JPH11337950A - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＩＰＳモード型の液晶表示装置であっても、
表示画素以外のブラックマトリックス部分にスペーサが
配置された、高コントラストの液晶表示装置の製造方法
を提供する。 【解決手段】 少なくとも導電性ブラックマトリックス
を有する第一の基板に、帯電したスペーサを散布し、前
記第一の基板上に、薄膜トランジスタ及び電極を有する
第二の基板を対向配置し、その間隙に液晶を注入してな
る横電界型の液晶表示装置の製造方法であって、前記帯
電したスペーサの散布は、前記第一の基板を導電性ステ
ージに密着させた後、前記導電性ステージと前記ブラッ
クマトリックスとに異なる電圧を印加しながら行う液晶
表示装置の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の製
造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置は、パソコン、携帯型電子
機器等に広く用いられているが、種々の種類のものが存
在する。図４は、ＩＰＳ（Ｉｎ−Ｐｌａｎｅ−Ｓｗｉｔ
ｃｈｉｎｇ）モード（横電界）型の液晶表示装置を模式
的に示した概念図である。

【０００３】ＩＰＳモード型の液晶表示装置は、ＴＦＴ
型液晶表示装置の一種であり、通常の液晶表示装置と同
様に、第一の基板１と第二の基板２との間に液晶７が充
填された構成となっている。そして、第一の基板１には
電極が形成されておらず、ガラス基板３の外側には偏向
板４が接着されており、ガラス基板３の内側には、図示
はしていないが、通常、カラーフィルタ、導電性ブラッ
クマトリックス、オーバーコート層、配向膜等が形成さ
れている。第二の基板２においては、ガラス基板３の外
側に偏向板４が接着され、くし形電極５と画素電極６と
図示しないＴＦＴ素子とが形成されている。そして、く
し形電極５と画素電極６とにより第二の基板２に平行な
電界を形成し、この電界により液晶７の状態を制御して
表示を行うが、画素電極６のオン・オフをＴＦＴ素子で
制御することができるようになっている。

【０００４】上記液晶表示装置において、第一の基板１
と第二の基板２との間の間隔を制御し、適正な液晶層の
厚みを維持しているのが、スペーサである。従来の液晶
表示装置の製造方法においては、基板上にスペーサをラ
ンダムかつ均一に散布するため、液晶表示装置の表示部
にもスペーサが配置されてしまっていた。スペーサは、
一般的に合成樹脂やガラス等から形成されており、表示
部にスペーサが配置されると消偏作用によりスペーサ部
分が光漏れを起こす。また、スペーサ表面での液晶の配
向が乱れることにより光抜けが起こり、コントラストや
色調が低下し、表示品質が悪化する。

【０００５】上述のような問題を解決するためには、遮
光膜であるブラックマトリックスの部分のみにスペーサ
を配置すればよい。ブラックマトリックスは液晶表示装
置の表示コントラストの向上のために設けられているも
のであり、特にＴＦＴ型液晶表示装置の場合は、素子が
外光で光誤作動しないように設けられているものであ
る。

【０００６】ブラックマトリックス部分、すなわち、液
晶表示装置の表示画素以外の部分にスペーサを配置する
技術として、特開平４−２５６９２５号公報には、スペ
ーサ散布時にＴＦＴ型液晶表示装置を構成するゲート電
極及びドレイン電極を同電位に保持する方法が開示され
ている。特開平５−５３１２１号公報には、スペーサ散
布時に配線電極に電圧を印加する方法が開示されてお
り、特開平５−６１０５２号公報には、配線電極に正の
電圧を印加し、スペーサを負に帯電させて乾式で散布す
る方法が開示されている。

