JPH11326000A - 感熱式流量センサ - Google Patents
感熱式流量センサInfo
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- JPH11326000A JPH11326000A JP10140177A JP14017798A JPH11326000A JP H11326000 A JPH11326000 A JP H11326000A JP 10140177 A JP10140177 A JP 10140177A JP 14017798 A JP14017798 A JP 14017798A JP H11326000 A JPH11326000 A JP H11326000A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 自動車用エンジンなど吸気脈動が大きな流れ
の場合においても、流量の検出誤差を低減することがで
きる高精度な感熱式流量センサを提供する。 【解決手段】 主導管１内に配設される流量検出部１０
５は、流体を誘導するための第１及び第２誘導面１０３
ａ、１０３ｂを両側に有する支持部材１０３と、支持部
材１０３の第２誘導面１０３ｂに設けられた流量検出素
子１０４とを備える。流量検出素子１０４が設けられた
支持部材１０３の第２誘導面１０３ｂは、他方の第１誘
導面１０３ａよりも下流方向に延長して形成される。
の場合においても、流量の検出誤差を低減することがで
きる高精度な感熱式流量センサを提供する。 【解決手段】 主導管１内に配設される流量検出部１０
５は、流体を誘導するための第１及び第２誘導面１０３
ａ、１０３ｂを両側に有する支持部材１０３と、支持部
材１０３の第２誘導面１０３ｂに設けられた流量検出素
子１０４とを備える。流量検出素子１０４が設けられた
支持部材１０３の第２誘導面１０３ｂは、他方の第１誘
導面１０３ａよりも下流方向に延長して形成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体の流量あるい
は流速を検出する流量センサに係わり、特に自動車など
に用いられる内燃機関に流入する空気量を検出するのに
適した感熱式流量センサに関するものである。
は流速を検出する流量センサに係わり、特に自動車など
に用いられる内燃機関に流入する空気量を検出するのに
適した感熱式流量センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、自動車用エンジンの電子制御式
燃料噴射システムにおいては、空燃比制御のため、エン
ジンへの吸入空気量を精度よく計測する必要がある。そ
のため最近では、空気流量検出装置として、質量流量信
号が得られ且つ圧力損失の小さい感熱式流量センサが使
用されることが多い。
燃料噴射システムにおいては、空燃比制御のため、エン
ジンへの吸入空気量を精度よく計測する必要がある。そ
のため最近では、空気流量検出装置として、質量流量信
号が得られ且つ圧力損失の小さい感熱式流量センサが使
用されることが多い。
【０００３】図２４は、特開平６−２６５３８４号公報
に示された感熱式流量センサを上流側より見た正面図で
あり、図２５はその断面側面図である。図２６は自動車
用エンジンにこの感熱式流量センサが装着された場合の
吸気系の配管を示したものである。
に示された感熱式流量センサを上流側より見た正面図で
あり、図２５はその断面側面図である。図２６は自動車
用エンジンにこの感熱式流量センサが装着された場合の
吸気系の配管を示したものである。
【０００４】図２４において、１はエアクリーナエレメ
ント１６を内蔵したエアクリーナ１５を通過した空気が
流通する主導管であり、この主導管１の下流側は吸気ダ
クト１７を介してエンジン（図示せず）に接続されてい
る。主導管１内には、流量検出部５が設置されている。
この流量検出部５は、吸入空気温度を計測するための温
度補償用抵抗体９と所定の温度に加熱された発熱抵抗体
１０とからなる流量検出素子４を備えている。温度補償
用抵抗体９及び発熱抵抗体１０には、白金などの感温抵
抗体が使用されている。流量検出用素子４はターミナル
６を介して制御回路部７に電気的に接続されている。図
２６に示すように、エアクリーナ１５を通過した空気流
は主導管１に流入する。その際、発熱抵抗体１０からは
吸入空気量に応じた熱量が奪われるため、発熱抵抗体１
０の温度は下がろうとするが、温度補償用抵抗体９で計
測される吸入空気温との温度差を略一定に保つように制
御回路部７によって、発熱抵抗体１０への加熱電流を制
御しているため、該発熱抵抗体１０に流れる加熱電流値
から吸入空気量が計測できる。
ント１６を内蔵したエアクリーナ１５を通過した空気が
流通する主導管であり、この主導管１の下流側は吸気ダ
クト１７を介してエンジン（図示せず）に接続されてい
る。主導管１内には、流量検出部５が設置されている。
この流量検出部５は、吸入空気温度を計測するための温
度補償用抵抗体９と所定の温度に加熱された発熱抵抗体
１０とからなる流量検出素子４を備えている。温度補償
用抵抗体９及び発熱抵抗体１０には、白金などの感温抵
抗体が使用されている。流量検出用素子４はターミナル
６を介して制御回路部７に電気的に接続されている。図
２６に示すように、エアクリーナ１５を通過した空気流
は主導管１に流入する。その際、発熱抵抗体１０からは
吸入空気量に応じた熱量が奪われるため、発熱抵抗体１
０の温度は下がろうとするが、温度補償用抵抗体９で計
測される吸入空気温との温度差を略一定に保つように制
御回路部７によって、発熱抵抗体１０への加熱電流を制
御しているため、該発熱抵抗体１０に流れる加熱電流値
から吸入空気量が計測できる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、例えば自動車
用の４サイクルエンジンにおいては、主導管１や吸気ダ
クト１７等によりなる吸気管路の構成や、アクセルペダ
ルの踏み込みと連動して開閉するスロットル弁の開度な
どによっては、吸気弁と排気弁の両方が開いた、いわゆ
るオーバーラップ時に排気側の正圧によって吸気側への
逆流を含む脈動流が発生するが、上記流量検出素子４の
場合、空気流の方向検出機能を有していないため、流量
検出誤差が大きくなる問題点があった。
用の４サイクルエンジンにおいては、主導管１や吸気ダ
クト１７等によりなる吸気管路の構成や、アクセルペダ
ルの踏み込みと連動して開閉するスロットル弁の開度な
どによっては、吸気弁と排気弁の両方が開いた、いわゆ
るオーバーラップ時に排気側の正圧によって吸気側への
逆流を含む脈動流が発生するが、上記流量検出素子４の
場合、空気流の方向検出機能を有していないため、流量
検出誤差が大きくなる問題点があった。
【０００６】そこで、特開平１−１８５４１６公報等に
記載されているような、流体の流れ方向が検出できる流
量検出素子の開発が行われている。図２７はその流量検
出素子４の構成を示しており、図２８はこの流量検出素
子４を設置した流量検出部５の斜視図である。また、図
２９は流量及び流れ方向の検出を行うための制御回路の
構成を示している。
記載されているような、流体の流れ方向が検出できる流
量検出素子の開発が行われている。図２７はその流量検
出素子４の構成を示しており、図２８はこの流量検出素
子４を設置した流量検出部５の斜視図である。また、図
２９は流量及び流れ方向の検出を行うための制御回路の
構成を示している。
【０００７】流量検出素子４としては発熱抵抗体１０
ａ、１０ｂと温度補償用抵抗体９ａ、９ｂがそれぞれ２
組用いられている。白金薄膜より成る発熱抵抗体１０
ａ、１０ｂ及び温度補償用抵抗体９ａ、９ｂは、セラミ
ックなどの熱伝導率の大きい電気絶縁材料で作られた板
状基材の上に、スパッタリングとフォトエッチングによ
り形成される。吸気上流側に位置するものを添え字ａ、
吸気下流側に位置するものを添え字ｂで表す。各々の発
熱抵抗体１０ａ、１０ｂは、図２９に示すように、吸入
空気温度よりも所定の温度だけ高くなるように設定さ
れ、発熱抵抗体１０ａ、１０ｂの抵抗値Ｒｈが流量にか
かわらず一定値になるように、差動増幅器１２とトラン
ジスタ１３とにより加熱電流を制御しているため、基準
抵抗体１１ａ、１１ｂにより吸入空気量に対応した電圧
値が得られる。一般に、発熱抵抗体１０ａ、１０ｂと流
体間の熱平衡は次式で与えられる。
ａ、１０ｂと温度補償用抵抗体９ａ、９ｂがそれぞれ２
組用いられている。白金薄膜より成る発熱抵抗体１０
ａ、１０ｂ及び温度補償用抵抗体９ａ、９ｂは、セラミ
ックなどの熱伝導率の大きい電気絶縁材料で作られた板
状基材の上に、スパッタリングとフォトエッチングによ
り形成される。吸気上流側に位置するものを添え字ａ、
吸気下流側に位置するものを添え字ｂで表す。各々の発
