JPH11346053A - 電子部品の実装方法及び実装装置 - Google Patents

電子部品の実装方法及び実装装置

Info

Publication number
JPH11346053A
JPH11346053A JP30463698A JP30463698A JPH11346053A JP H11346053 A JPH11346053 A JP H11346053A JP 30463698 A JP30463698 A JP 30463698A JP 30463698 A JP30463698 A JP 30463698A JP H11346053 A JPH11346053 A JP H11346053A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
circuit board
bonding tool
pad
lead
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP30463698A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoshi Shimizu
聡 清水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP30463698A priority Critical patent/JPH11346053A/ja
Publication of JPH11346053A publication Critical patent/JPH11346053A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/83Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
    • H01L2224/8319Arrangement of the layer connectors prior to mounting
    • H01L2224/83192Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】ボンディングツール600で電子部品のリード
210を圧着する際、電子部品のリード210と回路基
板100のパッド110との位置ずれを発生させること
なく、電子部品のリード210と回路基板100のパッ
ド110を精度良く実装する方法を提供する。 【解決手段】 ボンディングツールを用いて、回路基板
のパッド上に供給された半田を溶融させ、回路基板のパ
ッドに電子部品のリードを接続する電子部品の実装方法
において、ボンディングツールを電子部品のリードに接
触させた状態で電子部品のリードを加熱しながら、回路
基板のパッドに対して予め定められた位置に電子部品を
搬送し、半田を十分に軟化又は溶融させた後に、電子部
品のリードを回路基板のパッドに接近させるようにし
た。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の実装方
法とその実装装置に関する。
【0002】
【背景技術】QFPやTCPのような表面実装用回路部
品を回路基板に半田付けする方法には、予め必要量の半
田を回路基板のパッド上若しくは電子部品のリード部に
供給しておき、後にボンディングツールを被接合部に圧
接して半田を局部的に加熱して溶融させ、電子部品を回
路基板に実装する方法がある。例えば、特開平9−17
4236号公報や特開平8−236923号公報で開示
されているように、圧力を加えながら半田を加熱し、半
田を溶融させ電子部品を回路基板に実装する方法であ
る。
【0003】図9は従来のボンディングツール300の
動作を示す図である。横軸は時間、縦軸はボンディング
ツール300の下端の高さである。ここでh1はボンデ
ィングツール300の初期位置に対応する高さであり、
3は回路基板100のパッド110に対して予め位置
決めされた状態にある電子部品のリード210の上端の
高さであり、h4はボンディングツール300によって
回路基板のパッド110に押し付けられた状態にある電
子部品のリード210の上端の高さであり、h5は回路
基板100の上面の高さである。h2'はh3よりも所定
量だけ高く設定されている。
【0004】図10は、従来の電子部品の実装方法を説
明するための工程図である。
【0005】(a)工程ではパッド110に対して予め
定められた位置にリード210を位置決めしている。こ
こで、パッド110上には半田120が予め供給されて
いる。
【0006】(b)工程ではボンディングツール300
をリード210の近傍で減速させ、その後、ボンディン
グツール300をそのままの速度で更に下降させてパッ
ド110に対して押し付ける。 (b−1)工程では、ボンディングツール300を電子
