JPH11339575A

JPH11339575A - 異方性導電性テープの製造方法及び装置

Info

Publication number: JPH11339575A
Application number: JP10141483A
Authority: JP
Inventors: Minoru Ishikawa; 実石川
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-05-22
Filing date: 1998-05-22
Publication date: 1999-12-10

Abstract

(57)【要約】【課題】片面にだけ導電性粒子を配置した薄肉の異方
性導電性テープを簡便・安価に製造する。【解決手段】外周面２ａが絶縁性材料からなる回転円
筒体２と、イオン噴出口３を円筒体２に向けて設けたイ
オン発生器４と、円筒体直下に設けた導電性粒子５の収
納容器６ａと、粘着テープ７のテープリール８と、剥離
テープ９のテープリール１０と、巻取り部１２とを配備
する。異方性導電性テープの製造に際しては円筒体の回
転、イオン発生器の作動、収納容器の上昇操作および巻
取り部１２の作動を開始し、巻取り部に向かって走行す
る粘着テープを円筒体外周面に圧接させる。イオン衝突
により帯電した円筒体外周面部分に導電性粒子が静電力
で吸着され、これが粘着テープに転写された後、この粘
着テープが剥離テープと重合して異方性導電性テープと
なり、巻取り部に巻き取られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、異方性導電性テー
プの製造方法および装置に関し、詳しくは、絶縁性材料
または感光層を帯電させ、該帯電面に導電性粒子を吸着
させた後、これを粘着テープに粘着転写させるようにし
た異方性導電性テープの製造方法、およびこの製造方法
を実施するための装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、片面に導電性粒子の層を設けた異
方性導電性テープが電子部品の実装に使用れている。こ
の異方性導電性テープは通常、図４および図５に示す方
法で製造されている。すわなちテープリール６１から導
電性粒子を含まないエポキシ樹脂テープ５１を繰り出
し、テープリール６２から導電性粒子を分散させたエポ
キシ樹脂テープ５２を繰り出すとともに、テープリール
６３から剥離テープ（剥離紙）５３を繰り出す。そし
て、これらのエポキシ樹脂テープ５１，５２および剥離
テープ５３を同一速度で走行させ、エポキシ樹脂テープ
５１を５２に重合させた後、この重合接着テープ５４を
剥離テープ５３と重合させ、得られた異方性導電性テー
プ５５を巻取りボビン６４に巻き取る。６５はガイドロ
ーラであって、エポキシ樹脂テープ５１，５２の走行を
案内するとともに、これらのテープ同士を重合させるた
めのものである。

【０００３】この場合、エポキシ樹脂テープ５１として
は例えば、完全には硬化しておらず、したがって両面が
粘着性のものを用い、エポキシ樹脂テープ５２としては
例えば、完全に硬化しているものを使用する。剥離テー
プ５３を用いる目的は、これをエポキシ樹脂テープ５１
（の粘着面）に重合させることにより、巻取りボビン６
４に巻き取られた異方性導電性テープ５５同士が粘着す
るのを防止することにある。

【０００４】エポキシ樹脂テープ５２は一般的に、エポ
キシ樹脂中に導電性粒子を分散させたものであり、この
導電性粒子としてはプラスチック製の球体に金メッキや
ニッケルメッキを施したもの、または金属球（金やニッ
ケル）が用いられ、その粒径は通常１０〜５０μｍであ
る。なお、異方性導電性テープ５５のエポキシ樹脂テー
プ５１層を硬化させるには、このテープを約２００℃の
温度で数秒間加熱すればよい。

【０００５】ここで、上記異方性導電性テープによる電
子部品の実装方法について説明すると、このテープから
電子部品よりもわずかに大きい寸法のテープ片を切り取
り、これをプリント配線板に貼り付ける。その後、電子
部品をこのテープ片上に載せ、加熱圧縮する。圧縮によ
り電子部品のランドとプリント配線のランドとが、上記
テープ片中の導電性粒子を噛みながら機械的に接触す
る。この状態で加熱してテープ片中のエポキシ樹脂を硬
化させ、機械的接触を維持して導通させる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし上記製造方法で
は、導電性粒子を含まないエポキシ樹脂テープと、導電
性粒子を分散させたエポキシ樹脂テープとを貼り合わせ
るものであるため、得られた異方性導電性テープが厚く
なり、また、導電性粒子を異方性導電性テープの片面に
だけ配置するのは不可能であった。さらに、異方性導電
性テープ中の導電性粒子の配合量を調整するには、導電
性粒子の分散濃度が種々に異なるテープを多数用意する
必要があり、製造コストおよび製造時間がかかるという
問題があった。

