JPH11354837A - 発光ダイオードおよびその製造方法 - Google Patents

発光ダイオードおよびその製造方法

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JPH11354837A
JPH11354837A JP15779898A JP15779898A JPH11354837A JP H11354837 A JPH11354837 A JP H11354837A JP 15779898 A JP15779898 A JP 15779898A JP 15779898 A JP15779898 A JP 15779898A JP H11354837 A JPH11354837 A JP H11354837A
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light
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light emitting
led
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Tadashige Sato
忠重 佐藤
Megumi Imai
めぐみ 今井
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Mitsubishi Chemical Corp
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Mitsubishi Chemical Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡易に光出力を向上することができる発光ダ
イオードを提供する。 【解決手段】 基板上にエピタキシャル層を有してな
り、該エピタキシャル層中にpn接合を有する発光ダイ
オードにおいて、基板側表面とエピタキシャル層側の表
面のうち、よりpn接合に近い側の表面の方が、もう一
方の表面より、表面積が大きいことを特徴とする発光ダ
イオード、並びに、基板上にエピタキシャル層を積層し
てなり、該エピタキシャル層中にpn接合を有する発光
ダイオードを製造する方法において、基板上にエピタキ
シャル層を積層する工程および基板側からダイシングす
る工程を含むことを特徴とする発光ダイオードの製造方
法。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、発光ダイオードお
よびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体結晶を構成材料とする発光ダイオ
ード(「LED」)は、表示用素子として現在幅広く用
いられており、その中でも III−V族化合物半導体は、
そのほとんどの材料として用いられている。 III−V族
化合物半導体は可視光、赤外光の波長に相当するバンド
ギャップを有するため、発光素子へ応用されてきた。そ
の中でもGaAsPはLED用として需要は大きく、L
EDの特性として発光出力の向上が要求されてきた。
【0003】例としてGaAs1-x x (0.45<x
≦1)で説明する。図4に単結晶基板がGaPであるG
aAsPエピタキシャルウエハの一般的な構造を示す。
GaP単結晶基板上に、基板と同一組成のホモ層、基板
と最上層の格子定数の差を緩和するために組成を連続的
に1.0〜x0まで連続的に変化させたGaAs1-x
x グレード組成層、GaAs1-x0x0一定組成層、窒素
をドープしたGaAs 1-x0x0低キャリア濃度一定組成
層を順次形成した構造からなっている。エピタキシャル
ウエハの最上層は発光層となり、LEDの発光波長を得
るための一定組成x0(0.45<x0≦1)をもち、
窒素と、n型のドーパントであるテルル(Te)または
硫黄(S)を所定のキャリア濃度になるようにドープし
ている。通常は赤色発光(波長630nm)用として
は、x0 =約0.65である。窒素(N)はGaAsP
中にドープされると発光センターとなるアイソエレクト
ロニックトラップとなる。アイソエレクトロニックトラ
ップは電気的には不活性でキャリア濃度には寄与しな
い。間接遷移型のバンドギャップをもつ発光層GaAs
1-x0x0に窒素をドープすることで発光効率を約10倍
高めている。通常はLEDを製造するために、発光層表
面に亜鉛(Zn)を熱拡散してpn接合を形成する。
【0004】図2に同エピタキシャルウエハを用いた従
来LEDチップの構成を示す。最上層内に拡散によって
p型の層を形成し、その表面と、GaP基板側にオーミ
ック電極を形成して、素子分離してLEDが製造され
る。基板として用いるGaP基板はGaAsP層よりバ
ンドギャップが大きいため、発光した光を透過する。屈
折率は、例えば赤色に対してGaAs0.350.65は3.