【０００７】これらの公報に記載された発明は、薄膜ト
ランジスタ（ＴＦＴ）が形成された基板を用い、これら
薄膜トランジスタの配線に電圧を印加してスペーサの配
置制御を行おうとするものである。しかしながら、薄膜
トランジスタが形成された基板に、スペーサの配置制御
を行うための電圧を印加すると、その電圧で素子が破壊
されてしまい、液晶表示装置としての機能を果たすこと
ができないという問題があった。このような問題は、Ｉ
ＰＳモード型の液晶表示装置においても同様に発生す
る。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記に鑑
み、ＴＦＴ素子を有するＩＰＳモード型の液晶表示装置
であっても、表示部以外のブラックマトリックス部分に
スペーサが配置された、高コントラストの液晶表示装置
の製造方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、少なくとも導
電性ブラックマトリックスを有する第一の基板に、帯電
したスペーサを散布し、上記第一の基板上に、薄膜トラ
ンジスタを有する第二の基板を対向配置し、その間隙に
液晶を注入してなるＩＰＳモード型の液晶表示装置の製
造方法であって、上記帯電したスペーサの散布は、上記
第一の基板を導電性ステージに密着させた後、上記導電
性ステージと上記導電性ブラックマトリックス（以下、
単にブラックマトリックスともいう）とに異なる電圧を
印加しながら行うものであることを特徴とする液晶表示
装置の製造方法である。以下に本発明を詳述する。

【００１０】本発明の液晶表示装置の製造方法は、少な
くともブラックマトリックスを有し、電極の形成されて
いない上記第一の基板を導電性ステージに密着させた
後、上記導電性ステージと上記ブラックマトリックスと
に異なる電圧を印加しながら、第一の基板にスペーサを
散布することに特徴がある。

【００１１】従って、上記第一の基板は、最低限、ガラ
ス基板等の基板上にブラックマトリックスが形成されて
いればよい。上記第一の基板を構成する基板の材料は特
に限定されず、例えば、ガラス、樹脂等が挙げられ、そ
の形状も、基板状、フィルム状等、特に限定されない。

【００１２】ＩＰＳモード型液晶表示装置を構成する第
一の基板では、通常、図１に示すように、ガラス基板及
びブラックマトリックス上にカラーフィルター層が形成
され、このカラーフィルター層上に絶縁体からなるオー
バーコート層が形成されている。

【００１３】上記導電性ブラックマトリックスとして
は、遮光性を有するものであれば特に限定されず、例え
ば、Ｃｒ、Ａｌ、カーボンブラック、顔料等からなるも
の等が挙げられる。

【００１４】上記オーバーコート層としては、透明で絶
縁性を有するものであれば特に限定されず、例えば、ア
クリル樹脂等からなるもの等が挙げられる。上記オーバ
ーコート層は、本発明において用いられる基板が図１に
示すようなカラーフィルタを有する基板である場合に
は、カラーフィルタ層を平坦化する作用も有する。な
お、このようなカラーフィルタは、一般に、顔料分散
法、染色法等により形成することができる。

【００１５】上記導電性ステージと上記ブラックマトリ
ックスとに異なる電圧を印加する方法としては、以下に
説明する二つの方法が考えられる。まず、第一の方法で
は、上記ブラックマトリックスに対してスペーサの帯電
極性と逆極性の電圧を印加し、上記導電性ステージに対
してスペーサの帯電極性と同極性の電圧を印加する。

【００１６】図１は、本発明の液晶表示装置の製造方法
を説明するための概念図であり、この場合には、ブラッ
クマトリックスに対して＋（正）であるスペーサの帯電
極性と逆極性の−（負）の電圧を印加し、導電性ステー
ジに対してスペーサの帯電極性と同極性の＋（正）電圧
を印加している。

【００１７】図１では、ブラックマトリックス上にカラ
ーフィルタ及びオーバーコート層が形成されているが、
その膜厚は薄いため、ブラックマトリックス直上のオー
バーコート層表面には、ブラックマトリックスとほぼ同
様の電圧の効果が現れる。すなわち、ブラックマトリッ
クス直上のオーバーコート層表面は、−（負）に帯電し
ている。一方、導電性ステージに＋（正）の電圧を印加
すると、導電性ステージの上に載置されたガラス基板及
びオーバーコート層は、図１に示すようにそれぞれ分極
し、そのため、ブラックマトリックス直上部分以外のオ
ーバーコート層表面は、＋（正）に帯電する。

【００１８】スペーサは、後述するスペーサ散布装置を
用いて散布するが、散布用の配管壁と接触を繰り返すこ
とにより、＋（正）又は−（負）に安定的に帯電する。
また、配管の材質等を選ぶことにより、スペーサの帯電
電極の制御が可能である。