【０００７】また、従来の実装方法における上記圧縮過
程では、テープ片中の導電性粒子が電子部品およびプリ
ント基板のランドに押される状態でテープ片中を流動す
る。そのため、導電性粒子がテープ片の端部に高濃度に
滞留することになる。しかし導電性粒子はその名のとお
り導電性をもっているため、電子部品のランド以外の部
分と導通してしまうことがあり、これが実装不良の原因
となる。また、導電性粒子が上記のように流動してしま
う結果、加圧工程が終了した段階では、殆どの導電性粒
子が流れてしまい、実際にランド間の電気的接触に役立
っている粒子の割合が非常に少なくなるという問題があ
った。

【０００８】本発明は上記問題点に鑑みなされたもの
で、その目的は、片面にだけ導電性粒子を配置した薄肉
の異方性導電性テープを簡便な方法で安価に製造する方
法を提供することにある。また本発明の目的は、導電性
粒子の配合量を簡便に調整することができる異方性導電
性テープの製造方法を提供することにある。さらに本発
明の目的は、上記製造方法の実施に好適な装置を提供す
ることである。なお、本発明において「粘着テープ」
は、狭義の粘着性テープおよび接着性テープを、また
「粘着剤」は狭義の粘着剤、接着剤および粘接着剤を、
それぞれ意味している。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明に係る異方性導電
性テープの製造方法は、表面の少なくとも一部が絶縁性
材料からなる部材の上記表面を帯電させ、導電性粒子を
上記帯電面に静電力で吸着させた後、プラスチック製の
粘着テープを上記導電性粒子の吸着部に押しつけること
により、導電性粒子を粘着テープの表面に転写させるこ
とを特徴とするものである。上記の表面の少なくとも一
部が絶縁性材料からなる部材としては回転円筒体、また
は循環走行自在の無端状ベルトが好ましく採用できる。

【００１０】回転円筒体を用いる場合の異方性導電性テ
ープの製造方法としては、以下の方法が好ましい。すな
わちこの製造方法は、外周面の少なくとも一部が絶縁性
材料からなる円筒体を回転させながら上記絶縁性部分を
帯電させ、この帯電部分に導電性粒子を静電力で吸着さ
せるのと並行して、プラスチック製の粘着テープを走行
させながら上記導電性粒子の吸着部に押しつけることに
より、導電性粒子を粘着テープに転写させるものであ
る。

【００１１】上記絶縁性材料として好ましいものはフッ
素樹脂、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレ
ン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、
不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹
脂、ポリイミド樹脂、シリコーン樹脂などのプラスチッ
ク材料である。

【００１２】上記粘着テープとしては、完全には硬化し
ていない（厚さ方向全体が未硬化状態）エポキシ樹脂テ
ープが最も好ましい。ただし、このテープでは両面が粘
着性であるため、後記する実施の形態の欄で説明するよ
うに、導電性粒子を転写させた後のテープの反対面に剥
離テープを重合させて異方性導電性テープとする必要が
ある。剥離テープを使用しない場合には、異方性導電性
テープを巻き取ったときにテープ同士が粘着してしま
う。

【００１３】粘着テープとして不飽和ポリエステル樹
脂、シリコーン樹脂などの熱硬化性樹脂や、ポリイミド
などの耐熱性の熱可塑性樹脂からなるテープを採用する
こともできる。ただし、これらのテープは異方性導電性
テープを構成するものであるから、プリント基板やシリ
コンとの良好な接着が得られる（接着性が良く、かつ耐
熱性が高い、適切な接着剤の選択が必要）ものであるこ
とが重要であり、例えば上記樹脂テープの片面にエポキ
シ系接着剤等の耐熱性接着剤を塗布したものを用いるこ
とができる。このように粘着テープの片面のみが粘着性
である場合には、両面が粘着性のテープを用いる場合と
違って剥離テープの使用を省略することができる。

