JPH11356009A - 空気軸受けモータ - Google Patents

空気軸受けモータ

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JPH11356009A
JPH11356009A JP10175343A JP17534398A JPH11356009A JP H11356009 A JPH11356009 A JP H11356009A JP 10175343 A JP10175343 A JP 10175343A JP 17534398 A JP17534398 A JP 17534398A JP H11356009 A JPH11356009 A JP H11356009A
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air
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Kiyoshi Sawada
潔 沢田
Tomohiko Kawai
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    • H02K7/08Structural association with bearings
    • H02K7/086Structural association with bearings radially supporting the rotor around a fixed spindle; radially supporting the rotor directly
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    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械的剛性を低下させることなく小型化が可
能な空気軸受けを備える空気軸受けモータを提供する。 【解決手段】 空気軸受けを備える空気軸受けモータに
おいて、モータのステータは、スロットレスのステータ
コア11と該ステータコアに線材をトロイダル状、かつ
整列巻きで巻回した巻き線3とを備える構成とする。ス
テータは従来のような突出部分を有しないため、ハウジ
ング31はザグリ溝を形成する必要が無く、応力集中に
対応して肉厚を厚くする必要がない。そのため、モータ
のハウジングの肉厚を薄い構造とすることができ、ハウ
ジングを小型化することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、モータ、特に空気
軸受け構造の空気軸受けモータに関する。
【0002】
【従来の技術】光学機器,電子機器などの各種の精密機
器では、高精度,高密度,高集積化の伴って、これらの
構成部品にはナノメーターオーダーの加工精度が要求さ
れてきている。これら高精度の部品を加工する工作機械
やステッパー、電子ビーム描写装置には、非常に高分解
能の精度が要求される。一般に、これら加工装置や製造
装置において、位置決めは位置決め装置によって行われ
る。この位置決め装置の位置制御は、CNCで制御され
る回転サーボモータやリニアモータによって行われるこ
とが多い。したがって、構成部品の加工精度を高めるた
めには、回転サーボモータやリニアモータを高精度に制
御する必要がある。
【0003】しかしながら、通常、回転サーボモータや
リニアモータはトルクリップルを有しているため、モー
タを高精度に制御するには、このトルクリップルを減少
させる必要がある。
【0004】トルクリップルは、大別すると、機械構造
的なトルクリップルと電磁気的なトルクリップルとに区
分することができる。たとえば、回転サーボモータの場
合では、ロータ軸のベアリング等に生じる摩擦抵抗は機
械構造的なトルクリップルの要因となり。また、ロータ
とステータ間に生じる磁気的ひずみは電磁気的なトルク
リップルの要因となる。
【0005】従来、機械構造的なトルクリップルを低減
するために、軸受けを空気軸受けや磁気軸受け等によっ
て、非接触な軸支持を行う等によって摩擦抵抗を減少さ
せるものが提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図17は従来のモータ
構造を説明するための概略断面図である。図17に示す
ように、モータのステータ110では、符号104で示
すような巻き線の耳と呼ばれるモータの軸方向にステー
タコア111から突出した巻き線部分が存在する。この
部分は、電磁気的にロータに寄与しない部分である。そ
のため、巻き数が多くなるとモータの大きさが大きくな
