JPH11344147A - 電空比例差圧制御弁 - Google Patents

電空比例差圧制御弁

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JPH11344147A
JPH11344147A JP16437298A JP16437298A JPH11344147A JP H11344147 A JPH11344147 A JP H11344147A JP 16437298 A JP16437298 A JP 16437298A JP 16437298 A JP16437298 A JP 16437298A JP H11344147 A JPH11344147 A JP H11344147A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 電空比例差圧制御弁において、フィードバ
ック信号に対する応答性をよくすることを第1の課題と
する。 【解決手段】 2つの信号圧力ポートA及びBの圧力差
を目標値に近づける電空比例差圧制御弁において、第1
流体圧操作機構及び第2流体圧操作機構の各パイロット
室46、47に2位置3ポートの第1オンオフ電磁弁2及び
第2オンオフ電磁弁3を通して圧力流体を給排させる。
第1オンオフ電磁弁2及び第2オンオフ電磁弁3を一定
周波数のパルス列で駆動し、パルス列のパルス幅を目標
値と現在値との誤差に応じて変化させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体圧アクチュエ
ータの2つのポート、例えば流体圧シリンダのピストン
の両側のシリンダ室にそれぞれ連通した2つのポート
に、差圧を供給してアクチュエータに所定の力を出力さ
せるための電空比例差圧制御弁に関する。
【0002】
【従来の技術】アクチュエータのストローク終端で一定
の作用力を保持するための電空比例弁として、特公平3
−1553号に記載されたものが知られている。この電
空比例弁は、スプールの一方に復帰ばねを作用させ、ス
プールの他方に比例ソレノイドの出力を作用させ、スプ
ールの両側にフィードバック圧力が作用するように構成
されている。電空比例弁のAポート及びBポートの差圧
を設定値(目標値)に設定し、流体圧アクチュエータの
一対の出力ポートを通して、流体圧アクチュエータの対
向する圧力室に供給しようとするものである。
【0003】この電空比例弁では、ソレノイドと可動鉄
心を用いてスプールを駆動しているので、フィードバッ
ク信号に対する応答性があまりよくなかった。また、こ
の電空比例弁では、比例ソレノイドに入力する電流が0
〜25%の範囲ではBポートの圧力が電流に比例して低
下し、比例ソレノイドに入力する電流が25〜100%
の範囲ではAポートの圧力が電流に比例して上昇する。
このように電流25%の位置でBポートの圧力変化から
Aポートの圧力変化へと切り換わるので、差圧の変化に
円滑性を欠くものとなる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、電空比例差
圧制御弁において、フィードバック信号に対する応答性
をよくすることを第1の課題とし、電空比例差圧制御弁
のAポート及びBポートの差圧出力を、所望の範囲にわ
たり電圧入力に比例して直線的に変化させることを第2
の課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を達
成するために、制御弁本体に圧力供給ポート、排出ポー
ト及び信号圧力ポートA及びBを配設し、制御弁本体内
のスプールを第1流体圧操作機構及び第2流体圧操作機
構により移動させて、2つの信号圧力ポートA及びBの
圧力差を目標値に近づける電空比例差圧制御弁におい
て、第1流体圧操作機構及び第2流体圧操作機構の各パ
イロット室に2位置3ポートの第1オンオフ電磁弁及び
第2オンオフ電磁弁を通して圧力流体を給排させ、第1
オンオフ電磁弁及び第2オンオフ電磁弁を一定周波数の
パルス列で駆動し、パルス列のパルス幅を目標値と現在
値との誤差に応じて変化させたことを第1の構成とす
る。本発明は、第1の構成において、信号圧力ポートA
及びBの各圧力を2つの圧力センサにより検出し、各圧
力センサにより検出された差圧の現在値と目標値との誤
差に応じたデューティ比を算出し、第1オンオフ電磁弁
