JPH118405A - 発光ダイオードアレイおよび発光ダイオード - Google Patents

発光ダイオードアレイおよび発光ダイオード

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JPH118405A
JPH118405A JP16022597A JP16022597A JPH118405A JP H118405 A JPH118405 A JP H118405A JP 16022597 A JP16022597 A JP 16022597A JP 16022597 A JP16022597 A JP 16022597A JP H118405 A JPH118405 A JP H118405A
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light
light emitting
emitting diode
sub
emitting
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JP16022597A
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Inventor
Masumi Koizumi
真澄 小泉
Masaharu Nobori
正治 登
Shigeki Ogura
茂樹 小椋
Hiroyuki Fujiwara
博之 藤原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/02Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L33/60Reflective elements

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  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 発光効率を高める構造にすること。 【解決手段】 下地12上に、下地の上面12a と実質的に
平行な主発光面144 と、下地の上面に対して実質的に垂
直な副発光面を形成している側壁面146a,146b,146cおよ
び146dを有する発光部14を設け、発光部の副発光面から
出射した光を上方へ指向させるための反射ブロック16を
設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、発光ダイオード
アレイおよび発光ダイオードに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の発光素子アレイとしては、例えば
文献(トリケップスWS6、p.121〜126、19
85年)に開示された面発光型発光ダイオードアレイが
ある。この発光ダイオードアレイは、GaAs基板上に
エピタキシャル層(n−GaAsP層)を設け、さらに
エピタキシャル層の上面に、該エピタキシャル層の一部
を露出する窓を有する拡散マスクを設けてある。
【0003】また、拡散マスクの窓に露出しているエピ
タキシャル層の表面には、不純物を拡散させたp−Ga
AsP拡散領域が設けられている。一方、p−GaAs
P拡散領域を含む拡散マスクの上面には、p−GaAs
P拡散領域の一部と電気的に接続させかつ拡散マスクに
延在させてp電極が設けてある。一方、基板の裏面には
n電極が設けてある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】このような発光ダイオ
ードアレイは、プリンタの印字用発光源として用いられ
ている。近年、プリンタは、特に高密度化、高速度化の
方向へ向かっており、これに伴い発光ダイオードアレイ
に対しても高密度化、高速度化の要求が高まってきてい
る。
【0005】発光ダイオードアレイの高密度化、高速度
化を実現するためには、従来の発光ダイオードアレイの
発光効率を高める必要がある。しかしながら、従来の発
光ダイオードアレイには、以下に述べるような問題があ
った。
【0006】プリンタの1ドット密度が2倍になる
と、例えば現在の300dpiから600dpiになる
と、それに比例して発光ダイオードアレイの1ヘッド当
たりの発光ダイオードの個数も増加する。このため、発
光ダイオードアレイ全体としての駆動電流が増大するの
で、プリンタを駆動させるための電源容量が大きくな