5、GaP基板は3.3とGaP基板の方が小さい。p
n接合で発光した光がLED内部全体に広がり、GaP
基板側からより効率的にLED内部で発光した光をLE
Dの外部に取り出せることがわかる。実質的に高い光出
力が得られるため、黄色から赤色の可視光のLEDとし
て実用化され、需要は大きい。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、現実には光取
り出しの効率は十分とは言えず、LEDチップ形状によ
ってLEDの光出力が大きく違ってしまう。特殊な形状
にLEDチップ形状を加工すればよいのだが、LED製
造コストが非常に高くなってしまう問題があるため、特
殊な加工はほとんど実施されていない。
【0006】エピタキシャルウエハの品質の向上とチッ
プ製造技術の向上により、LEDの光出力は飛躍的に向
上した。しかし、エピタキシャルウエハの品質によるL
EDの光出力の向上も次第に困難になってきた。需要の
急速な伸びとともに、コストダウンの要求はますます強
くなった。LEDの光出力はチップ製造技術によるとこ
ろが大きい。しかし、たとえ一工程でも増加してコスト
アップになることは大変なデメリットとなる。工程の煩
雑化がなく、簡易で、しかも確実に光出力を向上できる
ことが必要となった。本発明は、発光した光が基板側を
通して外部に取り出すことができるLEDにおいて、簡
易でコストアップがなく、しかも確実に光出力を向上で
きるLEDおよびその製造方法を提供するものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】そこで本発明者等は、か
かる課題を解決すべく鋭意検討の結果、LEDチップの
形状を、pn接合が近い方を上面側として、LEDチッ
プの上面側の面積が、同下面の面積よりも大きいLED
形状とすることで、pn接合近傍からより多くの光が発
せられ、かつ発生した光が、LEDチップ側面での反射
が少なくより効率的に外部に光を取り出し得ることを見
出し、その結果、LEDの光出力を高めることができる
こと見出し、本発明発光ダイオードに到達した。また、
かかる上面側の面積が下面側の面積より小さいLED
は、基板上にエピタキシャル層を積層した後、基板側か
らダイシングすることにより容易に製造可能でSること
を見出し、本発明の発光ダイオードの製造方法に到達し
た。
【0008】すなわち、本発明の要旨は、基板上にエピ
タキシャル層を有してなり、該エピタキシャル層中にp
n接合を有する発光ダイオードにおいて、基板側表面と
エピタキシャル層側の表面のうち、よりpn接合に近い
側の表面の方が、もう一方の表面より、表面積が大きい
ことを特徴とする発光ダイオード、ならびに、基板上に
エピタキシャル層を積層してなり、該エピタキシャル層
中にpn接合を有する発光ダイオードを製造する方法に
おいて、基板上にエピタキシャル層を積層する工程およ
び基板側からダイシングする工程を含むことを特徴とす
る発光ダイオードの製造方法に存する。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
図1に本発明発光ダイオードの構造を示す。図1から明
らかな様に、本発明においては、四角柱上のLEDチッ
プのpn接合に近い側の面(図1のLEDでは上面)よ
りもう一方の方が面積が小さくなっている。発光部とな
るpn接合の面積が最大限に大きくなり、発光する面積
が大きくなる。発光出力が高くなることがわかる。
【0010】さらに、通常pn接合面の近くに平行にL
EDの上面、すなわち屈折率の境界面が存在する。発光
した光の半分は、LEDの下面の方に向かい、上面でも
光を反射して、それが主にLEDの下面に垂直に向かっ
て伝播することがわかる。一般にはLEDの光出力はL
ED内部での発光効率よりも、LED外部への取出し効
率の依存率が高い。図1から明らかな様に、本発明のL
EDは、図2で表される従来のLEDと比較して、pn
接合面で発光した光が、LEDチップ内部からLED側
面に、より小さな入射角(LED側面の法線と入射光の
なす角度)で入射する。このため、LED側面での光の
透過率を増し、全反射される割合を少なくできる。LE
D内部を透過する光は光吸収を受けるので、光は効率よ
く外部に取り出さなければ、LEDの光出力は向上しな
い。本発明では、LEDの側面からの光出力の取出し効
率を上げることによりLEDの光出力を向上させること
ができる。内部で発光した光が、効率よくGaP基板側
に広がるため、表電極でさえぎられたりせず、より高い
光の取出し効率が得られることがわかる。
【0011】本発明LEDは、pn接合に近い側の表面
の面積に対し、もう一方の表面の面積が85%以下であ
ることが好ましい。チップの加工性や、LEDランプ組
