JP3052205B1 - リニアモ―タ用可動コイル及びその製造方法 - Google Patents

リニアモ―タ用可動コイル及びその製造方法

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JP3052205B1
JP3052205B1 JP11273579A JP27357999A JP3052205B1 JP 3052205 B1 JP3052205 B1 JP 3052205B1 JP 11273579 A JP11273579 A JP 11273579A JP 27357999 A JP27357999 A JP 27357999A JP 3052205 B1 JP3052205 B1 JP 3052205B1
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Abstract

【要約】 【課題】 複数相のコイルから成り、これを組合わせる
場合に圧縮を必要としないリニアモータ用可動コイルを
提供すること。 【解決手段】 可動コイルは、1極当たりU相、V相、
W相の3つのコイル単体ユニット20u、20v、20
wから成り、これら3つのコイル単体ユニットは、2つ
の折り曲げ部の間に形成される開口部が交互に反対向き
になるように組み合わせると共に、あるコイル単体ユニ
ットの前記開口部に、隣接するコイル単体ユニットの1
つの折り曲げ部が入り込むようにして、各コイル単体ユ
ニットにおける2つの折り曲げ部の直線部分が定ピッチ
で並ぶように立体的に整列させて組み合わせて成る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、位置決めステージ
に適したリニアモータに関し、特にその可動コイルの構
造及びその製造方法に関する。本発明による可動コイル
を備えたリニアモータは、被加工物を搭載したテーブル
をX軸方向、Y軸方向に移動可能にするための位置決め
ステージに適している。
【0002】
【従来の技術】近年、精密位置決めステージの駆動源
は、ボールネジ駆動機構から、より高精度、高推力が得
られるリニアモータ駆動機構へと移行する動きが目立っ
てきている。
【0003】図6〜図9を参照して、精密位置決めステ
ージに適用されるリニアモータ駆動部の基本構成につい
て説明する。図6において、このリニアモータ駆動部
は、一軸方向にスライド可能に設けられた可動コイル部
40と、この可動コイル部40のスライド方向両側にお
いて可動コイル部40の側面とそれぞれ対向し、前記一
軸方向に延在する固定磁石部50とから成る。可動コイ
ル部40は、その上方の面側が、テーブルのような被駆
動部を実装するために使用される。また、図示のリニア
モータは3相駆動型であり、この場合、可動コイルは、
図6に示されるように、1極につき、3相用のU相コイ
ル41、V相コイル42、W相コイル43から成る。
【0004】固定磁石部50は、前記一軸方向に延在す
る断面略U字形状のヨーク51を持つ。ヨーク51の互
いに対向する2つの内壁にはそれぞれ、各相のコイルの
側面にギャップを介して対向するように3組の永久磁石
52が並べて固定配置されている。そして、永久磁石5
2は、ヨーク51の各内壁において、前記一軸方向に間
隔をおいて多数固定配置される。
【0005】このリニアモータ駆動部の作用を説明する
ためにまず、ある固定されたモータ位置に対し可動コイ
ル部40に作用する磁束密度の変化を図7に示す。ここ
で、位置情報に関しては、リニアエンコーダ等により検
出するものであり、特に規定はしない。図7から、U
相、V相、W相は各々位相が2π/3ずれた正弦波であ
る。つまり、U相、V相、W相のコイルに作用する磁束
密度をそれぞれBu、Bv、Bwとすると、各磁束密度
Bu、Bv、Bwは、 Bu=Bo・sinθ (1) Bv=Bo・sin{θ+(2π/3)} (2) Bw=Bo・sin{θ+(4π/3)} (3) で表される。ただし、Boは全体の磁束密度である。
【0006】図8には、位置に対してコイルに流す電流
の変化を示す。電流も磁束密度同様、位相が2π/3ず
れた正弦波であり、各相の電流をi、i、iとす
ると、各電流i、i、iは、 i=i・sinθ (4) i=i・sin{θ+(2π/3)} (5) i=i・sin{θ+(4π/3)} (6) で表される。ただし、iは最大電流値である。
【0007】以上のことから、モータ位置に対する電流
の関係を図9に示すと、位置の変化に対しては各相のコ
