JPH1139075A - 入力装置 - Google Patents

入力装置

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Publication number
JPH1139075A
JPH1139075A JP9212673A JP21267397A JPH1139075A JP H1139075 A JPH1139075 A JP H1139075A JP 9212673 A JP9212673 A JP 9212673A JP 21267397 A JP21267397 A JP 21267397A JP H1139075 A JPH1139075 A JP H1139075A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
input
shift
position information
moving
pressure
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP9212673A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasuhiro Suzuki
康裕 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
Priority to JP9212673A priority Critical patent/JPH1139075A/ja
Publication of JPH1139075A publication Critical patent/JPH1139075A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 移動対象物の移動方向及び移動量等の指示作
業とキーボード操作とを簡単に切替えながら行うことが
できるよう両操作の操作性を向上させた入力装置を提供
する。 【解決手段】 この入力装置は、多数配列された複数の
入力キー1を有し、外部機器に制御信号を出力するため
に情報を入力する入力装置において、外部機器に備えら
れた移動機構を移動制御するための位置情報を入力する
複数の位置情報入力キー4を多数配列された複数の入力
キーの周囲に配列した。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、外部機器に制御信
号を出力するために情報を入力する入力装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の入力装置では、外部機器
に備えられた移動ステージ等の移動対象物の位置情報を
コンピュータ画面やITV画面等に表示しながら移動制
御するために、コンピュータ等の画面のポインタの指示
移動をマウスで行ったり、操作卓上のジョイスティック
を利用して移動指示を与えるのが一般的である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来の技術
では、移動対象物に移動指示を行う装置において文字入
力作業を行うキーボードを有する場合が一般的であるた
め、オペレータは、マウスやジョイステックによる移動
対象物の移動方向及び移動量等の指示作業とキーボード
操作を併用しなければならない。指示作業を行う位置と
キーボード操作を行う位置との間に所定のストロークが
あるため、両操作を行う上での操作性が悪くなる問題が
あった。
【0004】本発明はこの様な従来の問題点に鑑みてな
されたもので、移動対象物の移動方向及び移動量等の指
示作業とキーボード操作とを簡単に切替えながら行うこ
とができるよう両操作の操作性を向上させた入力装置を
提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題の達成のため、
本発明の入力装置は、配列された複数の入力キーを有
し、外部機器に制御信号を出力するために情報を入力す
る入力装置において、前記外部機器に備えられた移動機
構を移動制御するための位置情報を入力する複数の位置
情報入力キーを前記配列された複数の入力キーの周囲に
配列したことを特徴とする。
【0006】本発明によれば、配列された複数の入力キ
ーの周囲に配列した位置情報入力キーから外部機器の移
動機構に対して位置情報を入力できるから、位置情報入
力キーにマウスやジョイステック等の入力機構と同等の
機能を加えて入力キーと一体化することにより、両方の
作業を短い動作ストロークで切り替えながら行なうこと
ができる。入力キーと位置情報入力キーとの位置関係が
接近するから、両入力キーの操作性が向上し、また入力
装置上の操作機構の配置を簡素化させることができる。
【0007】また、前記位置情報入力キーが感圧センサ
から構成され、前記感圧センサを押す位置により移動方
向が入力され、前記感圧センサを押す押圧力により移動
速度が入力され、前記感圧センサを押す押圧力と時間に
より移動量が入力されるように構成できる。
【0008】また、前記移動機構に関する位置情報が表
示部の画面上に表示され、前記配列された複数の入力キ
ーの周囲に前記感圧センサが環状に複数配列され、各感
圧センサの位置が前記画面上における前記移動方向と対
応するように構成できる。、なお、各感圧センサの押圧
力が前記画面上における移動速度と対応するように構成
してもよい。これにより、画面を見ながら位置情報の入
力操作が容易に行える。
【0009】また、フォトマスクを載置し移動可能なス
テージ機構を有する装置において、上述の入力装置を備
え、前記位置情報入力キーから入力される位置情報に基
づいて前記ステージ機構に載置されたフォトマスクの移
動位置を決定する構成にできる。かかるフォトマスクを
載置し移動可能なステージ機構を有する装置には、例え
ば、パターンの形成されたフォトマスクを用いる、半導
体素子や液晶表示素子等の製造用露光装置、パターン座
標測定装置、パターン検査装置、パターン補正装置等が
ある。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明による実施の形態に
ついて図面を用いて説明する。図1は本発明の実施の形
態を示す入力装置の全体構成を示す平面図である。図1
の入力装置は、コンピュータで使用する文字入力用の一
般的なキーボードを構成する多数配列された入力キー1
の周囲に、移動対象物の移動方向、移動速度及び移動量
に関する移動指示を与える位置情報入力キーを配列する
楕円形状のエリア2を有する。また、エリア2の位置情
報入力キーによる入力を有効/無効に切り換えるスイッ
チ3がエリア2の内側に配置されている。
【0011】図2は、図1の一部を拡大したものであ
り、エリア2には押圧力を感知する感圧センサ4が多数
並べて配置されている。各感圧センサ4にはそれぞれ異
なる移動方向5が設定されており、また感圧センサ4
は、押圧力に応じて複数段階の閾値レベルを認識し、各
段階に応じて移動速度が設定されている。押圧する感圧
センサ4の位置により移動対象物の移動方向を入力で
き、押圧力によりその移動速度を入力できる。また、感
圧センサの押圧力と押圧時間によりその移動量を入力す
ることができる。また、移動対象物の位置情報を画面上
に表示する場合、各感圧センサ4の各移動方向5を画面
上の移動方向に対応させることができる。これにより、
移動方向の情報をオペレータが認識し易くなる。
【0012】図3に、位置情報入力キーのポジション
1,2,・・・,Nにおける各感圧センサからの入力電
気信号を処理するブロック図を示す。各感圧センサ4か
らの電気信号は、増幅回路5により増幅され、A/D変
換回路6でデジタル信号に変換されてから、アクティブ
感圧センサ判別回路7においてどのポジションの感圧セ
ンサが押されたかを判別しマイクロコンピュータ9にこ
の情報を送る。一方、データセレクト回路8において各
A/D変換回路6からのデジタル信号を選択してマイク
ロコンピュータに9に送る。これらの情報に基づいてマ
イクロコンピュータ9では、押圧力に応じた閾値レベル
を判別する等の判断を行い、移動対象物の移動方向、移
動速度及び移動量を計算し、外部機器や表示部にデータ
を出力する。このようにして、各感圧センサ4の入力値
から移動対象物の移動方向、移動速度及び移動量、更に
画面上の移動速度指示の情報を抽出することができる。
【0013】図4に図1〜3に示す入力装置の動作のフ
ローチャートを示す。移動対象物を任意の方向に移動す
る場合にのみ押圧力を感知する感圧センサ4が有効にな
るように設定を図1のスイッチ3により切り換える(S
11)。続いて、移動対象物の移動方向に同期しながら
キーボード周辺のエリア2に配列された感圧センサ4を
押すことにより入力を行う(S12)。また、感圧セン
サへの押圧力に合わせて複数段階の閾値レベルを認識す
ることにより移動方向以外に、画面上指示の移動速度や
一回当たりのアクセスでの移動量等の情報を得ることが
できる(S13)。これらの情報が移動対象物の移動を
行う外部機器にコンピュータ経由で伝達されその移動が
実行される(S14)。動作を続行する場合は感圧セン
サを押さえ続けたり、再度押さえることで繰り返される
(S15)。終了する場合はセンサ無効設定のために有
効/無効切り換えスイッチ3を押したり、またはタイム
アウトによるセンサ無効設定機能を利用することができ
る(S16)。
【0014】以上のように、本実施の形態によれば、コ
ンピュータの文字入力操作に用いるキーボードの周辺に
位置情報入力キーを配列し、移動対象物の移動方向及び
移動量、移動速度の指示入力機能を加えることにより、
マウスやジョイステイック等と同等の機能を入力装置に
一体化させることができる。従って、マウスやジョイス
テイック等を別途用意せずに簡素化された操作卓環境に
おいて外部機器の移動機構の移動指示を与えることがで
きるととともに、文字入力と移動指示の切り換え動作ス
トロークを短くすることができ、操作性が向上する。
【0015】また、フォトマスクを載置し移動可能なス
テージ機構を有する半導体素子等の製造用露光装置等に
上記入力装置を備えさせることができ、感圧センサから
入力される位置情報に基づいてステージ機構に載置され
たフォトマスクの移動位置を決定することができる。
【0016】
【発明の効果】本発明によれば、移動対象物の移動方向
及び移動量等の指示作業とキーボード操作とを簡単に切
替えながら行うことができ、両操作の操作性を向上させ
た入力装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による入力装置の全体構成
を示す平面図である。
【図2】図1の入力装置の一部の拡大平面図である。
【図3】図1の入力装置の入力電気信号処理系のブロッ
ク図である。
【図4】図1の入力装置の動作のフローチャートであ
る。
【符号の説明】
1 入力キー 2 位置情報入力キーを配列するエ
リア 3 切換スイッチ 4 感圧センサ 5 移動方向