部品のリード210に高速で接近させる。図9のh1
らh2’に対応する。 (b−2)工程では、ボンディングツール300を電子
部品のリード210に接触する前に減速させる。ボンデ
ィングツール300が電子部品のリード210に高速で
衝突して電子部品のリード210を損傷させないように
するためである。図9のh2’に対応する。 (b−3)工程では、ボンディングツール300を更に
下降させて、回路基板100のパッド110に対して電
子部品のリード210を押し付ける。図9のh2’から
4に対応する。
【0007】(c)工程では、ボンディングツール30
0をパッド110から遠ざけ、半田120を凝固させ
る。図9のh4からh1に対応する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の電子部品の実装方法においては、ボンディング
ツール300で電子部品のリード210を圧着する際、
電子部品のリード210と回路基板100のパッド11
0との位置ずれが発生しやすいという問題点があった。
【0009】本発明は、このような課題を解決するため
になされたものであり、ボンディングツール300で電
子部品のリード210を圧着する際、電子部品のリード
210と回路基板100のパッド110との位置ずれを
発生させることなく、電子部品のリード210と回路基
板100のパッド110を精度良く実装する方法を提供
することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成するため鋭意検討を重ねた結果、この電子部品のリ
ード210と回路基板100のパッド110との位置ず
れの主原因が、「パッド110上に供給された半田12
0の上面形状は半円状をしており、この半田120が十
分に軟化又は溶融する前に電子部品のリード210がこ
の半田120に押し付けられることによって、電子部品
のリード210が半田120の上面から滑り落ち、その
際に電子部品のリード210が回路基板のパッド110
に対して横方向にぶれてしまうため」であることを知見
し、電子部品のリード210が半田120の上面から滑
り落ちることのないように圧着を行うことによって、電
子部品のリード210と回路基板100のパッド110
との位置ずれを発生させることなく、上述の目的を達成
できることを突き止めた。
【0011】請求項1に記載の電子部品200の実装方
法は、ボンディングツール600を用いてパッド110
上に供給された半田120を溶融させ、回路基板のパッ
ド110に電子部品のリード210を接続する電子部品
200の実装方法において、ボンディングツールを電子
部品のリードに接触させた状態で電子部品のリードを加
熱しながら、回路基板のパッドに対して予め定められた
位置に電子部品を搬送し、半田を十分に軟化又は溶融さ
せた後に、電子部品のリードを回路基板のパッドに接近
させることを特徴とする。
【0012】このため、電子部品のリードは十分に軟化
又は溶融した半田に押し付けられることになり、電子部
品のリードが半田の上面から滑り落ちたり横ぶれしたり
することがなくなる。その結果、ボンディングツールで
電子部品のリードを圧着する際、電子部品のリードと回
路基板のパッドとの位置ずれを発生させることなく、電
子部品のリードと回路基板のパッドを精度良く実装する
ことができる。
【0013】請求項2に記載の電子部品の実装方法は、
ボンディングツール600を用いて回路基板のパッド上
に供給された半田を溶融させ、回路基板のパッドに電子
部品のリードを接続する電子部品の実装方法において、 a)ボンディングツール600を電子部品のリード21
0に接触させた状態で電子部品のリード210を加熱し
ながら、パッド110に対して予め定められた位置に電
子部品200を搬送する工程と、 b)ボンディングツール600を回路基板のパッド11
0の近傍で一旦停止させることによって、回路基板のパ
ッド110上に供給された半田120を十分に軟化又は
溶融させ、その後、ボンディングツール600を更に下
降させて回路基板のパッド110に対して電子部品のリ
ード210を押し付ける工程と、 c)前記ボンディングツール600を上昇させる工程
と、をこの順序で有することを特徴とする。
【0014】上記の方法で電子部品200の実装をする
ことで、リード210を圧着する際、予め供給されてい
る半田120の上面が半円状の場合であっても、パッド
110に対してリード210を押し付ける工程が開始さ
れる時点では半田120は溶融しているので、リード2
10が半田120の上面から滑り落ちるといった現象は
発生せず、電子部品200の位置ずれを発生させること
なく電子部品200を実装することができる。また、リ
ード210は搬送中に加熱されている為、電子部品20
0が予め半田120の上に位置決めされている場合に比
