレーザ共振器３内のレーザ
ガス圧を圧力計５で測定して一時的に保存しておくテン
ポラリメモリ１３が接続されていると共に、リーク率を
演算処理するリーク率演算処理部１５が接続されてい
る。このリーク率演算処理部１５にはリーク率比較判断
部１７が接続されている。
【００１５】このリーク率比較判断部１７には予め設定
したリーク率規定値が記憶されているリーク率規定値メ
モリ１９が接続されていると共に、リーク率を記憶せし
めるリーク率メモリ２１が接続されている。このリーク
率メモリ２１には日時とリーク率との関係をグラフにし
その傾きを計算するリーク率分析部２３が接続されてい
る。そして、このリーク分析部２３には傾き比較判断部
２５が接続されている。この傾き比較判断部２５には傾
き規定値メモリ２７が接続されている。前記リーク率比
較判断部１７と傾き比較判断部２５には表示装置２９が
接続されている。
したリーク率規定値が記憶されているリーク率規定値メ
モリ１９が接続されていると共に、リーク率を記憶せし
めるリーク率メモリ２１が接続されている。このリーク
率メモリ２１には日時とリーク率との関係をグラフにし
その傾きを計算するリーク率分析部２３が接続されてい
る。そして、このリーク分析部２３には傾き比較判断部
２５が接続されている。この傾き比較判断部２５には傾
き規定値メモリ２７が接続されている。前記リーク率比
較判断部１７と傾き比較判断部２５には表示装置２９が
接続されている。
【００１６】上記構成により、図２および図３に示した
フローチャートを基にして動作を説明すると、まず図２
において、ステップＳ１で、レーザ発振器１を停止せし
めた後、真空引きにしたレーザ共振器３内のレーザガス
圧を圧力計５で読み取る。ステップＳ２で圧力計５で読
み取った圧力Ｐ1 ，時刻Ｔ1 を圧力入力部１１を経てテ
ンポラリメモリ１３に保存する。
フローチャートを基にして動作を説明すると、まず図２
において、ステップＳ１で、レーザ発振器１を停止せし
めた後、真空引きにしたレーザ共振器３内のレーザガス
圧を圧力計５で読み取る。ステップＳ２で圧力計５で読
み取った圧力Ｐ1 ，時刻Ｔ1 を圧力入力部１１を経てテ
ンポラリメモリ１３に保存する。
【００１７】ステップＳ３で、次のレーザ発振器１の起
動の直前にレーザ発振器３内のレーザガス圧を圧力計５
で読み取る。ステップＳ４で圧力計５で読み取った圧力
Ｐ2，時刻Ｔ2 を圧力入力部１１を経てリーク率演算処
理部１５に取り込ませると共に、テンポラリメモリ１３
に一時的に保存されている圧力Ｐ1 ，時刻Ｔ1 をリーク
率演算処理部１５に取り込ませる。このリーク率演算処
理部１５ではリーク率Ｌ＝（Ｐ2 −Ｐ1 ）／（Ｔ2 −Ｔ
1 ）でリーク率Ｌが演算処理される。
動の直前にレーザ発振器３内のレーザガス圧を圧力計５
で読み取る。ステップＳ４で圧力計５で読み取った圧力
Ｐ2，時刻Ｔ2 を圧力入力部１１を経てリーク率演算処
理部１５に取り込ませると共に、テンポラリメモリ１３
に一時的に保存されている圧力Ｐ1 ，時刻Ｔ1 をリーク
率演算処理部１５に取り込ませる。このリーク率演算処
理部１５ではリーク率Ｌ＝（Ｐ2 −Ｐ1 ）／（Ｔ2 −Ｔ
1 ）でリーク率Ｌが演算処理される。
【００１８】ステップＳ５ではリーク率演算処理部１５
で演算処理された実際のリーク率Ｌとリーク率規定値メ
モリ１９に記憶されているリーク率規定値とが比較判断
される。そして、ステップＳ６では、実際のリーク率が
リーク率規定値以上であれば表示装置２９に表示され
る。
で演算処理された実際のリーク率Ｌとリーク率規定値メ
モリ１９に記憶されているリーク率規定値とが比較判断
される。そして、ステップＳ６では、実際のリーク率が
リーク率規定値以上であれば表示装置２９に表示され
る。
【００１９】而して、毎日レーザ共振器３内のレーザガ
ス圧のリーク率を自動的に測定することで、レーザ共振
器３内のレーザガス圧のリークをチェックでき、しかも
使用者の管理が不要となる。
ス圧のリーク率を自動的に測定することで、レーザ共振
器３内のレーザガス圧のリークをチェックでき、しかも
使用者の管理が不要となる。
【００２０】図３に示されているように、ステップＳ７
では、前記リーク率演算処理部１７で演算処理された実
際のリーク率Ｌと日時とがリーク率・メモリ２１に保存
された後、ステップＳ８ではリーク率メモリ２１から一
定期間のリーク率をリーク率分析部２３に読み込み、図
４に示されているように、日時とリーク率との関係をグ
ラフにし、その直線から傾きＫが分析される。ステップ
Ｓ９ではリーク率分析部２３で分析された実際の傾きＫ
と、傾き規定値メモリ２７に記憶されている傾き規定値
Ｋ0 とが傾き比較判断部２５に取り込まれて、実際の傾
きＫと傾き規定値Ｋ0 とが比較判断されて、実際の傾き
Ｋが傾き規定値Ｋ0 以上であればメッセージが、またリ
ーク率規定値が到達する日付が表示装置２９に表示され
ることになる。
では、前記リーク率演算処理部１７で演算処理された実
際のリーク率Ｌと日時とがリーク率・メモリ２１に保存
された後、ステップＳ８ではリーク率メモリ２１から一
定期間のリーク率をリーク率分析部２３に読み込み、図
４に示されているように、日時とリーク率との関係をグ
ラフにし、その直線から傾きＫが分析される。ステップ
Ｓ９ではリーク率分析部２３で分析された実際の傾きＫ
と、傾き規定値メモリ２７に記憶されている傾き規定値
Ｋ0 とが傾き比較判断部２５に取り込まれて、実際の傾
きＫと傾き規定値Ｋ0 とが比較判断されて、実際の傾き
Ｋが傾き規定値Ｋ0 以上であればメッセージが、またリ
ーク率規定値が到達する日付が表示装置２９に表示され
