JPH1145408A - 磁気ヘッド用基板材料 - Google Patents
磁気ヘッド用基板材料Info
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- JPH1145408A JPH1145408A JP9217062A JP21706297A JPH1145408A JP H1145408 A JPH1145408 A JP H1145408A JP 9217062 A JP9217062 A JP 9217062A JP 21706297 A JP21706297 A JP 21706297A JP H1145408 A JPH1145408 A JP H1145408A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/34—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials non-metallic substances, e.g. ferrites
- H01F1/342—Oxides
- H01F1/344—Ferrites, e.g. having a cubic spinel structure (X2+O)(Y23+O3), e.g. magnetite Fe3O4
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 非磁性単結晶フェライトと磁性フェライトと
の間にクラックのない接合を実現する。 【解決手段】 接合基板として、Ｆｅ2Ｏ3が５１．０な
いし５２．０ｍｏｌ％，ＴｉＯ2が９．２ないし１０．
０ｍｏｌ％，残部がＺｎＯの組成割合である非磁性単結
晶フェライトと、Ｆｅ2Ｏ3が５３．５ないし５５．０ｍ
ｏｌ％，ＺｎＯが１６．０ないし２０．０ｍｏｌ％、残
部がＭｎＯの組成割合である磁性単結晶フェライト又は
磁性多結晶フェライトとを接合して構成する。
の間にクラックのない接合を実現する。 【解決手段】 接合基板として、Ｆｅ2Ｏ3が５１．０な
いし５２．０ｍｏｌ％，ＴｉＯ2が９．２ないし１０．
０ｍｏｌ％，残部がＺｎＯの組成割合である非磁性単結
晶フェライトと、Ｆｅ2Ｏ3が５３．５ないし５５．０ｍ
ｏｌ％，ＺｎＯが１６．０ないし２０．０ｍｏｌ％、残
部がＭｎＯの組成割合である磁性単結晶フェライト又は
磁性多結晶フェライトとを接合して構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】情報機器分野等において使用
される、高周波用磁気ヘッドである、積層型メタルヘッ
ド、ＭＩＧヘッドなどの磁気ヘッドの基板材料に関す
る。
される、高周波用磁気ヘッドである、積層型メタルヘッ
ド、ＭＩＧヘッドなどの磁気ヘッドの基板材料に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、高密度磁気記録分野において
は、高記録密度の例えばメタルテープが使用される。こ
のテープに対応して、磁気ヘッドとしては、高い飽和磁
束密度を有する金属磁性層を用いた積層型メタルヘッド
又はＭＩＧ型メタルヘッドが採用されている。
は、高記録密度の例えばメタルテープが使用される。こ
のテープに対応して、磁気ヘッドとしては、高い飽和磁
束密度を有する金属磁性層を用いた積層型メタルヘッド
又はＭＩＧ型メタルヘッドが採用されている。
【０００３】図１（ａ）には、積層型メタルヘッド（ヘ
ッドチップとも言う）１０が示されている。一対のコア
半体５７、５８は、所定の磁気ギャップ３を挟んで突き
合わされ、接合されており、これらは磁気トラックを形
成する、非磁性基板２、２に挟まれた金属磁性膜１から
構成されている。これには、所定の巻線窓４、巻線溝
５、６が形成されている。
ッドチップとも言う）１０が示されている。一対のコア
半体５７、５８は、所定の磁気ギャップ３を挟んで突き
合わされ、接合されており、これらは磁気トラックを形
成する、非磁性基板２、２に挟まれた金属磁性膜１から
構成されている。これには、所定の巻線窓４、巻線溝
５、６が形成されている。
【０００４】図１（ｂ）には、ＭＩＧ型メタルヘッド２
０が、示されている。一対のコア半体１８、１９は、磁
気ギャップ１７形成面側に形成され且つ磁性単結晶１２
上に形成された金属磁性膜１１を有し、モールドガラス
１３が充填されて、所定の磁気ギャップ１７を形成する
と共に、接合されている。これには、所定の巻線窓１
４、巻線溝１５、１６が形成されている。
０が、示されている。一対のコア半体１８、１９は、磁
気ギャップ１７形成面側に形成され且つ磁性単結晶１２
上に形成された金属磁性膜１１を有し、モールドガラス
１３が充填されて、所定の磁気ギャップ１７を形成する
と共に、接合されている。これには、所定の巻線窓１
４、巻線溝１５、１６が形成されている。
【０００５】図２に、一般的な積層ヘッドの作り方を示
す。適当な大きさの非磁性基板２上に、コア部となる高
飽和磁束密度を有する金属磁性膜１を、トラック幅とほ
ぼ同一の厚みになるように、蒸着、或いはスパッタ法な
どにより形成する（図２（ａ）参照）。
す。適当な大きさの非磁性基板２上に、コア部となる高