り、小型化に支障が生じるという問題がある。ステータ
等を支持する支持部材側のハウジング131において、
突出した巻き線部分である巻き線の耳104に対応する
部分を削ってザグリ溝132を形成し、このザグリ溝1
32内に巻き線の耳104を納めることによって小型化
を行う構成が知られている。
【0007】しかしながら、このザグリ溝132はモー
タの機械的剛性を低下させるという問題がある。特に、
空気軸受け構造では、ロータ120とステータ110と
の間の間隙140bや、ロータ120とハウジング13
1との間の間隙140aに気体を供給し、これによって
ロータ120の非接触で支持する構造であるため、ステ
ータ110及びハウジング131は、この供給気体によ
って外側に向かう力Fb,Faを受ける。この力Fb,
Faによって、ハウジング131のザグリ溝132の近
傍(図17中のA付近)に応力集中が発生してひずみが
生じる。このひずみによって、間隙の間隔が変化して、
ロータ120の支持が不安定となったり、また、ひずみ
が大きくなるとハウジング131は破損するおそれも生
じることになる。
【0008】したがって、従来の空気軸受けモータで
は、機械的剛性を高めるためにハウジングの厚さを厚く
する構成が採用されており、空気軸受けモータの小型化
を困難とする要因ともなっている。
【0009】そこで、本発明は従来の問題点を解決し、
空気軸受けモータにおいて、機械的剛性を低下させるこ
となく小型化が可能な空気軸受けモータを提供すること
を目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は、空気軸受けを
備える空気軸受けモータにおいて、モータのステータ
は、スロットレスのステータコアと該ステータコアに線
材をトロイダル状、かつ整列巻きで巻回した巻き線とを
備える構成とするものであり(請求項1に対応)、ま
た、空気軸受けを備える空気軸受けモータにおいて、モ
ータのステータは、スロットレスのステータコアと該ス
テータコアに線材を一定の巻回ピッチでトロイダル状に
重ねて巻回した巻き線とを備える構成とするものである
(請求項2に対応)。
【0011】ここで、トロイダル状の巻回は、線材をら
せん状に回転させながら巻回する場合に、該巻回動作に
よって巻き線が形成されていく一方向において、巻回し
た線材に交差部分がなく巻回することであり、これによ
って、ステータコアの面に対して接線方向の巻き線の位
置精度を高めることができる。
【0012】また、整列巻きの巻回は、巻き線を層単位
に形成し、形成した各層を積み重ねて巻回することであ
り、これによって、ステータコアの面に対して法線方向
の巻き線の位置精度を高めることができる。この法線方
向の巻き線の位置精度を高めることによって、巻き線全
体の厚みの均一なものとすることができる。
【0013】したがって、スロットレスのステータコア
に、線材をトロイダル状、かつ整列巻きで巻回すること
によって、ステータコアの面に対して接線方向及び法線
方向の両方向について、巻き線の位置精度を高めること
ができるとともに、巻き線全体の厚みの均一なものとし
て、従来の巻き線の耳にあたる突出部分を除くことがで
きる。
【0014】本発明の空気軸受けモータは、前記巻き線
構造によって、ステータは従来のような突出部分を有し
ないため、ハウジングはザグリ溝を形成する必要が無
く、応力集中に対応して肉厚を厚くする必要がない。そ
のため、空気軸受けモータのハウジングの肉厚を薄い構
造とすることができ、ハウジングを小型化することがで
きる。
【0015】また、接線方向及び法線方向について高い
位置精度で巻き線を形成することによって、巻き線の電
気抵抗やインダクタンスを均一なものとすることがで
き、均一な磁場を形成することができるという効果を奏
することもできる。
【0016】なお、トロイダル状の巻回において、線材
を一定の巻回ピッチで重ねて巻回することによって、ト
ロイダル状、かつ整列巻きで巻回した巻き線と同様の効
果をそうすることができる。
【0017】また、ステータにおいて、ロータと対向す
るラジアル面に樹脂モールドを備える構成(請求項3に
対応)や、ロータにおいて、ステータと対向するラジア
ル面に樹脂モールドを備える構成(請求項4に対応)と
することができ、これによって、巻き線や磁石の凹凸面
を整形し、空気圧の均一化させて、安定した支持を可能
とすることができる。
【0018】また、ステータとロータ間のラジアル面、
及びロータとハウジング間のスラスト面の間隙に気体を
供給する機構とすることによって、軸受け面積を大きく
することができ、軸受けの剛性を高めて、ロータを安定