及び第2オンオフ電磁弁における流体圧力源と第1流体
圧操作機構及び第2流体圧操作機構の各パイロット室と
を連通させる開口面積を、デューティ比と比例させるよ
うにしたことを第2の構成とする。本発明は、第1及び
第2の構成において、第1流体圧操作機構及び第2流体
圧操作機構の各シリンダ孔にピストンが摺動自在に配設
され、各ピストンがスプールに連結され、各ピストンの
外側室がパイロット室とされ、各ピストンの内側室がフ
ィードバック室とされ、第1流体圧操作機構のフィード
バック室と信号圧力ポートAとを連通するとともに第2
流体圧操作機構のフィードバック室と信号圧力ポートB
とを連通したことを第3の構成とする。なお、本発明に
おいて、電空比例差圧制御弁の電空とは、電気信号を空
気圧信号に変換することのみでなく、電気信号を空気
圧、液体圧等の流体圧信号に変換することを意味するこ
ととする。
【0006】
【発明の実施の形態】図1は電空比例差圧制御弁の本発
明の実施の形態を示す図である。本発明の実施の形態の
電空比例差圧制御弁は、制御弁本体1、第1オンオフ電
磁弁2、第2オンオフ電磁弁3、第1圧力センサ4、第
2圧力センサ5、中央処理装置7及び空気圧源(流体圧
源)8によって構成されている。制御弁本体1のスプー
ル19を操作するための第1流体圧操作機構及び第2流体
圧操作機構があり、第1流体圧操作機構及び第2流体圧
操作機構の各パイロット室46、47に2位置3ポートの第
1オンオフ電磁弁2及び第2オンオフ電磁弁3を通して
圧力流体を給排させ、第1オンオフ電磁弁2及び第2オ
ンオフ電磁弁3を一定周波数のパルス列で駆動し、パル
ス列のパルス幅を目標値と現在値との誤差に応じて変化
させるようになっている。
【0007】制御弁本体1は、第1カバー10、弁ボデー
11及び第2カバー12が順次に接合され連結して構成され
ている。弁ボデー11には長手方向(図1では左右方向)
に延びる段付の中央孔が形成され、この中央孔は左方か
ら第1シリンダ孔14、挿入孔15及び第2シリンダ孔16で
あり、第1シリンダ孔14と第2シリンダ孔16とは同径で
挿入孔15はそれらよりも小径である。挿入孔15にはスリ
ーブ18が挿入され固定されており、スリーブ18内にはス
プール19が摺動自在に挿入されている。挿入孔15には5
個の環状溝21〜25が左側から順に形成され、またスリー
ブ18には内面と外面とを接続する5個の連通孔31〜35が
形成され、環状溝21〜25のそれぞれと連通孔31〜35のそ
れぞれとが図示のように連通されている。スリーブ18の
外面には連通孔31〜35の間及び連通孔31・35の外側に図
示のように環状溝が形成され、各環状溝にはOリングが
装着され、スリーブ18の外面と挿入孔15の内面との間を
密封している。
【0008】スプール19には第1ランド27, 中央ランド
28及び第2ランド29が形成され、スプール19が図示の中
立位置にあるとき、第1ランド27, 中央ランド28及び第
2ランド29はそれぞれ連通孔31、連通孔33及び連通孔35
を閉鎖している。スプール19の両端には小径部があり、
左右の小径部に第1ピストン44と第2ピストン45がそれ
ぞれ嵌合され、各小径部にワッシャを嵌合しナットを螺
合して、第1ピストン44と第2ピストン45が所定位置に
固定されている。第1カバー10及び第2カバー12にはス
プリング室39及び40がそれぞれ形成され、スプリング室
39及び40は第1シリンダ孔14及び第2シリンダ孔16にそ
れぞれ連通されている。スプリング室39の端面と第1ピ
ストン44との間にはスプリング41が装着され、スプリン
グ室40の端面と第2ピストン45との間にはスプリング42
が装着されており、スプール19は中立位置に向けて押圧
されている。
【0009】弁ボデー11の下端面にはベース板37が当接
されかつ連結されており、ベース板37の一面には排気ポ
ートR1、信号圧力ポートA、圧力供給ポートP、信号
圧力ポートB及び排気ポートR2が左方から順次に開口
されている。図示の連通路により、排気ポートR1、信
号圧力ポートA、圧力供給ポートP、信号圧力ポートB
及び排気ポートR2は、それぞれ環状溝21〜25に連通さ
れている。第1ピストン44の外側(左側)の室を第1パ
イロット室46といい、第2ピストン45の外側(右側)の
室を第2パイロット室47という。また、第1ピストン44