飽和磁束密度を有する金属磁性膜１を、トラック幅とほ
ぼ同一の厚みになるように、蒸着、或いはスパッタ法な
どにより形成する（図２（ａ）参照）。
【０００６】金属磁性膜１の形成された非磁性基板の所
定枚数を積層して、例えばガラスを用いて接着しブロッ
ク９を形成する（図２（ｂ）参照）。この際、積層した
両端の非磁性基板２´の厚みは、１／２トラック幅とす
るか、又は後述するスライス加工を施してよい。
定枚数を積層して、例えばガラスを用いて接着しブロッ
ク９を形成する（図２（ｂ）参照）。この際、積層した
両端の非磁性基板２´の厚みは、１／２トラック幅とす
るか、又は後述するスライス加工を施してよい。
【０００７】ブロック９から、所定形状のコア半体ブロ
ック７、８を切り出し、コア半体ブロック７には巻線窓
４と巻線溝５を形成し、コア半体ブロック６には巻線溝
６を形成する（図２（ｃ）参照）。一対のコア半体ブロ
ック７、８を突き合わせ、例えばガラスモールドによ
り、所定の磁気ギャップ３を形成すると共に、接合し、
コアブロック１１１を形成する（図２（ｄ）参照）。
ック７、８を切り出し、コア半体ブロック７には巻線窓
４と巻線溝５を形成し、コア半体ブロック６には巻線溝
６を形成する（図２（ｃ）参照）。一対のコア半体ブロ
ック７、８を突き合わせ、例えばガラスモールドによ
り、所定の磁気ギャップ３を形成すると共に、接合し、
コアブロック１１１を形成する（図２（ｄ）参照）。
【０００８】コアブロック１１１に円筒研削などによ
り、所定の円弧を有するテープ摺動面を形成し、チップ
ブロック１１２を得る（図２（ｅ）参照）。チップブロ
ック１１２の非磁性基板部を、図２（ｅ）に示した二点
鎖線に沿って、スライスし、個々のチップに切り分け、
ヘッドチップ１０を得る（図２（ｆ）参照）。
り、所定の円弧を有するテープ摺動面を形成し、チップ
ブロック１１２を得る（図２（ｅ）参照）。チップブロ
ック１１２の非磁性基板部を、図２（ｅ）に示した二点
鎖線に沿って、スライスし、個々のチップに切り分け、
ヘッドチップ１０を得る（図２（ｆ）参照）。
【０００９】ところで、上で説明した非磁性基板材料２
は、従来、焼結法或いはＨＩＰ法により作られる、非磁
性セラミックスの多結晶材料が用いられてきた。しか
し、これらの多結晶材料には、粒界や空孔が存在するた
め、その加工性に問題があり、又磁気ヘッドを構成した
場合、磁気テープ等との摺動性にも問題があった。この
問題を解決する一つの手段として、特許公報第２５７０
８９１号に、基板材料としての非磁性単結晶フェライト
材料が開示されている。この材料は、熱膨張係数が９７
であり、金属磁性材料のそれに近く、しかも加工性も従
来からのヘッド材料である磁性フェライトに近く、付着
する磁性膜の特性を損なうことなく、かつ優れた耐摩耗
性を有する材料である。
は、従来、焼結法或いはＨＩＰ法により作られる、非磁
性セラミックスの多結晶材料が用いられてきた。しか
し、これらの多結晶材料には、粒界や空孔が存在するた
め、その加工性に問題があり、又磁気ヘッドを構成した
場合、磁気テープ等との摺動性にも問題があった。この
問題を解決する一つの手段として、特許公報第２５７０
８９１号に、基板材料としての非磁性単結晶フェライト
材料が開示されている。この材料は、熱膨張係数が９７
であり、金属磁性材料のそれに近く、しかも加工性も従
来からのヘッド材料である磁性フェライトに近く、付着
する磁性膜の特性を損なうことなく、かつ優れた耐摩耗
性を有する材料である。
【００１０】ところで、積層型磁気ヘッド１０は図１
（ａ）から分かるように、磁気コア部（すなわち、金属
磁性膜１）の断面積が小さい。この結果、磁気ヘッドの
インダクタンスは、比較的小さな値となる。これは、高
周波特性に優れるが、再生の効率が悪いことを意味す
る。
（ａ）から分かるように、磁気コア部（すなわち、金属
磁性膜１）の断面積が小さい。この結果、磁気ヘッドの
インダクタンスは、比較的小さな値となる。これは、高
周波特性に優れるが、再生の効率が悪いことを意味す
る。
【００１１】この積層型磁気ヘッドに固有の欠点を改善
する方法として、図３に示される積層型磁気ヘッド３０
が従来より知られている。図３は、従来の改良型の積層
型メタルヘッドの斜視図であり、この磁気ヘッド３０
は、積層タイプの金属磁性膜２１を、非磁性結晶２３と
磁性結晶２２とを接合して形成した基板で、サンドイッ
チした一対のコア半体２８、２９を、所定の磁気ギャッ
プ２４を形成し接合して構成されている。
する方法として、図３に示される積層型磁気ヘッド３０
が従来より知られている。図３は、従来の改良型の積層
型メタルヘッドの斜視図であり、この磁気ヘッド３０
は、積層タイプの金属磁性膜２１を、非磁性結晶２３と
磁性結晶２２とを接合して形成した基板で、サンドイッ
チした一対のコア半体２８、２９を、所定の磁気ギャッ
プ２４を形成し接合して構成されている。
【００１２】コア半体２８、２９のテープ摺動面側の基
板材料が非磁性結晶より構成されており、積層金属磁性
膜２１による磁気トラックの形成可能にしている。それ
以外のコア半体２７、２８の部分の基板材料は磁性結晶
より構成されており、これにより、これらの部分のコア