べ、短時間で半田120を溶融させることができる。
【0015】ここで、ボンディングツール600は、従
来のボンディングツール300が有するリード210を
パッド110に圧着させるという機構に加え、電子部品
を保持する機構を持つものを用いた。
【0016】ボンディングツール600を下降させると
は、言葉通りボンディングツール600を下降させるこ
とのみならず、ボンディングツール600を固定して回
路基板100を上昇させることにして回路基板100と
ボンディングツール600を相対的に接近させる場合も
含む。
【0017】近傍とは、半田120が十分に軟化又は溶
融するのに十分なボンディングツール600の位置のこ
とである。ボンディングツール600の温度、半田12
0の量、一旦停止時間、等の条件によって必要に応じて
最適な範囲に設定される。ボンディングツール600を
一旦停止させる位置は、短時間で半田120を十分に軟
化又は溶融させるためにリード210の下端とパッド1
10の上面との距離がなるべく近いことが望ましい。具
体的には0cmから1cmの範囲が望ましい。
【0018】一旦とは、半田120が十分に軟化又は溶
融するのに十分な時間のことであり、ボンディングツー
ル600の温度、半田120の量、近傍で示される位
置、等の条件によって必要に応じて最適な範囲に設定さ
れる。熱で電子部品200にダメージを与えぬよう、半
田120が溶融する範囲でできるだけ短時間とすること
が望ましい。
【0019】請求項3に記載の電子部品の実装方法は、
ボンディングツール600を用いてパッド110上に供
給された半田120を溶融させ、パッド110にリード
210を接続する電子部品の実装方法において、 a)ボンディングツール600を電子部品のリード21
0に接触させた状態で電子部品のリード210を加熱し
ながら、回路基板のパッド110に対して予め定められ
た位置に電子部品200を搬送する工程と、 b)回路基板のパッド110の近傍で、電子部品のリー
ド210が半田120に接触する前に半田120が十分
に軟化又は溶融するような極低速スピードでボンディン
グツール600を下降させることによって、回路基板の
パッド110上に供給された半田120を溶融させ、電
子部品のリード210が溶融した半田120に接触した
後に、速度を上げてボンディングツール600を更に下
降させて、回路基板のパッド110に対して電子部品の
リード210を押し付ける工程と、 c)前記ボンディングツール600を上昇させる工程
と、をこの順序で有することを特徴とする。
【0020】上記の方法で電子部品200の実装をする
ことで、リード210を圧着する際、予め供給されてい
る半田120の上面が半円状の場合であっても、パッド
110に対してリード210を押し付ける工程が開始さ
れる時点では半田120は溶融しているので、リード2
10が半田120の上面から滑り落ちるといった現象は
発生せず、電子部品200の位置ずれを発生させること
なく電子部品200を実装することができる。また、リ
ード210は搬送中に加熱されている為、電子部品20
0が予め半田120の上に位置決めされている場合に比
べ、短時間で半田120を溶融させることができる。
【0021】ここで、ボンディングツール600は、従
来のボンディングツール300が有するリード210を
パッド110に圧着させるという機構に加え、電子部品
を保持する機構を持つものを用いた。
【0022】ボンディングツール600を下降させると
は、言葉通りボンディングツール600を下降させるこ
とのみならず、ボンディングツール600を固定して回
路基板100を上昇させることにして回路基板100と
ボンディングツール600を相対的に接近させる場合も
含む。
【0023】近傍とは、半田120が十分に軟化又は溶
融するのに十分なボンディングツール600の位置のこ
とである。ボンディングツール600の温度、半田12
0の量、以下の極低速で示される速度、等の条件によっ
て必要に応じて最適な範囲に設定される。
【0024】極低速とは、リード210が半田120に
接触するまでに、半田120が溶融するのに十分な速度
のことであり、ボンディングツール600の温度、近傍
で示される位置、等の条件にによって必要に応じて最適
な範囲に設定される。熱で電子部品200にダメージを
与えぬよう、半田120が溶融する範囲でできるだけ速
い速度にすることが望ましい。
【0025】請求項4に記載の電子部品200の実装装
置は、ボンディングツール600を用いて回路基板のパ
ッド110上に供給された半田120を溶融させ、回路
基板のパッド110に電子部品のリード210を接続す
るための電子部品200の実装装置において、ボンディ
ングツールを電子部品のリードに接触させた状態で電子
部品のリードを加熱しながら、回路基板のパッドに対し
て予め定められた位置に電子部品を搬送する手段と、半