の内側(右側)の室を第1フィードバック室48といい、
第2ピストン45の内側(左側)の室を第2フィードバッ
ク室49という。信号圧力ポートAは第1フィードバック
室48にも連通され、また信号圧力ポートBは第2フィー
ドバック室49にも連通されている。
【0010】第1オンオフ電磁弁2及び第2オンオフ電
磁弁3は、ともに高速の3ポート2位置弁であり、それ
ぞれ圧力供給ポートp、信号圧力ポートa及び排気ポー
トrがある。第1オンオフ電磁弁2の信号圧力ポートa
は第1パイロット室46に連通され、第2オンオフ電磁弁
3の信号圧力ポートaは第2パイロット室47に連通され
ている。第1オンオフ電磁弁2及び第2オンオフ電磁弁
3の圧力供給ポートpはそれぞれ空気圧源8に連通さ
れ、第1オンオフ電磁弁2及び第2オンオフ電磁3の排
気ポートrはそれぞれ大気に連通されている。
【0011】弁ボデー11の上面には第1圧力センサ4及
び第2圧力センサ5が載置され、第1圧力センサ4及び
第2圧力センサ5の圧力感知部はそれぞれ連通路51、5
2、環状溝22、24を介して信号圧力ポートA及び信号圧
力ポートBに連通されている。第1圧力センサ4及び第
2圧力センサ5の出力はそれぞれ中央処理装置7に入力
され、中央処理装置7からのオンオフ電磁弁操作信号は
配線53、54を通って第1オンオフ電磁弁2及び第2オン
オフ電磁弁3の操作部(単動ソレノイド)に入力され
る。信号圧力ポートA及び信号圧力ポートBは、配管を
介して空気圧(流体圧)シリンダ55のヘッド側給排ポー
ト及びロッド側給排ポートに連通されている。
【0012】本発明の実施の形態の電空比例差圧制御弁
の作用について説明する。信号圧力ポートA及び信号圧
力ポートBの圧力をPa及びPbとするとき、電空比例
差圧制御弁の現在の出力は差圧PL=Pa−Pbであ
る。第1ピストン44の第1パイロット室46側の受圧面積
及び第2ピストン45の第2パイロット室47の受圧面積を
ともにA1とし、第1ピストン44の第1フィードバック
室48側の受圧面積及び第2ピストン45の第2フィードバ
ック室49の受圧面積をともにA2とする。また、スプリ
ング41及び42の、ばね定数をそれぞれKとし、また第1
パイロット室46及び第2パイロット室47の作用圧力をそ
れぞれP1、P2とし、スプール19のずれをdXとすれ
ば、力の釣り合いから次式が得られる。 (P1−P2)・A1+2K・dX=(Pa−Pb)・
A2 すなわち PL=Pa−Pb=((P1−P2)・A1+2K・d
X)/A2
【0013】ここでは、T1/T及び1−T1/Tをそ
れぞれ第1オンオフ電磁弁2及び第2オンオフ電磁弁3
の開弁時間割合(デューティ比)として、PWM法(パ
ルス幅変調法)で制御する。すなわち、第1及び第2圧
力センサ4,5により検出された差圧の現在値(Pa−
Pb)と目標値との誤差に応じた第1オンオフ電磁弁2
及び第2オンオフ電磁弁3の操作信号を中央処理装置7
から発生させる。なお、T1/Tの変化によって差圧P
1−P2は変わる。従ってT1/Tだけを調整して、差
圧P1−P2を介して出力PLを制御することができ
る。なお、スプール19を中立位置から左方へ移動する
と、圧力供給ポートPと信号圧力ポートBとが連通して
圧力流体が空気圧シリンダ55のロッド側に流入し、信号
圧力ポートAと排出ポートR1とが連通して、空気圧シ
リンダ55のヘッド側の流体が排出ポートR1から排出さ
れ、空気圧シリンダ55のロッドが後退する。スプール19
を右方へ移動したときは、流体が反対方向に流れ、空気
圧シリンダ55のロッドが前進する。
【0014】図2は電空比例差圧制御弁を用いてPWM
法により出力PLを制御するフローチャートを示す。ス
テップS1でPWMサイクルが始まったか否かが判断さ
れ、PWMサイクルが始まったと判断されたときは、ス
テップS2で第1オンオフ電磁弁2及び第2オンオフ電
磁弁3を作動させ、ステップS3へ進む。ステップS1
でPWMサイクルが始まったと判断されなかったとき
は、ステップS3へ進む。
【0015】ステップS3では、サンプル時刻になった
か否かが判断され、サンプル時刻になったと判断された
ときは、ステップS4で入力信号(目標圧力差)及び制
御対象圧力差(差圧の現在値:Pa−Pb)をサンプリ
ングする。次にステップS5に進み、差圧の現在値と目