立の作業性から30%以上、好ましくは40%以上であ
る。なお、通常pn接合はエピタキシャル層側表面から
3 〜20μmの範囲に存在し、一方、LEDチップ
全体の厚みは200〜350μm程度あるので、通常p
n接合に近い側の表面はエピタキシャル層側の表面であ
るし、もう一方の表面は、基板側の表面である。また、
これらの表面は電極の存在を考慮しない表面を意味する
ものとする。
【0012】図2の従来のLEDでは、エピタキシャル
層の表面にpn接合面が平行であるため、その垂直方向
に最も強く光が伝播する。従来の形状の方が座りがよ
く、取り扱いは便利である。しかし、エピタキシャル層
の表面近くにあるpn接合面で発光した光は、主にLE
Dの下面で反射される。LEDの下面はLEDランプ加
工で接着面となり、効率的にLEDの外に光出力を取り
出せない。LEDの側面からの光の取出し効率も、内部
から側面への光の入射角が大きくなるので悪くなる。
【0013】発光ダイオードの層構成、即ち、基板やエ
ピタキシャル層の材料、組成、厚み製造法等は特に限定
されないが、前記基板は、発光ダイオードの発光に対し
て透明であることが、さらなる出力向上のためには好ま
しい。また、基板がGaP基板であり、エピタキシャル
層はGaAs1-x x (0.45<x≦1)層を含むこ
とが好ましい。より具体的には、図4に示す様な、Ga
P基板上に、必要に応じて、基板と同一組成のGaPホ
モ層、基板と最上層の格子定数の差を緩和するために組
成を連続的に1.0〜x0まで連続的に変化させたGa
As1-x x グレード組成層、GaAs1-x0x0一定組
成層、窒素をドープしたGaAs1-x0x0低キャリア濃
度一定組成層を順次形成した層構成が好ましい。エピタ
キシャルウエハの最上層は発光層となり、LEDの発光
波長を得るための一定組成x0(0.45<x0≦1)
をもち、窒素と、n型のドーパントであるテルル(T
e)または硫黄(S)を所定のキャリア濃度になるよう
にドープしている。通常は赤色発光(波長630nm)
用としては、x0 =約0.65である。窒素(N)はG
aAsP中にドープされると発光センターとなるアイソ
エレクトロニックトラップとなる。
【0014】上記のLEDの製造にあたり、コスト的に
安価で、しかも容易に製造できる方法を検討した結果、
エピタキシャルウエハの裏面からダイシングする方法を
見いだした。GaAsPエピタキシャルウエハによるL
EDの場合、n型のGaP基板上にn型のエピタキシャ
ル層を成長させ、後に拡散によりエピタキシャル層にP
型の層を形成して、pn接合を得る。この後、不要の裏
面のp層を除去するためと、エピタキシャルウエハを適
当な厚さにするために、裏面を通常数十μmバックラッ
プによって除去する。電極を両面に形成後、エピタキシ
ャル層側のLEDの上面よりも、基板側のLEDの下面
の面積が小さくなるようにLEDを作製する。
【0015】図3の通り、ダイシングした切り口の断面
図はハーフダイス、フルダイスにかかわらず、ダイシン
グ刃の先端側が切りしろが狭くなることがわかる。pn
接合面側を切ってしまうと、図2に示す様にpn接合面
積が小さくなって、発光出力の低下を生じている。表面
の電極に合わせてダシシングするためには、例えばバッ
クラップ工程の後裏面をエッチングによって半鏡面加工
した面を利用する。裏面から表電極ははっきりと見える
ので、裏面からのダイシングの位置合わせは裏面の電極
の間から、顕微鏡またはCCDカメラ等直接位置を確認
することができる。また、両面合わせマスクを用いて、
表裏電極を最初から合わせてパターニングすれば、裏面
の電極パターンを見て合わせることができる。
【0016】なお、上記の説明は、主として発光した光
が裏面からは取り出せないGaAsPエピタキシャルウ
エハに関して行ったが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、発光した光が裏面から取り出せるエピタキシ
ャルウエハでも同じである。たとえば基板を除去したダ
ブルヘテロ型のAlGaAsエピタキシャルウエハであ
ってもよい。また、液相エピタキシャル法で成長した緑
色LED用のGaP基板上にGaP層を成長したエピタ
キシャルウエハ、赤外LED用のGaAs基板上にSi
ドープGaAs層を成長したエピタキシャルウエハ等に
も適用可能である。
【0017】
【実施例】以下、本発明を、実施例によりさらに詳細に
説明するが、本発明はその要旨を越えない限り、下記実
施例により限定されるものではない。 実施例1 ハイドライド気相法を用いてGaP基板上に、3μmの
GaPホモ層、23μmのGaAs1-x x グレード組
成層(x=1→0.65に連続的に減少)、12μmの
GaAs0.350.65一定組成層、20μmのGaAs