【００１４】回転円筒体を用いる場合、上記帯電部分
は、この円筒体外周面の絶縁性部分にイオン発生器（例
えばイオンガン）からのイオンを衝突させて形成するの
が望ましい。イオンに代えて電子を衝突させることもで
きる。また、実施の形態の欄で説明するように、円筒体
を水平回転軸を中心に回転させ、この円筒体の直下に形
成した導電性粒子の堆積層に円筒体の帯電部分を接触さ
せることにより導電性粒子の吸着を行わせることが望ま
しい。なお、所望により上記帯電部分に導電性粒子を散
布する方法も可能である。

【００１５】回転円筒体を用いる異方性導電性テープの
製造方法では、この円筒体の回転速度、上記イオン発生
器から円筒体の絶縁性部分への（単位時間当たりの）イ
オン衝突量の少なくとも一方を制御することにより、上
記絶縁性部分の帯電量を制御することが好ましく、こう
することで粘着テープへの導電性粒子の吸着量を調節す
ることができ、したがって異方性導電性テープ中の導電
性粒子の配合量を調節することが可能となる。

【００１６】さらに、本発明に係る異方性導電性テープ
の製造方法は、導電性材料の表面に感光層として半導体
材料からなる層または、光導電性絶縁材料（光照射によ
り導電性が上昇する絶縁性材料）からなる層を形成した
感光体を設け、上記感光層を帯電させ、該帯電面に光照
射することにより該帯電面に所定パターンの導電性部分
を形成し、残留する帯電部分に導電性粒子を静電力で吸
着させた後、プラスチック製の粘着テープを上記導電性
粒子の吸着部に押しつけることにより、導電性粒子を粘
着テープに転写させることを特徴とする。上記感光層を
帯電させるには、これにイオンまたは電子を衝突させれ
ば良い。

【００１７】上記感光体を用いる異方性導電性テープの
製造方法としては、以下のものが好ましい。この製造方
法は、導電性材料からなる円筒体の外周面に感光層を形
成し、該円筒体を回転させながら感光層を帯電させ、該
帯電面に光照射することにより該帯電面に所定パターン
の導電性部分を形成し、残留する帯電部分に導電性粒子
を静電力で吸着させるのと並行して、プラスチック製粘
着テープを走行させながら上記導電性粒子の吸着部に押
しつけることにより、導電性粒子を粘着テープに転写さ
せることを特徴とするものである。

【００１８】さらに、本発明に係る異方性導電性テープ
の製造装置は、図１および図２に示すように、水平回転
軸１を中心に回転自在で外周面２ａの少なくとも一部が
絶縁性材料からなる円筒体２と、イオン噴出口３を円筒
体２の外周面２ａに向けて設けられたイオン発生器４
と、円筒体２の直下に設けられた導電性粒子５の供給部
６と、粘着テープ７の繰出し部８と、剥離テープ９の繰
出し部１０と、異方性導電性テープ１１の巻取り部１２
とを備えてなり、粘着テープ繰出し部８からの粘着テー
プ７が円筒体２の外周面２ａに圧接したのち剥離テープ
９と重合して巻取り部１２に巻き取られるようにしたこ
とを特徴とするものである。

【００１９】上記イオン発生器４は、従来市販されてい
るイオン発生器（正・負２本の電極を備えている）に、
網目状や櫛状の電極を追加し、これに正または負の電圧
を印加できるようにしたものである。このイオン発生器
４では，上記正・負２本の電極に高圧電圧を印加するこ
とにより同時に正・負のイオンが発生するが、上記追加
電極に例えば負の電圧を印加することにより、正のイオ
ンのみからなるイオン流を取り出すことができる。

【００２０】円筒体２では回転速度が制御できること、
イオン発生器４では出力制御により（単位時間当たり
の）イオン発生量が調節できることが、それぞれ望まし
い。円筒体２の外周面２ａは全面を絶縁性にするのが好
ましく、構造が簡単になる利点がある。絶縁性部分を適
宜パターンで配置することもできるが、この場合、絶縁
性部分以外の部分は粘着テープと粘着しにくくするため
に、剥離性を高めておくことが望ましい。また、外周面
２ａのうち円筒体の長さ方向片側半分にのみ絶縁性部分
を形成することもできる。さらに、イオン発生器４と円
筒体２との対向空間にマスク（図示せず）を設け、イオ
ン発生器４からのイオンの一部をこのマスクを介して外
周面２ａに衝突させるようにしても良い。