標値との誤差に応じたデューティ比を算出し、算出され
た開弁(オン)時間割合T1/T及び1−T1/Tの操
作信号が中央処理装置7から配線53、54を通って第1オ
ンオフ電磁弁2及び第2オンオフ電磁弁3の単動ソレノ
イドに伝送される。第1オンオフ電磁弁2及び第2オン
オフ電磁弁3ではデューティ比T1/T及び1−T1/
Tに応じた信号圧力P1、P2が発生し(第1オンオフ
電磁弁2及び第2オンオフ電磁弁3における、空気圧源
8と第1流体圧操作機構のパイロット室46及び第2流体
圧操作機構のパイロット室47とを連通させる開口面積を
デューティ比と比例させた)、それぞれ第1パイロット
室46及び第2パイロット室47に導入される。スプール19
は、第1パイロット室46及び第2パイロット室47の信号
圧力P1、P2に従った位置に移動し、前記誤差をなく
そうとする。
【0016】ステップS5の動作の次にステップS1に
戻る。ステップS3でサンプル時刻になったと判断され
なかったときも、ステップS1に戻る。前記の制御によ
り、例えば現在の差圧PLが目標値よりも大きいとき
は、第1オンオフ電磁弁2及び第2オンオフ電磁弁3を
操作して、第1流体圧操作機構のパイロット室46の圧力
を低下させ、第2流体圧操作機構のパイロット室47の圧
力を上昇させる。これによりスプール19が左方へ移動
し、差圧PLは小さくなる。逆の場合は、第1オンオフ
電磁弁2及び第2オンオフ電磁弁3を操作して、差圧P
Lを大きくする。
【0017】
【実施例】次に実験結果を説明する。まず、供給圧力を
0.4 MPaとし、第1オンオフ電磁弁2及び第2オンオ
フ電磁弁3を周波数50ヘルツのパルス列で駆動した。
信号圧力ポートA、Bに連通される配管、アクチュエー
タ等の容積はそれぞれVa=5L、Vb=5Lである。
制御方法はPID制御であり、数多くの実験をして、図
3の目標値の電圧入力V1と差圧出力PLとの関係曲線
を作成した。目標値の電圧入力V1の1〜5Vの範囲に
おいて、電圧入力に比例して差圧出力PLが直線的に変
化することが判明した。
【0018】図4は、前記と同一の条件で、−0.2 MP
a、0.2 MPaを目標値とするステップ応答の実験結果
を示すグラフである。このグラフから、応答時間が2〜
2.5秒であることが分かり、目標値と現在値との誤差
の判断、及びフィードバック信号に対する応答性がとも
に良いことが判明した。
【0019】図5は、供給圧力を0.22MPaとし、Va
=0.15L、Vb=0.15Lとし、0.2MPaを目標値とす
るステップ応答の実験結果を示すグラフである。また、
図6は供給圧力を0.3 MPaとし、Va=0.15L、Vb
=0.15Lとし、0.2 MPaを目標値とするステップ応答
の実験結果を示すグラフである。図5・図6に示すよう
に、信号圧力ポートA、Bに連通される配管、アクチュ
エータ等の容積を小さくすると、電空比例差圧制御弁の
応答が速くなり、バランス状態下での振動が著しくな
る。また、供給圧力は高い方が応答が速く、オーバーラ
ンが生ずる。
【0020】
【発明の効果】請求項1記載の電空比例差圧制御弁で
は、第1オンオフ電磁弁及び第2オンオフ電磁弁が一定
周波数のパルス列で駆動され、パルス列のパルス幅が目
標値と現在地との誤差に応じて変化し、第1流体圧操作
機構及び第2流体圧操作機構の各パイロット室に2位置
3ポートの第1オンオフ電磁弁及び第2オンオフ電磁弁
を通して圧力流体を給排させてスプールを移動させてい
る。従って、比例ソレノイド・可動鉄心を用いた従来例
に比べ、本発明はフィードバック信号に対する応答性が
きわめてよい。また、所望の範囲にわたり電圧入力に比
例して差圧を直線的に変化させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電空比例差圧制御弁の実施の形態を示
す図である。
【図2】本発明の電空比例差圧制御弁の実施の形態のフ
ローチャートである。
【図3】目標値の電圧入力V1と差圧出力PLとの関係
を示す曲線図である。
【図4】−0.2 MPa及び0.2 MPaを目標値とするス
テップ応答の実験結果を示すグラフである。
【図5】供給圧力を0.22MPaとし、Va=0.15L、V
b=0.15Lとし、0.2 MPaを目標値とするステップ応
答の実験結果を示すグラフである。
【図6】供給圧力を0.3 MPaとし、Va=0.15L、V