して支持することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。図1は本発明の空気軸受
けモータを説明するための概略断面図であり、回転式モ
ータを例として場合で示している。図1において、空気
軸受けモータ1は、シャフト30の取り付けられたロー
タ20が、ステータ10に対して回転する。ステータ1
0は、ステータコア11と線材をトロイダル状、かつ整
列巻きで巻回した巻き線3を備える構成である。空気軸
受けは、ロータ20とステータ10との間の間隙、及び
ロータ20とハウジング31と間の間隙40に空気等の
気体を供給し、この空気圧によって、ロータ20をステ
ータ10及びハウジング31に対して非接触で支持す
る。
【0020】本発明の空気軸受けモータは、ステータの
構成において、線材をトロイダル状、かつ整列巻きで巻
回した巻き線を用いることによって、従来のステータが
備える巻き線の耳と呼ばれる突出部を有さない構造とす
ることができ、これによって、モータの軸方向の長さを
短くすることができるとともに、ハウジング31の肉厚
を薄くすることができ、モータ全体を小型化することが
できる。
【0021】間隙40内には、図示しない機構によっ
て、圧縮空気を間隙40内に供給する。圧縮空気は、ロ
ータのスラスト面に対してはハウジング31内に形成し
た通路(図示していない)を通して導入し、ロータのラ
ジアル面に対してはステータ10内及び巻き線内に形成
した通路(図示していない)を通して導入することがで
きる。
【0022】以下、本発明の空気軸受けモータに用いる
ステータの構成について、図2〜図9を用いて説明す
る。図2〜図9は、本発明の巻回方法を三相ACサーボ
モータのステータに適用した場合の例である。図2〜図
5は、巻き線1をロータ側から見た図であり、図2は斜
視図、図3はロータ側から見た平面図、図4,5はA−
Aの断面図である。また、図6〜図9は、巻き線1をス
テータ側から見た図であり、図6は斜視図、図7はロー
タ側から見た平面図、図8,9はB−Bの断面図であ
る。
【0023】ステータコア11の軸方向の両端面にプリ
ント基板12,13を密着させて配置し、該プリント基
板12,13とステータコア11との周囲に、これらを
一体にとして包むように線材2を巻回する。
【0024】この線材2の巻回において、トロイダル状
で整列巻きを行う。線材2をステータコア11及びプリ
ント基板12,13に対してトロイダル状に巻回するに
は、線材2をステータコア11及びプリント基板12,
13の軸方向に向かってらせん状に回転させながら巻回
する。巻回動作によって巻き線が形成されてる一層分に
ついては、トロイダル状とすることによって、図3に示
すように、線材2は互いに交差することなく巻回され
る。
【0025】線材2をステータコア11及びプリント基
板12,13の軸方向に向かって一層分の巻回を終了し
た後、端部で折り返し、前回の巻回で形成した層の上に
重ねて巻回を行う。次層においても、前回と同様にトロ
イダル状に巻回を行う。これによって、巻き線を層単位
に形成し、形成した各層を積み重ねて巻回する整列巻き
を行う。図4,5はこの整列巻きを説明するための図で
ある。図4は、断面形状が円形の線材2aの場合であ
り、トロイダル状に巻回される線材2aは各層間で線材
2aの間に配置され、各層は順に法線方向に積み重ねら
れる。図5は、断面形状が矩形の平角線の線材2bの場
合であり、トロイダル状に巻回される線材2bは各層を
形成し、該層は順に法線方向に積み重ねられる。この巻
回において、隣接する線材2bの隣接する平角線の隣接
辺が平行となるように巻回すると、巻き線の折り返し部
分の端部においても、均一な磁場を形成することができ
る。
【0026】また、このとき平角線の断面の各辺の縦横
比を適宜定めることによって、巻き線全体のサイズの拡
大を抑制することができる。たとえば、短い辺が法線方
向となるように平角線を積層することによって、全体の
法線方向の厚さを薄く構成することができる。
【0027】また、トロイダル状で巻回する場合、巻回
動作によって巻き線が形成されていく一方向の各層内で
は、巻回した線材が交差する部分は形成されないが、巻
回動作を折り返して次の層を巻回する場合には、隣接す
る層間で巻き線が交差する部分が発生する。この巻き線
が交差する部分を、図6に示すように、ステータにおい
て、ステータにより形成される磁場のうちロータの回転
に影響が少ない磁場位置側に配置する。図5では、交差
部分をロータと反対側に配置する。また、ステータの軸
方向の端面側に配置することもできる。
【0028】図7は巻き線の交差部分をロータ側から見