イルに流れる電流の総和は常に一定であり、更に幅Lの
各相のコイルに流れる電流iとモータ推力Fの関係は、 F=B・i・L という線形な比例関係を持つ。
【0008】上記(4)、(5)、(6)式に示す通
り、U相、V相、W相の電流値は正確に120度ずつず
れている値が各相用のドライバより出力されるため、コ
イル幅もそれぞれ、磁束密度1ピッチ(永久磁石の磁極
N−N間)を1/3にした寸法である必要がある。これ
は、各相のコイルの寸法誤差が、可動コイルの推力リッ
プルに大きく作用することを意味する。
【0009】次に、従来の3相用可動コイルの構造の一
例を図10に示す。図10は、一極分の可動コイルを示
している。従来の3相用可動コイルは各相のコイル6
1、62、63を多層巻きにて略矩形状に仮巻きした
後、永久磁石に対向する部分、図10で言えば、長手方
向の軸に平行な2辺部分が走行方向に関して一直線に並
ぶように組み合わされる。そして、形状寸法を確保する
ため、圧縮して寸法出しを行うのが一般的となってい
る。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】この方法で3相用可動
コイルを作成した場合、以下に示すような問題が発生す
る。
【0011】(1)各相のコイルの幅の寸法管理が困難
である。 (2)3相分のコイルを圧縮して寸法出しを行うため、
コイル線材に応力がかかってしまう。 (3)各相の重ね合わせた端部の負担を軽減させてコイ
ルを構成しようとした場合、図10に示す通り、無駄な
磁束領域が増加してしまう。すなわち、図10に示す3
相用可動コイルでは、その直線部分L1だけしか永久磁
石との間で作用せず、図10の斜めの領域は有効磁束領
域として利用できない。
【0012】そこで、本発明の課題は、複数相のコイル
から成り、これを組合わせる場合に圧縮を必要としない
リニアモータ用可動コイルを提供することにある。
【0013】本発明の他の課題は、従来の可動コイルに
比べて有効磁束領域を増やすことのできるリニアモータ
用可動コイルを提供することにある。
【0014】本発明の更に他の課題は、上記のリニアモ
ータ用可動コイルに適した製造方法を提供することにあ
る。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、一軸方
向にスライド可能に設けられた可動コイル部と、該可動
コイル部と対向しつつ前記一軸方向に延在するように配
置された固定磁石部とから成るリニアモータ用の可動コ
イルにおいて、該可動コイルは、少なくとも2相分のコ
イル単体ユニットから成り、各相のコイル単体ユニット
は、巻線を同一平面上で所定回数巻回して略矩形状に
し、かつ該矩形状の対向する2辺をそれぞれが互いに対
向し合うように略90度折り曲げたコイルシートを複数
層重ねて成り、更に、少なくとも2相分のコイル単体ユ
ニットを、各コイル単体ユニットにおける2つの折り曲
げ部の直線部分が定ピッチで並ぶように立体的に整列さ
せて組み合わせたことを特徴とするリニアモータ用可動
コイルが提供される。
【0016】前記可動コイルが、1極当たりU相、V
相、W相の3つのコイル単体ユニットから成る場合、こ
れら3つのコイル単体ユニットは、2つの折り曲げ部の
間に形成される開口部が交互に反対向きになるように組
み合わせると共に、あるコイル単体ユニットの前記開口
部に、隣接するコイル単体ユニットの1つの折り曲げ部
が入り込むようにして、各コイル単体ユニットにおける
2つの折り曲げ部の直線部分が定ピッチで並ぶように立
体的に整列させて組み合わせて成る。
【0017】前記巻線は、断面が矩形状あるいは円形状
である。
【0018】前記1極当たり3つのコイル単体ユニット
は、樹脂でモールドされる。
【0019】各相のコイル単体ユニットは、これを構成
している複数層のコイルシートのうち、奇数層のコイル
シートと偶数層のコイルシートとを、巻線方向を逆にし
た状態で組み合わせ、しかも、一番目の奇数層のコイル
シートの巻き始め端と一番目の偶数層のコイルシートの
巻き始め端とを接続すると共に、前記一番目の偶数層の
コイルシートの巻き終り端は二番目の奇数層のコイルシ
ートの巻き終り端に接続するようにして、前記複数層の
コイルシートが直列に接続される。
【0020】各相のコイル単体ユニットはまた、これを
構成している複数層のコイルシートのうち、奇数層のコ
イルシートと偶数層のコイルシートとを、巻線方向を同
じにした状態で組み合わせ、しかも、奇数層のコイルシ
ートの巻き始め端と偶数層のコイルシートの巻き始め端