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 配列された複数の入力キーを有し、外部
    機器に制御信号を出力するために情報を入力する入力装
    置において、 前記外部機器に備えられた移動機構を移動制御するため
    の位置情報を入力する複数の位置情報入力キーを前記配
    列された複数の入力キーの周囲に配列したことを特徴と
    する入力装置。
  2. 【請求項2】 前記位置情報入力キーが感圧センサから
    構成され、 前記感圧センサを押す位置により移動方向が入力され、 前記感圧センサを押す押圧力により移動速度が入力さ
    れ、 前記感圧センサを押す押圧力と時間により移動量が入力
    されることを特徴とする請求項1記載の入力装置。
  3. 【請求項3】 前記移動機構に関する位置情報が表示部
    の画面上に表示され、前記配列された複数の入力キーの
    周囲に前記感圧センサが環状に複数配列され、各感圧セ
    ンサの位置が前記画面上における前記移動方向と対応す
    ることを特徴とする請求項2記載の入力装置。
  4. 【請求項4】 フォトマスクを載置し移動可能なステー
    ジ機構を有する装置において、請求項1,2または3記
    載の入力装置を備え、前記位置情報入力キーから入力さ
    れる位置情報に基づいて前記ステージ機構に載置された
    フォトマスクの移動位置を決定することを特徴とするス
    テージ機構を有する装置。
JP9212673A 1997-07-24 1997-07-24 入力装置 Withdrawn JPH1139075A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9212673A JPH1139075A (ja) 1997-07-24 1997-07-24 入力装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9212673A JPH1139075A (ja) 1997-07-24 1997-07-24 入力装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1139075A true JPH1139075A (ja) 1999-02-12

Family

ID=16626513

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9212673A Withdrawn JPH1139075A (ja) 1997-07-24 1997-07-24 入力装置

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JP (1) JPH1139075A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015200926A (ja) * 2014-04-04 2015-11-12 アルプス電気株式会社 入力処理装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015200926A (ja) * 2014-04-04 2015-11-12 アルプス電気株式会社 入力処理装置

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Effective date: 20041005