る。したがって、プリンタのコストアップに繋がる。
【0007】また、プリンタの印字速度を高速化する
には、1ドット当たりの発光ダイオードの点灯時間を短
縮する必要がある。したがって、印字に必要な露光エネ
ルギを十分確保して、良好な印字を得るためには、点灯
時間の短縮分だけ、発光ダイオードの発光出力(強度)
を増大させる必要がある。従来の発光ダイオードでは、
発光出力を増大させるには、各々の発光ダイオードに流
す電流値を大きくする必要があり、したがって、発光ダ
イオードアレイ全体に流れるトータル電流値も大きくな
る。このようなトータル電流値の増大は、発光ダイオー
ド特性の信頼性を劣化させるばかりでなく、発光ダイオ
ードにジュール熱が発生して温度上昇を来すことになり
好ましくない。
【0008】したがって、発光ダイオードの温度上昇を
低減させるためには、放熱手段などを設ける必要がある
ので、プリンタのコストアップに繋がる。
【0009】そこで、発光効率を高めるための構造を具
えた発光ダイオードアレイおよび発光ダイオードの出現
が望まれていた。
【0010】
【課題を解決するための手段】このため、この発明によ
れば、下地に複数の発光部を設けてなる面発光型発光ダ
イオードアレイにおいて、下地上に、この下地の上面と
実質的に平行な主発光面と下地の上面に対して実質的に
垂直な副発光面を形成している側壁面とを有する発光部
を設け、この発光部の副発光面から出射した光を上方へ
指向させるための光案内手段を設けたことを特徴とす
る。
【0011】このように、この発明では、主発光面の他
に、発光部に副発光面を設け、この副発光面から出射し
た光を上方の目標に指向させるための光案内手段を設け
てあるので、目標領域には主発光面から出射する光と副
発光面から出射された光とが加算された光量で光を上方
の目標へ指向させることができる。このため、従来に比
べ、副発光面から出射した光が加算された分、発光ダイ
オードアレイの発光効率を高めることができる。
【0012】また、この発明の実施に当たり、好ましく
は、光案内手段を反射手段とするのが良い。そして、反
射手段を、発光部の副発光面に対向する位置に設けられ
た傾斜壁を有する反射部材とするのが良い。
【0013】このように、光案内手段を傾斜壁を有する
反射部材とすると、発光ダイオードアレイの全体構造が
簡単になる。また、反射部材の傾斜壁を反射面として利
用すれば、傾斜壁の傾きの角度を適切に設定することに
より、発光部の副発光面から出射した光を上方の目標に
向けて指向させることが可能となる。
【0014】また、この発明の実施に当たり、好ましく
は、発光部を円柱状の形状とし、発光部と対向する反射
部材の傾斜壁側を発光部と同心円を有する形状としてあ
るのが良い。
【0015】このような構成にすることにより、副発光
面から出射した光を360度の方向から傾斜壁に反射さ
せて上方へ指向させることが可能となる。
【0016】また、この発明の実施に当たり、好ましく
は、発光部の副発光面に隣接する溝を設け、この溝の、
副発光面と対向する壁を傾斜壁とし、この傾斜壁を反射
手段とするのが良い。
【0017】このように、この発明では、副発光面に隣
接する溝を設け、当該副発光面と対向する壁を傾斜壁と
してあるので、この副発光面と傾斜壁間での実質的な光
の損失はなく、また、副発光面から出射した光を傾斜壁
で効率良く反射させて上方の目標に向けて指向させるこ
とができる。
【0018】また、この発明の実施に当たり、好ましく
は、傾斜壁の傾斜角度を、下地の上面に対して40〜5
0度の範囲内の角度とするのが良い。
【0019】このような構成にすると、発光部の副発光
面から出射した光を反射部材の傾斜壁で反射させて、効
率良く上方の目標に向けて指向させることができる。
【0020】また、この発明では、好ましくは、溝の、
一方の壁を形成すると共に、少なくとも発光部の副発光
面を形成している側壁上に反射防止膜を設け、かつ傾斜
壁上に反射膜を設けてあるのが良い。
【0021】このような構成にすると、副発光面を形成
している側壁面には反射防止膜が形成されているので、
副発光面側では、発光した光が副発光面で実質的に反射
されずに副発光面から傾斜壁側へ出射される。また、溝
の傾斜壁には反射膜を設けているので、この出射光を、
反射膜に反射させて効率良く上方の目標に向けて指向さ
せることができる。
【0022】また、この発明の発光ダイオードによれ
ば、下地上に、この下地の上面と実質的に平行な主発光