た図を示しており、巻き線のステータコアの軸方向に対
する角度は、隣接する層間で異なることになる。図8,
9はこの整列巻きの状態を説明するための図である。図
8は、断面形状が円形の線材2aの場合であり、トロイ
ダル状に巻回される線材2aは各層間で互いに線材2a
上に配置され、各層は順に法線方向に積み重ねられる。
図9は、断面形状が矩形の平角線の線材2bの場合であ
り、トロイダル状に巻回される線材2bは各層を形成
し、該層は順に法線方向に積み重ねられる。
【0029】本発明の空気軸受けモータに用いるステー
タの巻き線によれば、従来の巻き線に形成された耳部が
形成されず、モータの軸方向の長さを抑えることがで
き、小型化を行うことができる。また、図1に示すよう
に、ハウジング31にザグリ溝を形成することなく、巻
き線セグメント3をモータ内に収納することができる。
そのため、ハウジング31の肉厚を厚くすることなく、
空気軸受けの空気圧に耐えることができる。
【0030】次に、本発明の空気軸受けモータの実施の
形態について、図10〜図16を用いて説明する。一般
に、回転モータはロータの形状は、モータの使用目的に
応じてアウター型、インナー型、及びサイド型に分けら
れる。図10に示す空気軸受けモータはインナーロータ
型モータの構成例であり、図11に示す空気軸受けモー
タはアウターロータ型モータの構成例であり、図12に
示す空気軸受けモータはサイドロータ型モータの構成例
である。また、図13〜図15はステータにおいて、ロ
ータと多面で対向する構成を示すものであり、図13、
14は2面を用いた構成例であり、図15は3面を用い
た構成例である。また、図16はリニアモータに適用し
た構成例である。
【0031】図10に示す第1の形態はインナーロータ
型モータに適用したであり、ロータ20及びシャフト3
0をステータの内側に設け、回転軸Cを中心として回転
させるものである。ステータは、ステータコア11の軸
方向の両端にプリント基板12、13を配置し、このス
テータコア11とプリント基板12、13とを一体とし
て包むように線材を巻回して巻き線3を形成している。
巻き線3の少なくともロータ20と対向する面側には樹
脂モールド14が施され、空気軸受けのための間隙40
の内壁面を、所定の平滑度に整形している。なお、この
樹脂モールド14は巻き線3の周囲全体に設けることが
できる。
【0032】また、ロータは20はロータコア21に磁
石22を取り付けて形成され、少なくともステータ10
と対向する面側には樹脂モールド24が施され、空気軸
受けのための間隙40の内壁面を、所定の平滑度に整形
している。なお、樹脂モールド14、24の外面の整形
は、空気軸受け面として必要な面精度が得られるよう研
磨加工により行うことができる。
【0033】空気軸受けを構成するための圧縮空気は、
空気流入口41からモータ側に導入される。圧縮空気の
導入は、ハウジング31内に形成した空気通路42a
と、ステータコア11及び巻き線3内に形成した空気通
路42bを通して行うことができる。図10において、
空気通路42aはハウジング31のロータ20を挟んだ
軸方向の両側に形成され、ロータ20とハウジング31
間の2つのスラスト面への圧縮空気の導入が行われる。
また、空気通路42bはステータコア11及び巻き線3
を通ってロータ20側に貫通され、ロータ20とステー
タ10間のラジアル面への圧縮空気の導入が行われる。
これによって、ロータ20と、ハウジング31及びステ
ータ10との間の間隙40内への圧縮空気の導入が行わ
れる。この圧縮空気の導入によって、ロータ20はハウ
ジング31及びステータ10に対して非接触で支持され
る。
【0034】図11に示す第2の形態はアウターロータ
型モータであり、ロータ20及びシャフト30をステー
タの外側に設け、回転軸Cを中心として回転させるもの
である。第2の形態のステータ及びロータは、前記第1
の形態と同様とすることができる。そこで、ここでの説
明は重複するため省略する。
【0035】空気軸受けを構成するための圧縮空気は、
空気流入口41からモータ側に導入される。圧縮空気の
導入は、ハウジング31内に形成した空気通路42a
と、ステータコア11及び巻き線3内に形成した空気通
路42bを通して行うことができる。図11において、
空気通路42aはハウジング31のロータ20を挟んだ
軸方向の両側に形成され、ロータ20とハウジング31
間の2つのスラスト面への圧縮空気の導入が行われる。
また、空気通路42bはステータコア11及び巻き線3
を通ってロータ20側に貫通され、ロータ20とステー
タ10間のラジアル面への圧縮空気の導入が行われる。