0.350.65窒素ドープ一定組成層を順次エピタキシャル
成長させて、図4に示す層構成で発光波長630nmの
赤色発光ダイオード用のエピタキシャルウエハを製造し
た。該エピタキシャルウェハを、ZnAs2 を拡散源と
してP型不純物であるZnとともに何もコーティングし
ないで石英アンプル内に真空に封管して、760゜Cの
温度で表面から4μmの深さまでZnを拡散させた。基
板側をラッピングして粗面加工してダメージを取るため
に王水のエッチング液でエッチングを行い、裏面を半鏡
面加工し、厚みを280μmにそろえた。続いて、真空
蒸着による表裏の電極形成等を行った。表面は350μ
m間隔で直径120μmの円形電極を蒸着し、裏面は上
下左右70μm間隔で直径50μmの円形電極を蒸着し
た。なお、ここで両面合わせマスクを使えば、表裏電極
を所定の位置に形成することは可能である。ダイシング
は350μm間隔の表電極に合わせて、裏面の裏電極の
間のエッチング面からエピタキシャルウエハ内を通し
て、表電極を見て位置決定して、50μm残してハーフ
ダイスした。さらにリン酸系のエッチング液でダイシン
グのダメージを除去した。粘着シートに張り付けて、ブ
レーキングを行って、表面が350μm×350μm、
裏面が300μm×300μm、高さ280μmの四角
柱形のLEDチップを完成させた。光出力測定は25m
Aエポキシコートなしで、TO−18ヘッダーに銀ペー
ストで接着して測定した。LEDチップ全体の光出力は
26(任意単位)であった。
【0018】比較例1 ダイシングを表側から行った以外実施例と全く同様にし
て、表面が300μm×300μm、裏面が350μm
×350μm、高さ280μmのLEDチップを完成さ
せた。次いで、実施例と全く同様にして光出力測定を行
ったところ、LEDチップ全体の光出力は、22(任意
単位)であった。
【0019】
【発明の効果】実施例では18%の向上であるが、この
光出力向上のためには、エピタキシャルウエハの品質向
上やチップ製造技術の向上だけでは、現状では非常に高
度な技術を要求される。この発明によれば、表示用の素
子としての光出力が高いLEDを、簡単なLED構造の
改良だけで安定に提供できる。従来と同じ工程であり、
技術的には容易なチップ構造のみの変更で、光出力を向
上することができ、多大な工業的利益を提供するもので
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の発光ダイオードの構成を示す断面説明
【図2】従来の発光ダイオードの構成を示す断面説明図
【図3】本発明の発光ダイオードの製造方法の説明図
【図4】GaAs1-x x エピタキシャルウエハの層構
成を示す断面説明図

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上にエピタキシャル層を有してな
    り、該エピタキシャル層中にpn接合を有する発光ダイ
    オードにおいて、基板側表面とエピタキシャル層側の表
    面のうち、よりpn接合に近い側の表面の方が、もう一
    方の表面より、表面積が大きいことを特徴とする発光ダ
    イオード。
  2. 【請求項2】 基板側表面とエピタキシャル層側の表面
    のうち、よりpn接合に近い側の表面の面積に対して、
    もう一方の表面の面積が85%以下であることを特徴と
    する請求項1記載の発光ダイオード。
  3. 【請求項3】 エピタキシャル層側表面の方が、基板側
    表面より表面積が大きいことを特徴とする請求項1また
    は2記載の発光ダイオード。
  4. 【請求項4】 前記基板は、発光ダイオードの発光に対
    して透明であることを特徴とする請求項1〜3のいずれ
    かに記載の発光ダイオード。
  5. 【請求項5】 前記基板はGaP基板であり、前記エピ
    タキシャル層はGaAs1-x x (0.45<x≦1)
    層を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記
    載の発光ダイオード。
  6. 【請求項6】 基板上にエピタキシャル層を積層してな
    り、該エピタキシャル層中にpn接合を有する発光ダイ
    オードを製造する方法において、基板上にエピタキシャ
    ル層を積層する工程および基板側からダイシングする工
    程を含むことを特徴とする発光ダイオードの製造方法。
JP15779898A 1998-06-05 1998-06-05 発光ダイオードおよびその製造方法 Pending JPH11354837A (ja)

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