田を十分に軟化又は溶融させた後に、電子部品のリード
を回路基板のパッドに接近させる手段を有することを特
徴とする。
【0026】このため、電子部品のリードは十分に軟化
又は溶融した半田に押し付けられることになり、電子部
品のリードが半田の上面から滑り落ちたり横ぶれしたり
することがなくなる。その結果、ボンディングツールで
電子部品のリードを圧着する際、電子部品のリードと回
路基板のパッドとの位置ずれを発生させることなく、電
子部品のリードと回路基板のパッドを精度良く実装する
ことができる。
【0027】請求項5に記載の電子部品の実装装置は、
ボンディングツール600を用いてパッド110上に供
給された半田120を溶融させ、パッド110にリード
210を接続する電子部品の実装装置において、 a)ボンディングツール600をリード210に接触さ
せた状態でリード210を加熱しながら、パッド110
に対して予め定められた位置に電子部品200を搬送す
る手段と、 b)ボンディングツール600を回路基板のパッド11
0の近傍で一旦停止させることによって、回路基板のパ
ッド110上に供給された半田120を十分に軟化又は
溶融させ、その後、ボンディングツール600を更に下
降させてパッド110に対してリード210を押し付け
る手段と、 c)前記ボンディングツール600を上昇させる手段
と、を有することを特徴とする。
【0028】上記の方法で電子部品200の実装をする
ことで、リード210を圧着する際、予め供給されてい
る半田120の上面が半円状の場合であっても、パッド
110に対してリード210を押し付ける工程が開始さ
れる時点では半田120は溶融しているので、リード2
10が半田120の上面から滑り落ちるといった現象は
発生せず、電子部品200の位置ずれを発生させること
なく電子部品200を実装することができる。また、リ
ード210は搬送中に加熱されている為、電子部品20
0が予め半田120の上に位置決めされている場合に比
べ、短時間で半田120を溶融させることができる。
【0029】ここで、ボンディングツール600は、従
来のボンディングツール300が有するリード210を
パッド110に圧着させるという機構に加え、電子部品
を保持する機構を持つものを用いた。
【0030】ボンディングツール600を下降させると
は、言葉通りボンディングツール600を下降させるこ
とのみならず、ボンディングツール600を固定して回
路基板100を上昇させることにして回路基板100と
ボンディングツール600を相対的に接近させる場合も
含む。
【0031】近傍とは、半田120が十分に軟化又は溶
融するのに十分なボンディングツール600の位置のこ
とである。ボンディングツール600の温度、半田12
0の量、以下の一旦で示される時間、等の条件によって
必要に応じて最適な範囲に設定される。ボンディングツ
ール600を一旦停止させる位置は、短時間で半田12
0を溶融させるためにリード210の下端とパッド11
0の上面との距離がなるべく近いことが望ましい。具体
的には0cmから1cmの範囲が望ましい。
【0032】一旦とは、半田120が溶融するのに十分
な時間のことであり、ボンディングツール600の温
度、半田120の量、近傍で示される位置、等の条件に
よって変化する時間である。熱で電子部品200にダメ
ージを与えぬよう、半田120が溶融する範囲でできる
だけ短時間とすることが望ましい。
【0033】請求項6に記載の電子部品の実装装置は、
ボンディングツール600を用いてパッド110上に供
給された半田120を溶融させ、パッド110にリード
210を接続する電子部品の実装装置において、 a)ボンディングツール600を電子部品のリード21
0に接触させた状態で電子部品のリード210を加熱し
ながら、回路基板のパッド110に対して予め定められ
た位置に電子部品200を搬送する手段と、 b)回路基板のパッド110の近傍で、電子部品のリー
ド210が半田120に接触する前に半田120が溶融
するような極低速スピードでボンディングツール600
を下降させることによって、パッド110上に供給され
た半田120を十分に軟化又は溶融させ、電子部品のリ
ード210が溶融した半田120に接触した後に、速度
を上げてボンディングツール600を更に下降させて、
回路基板のパッド110に対して電子部品のリード21
0を押し付ける手段と、 c)前記ボンディングツール600を上昇させる手段
と、を有することを特徴とする。
【0034】上記の方法で電子部品200の実装をする
ことで、リード210を圧着する際、予め供給されてい
る半田120の上面が半円状の場合であっても、パッド
110に対してリード210を押し付ける工程が開始さ
れる時点では半田120は溶融しているので、リード2
10が半田120の上面から滑り落ちるといった現象は