熱抵抗体１０ａ、１０ｂは、図２９に示すように、吸入
空気温度よりも所定の温度だけ高くなるように設定さ
れ、発熱抵抗体１０ａ、１０ｂの抵抗値Ｒｈが流量にか
かわらず一定値になるように、差動増幅器１２とトラン
ジスタ１３とにより加熱電流を制御しているため、基準
抵抗体１１ａ、１１ｂにより吸入空気量に対応した電圧
値が得られる。一般に、発熱抵抗体１０ａ、１０ｂと流
体間の熱平衡は次式で与えられる。
【０００８】Ｑ＝ｈ・Ｓ・△Ｔ ここでＱ：発熱抵抗体からの放散熱量 ｈ：熱伝達率 Ｓ：発熱抵抗体の表面積 △Ｔ：発熱抵抗体と流体の温度差 順流方向の流れにおいて、流量一定の場合には、上流側
に位置した発熱抵抗体１０ａの熱伝達率ｈ１は、下流側
に位置した発熱抵抗体１０ｂの熱伝達率ｈ２よりも大き
くなるため、基準抵抗体１１ａの出力Ｖａは１１ｂの出
力Ｖｂより大きくなる。逆方向の流れにおいては、順方
向の場合と熱伝達の様相が反転するため、ｈ１＜ｈ２と
なり、基準抵抗の出力はＶａ＜Ｖｂとなる。従って、双
方の出力電圧Ｖａ、Ｖｂを比較器１４を用いて差動出力
とすることにより、流量と流れ方向が検出できるように
なっている。
に位置した発熱抵抗体１０ａの熱伝達率ｈ１は、下流側
に位置した発熱抵抗体１０ｂの熱伝達率ｈ２よりも大き
くなるため、基準抵抗体１１ａの出力Ｖａは１１ｂの出
力Ｖｂより大きくなる。逆方向の流れにおいては、順方
向の場合と熱伝達の様相が反転するため、ｈ１＜ｈ２と
なり、基準抵抗の出力はＶａ＜Ｖｂとなる。従って、双
方の出力電圧Ｖａ、Ｖｂを比較器１４を用いて差動出力
とすることにより、流量と流れ方向が検出できるように
なっている。
【０００９】しかし、吸気脈動流中での流量検出におい
ては、このような感熱式流量センサは未だ十分とは言え
ず、例えば逆流を伴わないような大きな脈動流の特に減
速時においては、流量検出素子４の周辺で局所的な逆旋
回渦が発生するため、流量検出素子４はこの局所的な逆
流を検出し、主導管１内を通過する空気流量の検出精度
が低下するという問題点があった。
ては、このような感熱式流量センサは未だ十分とは言え
ず、例えば逆流を伴わないような大きな脈動流の特に減
速時においては、流量検出素子４の周辺で局所的な逆旋
回渦が発生するため、流量検出素子４はこの局所的な逆
流を検出し、主導管１内を通過する空気流量の検出精度
が低下するという問題点があった。
【００１０】本発明は、上述した問題点を解消しようと
するものであり、脈動流中においても高精度に流体の流
量を検出できる感熱式流量センサを提供することを目的
としている。
するものであり、脈動流中においても高精度に流体の流
量を検出できる感熱式流量センサを提供することを目的
としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明に係る感熱式流量センサは、主導管
内に設置された流量検出部の発熱体から流体への熱伝達
現象に基づいて該主導管内を通過する流体の流量あるい
は流速を計測する感熱式流量センサにおいて、前記流量
検出部は、流体を誘導するための第１及び第２誘導面を
両側に有する支持部材と、前記支持部材の前記第２誘導
面に設けられた流量検出素子とを備え、前記流量検出素
子が設けられた前記支持部材の前記第２誘導面は、他方
の前記第１誘導面よりも下流方向に延長して形成された
ものである。
め、請求項１の発明に係る感熱式流量センサは、主導管
内に設置された流量検出部の発熱体から流体への熱伝達
現象に基づいて該主導管内を通過する流体の流量あるい
は流速を計測する感熱式流量センサにおいて、前記流量
検出部は、流体を誘導するための第１及び第２誘導面を
両側に有する支持部材と、前記支持部材の前記第２誘導
面に設けられた流量検出素子とを備え、前記流量検出素
子が設けられた前記支持部材の前記第２誘導面は、他方
の前記第１誘導面よりも下流方向に延長して形成された
ものである。
【００１２】請求項２の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記流量検出素子が設置された側の前記第２誘導面
と他方の前記第１誘導面とを結合する前記支持部材の下
流側端面が凹状の曲面で形成されたものである。
は、前記流量検出素子が設置された側の前記第２誘導面
と他方の前記第１誘導面とを結合する前記支持部材の下
流側端面が凹状の曲面で形成されたものである。
【００１３】請求項３の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記流量検出素子が設置された側の前記第２誘導面
と他方の第１誘導面とを結合する前記支持部材の下流側
端面が凸状の曲面で形成されたものである。
は、前記流量検出素子が設置された側の前記第２誘導面
と他方の第１誘導面とを結合する前記支持部材の下流側
端面が凸状の曲面で形成されたものである。
【００１４】請求項４の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記流量検出素子が設置される側の前記第２誘導面
の下流側の端部が凹状の反りを有するものである。
は、前記流量検出素子が設置される側の前記第２誘導面
の下流側の端部が凹状の反りを有するものである。
【００１５】請求項５の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記支持部材の前記第１及び第２誘導面と下流側端
面との結合部が丸みを有するものである。
は、前記支持部材の前記第１及び第２誘導面と下流側端
面との結合部が丸みを有するものである。
【００１６】請求項６の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記流量検出素子が板状に構成され、該板状の流量
検出素子が、前記主導管内の流体の流れ方向の中心軸と
略平行になるように、前記支持部材の前記第２誘導面に
設置されたものである。
は、前記流量検出素子が板状に構成され、該板状の流量
検出素子が、前記主導管内の流体の流れ方向の中心軸と
略平行になるように、前記支持部材の前記第２誘導面に
設置されたものである。
【００１７】請求項７の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記支持部材の前記第２誘導面が、前記主導管内の
流体の流れ方向の中心軸に対して所定の角度で傾斜して
配置された加速領域を有し、前記流量検出素子が、前記
支持部材の前記第２誘導面に形成された前記加速領域に
設置されたものである。
は、前記支持部材の前記第２誘導面が、前記主導管内の
流体の流れ方向の中心軸に対して所定の角度で傾斜して
配置された加速領域を有し、前記流量検出素子が、前記
支持部材の前記第２誘導面に形成された前記加速領域に
設置されたものである。
【００１８】請求項８の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記支持部材の前記第２誘導面に形成された前記加
速領域が平面あるいは凸状に湾曲しているものである。
は、前記支持部材の前記第２誘導面に形成された前記加
速領域が平面あるいは凸状に湾曲しているものである。
【００１９】請求項９の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記支持部材の前記第２誘導面が、前記加速領域の
下流側に、前記主導管内の流体の流れ方向の中心軸に対
して略平行となる面を有するものである。
は、前記支持部材の前記第２誘導面が、前記加速領域の
下流側に、前記主導管内の流体の流れ方向の中心軸に対
して略平行となる面を有するものである。
【００２０】請求項１０の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記支持部材の前記第２誘導面に形成された前記加
速領域が、前記主導管内の流体の流れ方向の中心軸に対
して約１０°以下で傾斜した面よりなるものである。
は、前記支持部材の前記第２誘導面に形成された前記加
速領域が、前記主導管内の流体の流れ方向の中心軸に対
して約１０°以下で傾斜した面よりなるものである。
【００２１】請求項１１の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記支持部材の上流部が流線形状に形成されたもの
である。
は、前記支持部材の上流部が流線形状に形成されたもの
である。
【００２２】請求項１２の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記支持部材の上流部が、前記主導管内の流体の流
れ方向の中心軸に対して対称形となるように形成された
ものである。
は、前記支持部材の上流部が、前記主導管内の流体の流
れ方向の中心軸に対して対称形となるように形成された
ものである。