【００２１】さらに、上記感光体を用いる異方性導電性
テープの製造装置としては、以下のものが望ましい。す
なわち、この製造装置は図３に示すように、導電性材料
からなる円筒体３１の外周面に感光層３２として半導体
材料からなる層または、光導電性絶縁材料からなる層が
形成され、水平回転軸を中心に回転自在の円筒状感光体
３３と、イオン噴出口３４ａを感光体３３の外周面に向
けて設けられたイオン発生器３４と、感光体３３の感光
層３２に対し所定パターンの光を照射する露光装置３５
と、感光体３３の直下に設けられた導電性粒子３６ａの
供給部３６と、粘着テープ３７の繰出し部３８と、剥離
テープ３９の繰出し部４０と、異方性導電性テープ４１
の巻取り部４２とを備えてなり、粘着テープ繰出し部３
８からの粘着テープ３７が感光体３３の感光層３２に圧
接したのち剥離テープ３９と重合して巻取り部４２に巻
き取られるようにしたことを特徴とするものである。上
記半導体材料または、光導電性絶縁材料としては、電子
写真方式の画像形成装置に設けられる感光体の感光層と
同様の材料が採用できる。その具体例としてはアモルフ
ァスシリコン、アモルファスセレン、酸化亜鉛、硫化カ
ドミウムなどが挙げられる。

【００２２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照しながら説明する。実施の形態１図１は異方性導電性テープ製造装置の構成および、その
作用を示す概略説明図である。図２は図１の要部拡大図
である。外周面２ａ全体が絶縁性材料からなる円筒体２
を、水平回転軸１を中心に回転自在に設ける。イオン噴
出口３を備えたイオン発生器４を円筒体２の一側に、か
つ、イオン噴出口３を円筒体外周面２ａに向けて設け
る。円筒体２は回転速度が制御でき、イオン発生器４
は、出力制御によりイオンの発生量が制御できものであ
る。円筒体２の他側には、粘着テープ７のテープリール
（粘着テープ繰出し部）８を配置する。粘着テープ７と
しては完全には硬化していないエポキシ樹脂テープ（両
面が粘着性）を用いる。円筒体２は例えば、全体をフッ
素樹脂で構成しても良いし、アルミニウム製円筒体の外
周面の全面にフッ素樹脂加工を施して絶縁性とすること
もできる。これにより、円筒体外周面２ａへの粘着テー
プ７の不必要な粘着を抑えることができる。

【００２３】円筒体２の直下、かつ直近には導電性粒子
５の供給部６として、昇降自在、かつ上下位置の微調整
が可能な容器６ａ内に導電性粒子を収納したものを設け
る。供給部６として、搬送ベルト（無端状の循環走行ベ
ルト）上に導電性粒子を堆積させたものを設けても良い
（図示せず）。導電性粒子５は表面が導電性であれば良
く、金、銀、ニッケル、銅、タングステン、錫などの導
電性金属の微粒子が採用できる。また、非導電性材料で
あるプラスチック、セラミックス、またはガラスの微粒
子の表面に上記金属のメッキを施したものも使用でき
る。これらの導電性粒子は、球状で粒径１０〜５０μｍ
のものが望ましい。また、上記金属メッキの厚さは例え
ば０．１〜２μｍとする。

【００２４】上記円筒体２の上方にはガイドローラ１３
と、剥離テープ９のテープリール（剥離テープ繰出し
部）１０と、異方性導電性テープ１１の巻取り部１２
（巻取りボビン１４）とを配備する。ガイドローラ１３
は、粘着テープ７の走行を案内するとともに、円筒体２
の外周面２ａに対する粘着テープ７の圧接力を調節する
ためのものである。すなわちガイドローラ１３は、粘着
テープ７のテンション調節ローラである。剥離テープ９
としては、例えば紙の両面にシリコーンなどの剥離剤を
塗布した剥離紙や、フッ素樹脂製のテープが用いられ
る。

【００２５】つぎに、上記装置による異方性導電性テー
プ製造工程の一例、およびその作用について説明する。
図１において円筒体２を反時計回りに回転させるととも
に、その回転速度（周速度）を一定値に維持する。つい
で、イオン発生器４を作動させ、イオン噴出口３からの
イオンを円筒体２の外周面２ａに一定の供給量で衝突さ
せる操作と、導電性粒子５を収納した容器６ａの低速上
昇操作とを開始する。これと同時に、巻取り部１２を作
動させるとともに、ガイドローラ１３の位置を調節する
ことにより、テープリール８から巻取り部１２に向かっ
て走行する粘着テープ７を円筒体２の外周面２ａに所定
の圧力で圧接させる。この場合、巻取り部１２では、時
間の経過とともに異方性導電性テープ１１の巻き代が増
大するので、巻取りボビン１４の回転速度を漸減させ
る。