の磁路面積を増加させ、その結果、ヘッドの再生特性を
向上させている。
板材料が非磁性結晶より構成されており、積層金属磁性
膜２１による磁気トラックの形成可能にしている。それ
以外のコア半体２７、２８の部分の基板材料は磁性結晶
より構成されており、これにより、これらの部分のコア
の磁路面積を増加させ、その結果、ヘッドの再生特性を
向上させている。
【００１３】また、図４は、従来の改良型のＭＩＧ型メ
タルヘッドの斜視図であり、図４（ａ）には、非磁性結
晶３３と磁性結晶３２を、テープ摺動面に対して、ほぼ
直交する方向に、積層接合したものの上に、金属磁性膜
３１を形成し、コア半体３８、３９を構成し、磁気ギャ
ップを形成するギャップ材を挟んでこれらを突き合わせ
て、モールドガラス３４を充填することにより、ＭＩＧ
型磁気ヘッド４０を構成した場合が示されている。
タルヘッドの斜視図であり、図４（ａ）には、非磁性結
晶３３と磁性結晶３２を、テープ摺動面に対して、ほぼ
直交する方向に、積層接合したものの上に、金属磁性膜
３１を形成し、コア半体３８、３９を構成し、磁気ギャ
ップを形成するギャップ材を挟んでこれらを突き合わせ
て、モールドガラス３４を充填することにより、ＭＩＧ
型磁気ヘッド４０を構成した場合が示されている。
【００１４】図４（ｂ）には、磁性結晶と非磁性結晶を
接合した基板を用い、ヘッド先端部に相当する部分の基
板を磁性結晶４２とし、それ以外のコア部に相当する部
分の基板を非磁性結晶４３とし、その上に金属磁性膜４
１を形成し、コア半体４８、４９を構成し、磁気ギャッ
プを形成するギャップ材を挟んでこれらを突き合わせ
て、モールドガラス４４を充填することにより、ＭＩＧ
型磁気ヘッド５０を構成した場合が示されている。いず
れの場合も、ヘッドインダクタンスが小さく、磁気ヘッ
ドの特性が向上している。
接合した基板を用い、ヘッド先端部に相当する部分の基
板を磁性結晶４２とし、それ以外のコア部に相当する部
分の基板を非磁性結晶４３とし、その上に金属磁性膜４
１を形成し、コア半体４８、４９を構成し、磁気ギャッ
プを形成するギャップ材を挟んでこれらを突き合わせ
て、モールドガラス４４を充填することにより、ＭＩＧ
型磁気ヘッド５０を構成した場合が示されている。いず
れの場合も、ヘッドインダクタンスが小さく、磁気ヘッ
ドの特性が向上している。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の基板
材料は、ブリッジマン法ないし固相成長法により得られ
る非磁性単結晶材料と磁性単結晶材料とを、又は非磁性
単結晶材料と焼結法或いはＨＩＰ法により作られる多結
晶材料とを、それぞれの相接合する面を充分に研磨し、
互いの面を突き合わせ加圧した状態で、１０００℃前後
に加熱、保持することにより得られる。この接合は、単
結晶材料と単結晶材料又は多結晶材料それぞれの相互拡
散による接合であり、極めて強固な接合が得られる方法
である。
材料は、ブリッジマン法ないし固相成長法により得られ
る非磁性単結晶材料と磁性単結晶材料とを、又は非磁性
単結晶材料と焼結法或いはＨＩＰ法により作られる多結
晶材料とを、それぞれの相接合する面を充分に研磨し、
互いの面を突き合わせ加圧した状態で、１０００℃前後
に加熱、保持することにより得られる。この接合は、単
結晶材料と単結晶材料又は多結晶材料それぞれの相互拡
散による接合であり、極めて強固な接合が得られる方法
である。
【００１６】しかし、従来知られている非磁性単結晶と
磁性単結晶との組み合せ、又は非磁性単結晶と磁性多結
晶との組み合せ（例えば、特開平５−２２５５１５号参
照）により接合基板を構成する場合、接合時の歪を考え
熱膨張係数のほぼ等しい材料の組み合せで構成したにも
かかわらず、接合の歩留まりが悪いという欠点があっ
た。
磁性単結晶との組み合せ、又は非磁性単結晶と磁性多結
晶との組み合せ（例えば、特開平５−２２５５１５号参
照）により接合基板を構成する場合、接合時の歪を考え
熱膨張係数のほぼ等しい材料の組み合せで構成したにも
かかわらず、接合の歩留まりが悪いという欠点があっ
た。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の磁気ヘッド用基板材料は、Ｆｅ2Ｏ3が５
１．０ないし５２．０ｍｏｌ％，ＴｉＯ2が９．２ない
し１０．０ｍｏｌ％，残部がＺｎＯの組成割合である非
磁性単結晶フェライトと、Ｆｅ2Ｏ3が５３．５ないし５
５．０ｍｏｌ％，ＺｎＯが１６．０ないし２０．０ｍｏ
ｌ％、残部がＭｎＯの組成割合である磁性単結晶フェラ
イト又は磁性多結晶フェライトとを接合して構成したこ
とを特徴とする。
に、本発明の磁気ヘッド用基板材料は、Ｆｅ2Ｏ3が５
１．０ないし５２．０ｍｏｌ％，ＴｉＯ2が９．２ない
し１０．０ｍｏｌ％，残部がＺｎＯの組成割合である非
磁性単結晶フェライトと、Ｆｅ2Ｏ3が５３．５ないし５
５．０ｍｏｌ％，ＺｎＯが１６．０ないし２０．０ｍｏ
ｌ％、残部がＭｎＯの組成割合である磁性単結晶フェラ
イト又は磁性多結晶フェライトとを接合して構成したこ
とを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して本発明の