面と下地の上面に対して実質的に垂直な副発光面を形成
している側壁面とを有する発光部を設け、この発光部の
副発光面から出射した光を上方へ指向させるための光案
内手段を設けたことを特徴とする。
【0023】この場合も、上述した発光ダイオードアレ
イのときと同様に主発光面の他に、発光部の副発光面か
ら出射した光を側壁壁によって反射させて上方の目標へ
指向させてることができる。したがって、発光部の主発
光面からの出射光と発光部の副発光面から出射された光
とが加算された光量で光が出射されるため、従来に比
べ、発光強度が増大する。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して、この発明の
発光ダイオードアレイの実施の形態につき説明する。な
お、図1〜図4は、この発明が理解できる程度に各構成
成分の形状、大きさおよび配置関係を概略的に示してあ
るにすぎない。
【0025】[第1の実施の形態]図1の(A)および
(B)を参照して、この発明の第1の実施の形態の発光
ダイオード(LEDともいう。)アレイの主要構造につ
き説明する。なお、図1の(A)は、LEDアレイを構
成する1つのLED要部平面図であり、(B)は、
(A)図中のX−X線に沿って切断した位置での断面切
口を示す図である。
【0026】第1の実施の形態では、下地12上に、こ
の下地12の上面12aと実質的に平行な発光面144
と、下地12の上面12aに対して実質的に垂直な副発
光面を形成する側壁面146a,146b,146cお
よび146dとを有する発光部14を設けてある。さら
に、発光部14の副発光面146a,146b,146
cおよび146d(ここでは副発光面は側壁面と実質的
に同じとなる。)から出射した光を上方へ指向させるた
めの光案内手段(反射ブロック)16を設けてある。な
お、実際には発光部14が下地12上に複数個配列され
ているが、ここでは、図示の便宜上発光部14を1個の
み配設した例を示している。
【0027】この第1の実施の形態では、発光部14を
下地上に設けた島状の構造体としてある。また、発光部
の形状を四角形状とする。
【0028】下地12として、従来と同様なGaAs基
板(以下、基板と称する)を用いる。
【0029】また、発光部14は、基板12上に設けら
れたエピタキシャル層(ここではn−GaAsP層)1
41とp−GaAsP拡散領域(p拡散領域ともいう)
142とにより構成されている。そして、ここでは、p
拡散領域142を含むn−GaAsP層141の上面を
主発光面144と称し、n−GaAsP層141の側面
を副発光面146a,146b,146cおよび146
dと称する。
【0030】発光部14のp−GaAsP拡散領域14
2は、n−GaAsP層141の上面からその内部の所
定の深さまで不純物を拡散させてある。そして、このp
拡散領域142は、n−GaAsP層141の中心部か
ら外周縁付近まで形成されている。なお、ここでは、p
拡散領域142を発光部の外周縁付近まで形成した例に
つき説明したが、p拡散領域142を、発光部14の外
周縁まで形成しても良い。
【0031】そして、発光部14の上面は、基板12の
上面12aに対して実質的に平行な面としてあり、副発
光面146a,146b,146cおよび146dは基
板12の上面12aに対して実質的に垂直な面としてあ
る。
【0032】また、発光部14の上面、すなわち主発光
面144上には、枠状(額縁状)の拡散マスク18を設
けてある。この拡散マスク18は、例えばSiO2 膜に
よって形成されており、p拡散領域142を形成すると
きに使用したものである。
【0033】光案内手段16として、傾斜壁161a,
161b,161cおよび161dを有する反射部材
(ここでは反射ブロック)16を用いる。そして、反射
ブロック16の傾斜壁161a,161b,161cお
よび161dは、発光部14の副発光面146a,14
6b,146cおよび146dに対向する位置にそれぞ
れ設けられている。なお、ここでは、反射ブロック16
を、例えば、Cl2 ガスなどを用いたドライエッチング
などにより、略45°の傾斜に傾斜壁161a,161
b,161cおよび161dを形成できる。
【0034】また、傾斜壁の裾部162は、副発光面1
46a,146b,146cおよび146dの下部縁
(図示せず)に隣接させて設けてある。また、傾斜壁の
頂部163は、発光部14と離間させかつ当該発光部1