とを接続すると共に、奇数層のコイルシートの巻き終り
端と偶数層のコイルシートの巻き終り端とを接続するよ
うにして、前記複数層のコイルシートが並列に接続され
る。
【0021】本発明によればまた、一軸方向にスライド
可能に設けられた可動コイル部と、該可動コイル部と対
向しつつ前記一軸方向に延在するように配置された固定
磁石部とから成るリニアモータ用の可動コイルの製造方
法において、該可動コイルは、少なくとも2相分のコイ
ル単体ユニットから成り、各相のコイル単体ユニット
は、巻線を同一平面上において所定回数巻回して略矩形
状にする工程と、該矩形状の対向する2辺をそれぞれが
互いに対向し合うように略90度折り曲げて略コ字形状
のコイルシートに形成する工程と、前記略コ字形状に形
成したコイルシートを複数層重ねる工程とにより形成さ
れ、更に、前記少なくとも2相分のコイル単体ユニット
を、各コイル単体ユニットにおける2つの折り曲げ部の
直線部分が定ピッチで並ぶように立体的に整列させて組
み合わせる工程を含むことを特徴とするリニアモータ用
可動コイルの製造方法が提供される。
【0022】本発明による製造方法においては、前記可
動コイルが、1極当たりU相、V相、W相の3つのコイ
ル単体ユニットから成る場合、これら3つのコイル単体
ユニットを、2つの折り曲げ部の間に形成される開口部
が交互に反対向きになるように組み合わせると共に、あ
るコイル単体ユニットの前記開口部に、隣接するコイル
単体ユニットの1つの折り曲げ部が入り込むようにし
て、各コイル単体ユニットにおける2つの折り曲げ部の
直線部分が定ピッチで並ぶように立体的に整列させて組
み合わせる工程を含む。
【0023】
【発明の実施の形態】以下に、図1〜図3を参照して、
本発明の実施の形態について説明する。図1は、U相、
V相、W相の3相分のコイルから成る1極分の可動コイ
ルを製造する工程を示している。図1(a)において
は、幅tを持つ断面矩形状の巻線10を同一平面上にお
いて所定回数巻回して略矩形状にしたものが1層分とし
て作られる。この1層分のコイルは、最内側に巻き始め
端10sを、最外側に巻き終わり端10eを持つ。次
に、1相分のコイルを作るために、図1(a)で作られ
た1層分のコイルは、矩形状の対向する2辺をそれぞれ
が互いに対向し合うように略90度折り曲げて略コ字形
状に成形される。このように成形された1層分のコイル
は、以下ではコイルシートと呼ぶ。このような成形にお
いては、特別な治具が用いられる。
【0024】図1(b)においては、上記のようにして
略コ字形状に成形したものが複数個(ここでは、5個)
用意され、これらの複数個を積層して1相分のコイル2
0が作られる。このような1相分のコイル20は、以下
ではコイル単体ユニットと呼ぶ。このような積層のため
に、上記の折り曲げ工程においては、最も内側になるコ
イルシートの2つの折り曲げ部の間隔が最も小さく、最
も外側になるコイルシートの2つの折り曲げ部の間隔が
最も大きくなるようにされることは言うまでも無い。コ
イル単体ユニット20の2つの折り曲げ部の間には開口
部が形成され、その幅(2つの折り曲げ部の間隔)は、
コイル単体ユニット20のコイル開口径Ccとして規定
される。また、折り曲げ部の厚さ(ここでは、巻線10
の幅t×5)は、コイル単体ユニット20のコイル幅W
cとして規定される。更に、コイル単体ユニット20の
折り曲げ部のうち、最も内側の巻線の直線部分の長さが
コイル直線部Hcとして規定される。コイル単体ユニッ
ト20の折り曲げ部のうち、特に直線部の高さは、コイ
ル厚さDcとして規定される。
【0025】なお、図1(b)のように積層された複数
層のコイルシート間の電気的接続は、直列接続と並列接
続の2通りある。これを図4、図5を参照して説明す
る。図4、図5においては、便宜上、図1で説明したコ
イルシートを折り曲げ前の模式化した形態で示してい
る。直列接続の場合、図4に示されるように、奇数層の
コイルシート(図4a)と偶数層のコイルシート(図4
b)が、巻線方向を逆にした状態で組み合わされる。そ
して、一番目の奇数層のコイルシートの巻き始め端10
sと一番目の偶数層のコイルシートの巻き始め端11s
とを接続する。更に、一番目の偶数層のコイルシートの
巻き終り端11eは二番目の奇数層のコイルシートの巻
き終り端に接続される。以下、同様に接続する結果、電
流の流れる方向が一定方向に合わされる。
【0026】並列接続の場合、図5に示されるように、
奇数層のコイルシート(図5a)と偶数層のコイルシー