【００２６】円筒体２の外周面２ａではイオンが衝突し
た部分が帯電し（イオン流が絶縁体に衝突すると、この
部分には電荷がそのまま残る。）、この帯電部分は円筒
体２の回転により導電性粒子供給部６を通過するが、こ
の間に導電性粒子５が上記帯電部分に接触し、静電力で
吸着される。この吸着と同時にこの導電性粒子吸着部
は、円筒体２の回転により粘着テープ７に圧接し、その
粘着面に導電性粒子５が粘着によって転写される。この
ように、この製造装置（図２）では、円筒体２に関して
帯電部２１と、導電性粒子の吸着部２２と、粘着テープ
の圧接走行部２３とが形成される。そして、粘着テープ
７の片面（円筒体外周面２ａに圧接した面）には、導電
性粒子５が一定の供給量で吸着され、異方性導電性テー
プ１１への導電性粒子５の配合濃度は、このテープ１１
の長手方向にほぼ一定となる。

【００２７】なお、上記製造装置は大気中に設置される
ため、イオン発生器４からは空気から発生した酸素イオ
ンや窒素イオンが発生するが、所望によりイオン発生器
４内に特定のガスを供給することにより、このガスの分
子を構成する元素のイオンをを発生させることもでき
る。

【００２８】ただし、イオンが衝突して形成された部分
の帯電量は、導電性粒子の吸着それ自体によって減少す
ることはないが、空気中の水分や、上記外周面２ａを形
成する絶縁性材料内のリーク電流により徐々に低下す
る。したがって、帯電量の低下を防止するには、円筒体
２の雰囲気の湿度管理を行ったり、円筒体２を構成する
絶縁性材料としてリーク電流が発生しにくいものを選択
することが望ましい。また、このことから明らかなよう
に、異方性導電性テープ１１への導電性粒子５の配合濃
度を、テープ１１の長手方向に一定とするには、上記リ
ーク電流等による帯電量の低下分を相殺するに足る量の
イオン流を円筒体２に継続的に供給すれば良い。

【００２９】なお、上記導電性粒子５の配合濃度を増大
させるには、円筒体２の回転速度を低下させるか、また
はイオン発生器４の出力を増大させれば良い。また、円
筒体外周面２ａの絶縁性部分を適宜パターンで配置した
場合には、そのパターンに従って導電性粒子５を粘着テ
ープ７に転写させることができるし、外周面２ａのうち
円筒体２の長さ方向片側半分に絶縁性部分を形成するこ
とにより、導電性粒子５を粘着テープ７の幅方向片側半
分にのみ転写させることもできる。さらに、円筒体２に
代えて、無端状の循環走行ベルト（図示せず）を採用す
ることも可能である。

【００３０】実施の形態２図３は異方性導電性テープ製造装置の構成および、その
作用を示す概略説明図である。図３の装置と図１の装置
との構成上の相違点は、図１の円筒体２に代えて円筒状
感光体３３を設けるとともに、露光装置３５を付加した
ことである。すなわち、アルミニウムなどの導電性金属
材料からなる円筒体３１の外周面にアモルファスシリコ
ン（ａ−Ｓｉ）などからなる感光層３２が形成された円
筒状感光体３３を、水平回転軸を中心に回転自在に設け
る。イオン噴出口３４ａを備えたイオン発生器３４を感
光体３３の一側に、かつ、イオン噴出口３４ａを感光層
３２に向けて設ける。感光体３３は回転速度が制御で
き、イオン発生器３４は、出力制御によりイオンの発生
量が調節できものである。３３ａはアースである。