これによって、ロータ20と、ハウジング31及びステ
ータ10との間の間隙40内への圧縮空気の導入が行わ
れる。
【0036】なお、ロータ20及びシャフト30はハウ
ジング31の外側に配置される構成であるため、図11
において、ハウジング31とシャフト30との間には間
隙40と連通する連通部43が形成され、シャフト30
はこの連通部43を挟んでハウジング31に対して回転
する。
【0037】この圧縮空気の導入によって、ロータ20
はハウジング31及びステータ10に対して非接触で支
持される。
【0038】図12に示す第3の形態はサイドロータ型
モータであり、ロータ20及びシャフト30とステータ
とを回転軸Cの軸方向に沿って配置し、ロータ20とス
テータ10とは回転軸Cの軸方向に対向するものであ
り、回転軸Cを中心として回転させるものである。
【0039】第3の形態のステータ及びロータは、前記
第1の形態と同様とすることができる。そこで、ここで
の説明は重複するため省略する。空気軸受けを構成する
ための圧縮空気は、空気流入口41からモータ側に導入
される。圧縮空気の導入は、ハウジング31内に形成し
た空気通路42aと、ステータコア11及び巻き線3内
に形成した空気通路42bを通して行うことができる。
図12において、空気通路42aの一方は空気通路42
bに連通し、他方はロータ20の側面方向、及びロータ
20を挟んだ反対方向に形成される。ロータ20の側面
側に設けられた空気通路42aは、ロータ20とハウジ
ング31のラジアル面側の間隙40内に圧縮空気を導入
する。また、ロータ20を挟んだ反対方向に設けられた
空気通路42aは、シャフト30を介してロータ20と
ハウジング31の一方のスラスト面側の間隙40内に圧
縮空気を導入を行う。
【0040】また、空気通路42bはステータコア11
及び巻き線3を通ってロータ20側に貫通され、ロータ
20とステータ10間の他方のスラスト面への圧縮空気
の導入を行う。これによって、ロータ20と、ハウジン
グ31及びステータ10との間の間隙40内への圧縮空
気の導入が行われる。この圧縮空気の導入によって、ロ
ータ20はハウジング31及びステータ10に対して非
接触で支持される。
【0041】第4,5,6の形態は、ステータがロータ
に対して多面で対向する構成である。ステータコアがた
とえば4角形の場合には、4面の内で、ステータを固定
するための1面を除いた3面に電磁気回路を形成してロ
ータの対向面とすることができる。これによって、大き
なトルクを形成することができる。
【0042】図13に示す第4の形態はステータコアの
2面を用いた構成であり、ステータコアの対向する2面
を回転軸Cの軸方向に沿って配置し、該ステータコアの
各面に対して、ロータの磁極面を挟むように配置するも
のであり、回転軸Cを中心として回転させるものであ
る。
【0043】したがって、ロータ20は対向する2つの
磁極間にステータコアを挟み、各磁極との間でトルクが
発生する。また、ロータは、ステータコアに対して、2
つの磁極との間、及びシャフト30との間の計3つの間
隙40に導入される圧縮空気によって支持される。
【0044】なお、第4の形態のステータ及びロータ
は、前記第1の形態と同様とすることができる。そこ
で、ここでの説明は重複するため省略する。空気軸受け
を構成するための圧縮空気は、空気流入口41からモー
タ側に導入される。圧縮空気の導入は、ハウジング31
内に形成した空気通路42aと、ステータコア11及び
巻き線3内に形成した空気通路42bを通して行うこと
ができる。図13において、空気通路42aはハウジン
グ31内を通って空気通路42bに連通する。空気通路
42bは、ロータの対向する2つの磁極面とシャフト3
0側の3方向に別れ、ステータコア側と2つの磁極との
間、及びステータコア側とシャフト30との間の計3つ
の間隙40に圧縮空気を導入する。
【0045】この圧縮空気の導入によって、ロータ20
はハウジング31及びステータ10に対して非接触で支
持される。図14に示す第5の形態は、ステータを2つ
用いた構成であり、各面は2つのステータコアの1面を
それぞれ用いる構成である。この構成では、2つのステ
ータコアの電磁回路を対向させて、回転軸Cの軸方向に
沿って配置し、該2つのステータコアの対向する電磁回
路の間に、ロータのに磁極面を挟むように配置するもの
であり、回転軸Cを中心として回転させるものである。
【0046】したがって、2つのステータは1つのステ
ータコアを挟み、2つの対向面間でトルクが発生する。
また、ロータは、2つのステータコアとの間、及びハウ
ジング31との間の計3つの間隙40に導入される圧縮
空気によって支持される。