実施の形態を説明する。本発明は、上記課題を解決する
ために、鋭意研究した結果、従来の接合基板材料が比較
的熱膨張係数の等しい材料によって構成されていたのに
対し、歩留まり良く、非磁性単結晶と磁性結晶を接合で
き、磁気ヘッド用の基板材料として用いた場合、磁気特
性的にも良い、新たな材料の組み合せを得られることを
見出した。
実施の形態を説明する。本発明は、上記課題を解決する
ために、鋭意研究した結果、従来の接合基板材料が比較
的熱膨張係数の等しい材料によって構成されていたのに
対し、歩留まり良く、非磁性単結晶と磁性結晶を接合で
き、磁気ヘッド用の基板材料として用いた場合、磁気特
性的にも良い、新たな材料の組み合せを得られることを
見出した。
【００１９】ここで説明する本発明の磁気ヘッド用基板
材料は、先に図３、図４においてそれぞれ示した、積層
型磁気ヘッド３０、ＭＩＧ型磁気ヘッド４０に適用して
いるので、構造の説明を省略する。
材料は、先に図３、図４においてそれぞれ示した、積層
型磁気ヘッド３０、ＭＩＧ型磁気ヘッド４０に適用して
いるので、構造の説明を省略する。
【００２０】以下、非磁性単結晶と磁性結晶の接合基板
の具体的実施例について説明する。以下の実施例及び比
較例における接合基板の焼結作製条件は、次の通りであ
る。非磁性単結晶材料と磁性単結晶材料とのそれぞれの
相接合する面を充分に研磨し、互いの面を突き合わせ，
５０ないし５００ｋｇ／ｃｍ２の加圧力を加え加圧し、
窒素雰囲気中で、９００ないし１２００℃で、０．５な
いし３時間焼結することによって、接合基板を得る。
の具体的実施例について説明する。以下の実施例及び比
較例における接合基板の焼結作製条件は、次の通りであ
る。非磁性単結晶材料と磁性単結晶材料とのそれぞれの
相接合する面を充分に研磨し、互いの面を突き合わせ，
５０ないし５００ｋｇ／ｃｍ２の加圧力を加え加圧し、
窒素雰囲気中で、９００ないし１２００℃で、０．５な
いし３時間焼結することによって、接合基板を得る。
【００２１】得られた接合基板について、クラックの有
無を外観上観察した。外観上クラックの確認できないも
のは、さらに詳しく観察するために、接合面が露出する
ように接合基板をスライスし、接合面を研磨して、顕微
鏡でクラックの有無を確認した。
無を外観上観察した。外観上クラックの確認できないも
のは、さらに詳しく観察するために、接合面が露出する
ように接合基板をスライスし、接合面を研磨して、顕微
鏡でクラックの有無を確認した。
【００２２】実施例１ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５４．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１８．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２７．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５４．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１８．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２７．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
【００２３】実施例２ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５３．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …２０．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２６．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５３．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …２０．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２６．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
【００２４】実施例３ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５３．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１８．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２８．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５３．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１８．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２８．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