【００２３】請求項１３の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記支持部材の上流側の先端部が尖鋭になっている
ものである。
は、前記支持部材の上流側の先端部が尖鋭になっている
ものである。
【００２４】請求項１４の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記主導管の中に、流体の流れ方向と略平行に設置
された計測用管路が設けられ、その計測用管路内に前記
流量検出部が配設されたものである。
は、前記主導管の中に、流体の流れ方向と略平行に設置
された計測用管路が設けられ、その計測用管路内に前記
流量検出部が配設されたものである。
【００２５】請求項１５の発明に係る感熱式流量センサ
は、前記主導管内に設置された流量検出部の発熱体から
流体への熱伝達現象に基づいて該主導管内を通過する流
体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量センサにお
いて、前記流量検出部は、流体を誘導するための誘導面
を有する支持部材と、前記支持部材の前記誘導面に設け
られた流量検出素子と、前記支持部材の下流側に設けら
れ、旋回渦の発生を抑制する抑制部とを備えるものであ
る。
は、前記主導管内に設置された流量検出部の発熱体から
流体への熱伝達現象に基づいて該主導管内を通過する流
体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量センサにお
いて、前記流量検出部は、流体を誘導するための誘導面
を有する支持部材と、前記支持部材の前記誘導面に設け
られた流量検出素子と、前記支持部材の下流側に設けら
れ、旋回渦の発生を抑制する抑制部とを備えるものであ
る。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、添付図面により本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【００２７】実施の形態１．図１は、この発明の実施の
形態１による感熱式流量センサの上流側から見た概略図
であり、図２は図１の断面図である。図３は流量検出部
の概略図であり、図４は図３の斜視図である。図５は図
３のＶ−Ｖ断面図である。
形態１による感熱式流量センサの上流側から見た概略図
であり、図２は図１の断面図である。図３は流量検出部
の概略図であり、図４は図３の斜視図である。図５は図
３のＶ−Ｖ断面図である。
【００２８】これらの図において、流量検出部１０５は
支持部材１０３を備え、この支持部材１０３は、第１誘
導面１０３ａと第２誘導面１０３ｂとを有しており、第
２誘導面１０３ｂには、発熱抵抗体と温度補償用抵抗体
とが成膜された流量検出素子１０４が設置されている。
第１誘導面１０３ａ及び第２誘導面１０３ｂは主導管１
００内に吸入された空気流を大きく剥離させずに、支持
部材１０３表面に沿って流れを導くものであり、第１誘
導面１０３ａと第２誘導面１０３ｂを支持部材１０３の
下流側端面１０３ｃで接合している。第１及び第２誘導
面１０３ａ、１０３ｂと下流側端面１０３ｃを具体的に
定義するならば、吸気の上流方向から投影したときに投
影方向と平行な面を除いて影になる部分が下流側端面１
０３ｃであり、下流側端面１０３ｃ以外の部分が第１及
び第２誘導面１０３ａ、１０３ｂになる。また、第１誘
導面１０３ａと第２誘導面１０３ｂとの境界は、図５に
示した矢印が交差する支持部材１０３の最上流部であ
る。この実施の形態１では、支持部材１０３の第２誘導
面１０３ｂは第１誘導面１０３ａよりも下流方向に延長
されて構成されている。流量検出部１０５は支柱１０２
内に挿入され、流量検出部１０５の流量検出素子４は、
一部が流量検出部１０５本体内に埋設されているターミ
ナル１０６を介して制御回路部１０７に電気的に接続さ
れている。制御回路部１０７は、図１９の制御回路部７
と同様に構成されている。
支持部材１０３を備え、この支持部材１０３は、第１誘
導面１０３ａと第２誘導面１０３ｂとを有しており、第
２誘導面１０３ｂには、発熱抵抗体と温度補償用抵抗体
とが成膜された流量検出素子１０４が設置されている。
第１誘導面１０３ａ及び第２誘導面１０３ｂは主導管１
００内に吸入された空気流を大きく剥離させずに、支持
部材１０３表面に沿って流れを導くものであり、第１誘
導面１０３ａと第２誘導面１０３ｂを支持部材１０３の
下流側端面１０３ｃで接合している。第１及び第２誘導
面１０３ａ、１０３ｂと下流側端面１０３ｃを具体的に
定義するならば、吸気の上流方向から投影したときに投
影方向と平行な面を除いて影になる部分が下流側端面１
０３ｃであり、下流側端面１０３ｃ以外の部分が第１及
び第２誘導面１０３ａ、１０３ｂになる。また、第１誘
導面１０３ａと第２誘導面１０３ｂとの境界は、図５に
示した矢印が交差する支持部材１０３の最上流部であ
る。この実施の形態１では、支持部材１０３の第２誘導
面１０３ｂは第１誘導面１０３ａよりも下流方向に延長
されて構成されている。流量検出部１０５は支柱１０２
内に挿入され、流量検出部１０５の流量検出素子４は、
一部が流量検出部１０５本体内に埋設されているターミ
ナル１０６を介して制御回路部１０７に電気的に接続さ
れている。制御回路部１０７は、図１９の制御回路部７
と同様に構成されている。
【００２９】主導管内に逆流を伴わない大きな脈動流が
流れているときの減速時において、従来の流量検出部４
では、図６に示したように、流量検出部４の支持部材３
の表面から突出して設けられていること、及び支持部材
３の下流側端部がその両側面に対して略直角に形成され
ていることにより、支持部材３の後流で生じたカルマン
渦により逆方向の流れが検出素子３表面へ及んで、これ
が上流側の流れによってさらに大きな旋回渦へと増大さ
れるため、検出素子３表面では局所的に逆流が生じるこ
とになる。
流れているときの減速時において、従来の流量検出部４
では、図６に示したように、流量検出部４の支持部材３
の表面から突出して設けられていること、及び支持部材
３の下流側端部がその両側面に対して略直角に形成され
ていることにより、支持部材３の後流で生じたカルマン
渦により逆方向の流れが検出素子３表面へ及んで、これ
が上流側の流れによってさらに大きな旋回渦へと増大さ
れるため、検出素子３表面では局所的に逆流が生じるこ
とになる。
【００３０】流量センサは、流量検出素子４で計測され
る流量に基づいて主導管内を通過する流量を求めている
ため、例えば流れの方向が検知できる図２８の従来の流
量検出素子４を用いた場合、図８の二点鎖線で示したよ
うに、主導管内を通過する空気流量の検出精度が低下す
る。すなわち、流量検出素子４が、その表面に流れる局
所的な逆流の方向と流量を検出してしまうため、図８に
実線で示す流量検定装置（他の方法により主導管内を流
れる空気流量を検出する装置であり、具体的には、ホッ
トワイヤ式のエアフローセンサや熱線プローブを用いた
もの）における流量波形Ｑ１は、二点鎖線Ｑ２で示すよ
うに、谷の部分で逆流方向すなわち−方向へ増加される
ため、従来例における流量波形Ｑ２の平均値をとった流
量Ｑ２ａは流量波形Ｑ１の平均値をとった流量Ｑ１ａに
比べてΔＱ２だけ減少する。
る流量に基づいて主導管内を通過する流量を求めている
ため、例えば流れの方向が検知できる図２８の従来の流
量検出素子４を用いた場合、図８の二点鎖線で示したよ
うに、主導管内を通過する空気流量の検出精度が低下す
る。すなわち、流量検出素子４が、その表面に流れる局
所的な逆流の方向と流量を検出してしまうため、図８に
実線で示す流量検定装置（他の方法により主導管内を流
れる空気流量を検出する装置であり、具体的には、ホッ
トワイヤ式のエアフローセンサや熱線プローブを用いた
もの）における流量波形Ｑ１は、二点鎖線Ｑ２で示すよ
うに、谷の部分で逆流方向すなわち−方向へ増加される
ため、従来例における流量波形Ｑ２の平均値をとった流
量Ｑ２ａは流量波形Ｑ１の平均値をとった流量Ｑ１ａに
比べてΔＱ２だけ減少する。
【００３１】また、流れの方向が検知できない図２５の
従来の流量検出素子４を用いた場合においても、図９に
示したように、主導管内を通過する空気流量の検出精度
が低下する。すなわち、流量検出素子４がその表面に流
れる局所的な逆流による流量のみを検出してしまうた
め、図９に実線で示す流量検定装置における流量波形Ｑ
１は、一点鎖線Ｑ３で示すように、谷の部分で逆流の流
量分だけ＋方向へ増加されるため、従来例における流量
波形Ｑ３の平均値をとった流量Ｑ３ａは流量波形Ｑ１の
平均値をとった流量Ｑ１ａに比べてΔＱ３だけ増大す
る。
従来の流量検出素子４を用いた場合においても、図９に
示したように、主導管内を通過する空気流量の検出精度
