JPH11345499A - ウェハ上の複数のメモリチップを検査するための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 これまで検査過程でプローブカードによって
検査できたよりもはるかに多くのメモリチップを検査で
きる、ウェハ上の複数のメモリチップを検査するための
装置を提供することである。 【解決手段】 上記課題は、本発明の装置においてアド
レス信号、データ信号及び制御信号の少なくとも幾つか
がメモリチップのカーフに配置されたロジックで発生さ
れ、このメモリチップに直接供給されることによって解
決される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、針を使用してメモ
リチップに給電電圧、初期化信号、読み出し信号、クロ
ック信号が供給されならびにアドレス信号、データ信号
及び制御信号が供給される、ウェハ上の複数のメモリチ
ップを検査するための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】これまでは例えば６４ＭｂｉｔＤＲＡＭ
のチップは小グループでプローブカード（Nadelkarte）
の針を用いて検査される。この場合、多数のチップに、
有利にはウェハの全チップに針によって検査過程の間に
接触するために、十分な針を有するプローブカードを製
造することは問題をもたらす。

【０００３】プローブカードにおける針の上限は今日で
はほぼ１０００針である。従って、ほぼ２０〜５０個の
規模でチップが検査される。というのも、各々のチップ
に針を介して様々なアドレス信号、データ給電信号及び
制御信号を供給しなくてはならないからである。

【０００４】よって、公知の装置には１０００本までの
針を有するプローブカードが設けられている。これらの
針によって同時にほぼ２０〜５０個のチップが検査でき
る。この場合、問題なのは、１０００本の針によってこ
れら２０〜５０個のチップに対して加えられる比較的大
きな表面圧力である。また、ウェハ上の各チップが確実
に検査されるように、チップ毎に５０本の規模の針が置
かれている各チップに対してこれほど多くの針をこれら
の針の先端部において共平面に形成することも困難であ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、これ
まで検査過程でプローブカードによって検査できたより
もはるかに多くのメモリチップを検査できる、ウェハ上
の複数のメモリチップを検査するための装置を提供する
ことである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題は、冒頭に挙げ
たタイプの装置において、本発明では、アドレス信号、
データ信号及び制御信号のうちの少なくとも幾つかがメ
モリチップのカーフ（マスクの検査構造及びセンタリン
グ補助部を含む鋸切断用周縁部（Saegerand））に配置
されたロジックで発生され、このメモリチップに直接供
給されることによって解決される。この場合、有利には
全てのアドレス信号、データ信号及び制御信号がカーフ
に設けられたこのロジックで発生される。ここで注意し
ておくが、例えば、カーフによって隔てられた２つのメ
モリチップのように、複数のメモリチップを個別のメモ
リチップと解釈してもらいたい。

【０００７】本発明はこれによりこれまでの従来技術と
は完全に異なるやり方を記述する。すなわち、これ自体
開発途中にあるのだろうが、プローブカード乃至は針の
改善に努める代わりに、別個のロジックをメモリチップ
のカーフに配置し、このロジックによってアドレス信
号、データ信号及び制御信号をローカルにこのカーフに
おいて各メモリチップ毎に発生し、直接このメモリチッ
プに供給する。これは、給電電圧及び符号化された少数
の出力信号だけを各メモリチップ毎にプローブカードを
介して供給しさえすればよい、という重要な利点を有す
る。つまり、プローブカードを介して給電電圧、初期化
信号、読み出し信号及びクロック信号に対するたった５
個の接触部が必要であり、この結果、ほぼ１０００針を
有するプローブカードによって２００個までのチップが
検査できるのである。

【０００８】従って、カーフに配置されるローカルロジ
ックは個々のメモリチップに対して全ての必要とされる
アドレス信号、データ信号及び制御信号を発生し、これ
らを評価する。エラーが発生すればエラー信号が出力さ
れ、このエラー信号は検査機器にエラー発生を通報す
る。相応に符号化された信号を介して簡単にどこにこの
エラーが存在するのかが検出される。４つのワードライ
ンが同時にブーストされる場合には、このために例えば
２つの符号化された信号が必要となる。エラーが発生し
た時点及びｎ個の符号化された信号を介して、正確なエ
ラー箇所が検出できる。