【００１９】上記方法を用いて＋（正）に帯電させたス
ペーサに対し、オーバーコート層表面の＋（正）に帯電
した部分には斥力が働き、−（負）に帯電した部分には
引力が働く。上記斥力と引力の両方の効果により、上記
スペーサは、ブラックマトリックス直上の−（負）に帯
電したオーバーコート層表面に選択的に配置される。上
記第一の基板にカラーフィルタが形成されていない場合
も同様である。実際には、オーバーコート層上の配向膜
に配置されていると考えられるが、本明細書では、オー
バーコート層表面に配置されるとして説明する。

【００２０】一方、スペーサが−（負）に帯電している
場合には、導電性ステージに−（負）の電圧を印加し、
ブラックマトリックスには＋（正）の電圧を印加する。
この場合、オーバーコート層表面には、図１の場合と全
く逆パターンの帯電分布が形成され、−（負）に帯電し
たスペーサは、ブラックマトリックス直上の＋（正）に
帯電したオーバーコート層表面に選択的に配置されるこ
とになる。

【００２１】第一の基板のブラックマトリックスに電圧
を印加する際には、オーバーコート層の一部を削除し
て、ブラックマトリックスの一部を露出させておき、こ
の露出したブラックマトリックス部分に電圧印加装置の
端子を接続すればよい。

【００２２】また、導電性ステージには、直接、電圧印
加装置の端子を接続することが可能であるが、導電性ス
テージがアースされた状態では、電圧の印加が難しいた
め、導電性ステージが浮いた状態とする必要がある。こ
の場合、導電性ステージ自体を電気的に浮いた状態とな
るような構成としてもよく、絶縁性のマットを敷いた上
に導電性ステージを載置してもよい。印加する電圧の種
類は特に限定されず、例えば、直流電圧、パルス電圧等
が好適に用いられる。

【００２３】スペーサの配置のためにブラックマトリッ
クス及び導電性ステージに印加する電圧は、スペーサの
粒径や帯電量により異なるが、±数Ｖ〜数ｋＶが好まし
く、２０Ｖ〜５ｋＶがより好ましい。電圧が数ｋＶを超
えると、導電性ブラックマトリックスと導電性ステージ
との間にショートが発生しやすくなり、一方、数Ｖ未満
であると、散布の際に落下してくるスペーサが、曲がり
切る前に上記第一の基板表面に到達してしまうので、ス
ペーサの配置精度が悪くなることがある。

【００２４】本発明において散布されるスペーサの帯電
量は、＋（正）又は−（負）で、３μＣ／ｇ以上が好ま
しい。なお、このスペーサの帯電量は、スペーサの帯電
量のバラツキを意味するものではなく、スペーサの平均
的な帯電量が上記範囲に存在するという意味である。３
μＣ／ｇ未満であると、スペーサが落下中に曲がりきれ
ずに高い配置精度が得られない場合がある。なお、スペ
ーサの帯電量の測定は、例えば、Ｅ−ＳＰＡＲＴアナラ
イザ（細川ミクロン社製）等を利用することができる。

【００２５】本発明において用いられるスペーサとして
は特に限定されず、例えば、無機スペーサ、有機スペー
サ等が挙げられる。また、上記有機スペーサの素材とし
ては一般に合成樹脂が用いられ、顔料を含むような遮光
性スペーサであってもよいが、加熱等により接着性を発
現するスペーサが好ましい。

【００２６】これは、第一の基板には、オーバーコート
層上に線状透明電極が存在しないため、基板表面に段差
がない。従って、スペーサを基板表面に固着させない
と、配置後にスペーサが移動してしまう可能性があるか
らである。スペーサに加熱による固着性を発現させる方
法としては、スペーサ表面に熱可塑性の樹脂層を形成す
る方法、スペーサ表面に反応性の基を導入する方法等が
挙げられる。光を照射することにより、スペーサに固着
性を発現させるようにしてもよい。

【００２７】本発明におけるスペーサの散布方式として
は、乾式、湿式のいずれであってもよい。上記湿式散布
方式は、水、アルコール等の混合溶液中にスペーサを分
散させて散布する方式であるが、この場合であってもス
ペーサは帯電するため、本発明の効果を損なうことはな
い。しかしながら、スペーサの帯電量は大きい方が配置
精度が向上するため、乾式散布方式が好ましい。上記乾
式散布方式は、図２に示すようなスペーサ散布装置を用
いることにより、スペーサを高圧気体等の媒体を用いて
スペーサ吹き出し管内を通過させる方式であり、スペー
サはスペーサ吹き出し管を構成する配管内壁と接触を繰
り返すことにより帯電する。なお、上記湿式散布方式に
おいては、溶媒が蒸発する際にスペーサが帯電すること
になる。

