JPH0633432Y2 - バイアス・温度試験装置 - Google Patents
バイアス・温度試験装置Info
- Publication number
- JPH0633432Y2 JPH0633432Y2 JP10014787U JP10014787U JPH0633432Y2 JP H0633432 Y2 JPH0633432 Y2 JP H0633432Y2 JP 10014787 U JP10014787 U JP 10014787U JP 10014787 U JP10014787 U JP 10014787U JP H0633432 Y2 JPH0633432 Y2 JP H0633432Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bias
- circuit
- interlock
- power supply
- heater
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Control Of Temperature (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はバイアス・温度試験装置に関し、特にヒーター
の過熱や撹拌装置の停止等の異常時に被試験用の半導体
装置へのバイアスの印加を停止するインターロック機能
を有するバイアス・温度試験装置に関する。
の過熱や撹拌装置の停止等の異常時に被試験用の半導体
装置へのバイアスの印加を停止するインターロック機能
を有するバイアス・温度試験装置に関する。
従来、この種のバイアス・温度試験装置は、第３図に示
すように、恒温槽内の被試験用の半導体装置に所定のバ
イアスを印加するバイアス用電源群を備えたバイアス電
源回路１と、ヒーター21と撹拌装置22とを備え、恒温槽
内を所定の温度に設定する温度設定回路２と、ヒーター
21の過熱や撹拌装置22の停止などの異常時とか温度設定
回路２の電源が断となったとき、被試験用の半導体装置
の自己発熱による破壊や、恒温槽内温度上昇による火災
等を未然に防止する為、バイアス電源回路１の電源もオ
フにして被試験用の半導体装置へのバイアスの印加を停
止するインターロック回路３とを有する構成となってい
た。
すように、恒温槽内の被試験用の半導体装置に所定のバ
イアスを印加するバイアス用電源群を備えたバイアス電
源回路１と、ヒーター21と撹拌装置22とを備え、恒温槽
内を所定の温度に設定する温度設定回路２と、ヒーター
21の過熱や撹拌装置22の停止などの異常時とか温度設定
回路２の電源が断となったとき、被試験用の半導体装置
の自己発熱による破壊や、恒温槽内温度上昇による火災
等を未然に防止する為、バイアス電源回路１の電源もオ
フにして被試験用の半導体装置へのバイアスの印加を停
止するインターロック回路３とを有する構成となってい
た。
上述した従来のバイアス・温度試験装置は、ヒーター21
の過熱や撹拌装置22の停止などの異常時とか温度設定回
路２の電源が断となったとき、被試験用の半導体装置へ
のバイアスの印加を停止する構成となっているので、信
頼性試験を長期間連続して行わなければならないような
場合でも、消耗部品、例えばファンF1回転用のベルト24
の劣化等の異常が発見されたときは、信頼性試験を中断
して処理しなければならないために、試験内容によって
は、一度バイアスの印加を停止したらもう一度最初から
試験を行なわなければならないこともあり試験効率が低
下し、又これを避けるためにやむを得ず不安定な状態で
試験を断続しなければならないという欠点がある。
の過熱や撹拌装置22の停止などの異常時とか温度設定回
路２の電源が断となったとき、被試験用の半導体装置へ
のバイアスの印加を停止する構成となっているので、信
頼性試験を長期間連続して行わなければならないような
場合でも、消耗部品、例えばファンF1回転用のベルト24
の劣化等の異常が発見されたときは、信頼性試験を中断
して処理しなければならないために、試験内容によって
は、一度バイアスの印加を停止したらもう一度最初から
試験を行なわなければならないこともあり試験効率が低
下し、又これを避けるためにやむを得ず不安定な状態で
試験を断続しなければならないという欠点がある。
本考案の目的は、安定した状態で効率よく試験すること
ができるバイアス・温度試験装置を提供することにあ
る。
ができるバイアス・温度試験装置を提供することにあ
る。
本考案のバイアス・温度試験装置は、恒温槽内の被試験