が低下する。すなわち、流量検出素子４がその表面に流
れる局所的な逆流による流量のみを検出してしまうた
め、図９に実線で示す流量検定装置における流量波形Ｑ
１は、一点鎖線Ｑ３で示すように、谷の部分で逆流の流
量分だけ＋方向へ増加されるため、従来例における流量
波形Ｑ３の平均値をとった流量Ｑ３ａは流量波形Ｑ１の
平均値をとった流量Ｑ１ａに比べてΔＱ３だけ増大す
る。
【００３２】しかし、この実施の形態１の如く構成され
た流量検出部１０５では、流量検出素子１０４が支持部
材１０３内に埋設されて、第２誘導面１０３ｂは出っ張
りのない滑らかな平坦面として形成されており、且つ支
持部材１０３の下流側端部は、流量検出素子１０４が配
置された第２誘導面１０３ｂから第１誘導面１０３ａへ
向けて傾斜するように形成されているため、図７に示す
ように、主導管１００内に逆流を伴わない脈動流が流れ
ているときの減速時において、支持部材１０３の第１誘
導面１０３ａ及び第２誘導面１０３ｂの後流で生じるカ
ルマン渦が崩壊し、乱された後流は支持部材１０３の下
流側端面１０３ｃに形成される圧力低下部へ流れ込むた
め、流量検出部１０５表面での局所的な旋回渦の発生を
抑制することができる。その結果、図１０に示したよう
に、流量検定装置における流量波形Ｑ１は、破線Ｑ４で
示すように、谷の部分でも逆流等により殆ど乱されるこ
とがないため、本発明の流量センサにおける流量波形Ｑ
４の平均値をとった流量Ｑ４ａは流量波形Ｑ１の平均値
をとった流量Ｑ１ａと略同じになり、主導管１００内を
通過する空気流量の高い検出精度を確保することができ
る。
た流量検出部１０５では、流量検出素子１０４が支持部
材１０３内に埋設されて、第２誘導面１０３ｂは出っ張
りのない滑らかな平坦面として形成されており、且つ支
持部材１０３の下流側端部は、流量検出素子１０４が配
置された第２誘導面１０３ｂから第１誘導面１０３ａへ
向けて傾斜するように形成されているため、図７に示す
ように、主導管１００内に逆流を伴わない脈動流が流れ
ているときの減速時において、支持部材１０３の第１誘
導面１０３ａ及び第２誘導面１０３ｂの後流で生じるカ
ルマン渦が崩壊し、乱された後流は支持部材１０３の下
流側端面１０３ｃに形成される圧力低下部へ流れ込むた
め、流量検出部１０５表面での局所的な旋回渦の発生を
抑制することができる。その結果、図１０に示したよう
に、流量検定装置における流量波形Ｑ１は、破線Ｑ４で
示すように、谷の部分でも逆流等により殆ど乱されるこ
とがないため、本発明の流量センサにおける流量波形Ｑ
４の平均値をとった流量Ｑ４ａは流量波形Ｑ１の平均値
をとった流量Ｑ１ａと略同じになり、主導管１００内を
通過する空気流量の高い検出精度を確保することができ
る。
【００３３】以上のように、この実施の形態１による感
熱式流量センサによれば、次のような優れた作用効果を
奏するものである。すなわち、図６に示すように、上述
したような板状の流量検出素子４を支持部材３の側面に
設置して構成された流量検出部５を主導管内に配設した
従来の感熱式流量センサにおいては、逆流を伴わない順
方向からの大きな脈動流を計測する際、特に減速時にお
いては、支持部材３の後流で生じたカルマン渦による逆
方向の流れが流量検出素子４表面へ及び、これは上流側
の流れによりさらに大きな旋回渦へと成長するため、流
量検出素子４表面では局所的に逆流が生じることがあ
る。その結果、主導管内に流入する空気流量の検出精度
が低下する。
熱式流量センサによれば、次のような優れた作用効果を
奏するものである。すなわち、図６に示すように、上述
したような板状の流量検出素子４を支持部材３の側面に
設置して構成された流量検出部５を主導管内に配設した
従来の感熱式流量センサにおいては、逆流を伴わない順
方向からの大きな脈動流を計測する際、特に減速時にお
いては、支持部材３の後流で生じたカルマン渦による逆
方向の流れが流量検出素子４表面へ及び、これは上流側
の流れによりさらに大きな旋回渦へと成長するため、流
量検出素子４表面では局所的に逆流が生じることがあ
る。その結果、主導管内に流入する空気流量の検出精度
が低下する。
【００３４】しかしながら、この実施の形態１による流
量検出部１０５では、上述のような脈動流中の減速時に
おいて、流量検出素子１０４が設置された側の誘導面
（第２誘導面１０３ｂ）と他方の誘導面（第１誘導面１
０３ａ）とを結合する下流側端面１０３ｃにおいてカル
マン渦を崩壊させるとともに、下流側端面１０３ｃの圧
力低下部への空気流の流れ込みにより、流量検出素子１
０４表面での旋回渦の発生を抑制できる。また、流量検
出素子１０４が設置された第２誘導面１０３ｂがその反
対側の第１誘導面１０３ａよりも後方へ延長されて長く
形成されているため、第２誘導面１０３ｂ側の静圧の方
が他方の第１誘導面１０３ａ側の静圧より大きくなる。
このため、流量検出素子１０４が設置された側の第２誘
導面１０３ｂから下流に向かって発達する速度境界層
（すなわち第２誘導面１０３ｂの表面の流速０から、該
表面より十分に離れたところの一様流（主流）の速度ま
で急激に速度変化する薄い流体層）は薄くなり、従って
流量検出素子１０４表面近傍での流速が大きくなるの
で、流量検出素子１０４から流体への熱伝達率が向上す
る。その結果、流量変化に対する流量検出素子１０４の
感度の向上と出力の安定化を図ることができる。
量検出部１０５では、上述のような脈動流中の減速時に
おいて、流量検出素子１０４が設置された側の誘導面
（第２誘導面１０３ｂ）と他方の誘導面（第１誘導面１
０３ａ）とを結合する下流側端面１０３ｃにおいてカル
マン渦を崩壊させるとともに、下流側端面１０３ｃの圧
力低下部への空気流の流れ込みにより、流量検出素子１
０４表面での旋回渦の発生を抑制できる。また、流量検
出素子１０４が設置された第２誘導面１０３ｂがその反
対側の第１誘導面１０３ａよりも後方へ延長されて長く
形成されているため、第２誘導面１０３ｂ側の静圧の方
が他方の第１誘導面１０３ａ側の静圧より大きくなる。
このため、流量検出素子１０４が設置された側の第２誘
導面１０３ｂから下流に向かって発達する速度境界層
（すなわち第２誘導面１０３ｂの表面の流速０から、該
表面より十分に離れたところの一様流（主流）の速度ま
で急激に速度変化する薄い流体層）は薄くなり、従って
流量検出素子１０４表面近傍での流速が大きくなるの
で、流量検出素子１０４から流体への熱伝達率が向上す
る。その結果、流量変化に対する流量検出素子１０４の
感度の向上と出力の安定化を図ることができる。
【００３５】実施の形態２．図１１は、この発明の実施
の形態２による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態２は、支持部
材１０３Ｂを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
の形態２による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態２は、支持部
材１０３Ｂを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
【００３６】この実施の形態２では、支持部材１０３Ｂ
の第１誘導面１０３ａと第２誘導面１０３ｂとを結合す
る下流側端面１０３ｄが凹状に湾曲して形成されてお
り、下流側端面１０３ｄで生じる圧力低下部を増大する
ことができるため、実施の形態１で述べたようなカルマ
ン渦の崩壊による乱れた後流の流れ込みを一層促進する
ことができ、逆流を伴わない過渡的な空気流が生じる減
速時において、流量検出素子１０４表面の流れをより安
定にすることができる。
の第１誘導面１０３ａと第２誘導面１０３ｂとを結合す
る下流側端面１０３ｄが凹状に湾曲して形成されてお
り、下流側端面１０３ｄで生じる圧力低下部を増大する
ことができるため、実施の形態１で述べたようなカルマ
ン渦の崩壊による乱れた後流の流れ込みを一層促進する
ことができ、逆流を伴わない過渡的な空気流が生じる減
速時において、流量検出素子１０４表面の流れをより安
定にすることができる。
【００３７】実施の形態３．図１２は、この発明の実施
の形態３による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態３は、支持部
材１０３Ｃを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
の形態３による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態３は、支持部
材１０３Ｃを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
【００３８】この実施の形態３では、支持部材１０３Ｃ