【００２８】上記乾式散布方式において用いられる高圧
気体としては、圧縮空気、窒素等を用いることが可能で
あるが、スペーサの帯電性の観点から、水分の極力少な
い乾燥状態であることが好ましい。

【００２９】上記スペーサ散布装置の配管は、金属製の
ものでも樹脂製のものでもよく、スペーサとの帯電極
性、帯電量との関連から適宜選択される。例えば、金属
製配管としては、Ｎｉ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｔｉ等の単一組成
からなる配管や、ＳＵＳ等の合金からなる配管等を用い
ることができる。また、配管の内周面にメッキ等により
Ａｕ、Ｃｒ等の金属薄膜を形成してもよい。

【００３０】次に、第２の方法では、導電性ブラックマ
トリックスに対して電圧（Ｖ１）を印加し、かつ、導電
性ステージに対して電圧（Ｖ２）を印加しながら帯電し
たスペーサの散布を行う際、上記Ｖ１と上記Ｖ２とを、
上記スペーサの帯電極性が＋（正）である場合はともに
正電圧とし、かつ、Ｖ１＜Ｖ２の関係とする。また、上
記スペーサの帯電極性が−（負）である場合はともに負
電圧とし、かつ、Ｖ１＞Ｖ２の関係とする。

【００３１】まず、スペーサの帯電電極を＋（正）した
場合を考えると、この場合、ブラックマトリックス及び
導電性ステージに対して、ともに＋（正）の電圧を印加
し、ブラックマトリックスに対する電圧（Ｖ１）と導電
性ステージに対する電圧（Ｖ２）との関係をＶ１＜Ｖ２
とする。

【００３２】この場合、ブラックマトリックスの電位
は、導電性ステージの電位に対して相対的に−（負）と
なり、導電性ステージの電位は相対的に＋（正）とな
る。その結果、ブラックマトリックス直上のオーバーコ
ート層表面に、相対的に−（負）の部分が形成され、ブ
ラックマトリックス直上以外の部分に相対的に＋（正）
の部分が形成される。相対的に−（負）の部分を−で表
示し、相対的に＋（正）の部分を＋で表示すると、図１
に示したパターンと同様のパターンとなる。

【００３３】ここで、電気力線は相対的に＋（正）とな
る部分から相対的に−（負）となる部分に向かって形成
される。通常は、アース電位（接地電位）を基準（０）
として＋（正）となる部分から−（負）となる部分に向
かって形成されるが、電圧値、すなわち電位差が異なる
場合には、いずれかの部分が相対的に＋（正）となるた
め、図１に示したように、相対的に＋（正）となる部分
から相対的に−（負）となる部分に向かって形成され
る。

【００３４】電気力線はそこに正電荷をもってきたとき
に受ける力の方向を向いている。このような電気力線が
形成された電場（Ｅ）中に帯電したスペーサ（Ｑ）をも
ってくると電気力線方向に力（Ｆ）を受ける（Ｆ＝Ｑ
Ｅ）。この場合、スペーサの帯電極性が＋（正）であれ
ば電気力線の方向に力を受け、スペーサの帯電極性が−
（負）であれば電気力線とは逆方向に力を受ける。

【００３５】図１に示すように、第一の基板において
は、電気力線は、オーバーコート層表面のブラックマト
リックス直上以外の部分からブラックマトリックスの直
上部分に向かって形成される。従って、帯電極性が＋
（正）であるスペーサを、図１に示したように、導電性
ステージ上に載置された第一の基板に散布すると、上記
スペーサは、電気力線と同方向に力を受け、ブラックマ
トリックスの直上部分のオーバーコート層表面に配置さ
れることになる。

【００３６】また、散布されるスペーサの帯電極性が−
（負）である場合、ブラックマトリックス及び導電性ス
テージに対して、ともに−（負）の電圧を印加し、ブラ
ックマトリックスに対する電圧（Ｖ１）と導電性ステー
ジに対する電圧（Ｖ２）との関係をＶ１＞Ｖ２とする。
この場合には、ブラックマトリックスの直上部分のオー
バーコート層表面は、相対的に＋（正）となり、その他
のオーバーコート層表面は、相対的に−（負）となり、
図１に示した電気力線と逆の方向の電気力線が形成され
る。