4の上面とほぼ同一の高さにしてある。なお、ここで
は、傾斜壁の裾部162を副発光面146a,146
b,146cおよび146dの下部縁に隣接させて設け
た例につき述べたが、裾部162と下部縁とを離間させ
てあっても良い。また、ここでは、反射ブロック16の
材料を、例えばGaAsPとする。
【0035】また、第1の実施の形態では、傾斜壁の傾
斜角度θを、基板12の上面12aに対して約45度と
する。なお、ここでは、傾斜壁の最適角度を45度とし
たが、傾斜角度を40〜50度の角度範囲に設定しても
良い。このような傾斜角度に設定することにより、副発
光面146a,146b,146cおよび146dから
出射した光を最も効率良く傾斜壁161a,161b,
161cおよび161dで反射させて上方の目標へ指向
させることができる。
【0036】このような構造のLEDを多数直線的に配
列してLEDアレイを構成している。
【0037】[第1の実施の形態の動作の説明]次に、
図1の(A)および(B)を参照して、第1の実施の形
態の発光ダイオードアレイを構成する1つの発光ダイオ
ードの動作方法につき説明する。
【0038】発光部のp拡散領域142の上面およびG
aAs基板12の下面に形成されているp電極およびn
電極(いずれも図示せず)間に所定の電圧を印加する。
このため、発光部14のpn接合部に電流が流れて主発
光面144と副発光面146a,146b,146cお
よび146dとから光を出射する。
【0039】なお、ここでは、主発光面144から出射
した光をL1 とし、副発光面146a,146b,14
6cおよび146dから出射した光をL2 とする。
【0040】第1の実施の形態では、発光部14の周囲
に反射ブロック16を設けてあるので、主発光面144
から出射した光L1 を上方へ出射すると共に、副発光面
146a,146b,146cおよび146dから出射
した光L2 を、反射ブロック16の傾斜壁161a,1
61b,161cおよび161dで反射させて、上方へ
指向させる。
【0041】[第2の実施の形態]図2の(A)および
(B)を参照して、この発明の第2の実施の形態の発光
ダイオードアレイにつき説明する。なお、図2の(A)
は、第2の実施の形態の発光ダイオードアレイを構成す
る1つの発光ダイオードの構造を説明するための要部平
面図であり、(B)は、(A)図のXーX線に沿って切
断した位置での断面切口を示す図である。
【0042】第2の実施の形態では、反射手段として、
反射ブロックを用いる代わりにエピタキシャル層(n−
GaAsP層)141に形成した溝15を設けてある。
【0043】この溝15は、発光部14に隣接した基板
12に対して実質的に垂直な面152a,152b,1
52cおよび152dを副発光面として使用し、この副
発光面152a,152b,152cおよび152dに
対向する面151a,151b,151cおよび151
dを傾斜壁として使用している。
【0044】また、発光部140は、第1の実施の形態
と同様な形状、すなわち、島状の構造体としてある。
【0045】また、この発光部140は、基板12上に
設けられたn−GaAsP層141aとp拡散領域14
2とにより構成されている。そして、p拡散領域142
を含むn−GaAsP層141aの上面を主発光面14
4と称し、n−GaAsP層141aの側面を副発光面
152a,152b,152cおよび152dと称す
る。なお、発光部140の形状を、四角形状とする。そ
の他の構成成分は、第1の実施の形態と同様な構成なの
で、ここでは詳細な説明を省略する。
【0046】発光部140に隣接させてn−GaAsP
層141に溝15を設けることにより、副発光面152
a,152b,152cおよび152dから発光した光
2を、溝15を経て傾斜壁151a,151b,15
1cおよび151dに反射させ、上方の目標へ指向させ
ることができる。
【0047】このような構造の発光ダイオードを多数直
線的に配列して発光ダイオードアレイを形成している。
【0048】したがって、発光ダイオードアレイの発光
光量が従来に比べ、副発光面から出射される光量分が加
算されるので、発光ダイオードアレイの発光強度は高く
なる。
【0049】[第3の実施の形態]次に、図3の(A)
および(B)を参照して、この発明の第3の実施の形態
の発光ダイオードアレイの構造につき説明する。図3の
(A)は、第3の実施の形態の発光ダイオードアレイを
構成する1つの発光ダイオードの構造を説明するための