の下流側端面１０３ｅが凹状に湾曲し、第２誘導面１０
３ｂと結合する部分には丸み部１１４が形成されてお
り、上記実施の形態２と同様の効果が期待できるととも
に、鋭角部を除去することにより支持部材１０３Ｃを樹
脂等を用いて射出成形するような場合に成形性が向上す
る。
の下流側端面１０３ｅが凹状に湾曲し、第２誘導面１０
３ｂと結合する部分には丸み部１１４が形成されてお
り、上記実施の形態２と同様の効果が期待できるととも
に、鋭角部を除去することにより支持部材１０３Ｃを樹
脂等を用いて射出成形するような場合に成形性が向上す
る。
【００３９】実施の形態４．図１３は、この発明の実施
の形態４による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態４は、支持部
材１０３Ｄを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
の形態４による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態４は、支持部
材１０３Ｄを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
【００４０】この実施の形態４では、支持部材１０３Ｄ
の第１誘導面１０３ａと第２誘導面１０３ｂを結合する
下流側端面１０３ｆが凸状に湾曲して形成されており、
逆流時においても下流側端面１０３ｆに沿って空気流を
導くことができるため、流量検出素子４が配置された第
２誘導面１０３ｂにおける空気流の剥離を抑えて通気抵
抗を抑制することにより、第２誘導面１０３ｂにおける
空気流を安定化させることができる。
の第１誘導面１０３ａと第２誘導面１０３ｂを結合する
下流側端面１０３ｆが凸状に湾曲して形成されており、
逆流時においても下流側端面１０３ｆに沿って空気流を
導くことができるため、流量検出素子４が配置された第
２誘導面１０３ｂにおける空気流の剥離を抑えて通気抵
抗を抑制することにより、第２誘導面１０３ｂにおける
空気流を安定化させることができる。
【００４１】また、この実施の形態４によれば、樹脂等
を用いて射出成形するような場合に成形性が向上する。
を用いて射出成形するような場合に成形性が向上する。
【００４２】実施の形態５．図１４は、この発明の実施
の形態５による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態５は、支持部
材１０３Ｅを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
の形態５による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態５は、支持部
材１０３Ｅを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
【００４３】この実施の形態５では、支持部材１０３Ｅ
において、流量検出素子１０４が設置された側の第２誘
導面１０３ｂの下流側部分が凹状の反り１１５を有し、
且つ下流側端面１０３ｇが第２誘導面１０３ｂから第１
誘導面１０３ａへ向けてテーパ状に傾斜して形成されて
いる。これにより、前述したような過渡的な流れの減速
時において、第１誘導面１０３ａ及び第２誘導面１０３
ｂの後流で生じる剥離渦を流量検出素子４から遠ざける
ことができるとともに、剥離渦による逆方向の流れをせ
き止めることができるため、流量検出素子１０４表面で
の旋回渦の発生を抑制することができる。
において、流量検出素子１０４が設置された側の第２誘
導面１０３ｂの下流側部分が凹状の反り１１５を有し、
且つ下流側端面１０３ｇが第２誘導面１０３ｂから第１
誘導面１０３ａへ向けてテーパ状に傾斜して形成されて
いる。これにより、前述したような過渡的な流れの減速
時において、第１誘導面１０３ａ及び第２誘導面１０３
ｂの後流で生じる剥離渦を流量検出素子４から遠ざける
ことができるとともに、剥離渦による逆方向の流れをせ
き止めることができるため、流量検出素子１０４表面で
の旋回渦の発生を抑制することができる。
【００４４】実施の形態６．図１５は、この発明の実施
の形態６による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態６は、支持部
材１０３Ｆを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
の形態６による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態６は、支持部
材１０３Ｆを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
【００４５】この実施の形態６では、流量検出部１０５
の支持部材１０３Ｆは、第２誘導面１０３ｂと下流側端
面１０３ｈとが結合する部分に丸み部１１６を有してお
り、実施の形態４と同様の効果が期待できる上、エッジ
部を無くすことにより支持部材１０３を樹脂等を用いて
射出成形するような場合に成形性が向上する。
の支持部材１０３Ｆは、第２誘導面１０３ｂと下流側端
面１０３ｈとが結合する部分に丸み部１１６を有してお
り、実施の形態４と同様の効果が期待できる上、エッジ
部を無くすことにより支持部材１０３を樹脂等を用いて
射出成形するような場合に成形性が向上する。
【００４６】実施の形態７．図１６は、この発明の実施
の形態７による感熱式流量センサの部分断面図である。
この実施の形態７では、支持部材１０３Ｇの第２誘導面
１０３ｂに配置された流量検出素子１０４が、主導管１
００内の空気の流れ方向の中心軸Ｏ（すなわち主導管１
００の中心軸線）と平行に設置されている。主導管１０
０内に吸入された空気流は支持部材１０３Ｇの第１誘導
面１０３ａ及び第２誘導面１０３ｂに沿って流れるた
め、主導管１００の上流側に配置されるエアクリーナの
エアクリーナエレメント（図示せず）を通過した浮遊ダ
スト等が主導管１００内に流入した場合においても、流
量検出素子１０４に直接ダスト等の汚損物が付着するの
を抑制できる。
の形態７による感熱式流量センサの部分断面図である。
この実施の形態７では、支持部材１０３Ｇの第２誘導面
１０３ｂに配置された流量検出素子１０４が、主導管１
００内の空気の流れ方向の中心軸Ｏ（すなわち主導管１
００の中心軸線）と平行に設置されている。主導管１０
０内に吸入された空気流は支持部材１０３Ｇの第１誘導
面１０３ａ及び第２誘導面１０３ｂに沿って流れるた
め、主導管１００の上流側に配置されるエアクリーナの
エアクリーナエレメント（図示せず）を通過した浮遊ダ
スト等が主導管１００内に流入した場合においても、流
量検出素子１０４に直接ダスト等の汚損物が付着するの
を抑制できる。
【００４７】このように、この実施の形態７によれば、
流量検出部１０５において、流量検出素子１０４が主導
管１００内の空気の流れ方向の中心軸Ｏと略平行に設置
されると、吸入空気流は流量検出素子１０４が設置され
た支持部材１０３の第２誘導面１０３ｂに沿って流れる
ため、流量検出素子１０４の表面にダスト等の汚損物が
付着するのを抑制でき、従って、高い流量検出精度と流
量検出素子１０４の信頼性を確保することができる。
流量検出部１０５において、流量検出素子１０４が主導
管１００内の空気の流れ方向の中心軸Ｏと略平行に設置
されると、吸入空気流は流量検出素子１０４が設置され
た支持部材１０３の第２誘導面１０３ｂに沿って流れる
ため、流量検出素子１０４の表面にダスト等の汚損物が
付着するのを抑制でき、従って、高い流量検出精度と流
量検出素子１０４の信頼性を確保することができる。
【００４８】実施の形態８．図１７は、この発明の実施
の形態８による感熱式流量センサの部分断面図である。
この実施の形態８では、支持部材１０３Ｈは、縦方向の
幅が中央部から両端に向かって減少する扁平なほぼ菱形
断面形状に形成され、流量検出素子１０４が埋設された
支持部材１０３Ｈの第２誘導面１０３ｂが主導管１００
の空気の流れ方向の中心軸（すなわち主導管１００の中
心軸線）に対して約６°傾斜して配置されている。この
ような配置により、第２誘導面１０３ｂと主導管１００
の内面との間の吸気通路を下流に向かって徐々に縮小す
ることによって、主導管１００内に吸入された吸気流を
加速する加速領域１１７（図１７中の斜線領域）を形成
する。そして、この加速領域１１７の下流側には、主導
管１００内の空気の流れ方向の中心軸Ｏ（すなわち主導
管１００の中心軸線）に対して略平行な面を形成してい
る。流量検出素子１０４は加速領域１１７に設置され、
ここで主導管１００内を流れる空気の流量を検出してい
る。このため、順方向の流れの場合、主導管１００に吸
入された空気流は加速領域１１７で徐々に増速されるた