ることになる。
【００２１】而して、事前に異常日が予測され、故障す
る前に対策が講じられ、レーザ発振器１のダウンタイム
を減少せしめることができる。しかも、レーザ発振器１
の停止、起動時にリークをチェックするため、誤差を少
なくすることができる。
る前に対策が講じられ、レーザ発振器１のダウンタイム
を減少せしめることができる。しかも、レーザ発振器１
の停止、起動時にリークをチェックするため、誤差を少
なくすることができる。
【００２２】なお、この発明は前述した発明の実施の形
態に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。
態に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。
【００２３】
【発明の効果】以上のごとき発明の実施の形態により理
解されるように、請求項１の発明によれば、レーザ発振
器を停止せしめた後、真空引きにしたレーザ共振器内の
レーザガス圧を圧力計で読み取り、その時の時刻と共に
テンポラリメモリに一時的に保存する。次のレーザ発振
器の起動直前にレーザ共振器内のレーザガス圧を読み取
り、その時の時刻と共にリーク率演算処理部に取り込ま
せる。リーク率演算処理部にはテンポラリメモリに保存
されているレーザガス圧と時刻とが取り込まれているか
ら、リーク率演算処理部ではリーク率が演算処理され
る。
解されるように、請求項１の発明によれば、レーザ発振
器を停止せしめた後、真空引きにしたレーザ共振器内の
レーザガス圧を圧力計で読み取り、その時の時刻と共に
テンポラリメモリに一時的に保存する。次のレーザ発振
器の起動直前にレーザ共振器内のレーザガス圧を読み取
り、その時の時刻と共にリーク率演算処理部に取り込ま
せる。リーク率演算処理部にはテンポラリメモリに保存
されているレーザガス圧と時刻とが取り込まれているか
ら、リーク率演算処理部ではリーク率が演算処理され
る。
【００２４】この演算処理された実際のリーク率がリー
ク率比較判断部に取り込まれると共に、リーク率比較判
断部にはすでにリーク率規定値メモリに記憶されている
リーク率規定値が取り込まれているから、実際のリーク
率とリーク率規定値とが比較判断され、実際のリーク率
がリーク率規定値以上であれば、表示装置にメッセージ
が出力される。
ク率比較判断部に取り込まれると共に、リーク率比較判
断部にはすでにリーク率規定値メモリに記憶されている
リーク率規定値が取り込まれているから、実際のリーク
率とリーク率規定値とが比較判断され、実際のリーク率
がリーク率規定値以上であれば、表示装置にメッセージ
が出力される。
【００２５】而して、毎日レーザ共振器内のレーザガス
圧のリーク率を自動的に測定することでレーザ発振器内
のレーザガス圧のリークをチェックすることができ、し
かも使用者の管理を不要とすることができる。
圧のリーク率を自動的に測定することでレーザ発振器内
のレーザガス圧のリークをチェックすることができ、し
かも使用者の管理を不要とすることができる。
【００２６】請求項２の発明によれば、リーク率演算部
処理部で演算処理された実際のリーク率と日時とがリー
ク率メモリに保存される。このリーク率メモリから一定
期間内のリーク率と日時とがリーク率分析部に取り込ま
れて日時とリーク率との関係がグラフ化されてその傾き
が計算される。この計算された実際の傾きと、傾き規定
値メモリに記憶されている傾き規定値とが傾き比較判断
部に取り込まれて比較判断される。実際の傾きが傾き規
定値以上であればメッセージが、またリーク率規定値に
到達する日付が表示装置に出力される。
処理部で演算処理された実際のリーク率と日時とがリー
ク率メモリに保存される。このリーク率メモリから一定
期間内のリーク率と日時とがリーク率分析部に取り込ま
れて日時とリーク率との関係がグラフ化されてその傾き
が計算される。この計算された実際の傾きと、傾き規定
値メモリに記憶されている傾き規定値とが傾き比較判断
部に取り込まれて比較判断される。実際の傾きが傾き規
定値以上であればメッセージが、またリーク率規定値に
到達する日付が表示装置に出力される。
【００２７】而して、事前に異常日が予測され、故障す
る前に対策が構じられ、レーザ発振器のダウンタイムを
減少せしめることができる。しかも、レーザ発振器の停
止、起動時にリークをチェックするため、誤差を少なく
することができる。
る前に対策が構じられ、レーザ発振器のダウンタイムを
減少せしめることができる。しかも、レーザ発振器の停
止、起動時にリークをチェックするため、誤差を少なく
することができる。
【図１】この発明のレーザ発振器の制御装置における構
成ブロック図である。
成ブロック図である。
【図２】この発明の動作を説明するフローチャートであ
る。
る。
【図３】この発明の動作を説明するフローチャートであ
る。
る。
【図４】リーク率分析部で傾きを分析するための日時と
リーク率との関係を示した図である。
リーク率との関係を示した図である。
１ レーザ発振器 ３ レーザ共振器 ５ 圧力計 ７ 制御装置 １１ 圧力入力部 １３ テンポラリメモリ １５ リーク率演算処理部 １７ リーク率比較判断部 １９ リーク率規定値メモリ ２１ リーク率メモリ ２３ リーク率分析部 ２５ 傾き比較判断部 ２７ 傾き規定値メモリ ２９ 表示装置
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ発振器におけるレーザ共振器のレ
ーザガス圧を測定する圧力計と、この圧力計により測定
されたレーザガス圧を入力せしめる圧力入力部と、前記