【００２５】実施例４ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５５．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１７．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２７．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５５．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１７．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２７．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
【００２６】実施例５ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５５．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１５．５ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２９．０ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５５．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１５．５ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２９．０ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
【００２７】実施例６ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５５．０ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …２１．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２４．０ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５５．０ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …２１．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２４．０ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、クラック
レスで接合できた。
【００２８】比較例１ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５３．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …２３．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２３．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合がで
きるがクラックが多い。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５３．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …２３．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２３．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合がで
きるがクラックが多い。
【００２９】比較例２ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５６．０ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …２３．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２１．０ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合後に
割れてしまった。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５６．０ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …２３．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２１．０ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合後に
割れてしまった。
【００３０】比較例３ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …６４．０ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１５．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２１．０ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合後に
磁性単結晶が割れてしまった。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …６４．０ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１５．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …２１．０ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合後に
磁性単結晶が割れてしまった。
【００３１】比較例４ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５４．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１０．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …３５．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合後に
磁性単結晶が割れてしまった。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５４．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１０．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …３５．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合後に
磁性単結晶が割れてしまった。
【００３２】比較例５ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５２．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１７．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …３０．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合でき
るが、一部にクラックあり。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５２．５ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１７．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …３０．５ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合でき
るが、一部にクラックあり。
【００３３】比較例６ （１）から（３）の各成分を次の組成比で混合して非磁
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５４．０ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１３．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …３３．０ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合でき
るが、一部が割れる。
性単結晶フェライトを作製した。 （１）Ｆｅ2Ｏ3 …５１．０ｍｏｌ％ （２）ＴｉＯ2 …９．２ｍｏｌ％ （３）ＺｎＯ …３９．８ｍｏｌ％ （４）から（６）の各成分を次の組成比で混合して磁性
単結晶フェライトを作製した。 （４）Ｆｅ2Ｏ3 …５４．０ｍｏｌ％ （５）ＺｎＯ …１３．０ｍｏｌ％ （６）ＭｎＯ …３３．０ｍｏｌ％ 上記の非磁性単結晶フェライトと磁性単結晶フェライト
を上述の接合条件で接合した。接合の結果は、接合でき
るが、一部が割れる。
【００３４】以上の結果をまとめたものが、図５であ
る。図５には、磁性単結晶の組成に対して、接合の結
果、クラックの発生しなかったものには○、接合できる
がクラックが発生したものを△、接合後に割れてしまっ
たものを×で、それぞれ表してある。
る。図５には、磁性単結晶の組成に対して、接合の結
果、クラックの発生しなかったものには○、接合できる
がクラックが発生したものを△、接合後に割れてしまっ
たものを×で、それぞれ表してある。
【００３５】これによれば、非磁性単結晶フェライトと
接合されるに好適な磁性単結晶フェライトの組成範囲
は、Ｆｅ2Ｏ3が５３．５ないし５５ｍｏｌ％，ＺｎＯが
１６ないし２０ｍｏｌ％、残部がＭｎＯであることが分
かる。