め、流量検出素子１０４周りでの流れの剥離を抑制する
ことができるとともに、前述した過渡的な流れの場合に
おいても、上記実施の形態１と同様な効果が得られるた
め、流量検出素子１０４周りでの旋回渦の発生を抑制す
ることができる。また、逆方向の流れの場合には、加速
領域１１７が減速領域になるが、加速領域１１７の傾斜
角が小さいため逆方向の流れの剥離を抑制することがで
き、従って、逆方向の流れの検出性能を損なうことがな
い。
の形態８による感熱式流量センサの部分断面図である。
この実施の形態８では、支持部材１０３Ｈは、縦方向の
幅が中央部から両端に向かって減少する扁平なほぼ菱形
断面形状に形成され、流量検出素子１０４が埋設された
支持部材１０３Ｈの第２誘導面１０３ｂが主導管１００
の空気の流れ方向の中心軸（すなわち主導管１００の中
心軸線）に対して約６°傾斜して配置されている。この
ような配置により、第２誘導面１０３ｂと主導管１００
の内面との間の吸気通路を下流に向かって徐々に縮小す
ることによって、主導管１００内に吸入された吸気流を
加速する加速領域１１７（図１７中の斜線領域）を形成
する。そして、この加速領域１１７の下流側には、主導
管１００内の空気の流れ方向の中心軸Ｏ（すなわち主導
管１００の中心軸線）に対して略平行な面を形成してい
る。流量検出素子１０４は加速領域１１７に設置され、
ここで主導管１００内を流れる空気の流量を検出してい
る。このため、順方向の流れの場合、主導管１００に吸
入された空気流は加速領域１１７で徐々に増速されるた
め、流量検出素子１０４周りでの流れの剥離を抑制する
ことができるとともに、前述した過渡的な流れの場合に
おいても、上記実施の形態１と同様な効果が得られるた
め、流量検出素子１０４周りでの旋回渦の発生を抑制す
ることができる。また、逆方向の流れの場合には、加速
領域１１７が減速領域になるが、加速領域１１７の傾斜
角が小さいため逆方向の流れの剥離を抑制することがで
き、従って、逆方向の流れの検出性能を損なうことがな
い。
【００４９】尚、加速領域１１７の傾斜角が増大するに
つれて、順方向の流れにおいては流量検出素子１０４周
りでの流れの剥離抑制効果は増大するが、反面、逆方向
の流れに対しては、流量検出素子１０４の周りでの流れ
の剥離の影響が大きくなる。従って、加速領域１１７の
傾斜角は、ディフューザ（拡大管）内での剥離の無い流
れを形成するための広がり角と同様に、１０度以下に設
定することが好ましい。
つれて、順方向の流れにおいては流量検出素子１０４周
りでの流れの剥離抑制効果は増大するが、反面、逆方向
の流れに対しては、流量検出素子１０４の周りでの流れ
の剥離の影響が大きくなる。従って、加速領域１１７の
傾斜角は、ディフューザ（拡大管）内での剥離の無い流
れを形成するための広がり角と同様に、１０度以下に設
定することが好ましい。
【００５０】以上のように、この実施の形態８によれ
ば、流量検出部１０５において、支持部材１０３Ｈの第
２誘導面１０３ｂの加速領域１１７に流量検出素子１０
４を設置することにより、流量検出素子１０４周辺での
流れの剥離が抑制できるとともに、流量検出素子１０４
から流体への熱伝達率が向上するため、流量変化に対す
る流量検出素子１０４の感度の向上と出力の安定化を図
ることができる。
ば、流量検出部１０５において、支持部材１０３Ｈの第
２誘導面１０３ｂの加速領域１１７に流量検出素子１０
４を設置することにより、流量検出素子１０４周辺での
流れの剥離が抑制できるとともに、流量検出素子１０４
から流体への熱伝達率が向上するため、流量変化に対す
る流量検出素子１０４の感度の向上と出力の安定化を図
ることができる。
【００５１】さらに、流量検出部１０５において、支持
部材１０３Ｈの第２誘導面１０３ｂの加速領域１１７の
下流側に、主導管１００内の空気の流れ方向の中心軸Ｏ
に対して平行になる面を形成することにより、加速領域
１１７を通過した後の空気流の剥離を抑制することがで
きるため、流量検出素子１０４表面の流れを安定させる
ことができる。
部材１０３Ｈの第２誘導面１０３ｂの加速領域１１７の
下流側に、主導管１００内の空気の流れ方向の中心軸Ｏ
に対して平行になる面を形成することにより、加速領域
１１７を通過した後の空気流の剥離を抑制することがで
きるため、流量検出素子１０４表面の流れを安定させる
ことができる。
【００５２】実施の形態９．図１８は、この発明の実施
の形態９による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態９は、支持部
材１０３Ｉを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
の形態９による感熱式流量センサを示すものであり、図
５と同様の断面図である。この実施の形態９は、支持部
材１０３Ｉを除けば前記実施の形態１と同じ構成であ
る。
【００５３】この実施の形態９では、支持部材１０３Ｉ
の上流側の先端部１１８が流線形に形成されている。こ
れにより、支持部材１０３Ｉにおける抗力係数が小さく
なり、主導管１００内での通気抵抗が抑えられ、圧力損
失を低減することができるとともに、第１、第２誘導面
１０３ａ、１０３ｂの前縁から発達する速度境界層が薄
くなるため、第２誘導面１０３ｂに埋設された流量検出
素子１０４から流体への熱伝達率が向上し、流量変化に
対する流量検出素子１０４の感度の向上と出力の安定化
を図ることができる。
の上流側の先端部１１８が流線形に形成されている。こ
れにより、支持部材１０３Ｉにおける抗力係数が小さく
なり、主導管１００内での通気抵抗が抑えられ、圧力損
失を低減することができるとともに、第１、第２誘導面
１０３ａ、１０３ｂの前縁から発達する速度境界層が薄
くなるため、第２誘導面１０３ｂに埋設された流量検出
素子１０４から流体への熱伝達率が向上し、流量変化に
対する流量検出素子１０４の感度の向上と出力の安定化
を図ることができる。
【００５４】実施の形態１０．図１９は、この発明の実
施の形態１０による感熱式流量センサを示すものであ
り、図５と同様の断面図である。この実施の形態１０
は、支持部材１０３Ｊを除けば前記実施の形態１と同じ
構成である。
施の形態１０による感熱式流量センサを示すものであ
り、図５と同様の断面図である。この実施の形態１０
は、支持部材１０３Ｊを除けば前記実施の形態１と同じ
構成である。
【００５５】この実施の形態１０では、支持部材１０３
Ｊの先端部１１９が主導管内の空気の流れ方向の中心軸
Ｏに対して対称となるように形成されている。このよう
な構成により、支持部材１０３Ｊの第１、第２誘導面１
０３ａ、１０３ｂの前縁付近における形状抵抗を均一に
することができる。従って、吸入空気の流速分布のわず
かなちがいにより第１誘導面１０３ａあるいは第２誘導
面１０３ｂのどちらか一方へ流れ易くなるような流れの
指向性を低減できるため、流量検出素子１０４周りに安
定して吸入空気を導くことができ、高い流量検出精度を
確保することができる。
Ｊの先端部１１９が主導管内の空気の流れ方向の中心軸
Ｏに対して対称となるように形成されている。このよう
な構成により、支持部材１０３Ｊの第１、第２誘導面１
０３ａ、１０３ｂの前縁付近における形状抵抗を均一に
することができる。従って、吸入空気の流速分布のわず
かなちがいにより第１誘導面１０３ａあるいは第２誘導
面１０３ｂのどちらか一方へ流れ易くなるような流れの
指向性を低減できるため、流量検出素子１０４周りに安
定して吸入空気を導くことができ、高い流量検出精度を
確保することができる。
【００５６】実施の形態１１．図２０は、この発明の実
施の形態１１による感熱式流量センサを示すものであ
り、図５と同様の断面図である。この実施の形態１１
は、支持部材１０３Ｋを除けば、前記実施の形態１と同
じ構成である。
施の形態１１による感熱式流量センサを示すものであ
り、図５と同様の断面図である。この実施の形態１１
は、支持部材１０３Ｋを除けば、前記実施の形態１と同
じ構成である。
【００５７】この実施の形態１１では、支持部材１０３
Ｋの上流側の先端部１２０が尖鋭になるように形成され
ている。このような構成により、エアクリーナ内のエア
クリーナエレメントを通過した浮遊ダストが主導管１０
０内に流入した場合でも、支持部材１０３Ｋの先端部１
２０へのダストの堆積を抑えることができる。従って、
支持部材１０３Ｋの先端部１２０にダストが堆積しにく
いため、流量検出素子１０４周りの流れが経時的に変化
するのを効果的に抑制することができる。
Ｋの上流側の先端部１２０が尖鋭になるように形成され
ている。このような構成により、エアクリーナ内のエア
クリーナエレメントを通過した浮遊ダストが主導管１０
０内に流入した場合でも、支持部材１０３Ｋの先端部１
２０へのダストの堆積を抑えることができる。従って、