ト(図5b)は、巻線方向を同じにした状態で組み合わ
される。そして、奇数層のコイルシートの巻き始め端1
0sと偶数層のコイルシートの巻き始め端11sとを接
続すると共に、奇数層のコイルシートの巻き終り端10
eと偶数層のコイルシートの巻き終り端11eとを接続
する。その結果、電流の流れる方向が一定方向に合わさ
れる。
【0027】図1(c)においては、上記のようにして
作られたコイル単体ユニットが3個用意される。すなわ
ち、3個のコイル単体ユニットは、U相、V相、W相用
のコイル単体ユニット20u、20v、20wとして用
いられる。これら3個のコイル単体ユニットの組み立て
は、U相のコイル単体ユニット20uとV相のコイル単
体ユニット20vにおける1つの折り曲げ部の外側面を
隣接させ、これらU相のコイル単体ユニット20uの2
つの折り曲げ部の間とV相のコイル単体ユニット20v
における2つの折り曲げ部の間にそれぞれ、W相のコイ
ル単体ユニット20wの2つの折り曲げ部が入るように
して行われる。言い換えれば、W相のコイル単体ユニッ
ト20wの2つの折り曲げ部の間に、U相のコイル単体
ユニット20uの1つの折り曲げ部とV相のコイル単体
ユニット20vの1つの折り曲げ部とが挿入される。更
に言えば、3つのコイル単体ユニット20u、20v、
20wは、2つの折り曲げ部の間に形成される開口部が
交互に反対向きになるように組み合わされると共に、1
つのコイル単体ユニットの前記開口部に、隣接するコイ
ル単体ユニットの1つの折り曲げ部が入り込むようにし
て、各コイル単体ユニットにおける2つの折り曲げ部が
定ピッチで一軸方向に並ぶように組み合わせされる。
【0028】なお、リニアモータにおける可動コイル部
は、通常、複数極の構成とされる。図1(c)では、2
極目のU相のコイル単体ユニット20u´をも示してい
る。2極目のU相のコイル単体ユニット20u´の1つ
の折り曲げ部が、W相のコイル単体ユニット20wの1
つの折り曲げ部と共に、V相のコイル単体ユニット20
vの2つの折り曲げ部の間に挿入される。以下、同様に
して、複数極の可動コイルが構成される。この場合、各
相のコイル単体ユニットの電気的接続は、同じ相のコイ
ル単体ユニットが直列に接続されるが、並列接続でも良
い。
【0029】図2は、図6で説明したように、固定磁石
部50の間に、上記のようにして構成された複数極の可
動コイル部40が配置された例を上側から示している。
なお、図2では、可動コイル部40は、各コイル単体ユ
ニットの位置関係を理解し易くするために、最終組み立
て前の状態で示している。固定磁石部50は、一軸方向
に延在する断面略U字形状のヨーク51を持つ。ヨーク
51の互いに対向する2つの内壁にはそれぞれ、各相の
コイル単体ユニットの直線部Hcにギャップを介して対
向するように複数組の永久磁石52が並べて固定配置さ
れている。
【0030】図3は、可動コイル部40の断面構造を図
2の矢印A方向から見た図である。必要な極数分のコイ
ル単体ユニットが上記のようにして組み合わされた後、
コイル基板31に固定され、更にコイル単体ユニットの
周囲は樹脂32でモールドされる。図3で明らかなよう
に、各コイルの直線部Hcが、永久磁石52とギャップ
を介して対向している。なお、コイル基板31側は、図
示しない被駆動体、例えば可動テーブルや可動ステージ
に固定され、図3中における上下、左右方向の規制が行
われている状態で図面に対して表裏方向に走行する。
【0031】なお、図1では、巻線10として断面形状
が矩形状のものを用いる場合について説明したが、断面
形状は円形でも良い。
【0032】
【発明の効果】本発明のような可動コイル部の構成によ
れば、下記の効果が得られる。
【0033】(1)各相のコイル幅Wcを積層するコイ
ルの層数、コイル厚さDcを1層分のコイルのターン数
で調整できるので、設計時のコイル寸法との誤差が少な
くなる。
【0034】(2)各相のコイルが略コ字形状となって
いるため、各相のコイルの位置関係が決まりやすく、3
相リニアモータを構成しやすい構造となっている。
【0035】(3)一層分のコイルの対向辺部分を折り
曲げることにより、最大限に有効磁束領域を活用でき
る。すなわち、図10で説明したような斜めの領域が無
いので、無駄な磁束領域を少なくできる。
【0036】(4)各相のコイル単体で寸法出しが可能
となっているため、3相分のコイルを組合わせる時の圧
縮作業が不必要となる。その結果、各相のコイルの巻線
に応力が加わることが無く、断線、その他の問題が生じ