【０００９】

【実施例】本発明を次に図面に基づいて詳しく説明す
る。

【００１０】唯一の図はメモリチップ１を示している。
このメモリチップ１はカーフ乃至は鋸切断用周縁部２に
よって取り囲まれている。このカーフ２はウェハを鋸に
よって切断し個々のメモリチップ１に分割する際に脱落
する。この結果、この分割の後にはカーフ２を持たない
個々のメモリチップ１だけが残る。

【００１１】メモリチップ１には異なるパッド（接触ク
ッション）３、４、７が設けられている。これら異なる
パッド３、４、７には検査過程の際にプローブカードの
針が接触する。従って、初期化信号Ｉ、クロック信号Ｃ
ＬＫ及びセレクト乃至は選択信号ＣＳ用のパッド３及び
給電電圧ＶＤＤ乃至はＶＳＳ用のパッド７が存在する。
さらにこのメモリチップ１はアドレス信号、データ信号
及び制御信号用の針によって接触されるパッド４を有す
る。実際には検査過程では例えば１１個のアドレス信
号、８〜１７個のデータ信号及び５個の制御信号が印加
されるのだが、簡略化するためにこの図では３つのこの
ようなパッド４だけが示されている。従って、既述の通
り、多数の針が必要とされ、この結果、比較的少数のメ
モリチップだけがグループで共にほぼ１０００針を有す
るプローブカードによって検査される。

【００１２】本発明ではカーフ２にロジック５が設けら
れ、このロジック５は出力側Ｏに接続されており、アド
レス信号、データ信号、制御信号を直接パッド４に送出
する。従って、これらのパッド４に対してもはや針は必
要ではなく、このためメモリチップ１の検査に必要な針
の数は大幅に低減される。

【００１３】針は実際には基本的にパッド３へと図の平
面に対して垂直に延在しているのだが、これらの針は概
略的に示されており、参照符号６が付けられている。

【００１４】よって、ロジック５はアドレス信号、デー
タ信号及び制御信号による検査機能を引き受ける。この
結果、全体として必要とされる針の数は相応に低減され
る。当然、これらの信号のうちのいくつかだけをロジッ
ク５を介してメモリチップ１に供給することも可能であ
る。

【００１５】テスト過程の後でカーフ２は鋸によって除
去され、これによってそれ以後はもはや必要ないロジッ
ク５が分離される。

【００１６】付加的なロジック５の助けをかりて必要な
針６の数の低減を行うために、本発明は有利なやり方で
カーフによって与えられる場所を利用するのである。

【００１７】場合によっては、ロジック５が複数の半導
体チップに相応のアドレス信号、データ信号及び制御信
号を供給するように、このロジック５をカーフに配置す
ることもできる。この結果、例えば１つのロジック５が
２つ又はそれ以上の複数のメモリチップ１に配属され
る。

【００１８】本発明の装置においては、プローブカード
の針の数を増大することも可能である。というのも、こ
れらの針自体を互いにより広い間隔をおいて配置するこ
とができるからである。これは個々のメモリチップに必
要な針がより少なくなることに起因する。

【図面の簡単な説明】

【図１】カーフを有するメモリチップの平面図である。

【符号の説明】

１ メモリチップ ２ カーフ ３ パッド ４ パッド ５ ロジック ６ 針 ７ パッド

フロントページの続き (72)発明者 マーティン ブック ドイツ連邦共和国 ミュンヘン ホーエン エックシュトラーセ 28

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハ上の複数のメモリチップ（１）を
   検査するための装置であって、 針（６）を使用して前記メモリチップ（１）に給電電圧
   （ＶＤＤ，ＶＳＳ）、初期化信号（Ｉ）、読み出し信号
   （ＣＳ）、クロック信号（ＣＬＫ）が供給されならびに
   アドレス信号、データ信号及び制御信号が供給される、
   ウェハ上の複数のメモリチップ（１）を検査するための
   装置において、 前記アドレス信号、前記データ信号及び前記制御信号の
   うちの少なくとも一部分が前記メモリチップ（１）のカ
   ーフ（鋸切断用周縁部）（２）に配置されたロジック
   （５）で発生され、前記メモリチップ（１）に直接供給
   されることを特徴とするウェハ上の複数のメモリチップ
   （１）を検査するための装置。
2. 【請求項２】 アドレス信号、データ信号及び制御信号
   は全てロジック（５）で発生され、メモリチップ（１）
   に直接供給されることを特徴とする請求項１記載の装
   置。