支持部材１０３Ｋの先端部１２０にダストが堆積しにく
いため、流量検出素子１０４周りの流れが経時的に変化
するのを効果的に抑制することができる。
【００５８】実施の形態１２．図２１は、この発明の実
施の形態１２による感熱式流量センサの上流側から見た
概略図、図２２は図２１の断面図、図２３は図２２のＸ
ＸＩＩＩ−ＸＸＩＩＩ線断面である。この実施の形態１
２では、主導管１００内に、環状の計測用管路１０８が
支柱１０２に保持されて配設されており、この計測用管
路１０８内に、上記実施の形態１と同様に構成された、
流量検出素子１０４を備えた支持部材１０３の一部が配
置されている。主導管１００内に吸入された空気流は、
計測用管路１０８を流通する際に流れ方向を整えるよう
に整流されるため、流量検出素子１０４周りの流れを安
定化させることができる。
施の形態１２による感熱式流量センサの上流側から見た
概略図、図２２は図２１の断面図、図２３は図２２のＸ
ＸＩＩＩ−ＸＸＩＩＩ線断面である。この実施の形態１
２では、主導管１００内に、環状の計測用管路１０８が
支柱１０２に保持されて配設されており、この計測用管
路１０８内に、上記実施の形態１と同様に構成された、
流量検出素子１０４を備えた支持部材１０３の一部が配
置されている。主導管１００内に吸入された空気流は、
計測用管路１０８を流通する際に流れ方向を整えるよう
に整流されるため、流量検出素子１０４周りの流れを安
定化させることができる。
【００５９】尚、上記実施の形態１乃至１２において、
流量検出素子１０４が設けられた支持部材１０３の第２
誘導面１０３ｂが、他方の第１誘導面１０３ａよりも下
流方向に延長することにより形成された下流側端面（１
０３ｃ〜１０３ｈ）は、本発明における旋回渦の発生を
抑制する抑制部を構成するが、このような抑制部は、上
記各実施の形態において記載されたものに限られるもの
ではなく、支持部材１０３の下流側の端部において旋回
渦の発生を抑制或いは防止する作用を有するものであれ
ば、どのような構成或いは形状のものでもよい。
流量検出素子１０４が設けられた支持部材１０３の第２
誘導面１０３ｂが、他方の第１誘導面１０３ａよりも下
流方向に延長することにより形成された下流側端面（１
０３ｃ〜１０３ｈ）は、本発明における旋回渦の発生を
抑制する抑制部を構成するが、このような抑制部は、上
記各実施の形態において記載されたものに限られるもの
ではなく、支持部材１０３の下流側の端部において旋回
渦の発生を抑制或いは防止する作用を有するものであれ
ば、どのような構成或いは形状のものでもよい。
【００６０】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に記載されるような優れた効果を奏
するものである。
れているので、以下に記載されるような優れた効果を奏
するものである。
【００６１】吸気脈動が大きな内燃機関等に感熱式流量
センサを設置するような場合においても、流量検出素子
表面における旋回渦の発生を抑制できるため、吸入空気
流量の測定誤差を低減することができる。
センサを設置するような場合においても、流量検出素子
表面における旋回渦の発生を抑制できるため、吸入空気
流量の測定誤差を低減することができる。
【００６２】また、流量検出素子が設置される側の第２
誘導面から発達する速度境界層を薄くできるため、流量
検出素子から流体への熱伝達率が向上し、流量変化に対
する流量検出素子の感度の向上と出力の安定化を図るこ
とができる。
誘導面から発達する速度境界層を薄くできるため、流量
検出素子から流体への熱伝達率が向上し、流量変化に対
する流量検出素子の感度の向上と出力の安定化を図るこ
とができる。
【００６３】また、流量検出部の支持部材の下流側端面
を凸状の曲面で形成したり、下流側端面と第２誘導面と
の結合部に丸みを設けることにより、逆流が生じた場合
においても第２誘導面に沿って流体の流れを導くことが
できるため、流量の検出精度を確保することができる。
を凸状の曲面で形成したり、下流側端面と第２誘導面と
の結合部に丸みを設けることにより、逆流が生じた場合
においても第２誘導面に沿って流体の流れを導くことが
できるため、流量の検出精度を確保することができる。
【００６４】また、流量検出素子を主導管内の流体の流
れ方向の中心軸と略平行に設置することにより、流量検
出素子にダスト等の汚損物が付着するのを抑制でき、流
量の検出精度を確保することができる。
れ方向の中心軸と略平行に設置することにより、流量検
出素子にダスト等の汚損物が付着するのを抑制でき、流
量の検出精度を確保することができる。
【００６５】また、支持部材の第２誘導面の加速領域に
流量検出素子を設置することにより、吸入空気の剥離を
抑えることができるため、流量の検出精度を確保するこ
とができる。
流量検出素子を設置することにより、吸入空気の剥離を
抑えることができるため、流量の検出精度を確保するこ
とができる。
【００６６】また、流量検出部において支持部材の上流
側を流線形状にすることにより、感熱式流量センサの上
下流で生じる圧力損失を低減することができる。
側を流線形状にすることにより、感熱式流量センサの上
下流で生じる圧力損失を低減することができる。
【００６７】また、流量検出部において支持部材の上流
側を対称形状にすることにより、吸入空気の流入状態に
よる流れの指向性（支持部材の一方の誘導面に吸入空気
が流れ易い傾向）を低減でき、流量の検出精度を確保す
ることができる。
側を対称形状にすることにより、吸入空気の流入状態に
よる流れの指向性（支持部材の一方の誘導面に吸入空気
が流れ易い傾向）を低減でき、流量の検出精度を確保す
ることができる。
【００６８】また、流量検出部において支持部材の上流
側の先端部を尖鋭にすることにより、支持部材先端部へ
のダストの堆積が抑えられ、流量の検出精度の経時的な
低下を抑制することができる。
側の先端部を尖鋭にすることにより、支持部材先端部へ
のダストの堆積が抑えられ、流量の検出精度の経時的な
低下を抑制することができる。
【００６９】また、主導管の中に空気の流れ方向と略平
行に計測用管路を設置し、その計測用管路内に流量検出
部を配設することにより、計測用管路内での流れの方向
を整えることができ、流量の検出精度を確保することが
できる。
行に計測用管路を設置し、その計測用管路内に流量検出
部を配設することにより、計測用管路内での流れの方向
を整えることができ、流量の検出精度を確保することが
できる。
【図１】 本発明の実施の形態１による感熱式流量セン
サの上流視図である。
サの上流視図である。
【図２】 本発明の実施の形態１による感熱式流量セン
サの断面図である。
サの断面図である。
【図３】 本発明の実施の形態１による感熱式流量セン
サの流量検出部の概略図である。
サの流量検出部の概略図である。
【図４】 図３の流量検出部の斜視図である。
【図５】 図３のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】 従来の流量検出部における過渡時の流れの状
態を示す概略図である。
態を示す概略図である。
【図７】 本発明の実施の形態１の流量検出部における
過渡時の流れの状態を示す概略図である。
過渡時の流れの状態を示す概略図である。
【図８】 流れの方向が検知できる従来の流量検出素子
を使用した場合の検出精度を示す図である。
を使用した場合の検出精度を示す図である。
【図９】 流れの方向が検知できない従来の流量検出素
子を使用した場合の検出精度を示す図である。
子を使用した場合の検出精度を示す図である。
【図１０】 本発明の実施の形態１の流量検出部を使用
した場合の検出精度を示す図である。
した場合の検出精度を示す図である。
【図１１】 本発明の実施の形態２による流量検出部を
示す図５と同様の断面図である。
示す図５と同様の断面図である。
【図１２】 本発明の実施の形態３による流量検出部を
示す図５と同様の断面図である。
示す図５と同様の断面図である。
【図１３】 本発明の実施の形態４による流量検出部を
示す図５と同様の断面図である。
示す図５と同様の断面図である。
【図１４】 本発明の実施の形態５による流量検出部を
示す図５と同様の断面図である。
示す図５と同様の断面図である。
【図１５】 本発明の実施の形態６による流量検出部を
示す図５と同様の断面図である。
示す図５と同様の断面図である。
【図１６】 本発明の実施の形態７による流量検出部を
示す図５と同様の断面図である。
示す図５と同様の断面図である。
【図１７】 本発明の実施の形態８による流量検出部を
示す図５と同様の断面図である。
示す図５と同様の断面図である。
【図１８】 本発明の実施の形態９による流量検出部を
示す図５と同様の断面図である。
示す図５と同様の断面図である。
【図１９】 本発明の実施の形態１０による流量検出部