用の半導体装置に所定のバイアスを印加するバイアス電
源回路と、ヒーターと撹拌装置とを備え前記恒温槽内を
所定の温度に設定する温度設定回路と、前記ヒーターの
過熱及び前記撹拌装置の停止を含む異常時に前記バイア
ス電源回路の電源をオフにし前記半導体装置へのバイア
スの印加を停止するインターロック機能を備えたインタ
ーロック回路と、このインターロック回路と接続したス
イッチと表示ランプとを備えこのスイッチを操作して前
記インターロック機能を解除すると共にインターロック
解除の表示をするインターロック解除回路とを有してい
る。
用の半導体装置に所定のバイアスを印加するバイアス電
源回路と、ヒーターと撹拌装置とを備え前記恒温槽内を
所定の温度に設定する温度設定回路と、前記ヒーターの
過熱及び前記撹拌装置の停止を含む異常時に前記バイア
ス電源回路の電源をオフにし前記半導体装置へのバイア
スの印加を停止するインターロック機能を備えたインタ
ーロック回路と、このインターロック回路と接続したス
イッチと表示ランプとを備えこのスイッチを操作して前
記インターロック機能を解除すると共にインターロック
解除の表示をするインターロック解除回路とを有してい
る。
次に、本考案の実施例について図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本考案の第１の実施例のブロック図である。
電源入力ACは、主電源用のブレーカB1を介して各回路に
接続されている。
接続されている。
バイアス電源回路１は、被試験用の半導体装置に所定の
バイアスを印加するバイアス電源群11と、このバイアス
電源群11の電源をオン・オフするブレーカB2とを備えて
いる。
バイアスを印加するバイアス電源群11と、このバイアス
電源群11の電源をオン・オフするブレーカB2とを備えて
いる。
温度設定回路２は、ヒーター21と、電磁開閉器25,モー
タM1，ファンF1及びファンF2用のベルト24を設けた撹拌
装置22と、これらへの電源供給をオン・オフするブレー
カB3，B4とを含んで構成され、恒温槽内の温度を所定の
温度に設定する。
タM1，ファンF1及びファンF2用のベルト24を設けた撹拌
装置22と、これらへの電源供給をオン・オフするブレー
カB3，B4とを含んで構成され、恒温槽内の温度を所定の
温度に設定する。
インターロック回路３は、ヒーター21の電源に接続さ
れ、このヒーター21が過熱状態のとき接点34aをオフに
するヒーター過熱検出器34と、撹拌装置22の電源に接続
されファンF1が停止したときに接点35aをオフにするフ
ァン停止検出器35と、接点34a,35aの直列回路に更に直
列接続された電源間に接続され、接点34a,35aのうちに
オフのものがあると、バイアス電源群11の電源回路に設
けられた接点33a及びヒーター21の電源回路に設けられ
た接点33cをオフにし、接点33bをオンにする電磁開閉器
33と、接点33bとそれぞれ直列接続され電源間に接続さ
れた警報用のブザー31及びランプ32とを備え、ヒーター
21が過熱したときや撹拌装置22が停止したとき、またブ
レーカB3がオフのときにバイアス電源群11の電源をオフ
にして被測定用の半導体装置へのバイアスの印加を停止
し、またヒーター21の電源をオフにするインターロック
機能有している。
れ、このヒーター21が過熱状態のとき接点34aをオフに
するヒーター過熱検出器34と、撹拌装置22の電源に接続
されファンF1が停止したときに接点35aをオフにするフ
ァン停止検出器35と、接点34a,35aの直列回路に更に直
列接続された電源間に接続され、接点34a,35aのうちに
オフのものがあると、バイアス電源群11の電源回路に設
けられた接点33a及びヒーター21の電源回路に設けられ
た接点33cをオフにし、接点33bをオンにする電磁開閉器
33と、接点33bとそれぞれ直列接続され電源間に接続さ
れた警報用のブザー31及びランプ32とを備え、ヒーター
21が過熱したときや撹拌装置22が停止したとき、またブ
レーカB3がオフのときにバイアス電源群11の電源をオフ
にして被測定用の半導体装置へのバイアスの印加を停止
し、またヒーター21の電源をオフにするインターロック
機能有している。
インターロック解除回路４は、スイッチS1とフリッカー
ラインの表示ランプ41とを備え、接点34a,35aの直列回
路の両端に接続され、スイッチS1を閉じたときに前記イ
ンターロック機能を解除し、その表示をする構成となっ
ている。