接合されるに好適な磁性単結晶フェライトの組成範囲
は、Ｆｅ2Ｏ3が５３．５ないし５５ｍｏｌ％，ＺｎＯが
１６ないし２０ｍｏｌ％、残部がＭｎＯであることが分
かる。
【００３６】以上、磁性結晶として、磁性単結晶フェラ
イトについて、説明したが、磁性単結晶フェライトの代
わりに、磁性多結晶フェライトを用いた場合は、さらに
広い組成割合で、良好な接合が得られることが確認され
ている。
イトについて、説明したが、磁性単結晶フェライトの代
わりに、磁性多結晶フェライトを用いた場合は、さらに
広い組成割合で、良好な接合が得られることが確認され
ている。
【００３７】さらに、非磁性単結晶フェライトの組成割
合については、 Ｆｅ2Ｏ3が５１．０ｍｏｌ％，ＴｉＯ
2が９．２ｍｏｌ％，残部がＺｎＯの組成割合について
説明したが、実験によれば、Ｆｅ2Ｏ3が５１．０ないし
５２．０ｍｏｌ％，ＴｉＯ2が９．２ないし１０．０ｍ
ｏｌ％，残部がＺｎＯの組成割合で、良好な接合結果が
得られることが確認されている。
合については、 Ｆｅ2Ｏ3が５１．０ｍｏｌ％，ＴｉＯ
2が９．２ｍｏｌ％，残部がＺｎＯの組成割合について
説明したが、実験によれば、Ｆｅ2Ｏ3が５１．０ないし
５２．０ｍｏｌ％，ＴｉＯ2が９．２ないし１０．０ｍ
ｏｌ％，残部がＺｎＯの組成割合で、良好な接合結果が
得られることが確認されている。
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、
接合基板として、Ｆｅ2Ｏ3が５１．０ないし５２．０ｍ
ｏｌ％，ＴｉＯ2が９．２ないし１０．０ｍｏｌ％，残
部がＺｎＯの組成割合である非磁性単結晶フェライト
と、Ｆｅ2Ｏ3が５３．５ないし５５．０ｍｏｌ％，Ｚｎ
Ｏが１６．０ないし２０．０ｍｏｌ％、残部がＭｎＯの
組成割合である磁性単結晶フェライト又は磁性多結晶フ
ェライトとを接合して構成したことにより、クラックの
ない接合を実現することができる。
接合基板として、Ｆｅ2Ｏ3が５１．０ないし５２．０ｍ
ｏｌ％，ＴｉＯ2が９．２ないし１０．０ｍｏｌ％，残
部がＺｎＯの組成割合である非磁性単結晶フェライト
と、Ｆｅ2Ｏ3が５３．５ないし５５．０ｍｏｌ％，Ｚｎ
Ｏが１６．０ないし２０．０ｍｏｌ％、残部がＭｎＯの
組成割合である磁性単結晶フェライト又は磁性多結晶フ
ェライトとを接合して構成したことにより、クラックの
ない接合を実現することができる。
【図１】従来の積層型メタルヘッド及びＭＩＧ型メタル
ヘッドの斜視図である。
ヘッドの斜視図である。
【図２】積層型メタルヘッドの製造工程図である。
【図３】従来の改良型の積層型メタルヘッドの斜視図で
ある。
ある。
【図４】従来の改良型のＭＩＧ型メタルヘッドの斜視図
である。
である。
【図５】本発明に係る磁性単結晶フェライトの組成と接
合の状態の関係を示す図である。
合の状態の関係を示す図である。
１…金属磁性膜 ２…非磁性基板 ３…磁気ギャップ ４…巻線窓 １０…積層型メタルヘッド ２１…金属磁性膜 ２２…磁性結晶 ２３…非磁性結晶 ２４…磁気ギャップ ２５…巻線窓 ３０…積層型メタルヘッド
Claims (1)
- 【請求項１】Ｆｅ2Ｏ3が５１．０ないし５２．０ｍｏｌ
％，ＴｉＯ2が９．２ないし１０．０ｍｏｌ％，残部が
ＺｎＯの組成割合である非磁性単結晶フェライトと、Ｆ
ｅ2Ｏ3が５３．５ないし５５．０ｍｏｌ％，ＺｎＯが１
６．０ないし２０．０ｍｏｌ％、残部がＭｎＯの組成割
合である磁性単結晶フェライト又は磁性多結晶フェライ
トとを接合して構成したことを特徴とする磁気ヘッド用
基板材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9217062A JPH1145408A (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 磁気ヘッド用基板材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9217062A JPH1145408A (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 磁気ヘッド用基板材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1145408A true JPH1145408A (ja) | 1999-02-16 |
Family
ID=16698242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9217062A Pending JPH1145408A (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 磁気ヘッド用基板材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1145408A (ja) |
-
1997
- 1997-07-28 JP JP9217062A patent/JPH1145408A/ja active Pending
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