ない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による可動コイルの製造過程を、3相リ
ニアモータの場合について順をおって示した斜視図であ
る。
【図2】図1の製造過程を経て作られた複数極の可動コ
イルを、固定磁石部に組合わせ配置した例を上側から示
した図である。
【図3】図1の製造過程を経て作られた複数極の可動コ
イルを、図2の矢印A方向から見た図である。
【図4】本発明によるコイル単体ユニットにおける複数
層のコイルシートを直列接続する方法を説明するための
模式図である。
【図5】本発明によるコイル単体ユニットにおける複数
層のコイルシートを並列接続する方法を説明するための
模式図である。
【図6】従来の3相リニアモータの基本構成を説明する
ための図である。
【図7】図6に示された可動コイル部に作用する磁束密
度の変化を示した図である。
【図8】図6に示された可動コイル部に流す電流の変化
を示した図である。
【図9】図6に示されたリニアモータの位置に対する電
流の関係を示した図である。
【図10】従来の3相用可動コイルの構造の一極分につ
いて示した図である。
【符号の説明】
10 巻線 10s、11s 巻き始め端 10e、11e 巻き終わり端 20 コイル単体ユニット 20u U相のコイル単体ユニット 20v B相のコイル単体ユニット 20w W相のコイル単体ユニット 31 コイル基板 32 樹脂 40 可動コイル部 50 固定磁石部 51 ヨーク 52 永久磁石
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平2−23057(JP,A) 特開 平5−3657(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H02K 41/00 H02K 3/00 H02K 15/00

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一軸方向にスライド可能に設けられた可
    動コイル部と、該可動コイル部と対向しつつ前記一軸方
    向に延在するように配置された固定磁石部とから成るリ
    ニアモータ用の可動コイルにおいて、 該可動コイルは、少なくとも2相分のコイル単体ユニッ
    トから成り、 各相のコイル単体ユニットは、巻線を同一平面上で所定
    回数巻回して略矩形状にし、かつ該矩形状の対向する2
    辺をそれぞれが互いに対向し合うように略90度折り曲
    げたコイルシートを複数層重ねて成り、 更に、少なくとも2相分のコイル単体ユニットを、各コ
    イル単体ユニットにおける2つの折り曲げ部の直線部分
    が定ピッチで並ぶように立体的に整列させて組み合わせ
    たことを特徴とするリニアモータ用可動コイル。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のリニアモータ用可動コイ
    ルにおいて、前記可動コイルは、1極当たりU相、V
    相、W相の3つのコイル単体ユニットから成り、これら
    3つのコイル単体ユニットは、2つの折り曲げ部の間に
    形成される開口部が交互に反対向きになるように組み合
    わせると共に、あるコイル単体ユニットの前記開口部
    に、隣接するコイル単体ユニットの1つの折り曲げ部が
    入り込むようにして、各コイル単体ユニットにおける2
    つの折り曲げ部の直線部分が定ピッチで並ぶように立体
    的に整列させて組み合わせて成ることを特徴とするリニ
    アモータ用可動コイル。
  3. 【請求項3】 請求項1あるいは2記載のリニアモータ
    用可動コイルにおいて、前記巻線は、断面が矩形状ある
    いは円形状であることを特徴とするリニアモータ用可動
    コイル。
  4. 【請求項4】 請求項2記載のリニアモータ用可動コイ
    ルにおいて、前記1極当たり3つのコイル単体ユニット
    は、樹脂でモールドされていることを特徴とするリニア
    モータ用可動コイル。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4のいずれかに記載のリニア
    モータ用可動コイルにおいて、各相のコイル単体ユニッ
    トは、これを構成している複数層のコイルシートのう
    ち、奇数層のコイルシートと偶数層のコイルシートと
    を、巻線方向を逆にした状態で組み合わせ、しかも、一