発生せず、電子部品200の位置ずれを発生させること
なく電子部品200を実装することができる。また、リ
ード210は搬送中に加熱されている為、電子部品20
0が予め半田120の上に位置決めされている場合に比
べ、短時間で半田120を溶融させることができる。
【0035】ここで、ボンディングツール600は、従
来のボンディングツール300が有するリード210を
パッド110に圧着させるという機構に加え、電子部品
を保持する機構を持つものである。
【0036】ボンディングツール600を下降させると
は、言葉通りボンディングツール600を下降させるこ
とのみならず、ボンディングツール600を固定して回
路基板100を上昇させることにして回路基板100と
ボンディングツール600を相対的に接近させる場合も
含む。
【0037】近傍とは、半田120が溶融するのに十分
なボンディングツール600の位置のことであり、ボン
ディングツール600の温度、半田120の量、以下の
極低速で示される速度、等の条件によって変化する位置
である。
【0038】極低速とは、リード210が半田120に
接触するまでに、半田120が溶融するのに十分な速度
のことであり、ボンディングツール600の温度、近傍
で示される位置、等の条件にによって必要に応じて最適
な範囲に設定される。熱で電子部品200にダメージを
与えぬよう、半田120が溶融する範囲でできるだけ速
い速度にすることが望ましい。
【0039】
【発明の実施の形態】以下、本発明をアウターリードボ
ンダに応用した場合を例にして、本発明の実施の形態を
説明する。
【0040】(実施例1)図1は、ボンディングツール
600の動作を示す図である。横軸は時間、縦軸はボン
ディングツール600の下端の高さである。ここで、h
1はボンディングツール600の初期位置に対応する高
さであり、h3は回路基板100のパッド110に予め
供給された半田の上端の高さであり、h4はボンディン
グツール600によって回路基板100のパッド110
に押し付けられた状態にある電子部品のリード210の
上端の高さであり、h5は回路基板100の上面の高さ
である。 h2は半田120を十分に軟化又は溶融させる
為の位置であり、h3から50μm高くなるように設定
した。
【0041】図2は、実施例1のアウターリードボンダ
装置の要部を示す斜視図である。図2において、ボンデ
ィングツール600は、X方向移動軸とY方向移動軸と
Z方向移動軸の3軸を持つロボットのZ方向移動軸41
0に取り付けられている。X、Y及びZ方向移動軸はロ
ボットのコントローラから制御命令を送ることにより、
位置と移動速度をコントロールでき、ボンディングツー
ル600の位置を制御することができる。また、ボンデ
ィングツール600の内部に内蔵された発熱体310
は、ボンディングツール600を330℃程度に加熱し
ている。
【0042】図3は、実施例1の電子部品の実装方法の
工程図である。
【0043】(a)工程では吸着ノズル500によって
電子部品200を保持し、リード210をボンディング
ツール600に接触させてリード210を加熱しなが
ら、パッド110に対して予め定められた位置に電子部
品200を搬送する。
【0044】(b)工程ではボンディングツール600
をパッド110の近傍で一旦停止させることによって、
パッド110上に供給された半田120を溶融させ、そ
の後、ボンディングツール600を更に下降させてパッ
ド110に対してリード210を押し付ける。 (b−1)工程では、ボンディングツール600をパッ
ド110に20cm/secの高速で接近させる。図1のh1
からh2に対応する。 (b−2)工程では、ボンディングツール600を一旦
(1.5秒間)停止させる。パッド110上に供給され
た半田120は溶融した。図1のh2に対応する。 (b−3)工程では、(b−2)工程で半田120が溶
融した後にボンディングツール600を更に100μm/
secの比較的低速で下降させて、回路基板100のパッ
ド110に対して電子部品のリード210を押し付け
る。図1のh2からh4に対応する。このため、電子部品
のリード210及び回路基板100のパッド110には
十分に熱が与えられ、溶融した半田120が電子部品の
リード210と回路基板100のパッド110の間に濡
れ広がる。ボンディングツール600の下端がh4に到
達後、ボンディングツール600の位置の変化はない
が、ボンディングツール600を回路基板100に押し
付ける力を発生させるために、ロボットにはZ方向移動
軸410を更に150μm下げる命令を出している。
【0045】(c)工程では、ボンディングツール60
0をパッド110から遠ざけ、半田120を凝固させ
る。図1のh4からh1に対応する。h4から100μmの
範囲は30μm/secの低速で上昇させ、以降h1までの