要部平面図であり、図3の(B)は、(A)図のX−X
線に沿って切断した位置での断面切口を示す図である。
【0050】第2の実施の形態の発光ダイオードは、発
光部240を円柱状の形状とし、発光部240に対向さ
せて反射部材(ここでは反射ブロック)26の傾斜壁2
60側を発光部240と同心円を有する形状としてあ
る。
【0051】この発光部240は、基板22上に設けら
れた円柱状のn−GaAsP層241とp拡散領域24
2とによって構成されている。
【0052】そして、p拡散領域242は、n−GaA
sP層241の中心部から外周縁付近まで形成されかつ
n−GaAsP層241の上面から内部に向かって所定
の深さまで形成されている。
【0053】また、発光部240の主発光面244は、
基板22の上面に対して実質的に平行な面とする。副発
光面246は、基板22の上面に対して実質的に垂直な
面とする。
【0054】また、n−GaAsP層241の上面に
は、開口部を有する円形状の拡散マスク27が設けられ
ている。なお、ここでは、拡散マスク27の材質を例え
ばSiO2 とする。
【0055】また、発光部240の副発光面246に対
向する位置には傾斜壁を有する反射部材(反射ブロッ
ク)26が設けてある。
【0056】なお、第3の実施の形態では、反射手段と
して、反射ブロックを用いた例につき説明したが、反射
ブロックの代わりに傾斜壁を有する溝(図示せず)を用
いても良い。
【0057】なお、上述した第1および第2の実施の形
態では、図示しなかったが、実際の発光ダイオードアレ
イを構成する各発光ダイオードには、p電極28とn電
極30とが設けられている。p電極28は、発光部24
0のp拡散領域および拡散マスク242および27と反
射ブロック26の上面とに橋絡させて設けてある。一
方、n電極30は、基板22の裏面に設けてある。
【0058】第3の実施の形態の動作説明は、既に説明
した第1の実施の形態と同様なのでその詳細な説明を省
略する。
【0059】図4を参照して、第1および第3の実施の
形態の副発光面からの出射光量につき説明する。なお、
図4は、第1および第3の実施の形態の副発光面からの
出射光量を比較するための説明図である。
【0060】発光部の任意の点Aから出射した光r1 A
は、第1および第3の実施の形態とも、光量の差はな
く、出射端面に対して略垂直に入射する。このため、出
射端面から出射光r1Bとして出射させることができる。
然るに、発光部の任意の点Aから出射した光r2Aは、第
1の実施の形態では発光部14が四角形の形状をしてい
るので、出射した光r2Aと出射端面との関係が臨界角度
(全反射が開始するときの入射角度をいう。)よりも大
きい場合は、光r2Aは、発光部14の端面に反射してr
2Bへ向かう。したがって、発光部14の出射端面から取
り出せないことになる。
【0061】これに対して、第3の実施の形態では、発
光部240の形状を円形状にしてあるので、出射した光
2Aと出射端面との関係は光r2Aが臨界角度以内で出射
端面に入射することになるので、発光部240の出射端
面からは光r2Cが出射する。したがって、出射光r2C
反射面に到達して上方へ取り出されるため、第3の実施
の形態では、任意の点Aから360度の範囲の出射光を
副発光面から取る出すことが可能となる。したがって、
副発光面から傾斜壁260を介して得られる上方の光量
を大きくできるという利点がある。
【0062】[第4の実施の形態]図5を参照して、こ
の発明の第4の実施の形態の発光ダイオードアレイの構
造につき説明する。なお、図5の(A)は、第4の実施
の形態のLEDアレイを構成している1つのLEDの構
造を説明するための要部平面図であり、図5の(B)
は、(A)図のX−X線に沿って切断した位置での断面
切口を示す図である。
【0063】第4の実施の形態では、発光部140およ
び溝15は、上述した第2の実施の形態の構成と同一構
成としてある。第2の実施の形態と異なる点は、溝15
に反射防止膜32と反射膜34とを設けた点である。す
なわち、反射防止膜32は、溝15の副発光面152
a,152b,152cおよび152dと傾斜壁151
a,151b,151cおよび151dを覆って設けて
ある。
【0064】この実施の形態例では、副発光面152
a,152b,152cおよび152dと傾斜壁151
a,151b,151cおよび151dの両方の面に反
射防止膜32を形成してあるが、副発光面152a,1