ラインの表示ランプ41とを備え、接点34a,35aの直列回
路の両端に接続され、スイッチS1を閉じたときに前記イ
ンターロック機能を解除し、その表示をする構成となっ
ている。
以上の構成となっているので、主電源用のブレーカB1を
オンにしブレーカB3をオンにすれば、電磁開閉器23が動
作しモータM1が回転する。さらにこの時点でヒーター過
熱検出器34とファン停止検出器35も動作するので、それ
らの接点34a,35aを介している電磁開閉器33のコイルに
も電流が流れ動作する。そして接点33a,33cが閉じる。
オンにしブレーカB3をオンにすれば、電磁開閉器23が動
作しモータM1が回転する。さらにこの時点でヒーター過
熱検出器34とファン停止検出器35も動作するので、それ
らの接点34a,35aを介している電磁開閉器33のコイルに
も電流が流れ動作する。そして接点33a,33cが閉じる。
その後、ブレーカB2をオンにすればバイアス電源群11に
電源電圧が供給される。同様にブレーカB4をオンにすれ
ばヒーター21に電流が流れ撹拌装置22と共に恒温槽内を
所定の温度にする。
電源電圧が供給される。同様にブレーカB4をオンにすれ
ばヒーター21に電流が流れ撹拌装置22と共に恒温槽内を
所定の温度にする。
通常、この状態で信頼性試験が行なわれるが、ヒーター
21の温度暴走等によりヒーター過熱検出器54の設定値を
越えた時やモータM1が停止したりベルト24が切れた場合
は、接点34a,35aがオフになり電磁開閉器33のコイル電
流が流れなくなるので、接点33a,33cがオフとなりバイ
アス電源群11とヒーター21がオフ状態となり、同時に接
点33bがオンとなり警報用のブザー31及びランプ32が作
動し異常を知らせる。
21の温度暴走等によりヒーター過熱検出器54の設定値を
越えた時やモータM1が停止したりベルト24が切れた場合
は、接点34a,35aがオフになり電磁開閉器33のコイル電
流が流れなくなるので、接点33a,33cがオフとなりバイ
アス電源群11とヒーター21がオフ状態となり、同時に接
点33bがオンとなり警報用のブザー31及びランプ32が作
動し異常を知らせる。
次に、インターロック解除回路４の動作について説明す
る。
る。
試験中、ベルト24の劣化や恒温槽に異常が発見された場
合には、インターロック解除用のスイッチS1をオンに
し、ブレーカB3をオフにすれば、バイアス電源群11をオ
フにする事無くベルト24の交換や恒温槽の異常を処理出
来る。尚この時、表示ランプ41が点灯しインターロック
解除中である事を表示する。
合には、インターロック解除用のスイッチS1をオンに
し、ブレーカB3をオフにすれば、バイアス電源群11をオ
フにする事無くベルト24の交換や恒温槽の異常を処理出
来る。尚この時、表示ランプ41が点灯しインターロック
解除中である事を表示する。
処置後はブレーカB3をオンにし正常に動作していること
を確認してスイッチS1をオフにすれば通常の稼働状態に
復帰する。
を確認してスイッチS1をオフにすれば通常の稼働状態に
復帰する。
第２図は本考案の第２の実施例を示すブロック図であ
る。
る。
この実施例は、稼働中バイアス電源群11をオンにした状
態でブレーカB3を一時的にオフしたい場合、インターロ
ック解除用のスイッチS2を押すことによりインターロッ
ク解除用の解除リレー42が動作しその状態が可能とな
る。
態でブレーカB3を一時的にオフしたい場合、インターロ
ック解除用のスイッチS2を押すことによりインターロッ
ク解除用の解除リレー42が動作しその状態が可能とな
る。
尚、この時、警報用のブザー31及びランプ32とは異なっ
たインターロック解除中であることを表示する為のブザ
ー44及び表示ランプ41が動作する。
たインターロック解除中であることを表示する為のブザ
ー44及び表示ランプ41が動作する。
そしてインターロック復帰用のスイッチS3を押す事によ
りインターロック回路３は復帰する。
りインターロック回路３は復帰する。
又、作業者がバイアス・温度試験装置から遠く離れたり
インターロック解除中であることを忘れた場合、被試験
用の半導体装置の自己発熱による破壊，火災事故等を未
然に防ぐ為、インターロック解除時間を設定するタイマ
ーリレー43により時間設定が出来る構成となっている。
インターロック解除中であることを忘れた場合、被試験
用の半導体装置の自己発熱による破壊，火災事故等を未
然に防ぐ為、インターロック解除時間を設定するタイマ
ーリレー43により時間設定が出来る構成となっている。