【００３７】そして、帯電極性が−（負）のスペーサ
を、導電性ステージ上に載置された第一の基板に散布す
ると、−（負）に帯電したスペーサは、電気力線と逆方
向に力を受け、ブラックマトリックスの直上部分のオー
バーコート層表面に配置されることになる。

【００３８】このように、スペーサの帯電と同電極の電
圧をブラックマトリックスと導電性ステージとに印加す
ると、スペーサは斥力の影響を受けることになるが、オ
ーバーコート層のブラックマトリックス直上部分とその
他の部分との間に電位差が生じて電気力線が形成され、
この電気力線の影響で、斥力電場の中でも、スペーサに
方向性が与えられ、ブラックマトリックス直上部分のオ
ーバーコート層にスペーサが配置されることになる。

【００３９】ブラックマトリックスと導電性ステージと
に印加する電圧は、上記第一の方法と同様でよく、電圧
の印加方法も上記第一の方法と同様でよい。また、スペ
ーサの散布装置として、上記第一の方法の場合と同様の
装置を用いることができる。

【００４０】散布されるスペーサの帯電量は、＋（正）
又は−（負）で、３〜５０μＣ／ｇが好ましい。３μＣ
／ｇ未満であると、スペーサが落下中に曲がりきれずに
高い配置精度が得られない場合がある。一方、５０μＣ
／ｇを超えると、斥力を用いた電場では、反発力が強す
ぎてスペーサが基板上にあまり乗らなくなるので、長時
間の散布が必要となり、また、スペーサの帯電量にはあ
る程度のバラツキが存在するため、配置精度も悪化する
傾向にある。

【００４１】本方法において、用いられるスペーサとし
ては特に限定されないが、オーバーコート層表面にしっ
かりと固着させるため、加熱等により接着性を発現する
スペーサが好ましい。

【００４２】

【発明の実施の形態】（実施例）以下に実施例を掲げて
本発明を更に詳しく説明するが、本発明はこれら実施例
のみに限定されるものではない。

【００４３】実施例１ 図２に示したスペーサ散布装置を用いた。散布装置本体
内には２台の電圧印加装置に導通された電圧印加用の接
続端子が設けられており、基板に形成され、その一部が
露出したブラックマトリックス及び導電性ステージに直
流電圧を印加することができるようになっている。ま
た、電圧印加装置は、電圧値、電圧極性を任意に設定可
能になっている。

【００４４】散布装置本体上部には、ＳＵＳ製のスペー
サ吹き出し管（配管）が設けられており、圧縮空気によ
りスペーサを散布装置本体内に散布することができるよ
うになっている。散布装置下方には、絶縁性マットを介
してアルミニウム製の導電性ステージが配置されてい
る。

【００４５】基板として、ガラス基板上に、Ｃｒ製のブ
ラックマトリックス、カラーフィルタ層、オーバーコー
ト層が形成されたＩＰＳモード型液晶表示装置用のカラ
ーフィルタ基板（ＲＧＢ各画素の開口部８０μｍ×２８
０μｍ、ブラックマトリックス線幅２５μｍ）を準備し
た。

【００４６】次に、上記基板上に、０．０５μｍの厚さ
のポリイミドの配向膜を形成し、ラビング処理を施し
た。次に、この基板を図２に示したスペーサ散布装置
（日清エンジニアリング社製）の浮いた状態のアルミニ
ウム製のステージ上に密着させて載置し、２台の電圧印
加装置からの端子をブラックマトリックス及び導電性ス
テージに接続し、これら部材に電圧が印加できるように
した。

【００４７】そして、スペーサとして、接着性スペーサ
であるミクロパールＣＢ（積水フアインケミカル社製、
粒径：３．３μｍ）を散布装置内のスペーサ供給部に供
給するとともに、電圧印加装置から＋１．０ｋＶの直流
電圧を上記導電性ステージに印加し、また、上記ブラッ
クマトリックスに−５００Ｖの電圧を印加し、１．７５
ｋｇｆ／ｃｍ² の圧縮空気を用いて、スペーサを散布し
た。なお、スペーサは、＋に帯電することを予め確認し
ておいた。