レーザ発振器を停止した後真空引きしたレーザ共振器内
のレーザガス圧を前記圧力計で測定し、前記圧力入力部
を介して一時的に時刻と共に保存しておくテンポラリメ
モリと、次のレーザ発振器の起動の直前にレーザ共振器
内のレーザガス圧を前記圧力計で測定し、前記圧力入力
部を経て読み取った実際のレーザガス圧と時刻と前記テ
ンポラリメモリに一時的に保存してあるレーザガス圧と
時刻を基にしてリーク率を演算処理するリーク率演算処
理部と、予めリーク率規定値を記憶せしめておくリーク
率規定値メモリと、前記リーク率演算処理部で演算処理
された実際のリーク率とリーク率規定値メモリに記憶さ
れているリーク率規定値とを比較演算するリーク率比較
判断部と、種々のデータを表示せしめる表示装置と、を
備えてなることを特徴とするレーザ発振器の制御装置。 - 【請求項２】 前記リーク率演算処理部で演算処理され
たリーク率と日時とを保存しておくリーク率メモリと、
このリーク率メモリから一定期間内のリーク率を読み込
み、日時とリーク率との関係をグラフにしその傾きを計
算するリーク率分析部と、予め日時とリーク率との関係
のグラフより求めた傾き規定値を記憶しておく傾き規定
値メモリと、前記リーク率分析部で求めた実際の傾きと
傾き規定値メモリに記憶されている傾き規定値とを比較
判断する傾き比較判断部と、を備えてなることを特徴と
する請求項１記載のレーザ発振器の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16005797A JPH118426A (ja) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | レーザ発振器の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16005797A JPH118426A (ja) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | レーザ発振器の制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH118426A true JPH118426A (ja) | 1999-01-12 |
Family
ID=15706982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16005797A Pending JPH118426A (ja) | 1997-06-17 | 1997-06-17 | レーザ発振器の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH118426A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012053298A1 (ja) * | 2010-10-19 | 2012-04-26 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ発振器、及びガスレーザ発振器におけるガス交換方法 |
| JP2014170885A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Fanuc Ltd | レーザガス容器の密閉性を推定可能なレーザ装置 |
| JP2016096319A (ja) * | 2014-11-17 | 2016-05-26 | ファナック株式会社 | レーザガスの供給配管の気密性を検査する機能を備えたガスレーザ装置 |
| WO2017158694A1 (ja) * | 2016-03-14 | 2017-09-21 | ギガフォトン株式会社 | レーザ装置及び極端紫外光生成システム |
-
1997
- 1997-06-17 JP JP16005797A patent/JPH118426A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP5241963B2 (ja) * | 2010-10-19 | 2013-07-17 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ発振器、及びガスレーザ発振器におけるガス交換方法 |
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| US9490602B2 (en) | 2013-03-05 | 2016-11-08 | Fanuc Corporation | Laser system able to estimate hermetic seal of laser gas container |
| DE102014003158B4 (de) | 2013-03-05 | 2018-09-13 | Fanuc Corporation | Lasersystem mit Abschätzung der hermetischen Abdichtung einer Lasergas- kammer |
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| US10461494B2 (en) | 2016-03-14 | 2019-10-29 | Gigaphoton Inc. | Laser apparatus and extreme ultraviolet light generation system |
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