【００３１】感光層３２に所定パターンの光を照射する
露光装置３５をイオン発生器３４の下方に設ける。この
露光装置３５は光源３５ａ、スクリーン３５ｂおよびレ
ンズ３５ｃにより構成し、光源３５ａからの光をスクリ
ーン３５ｂを透過させることによって所定パターンの光
を感光層３２に照射できるようにする。導電性粒子の供
給部３６、粘着テープ３７の繰出し部３８、剥離テープ
３９の繰出し部４０、異方性導電性テープ４１の巻取り
部４２（巻取りボビン４３）の構成は、それぞれ図１に
おけるものと実質的に同一とする。３６ｂは導電性粒子
３６ａの容器、４４はガイドローラである。なお、イオ
ン発生器３４に代えて、電子写真方式の画像形成装置に
設けられる帯電装置を設けても良い。

【００３２】つぎに、上記装置による異方性導電性テー
プ製造工程の一例、およびその作用について説明する。
図３において円筒体２を反時計回りに回転させるととも
に、その回転速度（周速度）を一定値に維持する。つい
で、イオン発生器３４を作動させ、イオン噴出口３４ａ
からのイオンを感光層３２に一定の供給量で衝突させる
操作と、導電性粒子３６ａを収納した容器３６ｂの上昇
操作とを開始する。導電性粒子を堆積させた搬送ベルト
３６ｂの走行操作と、露光装置３５による感光層３２の
露光操作とを開始する。これと同時に、巻き取り部４２
を作動させるとともに、ガイドローラ４４の位置を調節
することにより、繰出し部３８から巻取り部４２に向か
って走行する粘着テープ３７を感光層に所定の圧力で圧
接させる。この場合、巻取り部４２では、時間の経過と
ともに異方性導電性テープ４１の巻き代が増大するの
で、その巻取りボビン４３の回転速度を漸減させる。

【００３３】感光層３２ではイオンが衝突した部分が帯
電し、この帯電部分は感光体３３の回転により導電性粒
子供給部３６に向かうが、この間に露光装置３５により
所定パターンで露光され、該パターン部分が導電性とな
り、それ以外の部分が帯電状態を維持する。この残留帯
電部分が導電性粒子供給部３６を通過する間に導電性粒
子３６ａが上記残留帯電部分に接触し、静電力で吸着さ
れる。この導電性粒子吸着部は、感光体３３の回転によ
り粘着テープ３７に圧接し、その粘着面に導電性粒子３
６ａが粘着によって転写される。以下の工程および作用
は図１の場合と同様である。なお、露光装置３５を作動
させないときには、感光層３２のイオン衝突部分全体が
帯電状態を維持することになる。

【００３４】

【実施例】実施例１図１の装置を設置した室内を、湿度を十分に低下させた
状態に空調した。この装置では、円筒体２として外径３
０ｍｍ、長さ２０ｍｍで外周面全体がフッ素樹脂からな
るものを用いた。また、粘着テープ７として幅５ｍｍ、
厚さ２０μｍで全体が未硬化のエポキシ樹脂テープを、
剥離テープ９として幅５ｍｍで両面にシリコーンを塗布
した剥離紙を、導電性粒子５として平均粒径２０μｍの
Ｎｉ球を、それぞれ使用した。

【００３５】異方性導電性テープ１１の製造に際して
は、円筒体２の回転数を毎秒０．５回転とし、イオン発
生器４（イオンガン）からのイオン噴出量を、電流に換
算して１０ｍＡとした。その結果、粘着テープ７の片面
に導電性粒子が長さ１ｍｍ当たり約１，０００個の割合
で吸着され、異方性導電性テープの導電性粒子配合量は
テープの長手方向にほぼ一定となっていた。なお、イオ
ン発生器４から発生したイオンは大気から発生したもの
で、主に酸素イオンおよび窒素イオンである。

【００３６】このようにして得られた異方性導電性テー
プ１１を利用する電子部品の実装方法は、上記した従来
方法と同一であるが、このテープ１１では、片面にのみ
導電性粒子が存在するため、これを電子部品の実装に使
用する場合には、導電性粒子を基板側にのみ配置するこ
とができる。このため、実装時の加圧工程の最終段階で
のみ導電性粒子の流動が起こるようになり、ランド間の
電気的接触に役立つ導電性粒子の割合が、従来の異方性
導電性テープに比べて大幅に向上する。

【００３７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
係る異方性導電性テープの製造方法にでは、帯電させた
絶縁性表面に導電性粒子を静電力で吸着させた後、この
導電性粒子を粘着テープに転写させるように構成したこ
とにより、片面にだけ導電性粒子を配置した薄肉の異方
性導電性テープを簡便、かつ安価に製造することができ
る。また、上記絶縁性表面の帯電量を制御することで、
異方性導電性テープ中の導電性粒子の配合量を容易に調
整することができる。