【0047】なお、第5の形態のステータ及びロータ
は、前記第1の形態と同様とすることができる。そこ
で、ここでの説明は重複するため省略する。空気軸受け
を構成するための圧縮空気は、空気流入口41からモー
タ側に導入される。圧縮空気の導入は、ハウジング31
内に形成した空気通路42aと、ステータコア11及び
巻き線3内に形成した空気通路42bを通して行うこと
ができる。図14において、空気通路42aはハウジン
グ31内を通って空気通路42bに連通するとともに、
ロータ20のスラスト面側の間隙につながっている。ま
た、各ステータコアに形成された空気通路42bは、ス
テータコア側と磁極との間の間隙40に圧縮空気を導入
する。
【0048】この圧縮空気の導入によって、ロータ20
はハウジング31及びステータ10に対して非接触で支
持される。図15に示す第6の形態はステータコアの3
面を用いた構成であり、ステータコアの対向する2面を
回転軸Cの軸方向に沿って配置し、該ステータコアの各
3面に対して、ロータの磁極面を3方から囲むように配
置するものであり、回転軸Cを中心として回転させるも
のである。
【0049】したがって、ロータ20は、断面形状がコ
の字状に配置された3つの磁極によってステータコアを
囲み、各磁極との間でトルクを発生する。また、ロータ
20は、ステータコアに対して、対向する2つの磁極と
の間、及びシャフト30側の磁極との間の計3つの間隙
40に導入される圧縮空気によって支持される。
【0050】なお、第6の形態のステータ及びロータ
は、前記第1の形態と同様とすることができる。そこ
で、ここでの説明は重複するため省略する。
【0051】空気軸受けを構成するための圧縮空気は、
空気流入口41からモータ側に導入される。圧縮空気の
導入は、ハウジング31内に形成した空気通路42a
と、ステータコア11及び巻き線3内に形成した空気通
路42bを通して行うことができる。図15において、
空気通路42aはハウジング31内を通って空気通路4
2bに連通する。空気通路42bは、ロータの対向する
2つの磁極面とシャフト30側の3方向に別れ、ステー
タコア側と2つの磁極との間、及びステータコア側とシ
ャフト30との間の計3つの間隙40に圧縮空気を導入
する。
【0052】この圧縮空気の導入によって、ロータ20
はハウジング31及びステータ10に対して非接触で支
持される。図16に示す第7の形態はリニアモータに適
用した構成例であり、ステータ10とハウジング31を
移動方向に配置するとともに、該ステータ10とハウジ
ング31に対して可動部50を、図面の表裏方向に移動
させるものである。したがって、可動部50は、ステー
タコア11と対向配置されたハウジング31とのコの字
状配置内に移動可能に配置され、可動部50に設けられ
た磁極とステータ側との間でトルクを発生する。また、
可動部50は、ステータコア11との間、及び対向配置
されたハウジング31との間の計3つの間隙40に導入
される圧縮空気によって支持される。
【0053】なお、第7の形態のステータ及び可動部
は、前記第1の形態と同様とすることができる。そこ
で、ここでの説明は重複するため省略する。なお、可動
コア50ロータコア21に対応し、磁石52は磁石22
に対応し、樹脂モールド54は樹脂モールド24に対応
している。
【0054】空気軸受けを構成するための圧縮空気は、
空気流入口41からモータ側に導入される。圧縮空気の
導入は、ハウジング31内に形成した空気通路42a
と、ステータコア11及び巻き線3内に形成した空気通
路42bを通して行うことができる。図16において、
空気通路42aはハウジング31内を通って空気通路4
2bに連通するとともに、移動部50の2つの側面部方
向に形成され、移動部50とハウジング31との間の間
隙40内に圧縮空気を導入する。空気通路42bは、ス
テータコア11及び巻き線3を通って、ステータコア側
と移動部50側の磁極との間の間隙40に圧縮空気を導
入する。
【0055】この圧縮空気の導入によって、移動部50
はハウジング31及びステータ10に対して非接触で支
持される。なお、前記形態では、ステータコアが4面の
場合について説明しているが、コアの形状の面数は任意
に定めることができる。また、ステータの個数を複数と
し、各ステータに供給する電流の位相をずらすことによ
って、電磁気回路で形成される磁界分布を調整して、回
転及び移動を円滑に制御することができる。
【0056】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
機械的剛性を低下させることなく小型化が可能な空気軸