範囲は20cm/secの高速で上昇させた。ここで、半田1
20の粘り、すなわちタック力によってボンディングツ
ール600の上昇に伴いリード210が引き上げられる
ことのないよう、ボンディングツール600とリード2
10が離れるまでは、電子部品200に熱的ダメージを
与えない範囲でボンディングツール600をゆっくり上
昇させることが望ましい。
【0046】この方法で電子部品200の実装を行った
ところ、予め定められた位置に対して、電子部品200
を位置ずれを発生させることなく実装できた。
【0047】参考のため、実施例1のフローチャートを
図4に示す。
【0048】(実施例2)図5は、ボンディングツール
600の動作を示す図である。横軸は時間、縦軸はボン
ディングツール600の下端の高さである。ここで、h
1はボンディングツール600の初期位置に対応する高
さであり、h3は回路基板100のパッド110に予め
供給された半田の上端の高さであり、h4はボンディン
グツール600によって回路基板100のパッド110
に押し付けられた状態にある電子部品のリード210の
上端の高さであり、h5は回路基板100の上面の高さ
である。 h2-1はh3より50μm高く、h2-2はh3
り10μm低くなるように設定した。
【0049】図6は、実施例2のアウターリードボンダ
装置の要部を示す斜視図である。図6において、ボンデ
ィングツール600は、X方向移動軸とY方向移動軸と
Z方向移動軸の3軸を持つロボットのZ方向移動軸41
0に取り付けられている。X、Y及びZ方向移動軸はロ
ボットのコントローラから制御命令を送ることにより、
位置と移動速度をコントロールでき、ボンディングツー
ル600の位置を制御することができる。また、ボンデ
ィングツール600の内部に内蔵された発熱体310
は、ボンディングツール600を330℃程度に加熱し
ている。
【0050】図7は、実施例2の電子部品の実装方法の
工程図である。
【0051】(a)工程では吸着ノズル500によって
電子部品200を保持し、リード210をボンディング
ツール600に接触させてリード210を加熱しなが
ら、パッド110に対して予め定められた位置に電子部
品200を搬送する。
【0052】(b)工程ではボンディングツール600
をパッド110の近傍で極低速で下降させることによっ
て、パッド110上に供給された半田120を溶融さ
せ、その後、ボンディングツール600を更に下降させ
てパッド110に対してリード210を押し付ける。 (b−1)工程では、ボンディングツール600をパッ
ド110に20cm/secの高速で接近させる。図5のh1
からh2-1に対応する。 (b−2)工程では、ボンディングツール600をパッ
ド110の近傍で30μm/secの極低速で下降させる
ことによって、パッド110上に供給された半田120
を溶融させている。図5のh2-1からh2-2に対応する。 (b−3)工程では、半田120が溶融した後にボンデ
ィングツール600を100μm/secの比較的低速で更
に下降させて、パッド110に対してリード210を押
し付ける。図4のh2-2からh4に対応する。このため、
パッド110に対しても十分な熱が与られ、溶融した半
田120がリード210とパッド110の間に濡れ広が
る。ボンディングツール600の下端がh4到達後、ボ
ンディングツール600の位置の変化はないが、ボンデ
ィングツール600を回路基板100に押し付ける力を
発生させるために、ロボットにはZ方向移動軸410を
更に150μm下げる命令を出している。
【0053】(c)工程では、ボンディングツール60
0をパッド110から遠ざけ、半田120を凝固させる
工程である。この工程はh4からh1である。ボンディン
グツール600をh4から100μmの範囲は30μm/
secの低速で上昇させ、以降h1までの範囲は20cm/sec
の高速で上昇させた。ここで、半田120の粘り、すな
わちタック力によってボンディングツール600の上昇
に伴いリード210が引き上げられることのないよう、
ボンディングツール600とリード210が離れるまで
は、電子部品200に熱的ダメージを与えない範囲でボ
ンディングツール600をゆっくり上昇させることが望
ましい。
【0054】この方法で電子部品200の実装を行った
ところ、予め定められた位置に対して、電子部品200
を位置ずれを発生させることなく実装できた。
【0055】参考のため、実施例2のフローチャートを
図8に示す。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1のボンディングツールの動作を示す
図。
【図2】実施例1のアウターリードボンダ装置の要部を
示す斜視図。
【図3】実施例1の電子部品を実装方法の工程図。
【図4】実施例1のフローチャート。
【図5】実施例2のボンディングツールの動作を示す