b=0.15Lとし、0.2 MPaを目標値とするステップ応
答の実験結果を示すグラフである。
【符号の説明】
1 制御弁本体 2 第1オンオフ電磁弁 3 第2オンオフ電磁弁 4 第1圧力センサ 5 第2圧力センサ 14 第1シリンダ孔 16 第2シリンダ孔 19 スプール 44 第1ピストン 45 第2ピストン 46 第1パイロット室 47 第2パイロット室 48 第1フィードバック室 49 第2フィードバック室
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成10年10月2日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0015
【補正方法】変更
【補正内容】
【0015】ステップS3では、サンプル時刻になった
か否かが判断され、サンプル時刻になったと判断された
ときは、ステップS4で入力信号(目標圧力差)及び制
御対象圧力差(差圧の現在値:Pa−Pb)をサンプリ
ングする。次にステップS5に進み、差圧の現在値と目
標値との誤差に応じたデューティ比を算出し、さらにス
テップS6に進んでデューティ比に従って第1・第2オ
ンオフ電磁弁を操作させる。すなわち、算出された開弁
(オン)時間割合T1/T及び1−T1/Tの操作信号
が中央処理装置7から配線53、54を通って第1オンオフ
電磁弁2及び第2オンオフ電磁弁3の単動ソレノイドに
伝送される。第1オンオフ電磁弁2及び第2オンオフ電
磁弁3ではデューティ比T1/T及び1−T1/Tに応
じた信号圧力P1、P2が発生し(第1オンオフ電磁弁
2及び第2オンオフ電磁弁3における、空気圧源8と第
1流体圧操作機構のパイロット室46及び第2流体圧操作
機構のパイロット室47とを連通させる開口面積をデュー
ティ比と比例させた)、それぞれ第1パイロット室46及
び第2パイロット室47に導入される。スプール19は、第
1パイロット室46及び第2パイロット室47の信号圧力P
1、P2に従った位置に移動し、前記誤差をなくそうと
する。
【手続補正2】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図2
【補正方法】変更
【補正内容】
【図2】

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 制御弁本体に圧力供給ポート、排出ポー
    ト及び信号圧力ポートA及びBを配設し、制御弁本体内
    のスプールを第1流体圧操作機構及び第2流体圧操作機
    構により移動させて、2つの信号圧力ポートA及びBの
    圧力差を目標値に近づける電空比例差圧制御弁におい
    て、第1流体圧操作機構及び第2流体圧操作機構の各パ
    イロット室に2位置3ポートの第1オンオフ電磁弁及び
    第2オンオフ電磁弁を通して圧力流体を給排させ、第1
    オンオフ電磁弁及び第2オンオフ電磁弁を一定周波数の
    パルス列で駆動し、パルス列のパルス幅を目標値と現在
    値との誤差に応じて変化させたことを特徴とする電空比
    例差圧制御弁。
  2. 【請求項2】 信号圧力ポートA及びBの各圧力を2つ
    の圧力センサにより検出し、各圧力センサにより検出さ
    れた差圧の現在値と目標値との誤差に応じたデューティ
    比を算出し、第1オンオフ電磁弁及び第2オンオフ電磁
    弁における流体圧力源と第1流体圧操作機構及び第2流
    体圧操作機構の各パイロット室とを連通させる開口面積
    を、デューティ比と比例させるようにした請求項1記載
    の電空比例差圧制御弁。
  3. 【請求項3】 第1流体圧操作機構及び第2流体圧操作
    機構の各シリンダ孔にピストンが摺動自在に配設され、
    各ピストンがスプールに連結され、各ピストンの外側室
    がパイロット室とされ、各ピストンの内側室がフィード
    バック室とされ、第1流体圧操作機構のフィードバック
    室と信号圧力ポートAとを連通するとともに第2流体圧
    操作機構のフィードバック室と信号圧力ポートBとを連
    通した請求項1又は2記載の電空比例差圧制御弁。
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