従って、安定した状態が効率よく信頼性試験や復旧作業
を行うことができる。
を行うことができる。
以上説明したように本考案は、信頼性試験中に発生する
異常時にインターロック機能を解除するインターロック
解除回路を設け、被試験用の半導体装置にバイアスを印
加しながら復旧作業ができる構成とすることにより、信
頼性試験を安定した状態で効率よく行うことができる効
果がある。
異常時にインターロック機能を解除するインターロック
解除回路を設け、被試験用の半導体装置にバイアスを印
加しながら復旧作業ができる構成とすることにより、信
頼性試験を安定した状態で効率よく行うことができる効
果がある。
第１図及び第２図はそれぞれ本考案の第１及び第２の実
施例を示す回路図、第３図は従来のバイアス・温度試験
装置の一例を示す回路図である。 １……バイアス電源回路、２……温度設定回路、３……
インターロック回路、4,4a……インターロック解除回
路、11……バイアス電源群、21……ヒーター、22……撹
拌装置、23……電磁開閉器、24……ベルト、31……ブザ
ー、32……ランプ、33……電磁開閉器、34……ヒーター
過熱検出器、35……ファン停止検出器、41……表示ラン
プ、42……解除リレー、43……タイマーリレー、44……
ブザー、B1〜B4……ブレーカ、F1……ファン、M1……モ
ータ、S1〜S3……スイッチ。
施例を示す回路図、第３図は従来のバイアス・温度試験
装置の一例を示す回路図である。 １……バイアス電源回路、２……温度設定回路、３……
インターロック回路、4,4a……インターロック解除回
路、11……バイアス電源群、21……ヒーター、22……撹
拌装置、23……電磁開閉器、24……ベルト、31……ブザ
ー、32……ランプ、33……電磁開閉器、34……ヒーター
過熱検出器、35……ファン停止検出器、41……表示ラン
プ、42……解除リレー、43……タイマーリレー、44……
ブザー、B1〜B4……ブレーカ、F1……ファン、M1……モ
ータ、S1〜S3……スイッチ。
Claims (1)
- 【請求項１】恒温槽内の被試験用の半導体装置に所定の
バイアスを印加するバイアス電源回路と、ヒーターと撹
拌装置とを備え前記恒温槽内を所定の温度に設定する温
度設定回路と、前記ヒーターの過熱及び前記撹拌装置の
停止を含む異常時に前記バイアス電源回路の電源をオフ
にし前記半導体装置へのバイアスの印加を停止するイン
ターロック機能を備えたインターロック回路と、このイ
ンターロック回路と接続したスイッチと表示ランプとを
備えこのスイッチを操作して前記インターロック機能を
解除すると共にインターロック解除の表示をするインタ
ーロック解除回路とを有することを特徴とするバイアス
・温度試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10014787U JPH0633432Y2 (ja) | 1987-06-29 | 1987-06-29 | バイアス・温度試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10014787U JPH0633432Y2 (ja) | 1987-06-29 | 1987-06-29 | バイアス・温度試験装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS645172U JPS645172U (ja) | 1989-01-12 |
| JPH0633432Y2 true JPH0633432Y2 (ja) | 1994-08-31 |
Family
ID=31327956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10014787U Expired - Lifetime JPH0633432Y2 (ja) | 1987-06-29 | 1987-06-29 | バイアス・温度試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0633432Y2 (ja) |
-
1987
- 1987-06-29 JP JP10014787U patent/JPH0633432Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS645172U (ja) | 1989-01-12 |
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