【００３８】また、本発明に係る異方性導電性テープの
製造方法では、導電性材料の表面に形成した感光層を帯
電させ、該帯電面の一部に光照射してこれを導電性に変
えることにより所定パターンの残留帯電部分を形成し、
この残留帯電部分に導電性粒子を静電力で吸着させ、こ
の導電性粒子粘着テープに転写させるようにしたので、
片面にだけ導電性粒子を配置した薄肉の異方性導電性テ
ープを簡便、かつ安価に製造することができる。また、
感光体の帯電量を制御することで、異方性導電性テープ
中の導電性粒子の配合量を容易に調整することができる
し、上記帯電面の露光条件を調整することで、異方性導
電性テープ中の導電性粒子の配合パターンを任意に設定
することができる。

【００３９】さらに、本発明に係る異方性導電性テープ
の製造装置は、回転する円筒体の絶縁性外周面にイオン
発生器からのイオンを供給してこれを帯電させ、この帯
電部に導電性粒子を静電力で吸着させた後、この導電性
粒子を粘着テープに転写させるように構成したものであ
り、したがって、円筒体の回転周速度またはイオン発生
器からのイオン供給量を制御することにより簡便に、上
記絶縁性表面の帯電量を調整することができる。

【００４０】さらに、本発明に係る異方性導電性テープ
の製造装置は、回転自在の円筒状感光体にイオン発生器
からのイオンを供給してこれを帯電させ、この帯電部に
露光装置からの光を照射することにより帯電部の一部を
導電性として所定パターンの残留帯電部を形成し、この
残留帯電部に導電性粒子を静電力で吸着させた後、この
導電性粒子を粘着テープに転写させるように構成したも
のであり。感光体の回転周速度またはイオン発生器から
のイオン供給量を制御することにより簡便に、感光体表
面の帯電量を調整することができる。なお、露光装置の
作動停止により、イオン供給により形成された帯電面の
全面に導電性粒子を吸着させることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す説明図である。