図。
【図6】実施例2のアウターリードボンダ装置の要部を
示す斜視図。
【図7】実施例2の電子部品を実装方法の工程図。
【図8】実施例2のフローチャート。
【図9】従来のボンディングツールの動作を示す図。
【図10】従来の電子部品の実装方法の工程図。
【符号の説明】
100 回路基板 110 パッド 120 半田 200 電子部品 210 リード 300 ボンディングツール 500 吸着ノズル 600 ボンディングツール 610 発熱体

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ボンディングツールを用いて回路基板のパ
    ッド上に供給された半田を溶融させ、回路基板のパッド
    に電子部品のリードを接続する電子部品の実装方法にお
    いて、 ボンディングツールを電子部品のリードに接触させた状
    態で電子部品のリードを加熱しながら、回路基板のパッ
    ドに対して予め定められた位置に電子部品を搬送し、半
    田を十分に軟化又は溶融させた後に、電子部品のリード
    を回路基板のパッドに接近させることを特徴とする電子
    部品の実装方法。
  2. 【請求項2】ボンディングツールを用いて回路基板のパ
    ッド上に供給された半田を溶融させ、回路基板のパッド
    に電子部品のリードを接続する電子部品の実装方法にお
    いて、 a)ボンディングツールを電子部品のリードに接触させ
    た状態で電子部品のリードを加熱しながら、回路基板の
    パッドに対して予め定められた位置に電子部品を搬送す
    る工程と、 b)ボンディングツールを回路基板のパッドの近傍で一
    旦停止させることによって、回路基板のパッド上に供給
    された半田を十分に軟化又は溶融させ、その後、ボンデ
    ィングツールを更に下降させて回路基板のパッドに対し
    て電子部品のリードを押し付ける工程と、 c)前記ボンディングツールを上昇させる工程と、をこ
    の順序で有する電子部品の実装方法。
  3. 【請求項3】ボンディングツールを用いて回路基板のパ
    ッド上に供給された半田を溶融させ、回路基板のパッド
    に電子部品のリードを接続する電子部品の実装方法にお
    いて、 a)ボンディングツールを電子部品のリードに接触させ
    た状態で電子部品のリードを加熱しながら、回路基板の
    パッドに対して予め定められた位置に電子部品を搬送す
    る工程と、 b)回路基板のパッドの近傍で、電子部品のリードが半
    田に接触する前に半田が溶融するような極低速スピード
    でボンディングツールを下降させることによって、回路
    基板のパッド上に供給された半田を溶融させ、電子部品
    のリードが溶融した半田に接触した後に、速度を上げて
    ボンディングツールを更に下降させて、回路基板のパッ
    ドに対して電子部品のリードを押し付ける工程と、 c)前記ボンディングツールを上昇させる工程と、をこ
    の順序で有する電子部品の実装方法。
  4. 【請求項4】ボンディングツールを用いて回路基板のパ
    ッド上に供給された半田を溶融させ、回路基板のパッド
    に電子部品のリードを接続するための電子部品の実装装
    置において、 ボンディングツールを電子部品のリードに接触させた状
    態で電子部品のリードを加熱しながら、回路基板のパッ
    ドに対して予め定められた位置に電子部品を搬送する手
    段と、 半田を十分に軟化又は溶融させた後に、電子部品のリー
    ドを回路基板のパッドに接近させる手段を有することを
    特徴とする電子部品の実装装置。
  5. 【請求項5】ボンディングツールを用いて回路基板のパ
    ッド上に供給された半田を溶融させ、回路基板のパッド
    に電子部品のリードを接続するための電子部品の実装装
    置において、 a)ボンディングツールを電子部品に接触させた状態で
    電子部品のリードを加熱しながら、回路基板のパッドに
    対して予め定められた位置に電子部品を搬送する手段
    と、 b)ボンディングツールを回路基板のパッドの近傍で一
    旦停止させることによって、回路基板のパッド上に供給
    された半田を十分に軟化又は溶融させ、その後、ボンデ
    ィングツールを更に下降させて回路基板のパッドに対し
    て電子部品のリードを押し付ける手段と、 c)前記ボンディングツールを上昇させる手段と、を有
    する電子部品の実装装置。
  6. 【請求項6】ボンディングツールを用いて回路基板のパ
    ッド上に供給された半田を溶融させ、回路基板のパッド
    に電子部品のリードを接続するための電子部品の実装装
    置において、 a)ボンディングツールを電子部品のリードに接触させ
