JPH1169610A - 過熱警報装置 - Google Patents

過熱警報装置

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JPH1169610A
JPH1169610A JP9238958A JP23895897A JPH1169610A JP H1169610 A JPH1169610 A JP H1169610A JP 9238958 A JP9238958 A JP 9238958A JP 23895897 A JP23895897 A JP 23895897A JP H1169610 A JPH1169610 A JP H1169610A
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JP
Japan
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relay
contact
timer
turns
heat generation
Prior art date
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Pending
Application number
JP9238958A
Other languages
English (en)
Inventor
Toru Araki
徹 荒木
Masakatsu Kimizuka
正勝 君塚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
N T T ADVANCE TECHNOL KK
NTT Advanced Technology Corp
Original Assignee
N T T ADVANCE TECHNOL KK
NTT Advanced Technology Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置等の異常発熱を検知した時、その発生を
ブザー等で知らせるが、直ちに電源遮断等はさせずに、
設定した一定時間の間に装置に冷却等の準備をさせた後
に、電源遮断等をさせること。 【解決手段】 異常発熱を検知した時、その発生をブザ
ー等で知らせると共に、同時にタイマーの作動を開始さ
せて、その設定時間の経過後に電源遮断等に使用する接
点信号を出させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は過熱警報装置に関
し、特に、電動装置に異常発熱を生じた時点よりタイマ
ーを動作させ、タイマーの設定時間後に警報処理用のリ
レーをオンさせるようにした過熱警報装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の過熱警報装置の一例を図2に示
す。電動装置の供給電源に直接接続された電磁開閉器1
1は、過負荷などに起因する過電流が電動装置に流れる
と、熱動型過負荷継電器(サーマルリレー)12が動作
して接点がオンとなり、これと連動している電磁接触器
13の接点がオフとなるために供給電源が遮断され、電
動装置が停止するように構成されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の過熱警報装置
は、電動装置に過電流が流れ、サーマルリレーの熱動型
接点が異常温度上昇し、その動作点に達するとサーマル
リレーが動作して、電動装置に供給されている電力を直
ちに遮断するもので、例えば、スパッタ装置等の高真空
処理装置の場合には、急激な排気停止を伴うために、真
空ポンプ油の逆拡散により、処理槽内部および処理物を
汚染してしまう欠点があった。本発明の目的は、このよ
うな欠点を除き、異常発熱を検知すると直ちに警報音を
出力し、警報ランプを点灯させ、同時にタイマーの動作
を開始するように構成して、その設定時間が経過した後
に電動装置を停止させる警報処理用のリレーを動作させ
る過熱警報装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の構成は、異常高
温とみなす設定温度を温度センサーが検出したときに、
リレー電源を第1のリレー21に供給して、その接点を
オンする過熱検知部と、そのオンされた第1のリレーに
より動作を開始して設定時間後にオンするタイマーリレ
ー5と、オンされたタイマーリレーによってオンする第
2のリレー22を有することを特徴とする。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態を実施例
により詳述する。
【0006】
【実施例】次に、本発明を図面により詳細に説明する。
第1図は、本発明の一実施例である。過熱警報装置の内
部に、過熱検知部1およびリレー21、22の他に警報
用ブザー3ならびに警報ランプ4とタイマーリレー5と
オンオフスイッチ6が付加されている。温度センサー7
が異常発熱を検知すると、温度センサー7の信号線8か
ら過熱検知部1を経た出力オン信号により、第1のリレ
ー21の接点rl-1がオン状態となる。この接点rl-1を経
て電源ライン9からの電源が供給された警報用ブザー3
は鳴動し、かつ警報ランプ4が点灯し、同時にタイマー
リレー5は動作を開始する。タイマーリレー5の接点dl
は、予め設定されている時間が経過した後にオン状態と
なる。この接点dlのオンにより、第2のリレー22の接
点rl-2がオフされ、電動装置に電力供給ライン10から
供給されている電力を遮断することが可能となる。オン
オフスイッチ6をオフにして警報ブザー3と警報ランプ
4を解除し、異常発熱の発生原因を処置後に、オンオフ
スイッチ6をオンにして再び動作可能な状態となる。
【0007】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は異常発熱
が発生した際に、直ちに発生現場または遠隔場所におい
て、警報ブザーならびに警報ランプによって発生を知る
とともに、同時に動作を開始するタイマーの設定時間が
経過する間に、定められた手順により装置を停止するな
どの措置を施すことが可能であり、半導体製造装置等の
高真空処理装置におけるロットアウトおよび装置内汚染
の損失を防止できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1図は本発明の過熱警報装置の実施例のリレ
ー回路図である。
【図2】第2図は従来の過熱警報装置の一例の接続回路
図である。
【符合の説明】
1 過熱検知部 2 リレー 3 警報用ブザー 4 警報ランプ 5 タイマーリレー 6 オンオフスイッチ 7 温度センサー 8 信号線 9 電源ライン 10 電力供給ライン 11 電磁開閉器 12 サーマルリレー 13 電磁接触器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電動装置に過電流が流れて異常発熱が生
    じたとき、その温度上昇を検知する温度検知部を有し、
    上記電動装置の温度が所定の温度を越えたとき、リレー
    電源を第1のリレーに供給して接点をオンする過熱検知
    部と、その接点のオンによって動作を開始するタイマー
    を有し、上記タイマーの設定時間後にオンする第2のリ
    レーとを有することを特徴とする過熱警報装置。
JP9238958A 1997-08-20 1997-08-20 過熱警報装置 Pending JPH1169610A (ja)

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Cited By (4)

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