【図２】図１の一部を詳細に示す説明図である。

【図３】本発明の別の実施の形態を示す説明図である。

【図４】異方性導電性テープ製造方法の従来例を示す説
明図である。

【図５】図４の一部を詳細に示す説明図である。

【符号の説明】

１…水平回転軸、２…円筒体、２ａ…外周面、３…イオ
ン噴出口、４…イオン発生器、５…導電性粒子、６…導
電性粒子供給部、６ａ…容器、７…粘着テープ、８…テ
ープリール（粘着テープ繰出し部）、９…剥離テープ、
１０…テープリール（剥離テープ繰出し部）、１１…異
方性導電性テープ、１２…異方性導電性テープ巻取り
部、１３…ガイドローラ、１４…巻取りボビン、２１…
帯電部、２２…導電性粒子吸着部、２３…圧接走行部、
３１…円筒体、３２…感光層、３３…感光体、３３ａ…
アース、３４…イオン発生器、３４ａ…イオン噴出口、
３５…露光装置、３５ａ…光源、３５ｂ…スクリーン、
３５ｃ…レンズ、３６…導電性粒子供給部、３６ａ…導
電性粒子、３６ｂ…容器、３７…粘着テープ、３８…テ
ープリール（粘着テープ繰出し部）、３９…剥離テー
プ、４０…テープリール（剥離テープ繰出し部）、４１
…異方性導電性テープ、４２…異方性導電性テープ巻取
り部、４３…巻取りボビン４４…ガイドローラ、５
１，５２…エポキシ樹脂テープ、５３…剥離テープ、５
４…重合接着テープ、５５…異方性導電性テープ、６
１，６２，６３…テープリール、６４…巻取りボビン、
６５…ガイドローラ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面の少なくとも一部が絶縁性材料から
なる部材の前記表面を帯電させ、導電性粒子を前記帯電
面に静電力で吸着させた後、プラスチック製の粘着テー
プを前記導電性粒子の吸着部に押しつけることにより、
前記導電性粒子を前記粘着テープの表面に転写させるこ
とを特徴とする異方性導電性テープの製造方法。
【請求項２】外周面の少なくとも一部が絶縁性材料か
らなる円筒体を回転させながら前記絶縁性部分を帯電さ
せ、該帯電部分に導電性粒子を静電力で吸着させるのと
並行して、プラスチック製粘着テープを走行させながら
前記導電性粒子の吸着部に押しつけることにより、導電
性粒子を粘着テープの表面に転写させることを特徴とす
る異方性導電性テープの製造方法。
【請求項３】前記円筒体の帯電部分は、前記円筒体外
周面の絶縁性部分にイオン発生器からのイオンを衝突さ
せて形成することを特徴とする請求項２に記載の異方性
導電性テープの製造方法。
【請求項４】前記円筒体を水平回転軸を中心に回転さ
せ、該円筒体の直下に形成した導電性粒子の堆積層に前
記円筒体の帯電部分を接触させることにより前記導電性
粒子の吸着を行わせることを特徴とする請求項２に記載
の異方性導電性テープの製造方法。
【請求項５】前記円筒体の回転速度、前記イオン発生
器から前記円筒体の絶縁性部分へのイオン衝突量の少な
くとも一方を制御することにより、前記絶縁性部分の帯
電量を制御することを特徴とする請求項３または４に記
載の異方性導電性テープの製造方法。
【請求項６】導電性材料の表面に感光層として半導体
材料からなる層または、光導電性絶縁材料からなる層を
形成した感光体を設け、該感光体の感光層を帯電させ、
該帯電面に光照射することにより該帯電面に所定パター
ンの導電性部分を形成し、残留する帯電部分に導電性粒
子を静電力で吸着させた後、プラスチック製の粘着テー
プを前記導電性粒子の吸着部に押しつけることにより、
前記導電性粒子を前記粘着テープの表面に転写させるこ
とを特徴とする異方性導電性テープの製造方法。
【請求項７】導電性材料からなる円筒体の外周面に前
記感光層を形成し、該円筒体を回転させながら前記感光
層を帯電させ、該帯電面に光照射することにより該帯電
面に所定パターンの導電性部分を形成し、残留する帯電
部分に導電性粒子を静電力で吸着させるのと並行して、
プラスチック製粘着テープを走行させながら前記導電性
粒子の吸着部に押しつけることにより、導電性粒子を粘
着テープの表面に転写させることを特徴とする請求項６
に記載の異方性導電性テープの製造方法。
【請求項８】水平回転軸を中心に回転自在で外周面の
少なくとも一部が絶縁性材料からなる円筒体と、イオン
噴出口を前記円筒体の外周面に向けて設けられたイオン
発生器と、前記円筒体の直下に設けられた導電性粒子の
供給部と、粘着テープの繰出し部と、剥離テープの繰出
し部と、異方性導電性テープの巻取り部とを備えてな
り、前記粘着テープ繰出し部からの粘着テープが前記円
筒体の外周面に圧接したのち剥離テープと重合して前記
巻取り部に巻き取られるようにしたことを特徴とする異
方性導電性テープの製造装置。
【請求項９】前記円筒体は回転速度が制御でき、前記
巻取り部は異方性導電性テープの巻取り速度が制御でき
ることを特徴とする請求項８に記載の異方性導電性テー
プの製造装置。
【請求項１０】前記イオン発生器は、出力制御により
イオンの発生量が調節できることを特徴とする請求項８
に記載の異方性導電性テープの製造装置。
【請求項１１】前記円筒体は回転速度が調節でき、前
記巻取り部は異方性導電性テープの巻取り速度が制御で
き、前記イオン発生器は出力制御によりイオンの発生量
が調節できることを特徴とする請求項８に記載の異方性
導電性テープの製造装置。
【請求項１２】導電性材料からなる円筒体の外周面に
感光層として半導体材料からなる層または、光導電性絶
縁材料からなる層が形成され、水平回転軸を中心に回転
自在とされた円筒体と、イオン噴出口を前記円筒体の外
周面に向けて設けられたイオン発生器と、前記円筒体外
周面に対し所定パターンの光を照射する光照射装置と、
前記円筒体の直下に設けられた導電性粒子の供給部と、
粘着テープの繰出し部と、剥離テープの繰出し部と、異
方性導電性テープの巻取り部とを備えてなり、前記粘着
テープ繰出し部からの粘着テープが前記円筒体の外周面
に圧接したのち剥離テープと重合して前記巻取り部に巻
き取られるようにしたことを特徴とする異方性導電性テ
ープの製造装置。