    番目の奇数層のコイルシートの巻き始め端と一番目の偶
    数層のコイルシートの巻き始め端とを接続すると共に、
    前記一番目の偶数層のコイルシートの巻き終り端は二番
    目の奇数層のコイルシートの巻き終り端に接続するよう
    にして、前記複数層のコイルシートを直列に接続して成
    ることを特徴とするリニアモータ用可動コイル。
  6. 【請求項6】 請求項1〜4のいずれかに記載のリニア
    モータ用可動コイルにおいて、各相のコイル単体ユニッ
    トは、これを構成している複数層のコイルシートのう
    ち、奇数層のコイルシートと偶数層のコイルシートと
    を、巻線方向を同じにした状態で組み合わせ、しかも、
    奇数層のコイルシートの巻き始め端と偶数層のコイルシ
    ートの巻き始め端とを接続すると共に、奇数層のコイル
    シートの巻き終り端と偶数層のコイルシートの巻き終り
    端とを接続するようにして、前記複数層のコイルシート
    を並列に接続して成ることを特徴とするリニアモータ用
    可動コイル。
  7. 【請求項7】 一軸方向にスライド可能に設けられた可
    動コイル部と、該可動コイル部と対向しつつ前記一軸方
    向に延在するように配置された固定磁石部とから成るリ
    ニアモータ用の可動コイルの製造方法において、 該可動コイルは、少なくとも2相分のコイル単体ユニッ
    トから成り、 各相のコイル単体ユニットは、 巻線を同一平面上において所定回数巻回して略矩形状に
    する工程と、 該矩形状の対向する2辺をそれぞれが互いに対向し合う
    ように略90度折り曲げて略コ字形状のコイルシートに
    形成する工程と、 前記略コ字形状に形成したコイルシートを複数層重ねる
    工程とにより形成され、 更に、前記少なくとも2相分のコイル単体ユニットを、
    各コイル単体ユニットにおける2つの折り曲げ部の直線
    部分が定ピッチで並ぶように立体的に整列させて組み合
    わせる工程を含むことを特徴とするリニアモータ用可動
    コイルの製造方法。
  8. 【請求項8】 請求項7記載のリニアモータ用可動コイ
    ルの製造方法において、前記可動コイルは、1極当たり
    U相、V相、W相の3つのコイル単体ユニットから成
    り、これら3つのコイル単体ユニットを、2つの折り曲
    げ部の間に形成される開口部が交互に反対向きになるよ
    うに組み合わせると共に、あるコイル単体ユニットの前
    記開口部に、隣接するコイル単体ユニットの1つの折り
    曲げ部が入り込むようにして、各コイル単体ユニットに
    おける2つの折り曲げ部の直線部分が定ピッチで並ぶよ
    うに立体的に整列させて組み合わせる工程を含むことを
    特徴とするリニアモータ用可動コイルの製造方法。
  9. 【請求項9】 請求項7あるいは8記載のリニアモータ
    用可動コイルの製造方法において、前記各相のコイル単
    体ユニットの形成は更に、 これを構成している複数層のコイルシートのうち、奇数
    層のコイルシートと偶数層のコイルシートとを、巻線方
    向を逆にした状態で組み合わせる工程と、 一番目の奇数層のコイルシートの巻き始め端と一番目の
    偶数層のコイルシートの巻き始め端とを接続すると共
    に、前記一番目の偶数層のコイルシートの巻き終り端は
    二番目の奇数層のコイルシートの巻き終り端に接続する
    ようにして、前記複数層のコイルシートを直列に接続す
    る工程とを含むことを特徴とするリニアモータ用可動コ
    イルの製造方法。
  10. 【請求項10】 請求項7あるいは8記載のリニアモー
    タ用可動コイルの製造方法において、前記各相のコイル
    単体ユニットの形成は更に、 これを構成している複数層のコイルシートのうち、奇数
    層のコイルシートと偶数層のコイルシートとを、巻線方
    向を同じにした状態で組み合わせる工程と、 奇数層のコイルシートの巻き始め端と偶数層のコイルシ
    ートの巻き始め端とを接続すると共に、奇数層のコイル
    シートの巻き終り端と偶数層のコイルシートの巻き終り
    端とを接続するようにして、前記複数層のコイルシート
    を並列に接続する工程とを含むことを特徴とするリニア
    モータ用可動コイルの製造方法。
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