【００４８】スペーサが散布された第一の基板表面を顕
微鏡で観察したところ、スペーサは、図３に示すよう
に、ブラックマトリックス部分のみに配置されていた。
その後、公知の方法でＩＰＳモード型液晶表示装置を完
成させたところ、表示領域にスペーサが存在しない、コ
ントラストに優れた液晶表示装置であることが確認され
た。なお、スペーサは、セル組工程の加熱により、配向
膜と密着し、移動等は観察されなかった。

【００４９】実施例２ ブラックマトリックスに印加する電圧を＋２００Ｖと
し、導電性ステージに印加する電圧を＋２．０ｋＶとし
たほかは、実施例１の場合と同様に操作を行った。スペ
ーサが散布された第一の基板表面を顕微鏡で観察したと
ころ、スペーサは、ブラックマトリックス部分のみに配
置されていた。

【００５０】比較例１ ブラックマトリックスに印加する電圧と導電性ステージ
に印加する電圧とを、ともに−５００Ｖとした他は、実
施例１の場合と同様に操作を行った。スペーサが散布さ
れた第一の基板表面を顕微鏡で観察したところ、スペー
サは、ほぼランダムな状態で基板上に配置されていた。

【００５１】比較例２ ブラックマトリックスに印加する電圧を−５００Ｖと
し、導電性ステージには電圧印加を行わず、電気的に浮
いた状態とした他は、実施例１の場合と同様に操作を行
った。スペーサが散布された第一の基板表面を顕微鏡で
観察したところ、スペーサは、ブラックマトリックス部
分に配置されていたが、画素内にも多くのスペーサが配
置されていた。

【００５２】

【発明の効果】本発明の液晶表示装置の製造方法は、上
述の通りであり、ＴＦＴが形成されていない側の基板上
にスペーサを散布するため、ＩＰＳ型の液晶表示装置で
あっても、ＴＦＴ素子を破壊することなく、ブラックマ
トリックス部分に選択的にスペーサを配置することがで
きる。従って、スペーサに起因する光漏れが無く、コン
トラストが著しく高い液晶表示装置を製造することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の液晶表示装置の製造方法を説明するた
めの概念図である。

【図２】本発明の液晶表示装置の製造方法の一実施形態
において用いられるスペーサ散布装置の概念図である。

【図３】本発明の液晶表示装置の第一の基板上に散布さ
れたスペーサを模式的に示す平面図である。

【図４】ＩＰＳモード型の液晶表示装置を模式的に示し
た断面図である。

【符号の説明】

１ 第一の基板 ２ 第二の基板 ３ ガラス基板 ４ 偏向板 ５ くし型電極 ６ 画素電極 ７ 液晶

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも導電性ブラックマトリックス
   を有する第一の基板に、帯電したスペーサを散布し、前
   記第一の基板上に、薄膜トランジスタ及び電極を有する
   第二の基板を対向配置し、その間隙に液晶を注入してな
   る横電界型の液晶表示装置の製造方法であって、前記帯
   電したスペーサの散布は、前記第一の基板を導電性ステ
   ージに密着させた後、前記導電性ステージと前記ブラッ
   クマトリックスとに異なる電圧を印加しながら行うもの
   であることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
2. 【請求項２】 帯電したスペーサの散布は、導電性ブラ
   ックマトリックスに対してスペーサの帯電電極と逆極性
   の電圧を印加し、導電性ステージに対してスペーサの帯
   電電極と同極性の電圧を印加することを特徴とする請求
   項１記載の液晶表示装置の製造方法。
3. 【請求項３】 帯電したスペーサの散布は、導電性ブラ
   ックマトリックスに対して電圧（Ｖ１）を印加し、か
   つ、導電性ステージに対して電圧（Ｖ２）を印加しなが
   ら行うものであり、前記Ｖ１と前記Ｖ２とは、前記スペ
   ーサの帯電極性が＋（正）である場合は、ともに正電圧
   であり、かつ、 Ｖ１＜Ｖ２ の関係であり、前記スペーサの帯電極性が−（負）であ
   る場合は、ともに負電圧であり、かつ、 Ｖ１＞Ｖ２ の関係であることを特徴とする請求項１記載の液晶表示
   装置の製造方法。
4. 【請求項４】 スペーサは、加熱により基板に固着する
   ものであることを特徴とする請求項１、２又は３記載の
   液晶表示装置の製造方法。