52b,152cおよび152dにのみに反射防止膜3
2を形成しても良い。
【0065】一方、反射膜34は、傾斜壁151a,1
51b,151cおよび151dの反射防止膜32上に
設けてある。なお、反射膜34を反射防止膜32の上面
に設けた例につき説明したが、反射膜34を直接傾斜壁
上に設けても良い。なお、反射防止膜32の材料とし
て、例えばシリコン窒化膜(SiN膜)を用いる。ま
た、反射膜34の材料として、例えば金(Au),銀
(Ag)またはアルミニウム(Al)などを用いる。
【0066】溝15内に反射防止膜32を形成した場
合、発光部14の副発光面152a,152b,152
cおよび152dの反射を低減させるためには、次の
(1)および(2)式を満足するように各種パラメータ
を設定するのが良い。
【0067】 N1 ×d=(λ0 /4)×(2m+1)・・・・(1) N1 =√(N2 ×Ns )・・・・(2) ここで、mは1,2,3・・の整数、N1 はSiN膜の
屈折率、N2 は出射媒質の屈折率(ここでは空気の屈折
率、N2 =1)、Ns は発光するn−GaAsP層の屈
折率、dは反射防止膜(SiN膜)の膜厚、λ0 は出射
光の波長とする。
【0068】第4の実施の形態では、発光部140をn
−GaAsP層141aで形成し、発光波長λ0 をλ0
=740nm、およびSiN膜の膜厚dを約270nm
とする。また、SiN膜の屈折率N1 を約1.87(た
だし、n−GaAsP層の屈折率Ns を3.5とした場
合)とした。このようなパラメータを設定した反射防止
膜32を形成することにより、副発光面152a,15
2b,152cおよび152dでの反射をほぼゼロにす
ることができる。
【0069】また、反射膜34の材料として金(Au)
を用いた場合、発光波長を740nm付近では、95%
以上の反射率が得られる。また、アルミニウム(Al)
を用いた場合でも、約90%程度の反射率が得られる。
【0070】このような構造の発光ダイオードを多数直
線的に配列して発光ダイオードアレイを形成している。
【0071】したがって、第4の実施の形態では、第1
および第2の実施の形態の発光ダイオードアレイに比べ
て、さらに発光出力を増大させることが可能となる。
【0072】上述した第1、第2、第3および第4の実
施の形態では、発光材料として、GaAsPを用いたホ
モ接合型LEDにつき説明したが、GaAsPの代わり
に、AlGaAsまたはInGaAsPなどを用いたホ
モ接合型LED、シングルヘテロ接合型或いはダブルヘ
テロ接合型LEDに対しても適用できることはいうまで
もない。
【0073】また、上述した第1、第2、第3および第
4の実施の形態では、LEDアレイとして用いた例につ
き説明したが、LEDアレイの代わりに、発光ダイオー
ド単体としても使用できる。発光ダイオードは、LED
アレイの発光ダイオードと同一構成としてあるので、こ
こでは、詳細な説明を省略する。
【0074】
【発明の効果】上述した説明から明らかなように、この
発明の発光ダイオードアレイおよび発光ダイオードによ
れば、下地上に、下地の上面と実質的に平行な主発光面
と、下地の上面に対して実質的に垂直な副発光面を形成
している側壁面を有する発光部を設け、この発光部の副
発光面から出射した光を上方へ指向させるための光案内
手段を設けてある。
【0075】このような構成にすることにより、発光部
側の主発光面から出射する光と、発光部側の副発光面か
ら出射した光が傾斜壁に反射して上方の目標に向けて指
向された光とが加算されて発光光量となるため、従来に
比べ、発光強度を高めることができる。
【0076】また、この発明の発光ダイオードアレイお
よび発光ダイオードによれば、個々の発光ダイオード装
置の発光光量を増加することができるため、従来のよう
な発光ダイオードを高出力で駆動させるための電源装置
が不要となる。したがって、発光ダイオードアレイをプ
リンタに応用した場合、プリンタの低コスト化を図るこ
とができる。
【0077】また、各々の発光ダイオードに流れる電流
を増大する必要がなくなるので、発光ダイオードの放熱
手段を設ける必要がなくなる。したがって、発光ダイオ
ードアレイの小型化および低コスト化を図ることができ
る。
【0078】また、この発明では、少なくとも副発光面
を形成している側壁面上に反射防止膜を設けかつ傾斜壁
上に反射膜を設けているので、副発光面での出射光の反
射を抑制し、副発光面から出射された光を反射膜で効率