    た状態で電子部品のリードを加熱しながら、回路基板の
    パッドに対して予め定められた位置に電子部品を搬送す
    る手段と、 b)回路基板のパッドの近傍で、電子部品のリードが半
    田に接触する前に半田が溶融するような極低速スピード
    でボンディングツールを下降させることによって、回路
    基板のパッド上に供給された半田を十分に軟化又は溶融
    させ、電子部品のリードが溶融した半田に接触した後
    に、速度を上げてボンディングツールを更に下降させ
    て、回路基板のパッドに対して電子部品のリードを押し
    付ける手段と、 c)前記ボンディングツールを上昇させる手段と、を有
    する電子部品の実装装置。
JP30463698A 1998-03-31 1998-10-26 電子部品の実装方法及び実装装置 Withdrawn JPH11346053A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30463698A JPH11346053A (ja) 1998-03-31 1998-10-26 電子部品の実装方法及び実装装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10-85984 1998-03-31
JP8598498 1998-03-31
JP30463698A JPH11346053A (ja) 1998-03-31 1998-10-26 電子部品の実装方法及び実装装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11346053A true JPH11346053A (ja) 1999-12-14

Family

ID=26426999

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30463698A Withdrawn JPH11346053A (ja) 1998-03-31 1998-10-26 電子部品の実装方法及び実装装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11346053A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2793528B2 (ja) ハンダ付け方法、ハンダ付け装置
US9426898B2 (en) Thermocompression bonders, methods of operating thermocompression bonders, and interconnect methods for fine pitch flip chip assembly
JP2004031885A (ja) ボンディング方法およびその装置
JP2012138583A (ja) 材料を加えることによって部材をサポートに接着する方法、および2つの要素を重ね合わせる装置
JPH09153525A (ja) ボンディング装置およびボンディング方法
JP6325053B2 (ja) 接合システム、接合方法、および半導体デバイスの製造方法
JPH08204327A (ja) 実装装置
US20030009876A1 (en) Method and device for chip mounting
JPH11346053A (ja) 電子部品の実装方法及び実装装置
JP2006032446A (ja) 半導体部品の実装方法および実装装置
JPH11330687A (ja) 電子部品の実装方法及び実装装置
JPH11345816A (ja) はんだバンプ形成方法および装置
JP2510688B2 (ja) 過剰はんだ除去装置
JP2000349099A (ja) はんだ接合方法および、半導体装置の製造方法
JP2006073873A (ja) 電子部品実装方法及び装置
JP2809207B2 (ja) 半導体装置のリペア方法とリペア装置
JP2003008196A (ja) 電子部品の実装方法及び実装装置
JP2699583B2 (ja) 半導体装置の製造方法及びその装置
JP2001068847A (ja) 電子部品の実装方法及び電子部品の実装装置
JP3095959B2 (ja) チップ部品の基板への接続方法
JPH0637443A (ja) 半田付け方法
JP2010093013A (ja) ボンディング装置及びボンディング方法
JPH04338657A (ja) チップ部品と基板との接続方法
JPH09330953A (ja) 混成要素を基板に混成化する方法と装置
JPH07153764A (ja) はんだバンプ形成方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20060110