受けを備える空気軸受けモータを提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の空気軸受けモータの概略を説明するた
めのモータ断面図である。
【図2】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線を
ロータ側から見た斜視図である。
【図3】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線を
ロータ側から見た平面図である。
【図4】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線の
A−A断面図である。
【図5】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線の
A−A断面図である。
【図6】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線を
ステータ側から見た斜視図である。
【図7】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線を
ステータ側から見た平面図である。
【図8】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線の
B−B断面図である。
【図9】本発明の空気軸受けモータに適用する巻き線の
B−B断面図である。
【図10】本発明の空気軸受けモータのインナーロータ
型モータの構成例を説明するための断面図である。
【図11】本発明の空気軸受けモータのアウターロータ
型モータの構成例を説明するための断面図である。
【図12】本発明の空気軸受けモータのサイドロータ型
モータの構成例を説明するための断面図である。
【図13】本発明の空気軸受けモータにおいて、ステー
タの2面を用いた構成例を説明するための断面図であ
る。
【図14】本発明の空気軸受けモータにおいて、ステー
タを2つ用いた構成例を説明するための断面図である。
【図15】本発明の空気軸受けモータにおいて、ステー
タの3面を用いた構成例を説明するための断面図であ
る。
【図16】本発明の空気軸受けモータをリニアモータに
適用した構成例を説明するための断面図である。
【図17】従来のモータ構造を説明するための概略断面
図である。
【符号の説明】 1 モータ 2,2a,2b 線材 3,103 巻き線 4 巻回開始接点 5 巻回終了接点 6 配線 10,110 ステータ 11,111 ステータコア 12,13 プリント基板 14,24,54 樹脂モールド 20 ロータ 21 ロータコア 22,52 磁石 30,130 シャフト 31,131 ハウジング 40,140a,140b 間隙 41 空気流入口 42a,42b 空気通路 50 可動部 51 可動部コア 104 巻き線の耳 132 ザグリ溝
【手続補正書】
【提出日】平成11年8月11日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項1
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項2
【補正方法】変更
【補正内容】

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 空気軸受けを備える空気軸受けモータに
    おいて、前記モータのステータは、スロットレスのステ
    ータコアと該ステータコアに線材をトロイダル状、かつ
    整列巻きで巻回した巻き線とを備える、空気軸受けモー
    タ。
  2. 【請求項2】 空気軸受けを備える空気軸受けモータに
    おいて、前記モータのステータは、スロットレスのステ
    ータコアと該ステータコアに線材を一定の巻回ピッチで
    トロイダル状に重ねて巻回した巻き線とを備える、空気
    軸受けモータ。
  3. 【請求項3】 ステータは、ロータと対向するラジアル
    面に樹脂モールドを備える、請求項1,又は2記載の空
    気軸受けモータ。
  4. 【請求項4】 ロータは、ステータと対向するラジアル
    面に樹脂モールドを備える、請求項1,2,又は3記載
    の空気軸受けモータ。
  5. 【請求項5】 空気軸受けは、ステータとロータ間のラ
    ジアル面、及びロータとハウジング間のスラスト面の間
    隙に気体を供給する機構を備える、請求項1,2,3,
    又は4記載の空気軸受けモータ。
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