良く反射させて上方の目標に向けて指向させることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)〜(B)は、この発明の第1の実施の形
態のLEDアレイの主要構造を説明するために供する要
部平面図および断面図である。
【図2】(A)〜(B)は、この発明の第2の実施の形
態のLEDアレイの主要構造を説明するために供する要
部平面図および断面図である。
【図3】(A)〜(B)は、この発明の第3の実施の形
態のLEDアレイの主要構造を説明するために供する要
部平面図および断面図である。
【図4】第1および第3の実施の形態の副発光面からの
光量を比較するための図である。
【図5】(A)〜(B)は、この発明の第4の実施の形
態のLEDアレイの主要構造を説明するために供する要
部平面図および断面図である。
【符号の説明】
12、22:GaAs基板 14、140、240:発光部 141、241:n−GaAsP層 142、242:p−GaAsP拡散領域 144、244:主発光面 146a,146b,146c,146d、152a、
152b、152c、152d:副発光面 15:溝 16:反射ブロック 151a,151b,151c,151d,161a,
161b,161c,161d:傾斜壁 18、27:拡散マスク 32:反射防止膜 34:反射膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 博之 東京都港区虎ノ門1丁目7番12号 沖電気 工業株式会社内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下地に複数の発光部を設けてなる面発光
    型発光ダイオードアレイにおいて、 下地上に、該下地の上面と実質的に平行な主発光面と、
    該下地の上面に対して実質的に垂直な副発光面を形成し
    ている側壁面とを有する発光部を設け、 該発光部の副発光面から出射した光を上方へ指向させる
    ための光案内手段を設けたことを特徴とする発光ダイオ
    ードアレイ。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の発光ダイオードアレイ
    において、前記光案内手段を反射手段としたことを特徴
    とする発光ダイオードアレイ。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載の発光ダイオードアレイ
    において、前記反射手段を、前記発光部の副発光面に対
    向する位置に設けられた傾斜壁を有する反射部材とした
    ことを特徴とする発光ダイオードアレイ。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の発光ダイオードアレイ
    において、前記発光部を円柱状の形状とし、前記発光部
    と対向する前記反射部材の傾斜壁側を前記発光部と同心
    円を有する形状としたことを特徴とする発光ダイオード
    アレイ。
  5. 【請求項5】 請求項3に記載の発光ダイオードアレイ
    において、前記傾斜壁の傾斜角度を、前記下地の上面に
    対して40〜50度の範囲内の角度とすることを特徴と
    する発光ダイオードアレイ。
  6. 【請求項6】 請求項2に記載の発光ダイオードアレイ
    において、前記発光部の副発光面に隣接する溝であっ
    て、該副発光面に対向する傾斜壁を有する当該溝を設
    け、該傾斜壁を前記反射手段とすることを特徴とする発
    光ダイオードアレイ。
  7. 【請求項7】 請求項6に記載の発光ダイオードアレイ
    において、前記溝の、少なくとも前記副発光面を形成し
    ている側壁面上に反射防止膜を設けかつ前記傾斜壁上に
    反射膜を設けたことを特徴とする発光ダイオードアレ
    イ。
  8. 【請求項8】 下地に発光部を設けてなる発光ダイオー
    ドにおいて、 下地上に、該下地の上面と実質的に平行な主発光面と該
    下地の上面に対して実質的に垂直な副発光面を形成して
    いる側壁面とを有する発光部を設け、 該発光部の副発光面から出射した光を上方へ指向させる
    ための光案内手段を設けたことを特徴とする発光ダイオ
    ード。
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