を示す図５と同様の断面図である。
を示す図５と同様の断面図である。
【図２０】 本発明の実施の形態１１による流量検出部
を示す図５と同様の断面図である。
を示す図５と同様の断面図である。
【図２１】 本発明の実施の形態１２による感熱式流量
センサを上流側より見た図である。
センサを上流側より見た図である。
【図２２】 本発明の実施の形態１２による感熱式流量
センサの断面図である。
センサの断面図である。
【図２３】 図２２のＸＸＩＩ−ＸＸＩＩ線断面図であ
る。
る。
【図２４】 従来の感熱式流量センサを上流側より見た
図である。
図である。
【図２５】 図２４の従来の感熱式流量センサの断面図
である。
である。
【図２６】 自動車用エンジンの吸気系配管図である。
【図２７】 流れの方向を検出するための発熱抵抗体の
構成図である。
構成図である。
【図２８】 流れの方向を検出するための流量検出部の
斜視図である。
斜視図である。
【図２９】 流れの方向を検出するための制御回路図で
ある。
ある。
１、１００ 主導管、２、１０２ 支柱、３、１０３
支持部材、４、１０４流量検出素子、５、１０５ 流量
検出部、６、１０６ ターミナル、７、１０７ 制御回
路部、１０８ 計測用管路、９ 温度補償用抵抗体、９
ａ 順方向の流れにおいて、上流側に位置する温度補償
用抵抗体、９ｂ 順方向の流れにおいて、下流側に位置
する温度補償用抵抗体、１０ 発熱抵抗体、１０ａ 順
方向の流れにおいて、上流側に位置する発熱抵抗体、１
０ｂ 順方向の流れにおいて、下流側に位置する発熱抵
抗体、１１ 基準抵抗体、１１ａ 順方向の流れにおい
て、上流側に位置する基準抵抗体、１１ｂ 順方向の流
れにおいて、下流側に位置する基準抵抗体、１２ 差動
増幅器、１３ トランジスタ、１４ 比較器、１５ エ
アクリーナ、１６ エアクリーナエレメント、１７ 吸
気ダクト、１０３ａ 第１誘導面、１０３ｂ 第２誘導
面、１０３ｃ 下流側端面、１１４ 丸み部、１１５
第２誘導面の反り部、１１６ 丸み部、１１７ 第２誘
導面の加速領域、１１８、１１９、１２０ 支持部材の
先端部。
支持部材、４、１０４流量検出素子、５、１０５ 流量
検出部、６、１０６ ターミナル、７、１０７ 制御回
路部、１０８ 計測用管路、９ 温度補償用抵抗体、９
ａ 順方向の流れにおいて、上流側に位置する温度補償
用抵抗体、９ｂ 順方向の流れにおいて、下流側に位置
する温度補償用抵抗体、１０ 発熱抵抗体、１０ａ 順
方向の流れにおいて、上流側に位置する発熱抵抗体、１
０ｂ 順方向の流れにおいて、下流側に位置する発熱抵
抗体、１１ 基準抵抗体、１１ａ 順方向の流れにおい
て、上流側に位置する基準抵抗体、１１ｂ 順方向の流
れにおいて、下流側に位置する基準抵抗体、１２ 差動
増幅器、１３ トランジスタ、１４ 比較器、１５ エ
アクリーナ、１６ エアクリーナエレメント、１７ 吸
気ダクト、１０３ａ 第１誘導面、１０３ｂ 第２誘導
面、１０３ｃ 下流側端面、１１４ 丸み部、１１５
第２誘導面の反り部、１１６ 丸み部、１１７ 第２誘
導面の加速領域、１１８、１１９、１２０ 支持部材の
先端部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 濱田 慎悟 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 大島 丈治 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 山内 英士 東京都千代田区大手町二丁目６番２号 三 菱電機エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 古藤 悟 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内
Claims (15)
- 【請求項１】 主導管内に設置された流量検出部の発熱
体から流体への熱伝達現象に基づいて該主導管内を通過
する流体の流量あるいは流速を計測する感熱式流量セン
サにおいて、 前記流量検出部は、 流体を誘導するための第１及び第２誘導面を両側に有す
る支持部材と、 前記支持部材の前記第２誘導面に設けられた流量検出素
子と、 を備え、 前記流量検出素子が設けられた前記支持部材の前記第２
誘導面は、他方の前記第１誘導面よりも下流方向に延長
して形成されたことを特徴とする感熱式流量センサ。 - 【請求項２】 前記流量検出素子が設置された側の前記
第２誘導面と他方の前記第１誘導面とを結合する前記支
持部材の下流側端面が凹状の曲面で形成されたことを特
徴とする請求項１記載の感熱式流量センサ。 - 【請求項３】 前記流量検出素子が設置された側の前記
第２誘導面と他方の第１誘導面とを結合する前記支持部
材の下流側端面が凸状の曲面で形成されたことを特徴と
する請求項１記載の感熱式流量センサ。 - 【請求項４】 前記流量検出素子が設置される側の前記
第２誘導面の下流側の端部が凹状の反りを有することを
特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに記載の感熱
式流量センサ。 - 【請求項５】 前記支持部材の前記第１及び第２誘導面
と下流側端面との結合部が丸みを有することを特徴とす
る請求項１乃至請求項４の何れかに記載の感熱式流量セ
ンサ。 - 【請求項６】 前記流量検出素子は板状に構成され、該
板状の流量検出素子が、前記主導管内の流体の流れ方向
の中心軸と略平行になるように、前記支持部材の前記第
２誘導面に設置されたことを特徴とする請求項１乃至請
求項５の何れかに記載の感熱式流量センサ。 - 【請求項７】 前記支持部材の前記第２誘導面は、前記
主導管内の流体の流れ方向の中心軸に対して所定の角度
で傾斜して配置された加速領域を有し、前記流量検出素
子は、前記支持部材の前記第２誘導面に形成された前記
加速領域に設置されたことを特徴とする請求項１乃至請
求項５の何れかに記載の感熱式流量センサ。 - 【請求項８】 前記支持部材の前記第２誘導面に形成さ
れた前記加速領域は平面あるいは凸状に湾曲しているこ
とを特徴とする請求項７記載の感熱式流量センサ。 - 【請求項９】 前記支持部材の前記第２誘導面は、前記
加速領域の下流側に、前記主導管内の流体の流れ方向の
中心軸に対して略平行となる面を有することを特徴とす
る請求項７又は請求項８記載の感熱式流量センサ。 - 【請求項１０】 前記支持部材の前記第２誘導面に形成
された前記加速領域は、前記主導管内の流体の流れ方向
の中心軸に対して約１０°以下で傾斜した面であること
を特徴とする請求項７又は請求項９記載の感熱式流量セ
ンサ。 - 【請求項１１】 前記支持部材の上流部は流線形状であ
ることを特徴とする請求項１乃至請求項１０の何れかに
記載の感熱式流量センサ。 - 【請求項１２】 前記支持部材の上流部は、前記主導管
内の流体の流れ方向の中心軸に対して対称形となるよう
に形成されたことを特徴とする請求項１乃至請求項１１
記載の感熱式流量センサ。 - 【請求項１３】 前記支持部材の上流側の先端部は尖鋭
になっていることを特徴とする請求項１乃至請求項１２
の何れかに記載の感熱式流量センサ。 - 【請求項１４】 前記主導管の中に、流体の流れ方向と
略平行に設置された計測用管路が設けられ、その計測用
管路内に前記流量検出部が配設されたことを特徴とする
請求項１乃至請求項１３の何れかに記載の感熱式流量セ
ンサ。 - 【請求項１５】 前記主導管内に設置された流量検出部
の発熱体から流体への熱伝達現象に基づいて該主導管内
を通過する流体の流量あるいは流速を計測する感熱式流
量センサにおいて、 前記流量検出部は、 流体を誘導するための誘導面を有する支持部材と、 前記支持部材の前記誘導面に設けられた流量検出素子
と、 前記支持部材の下流側に設けられ、旋回渦の発生を抑制
する抑制部と、を備えることを特徴とする感熱式流量セ
ンサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14017798A JP3416526B2 (ja) | 1998-05-21 | 1998-05-21 | 感熱式流量センサ |
| US09/188,375 US6253606B1 (en) | 1998-05-21 | 1998-11-10 | Thermosensitive flow rate sensor |
| DE19855884A DE19855884B4 (de) | 1998-05-21 | 1998-12-03 | Wärmeempfindlicher Durchsatzsensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14017798A JP3416526B2 (ja) | 1998-05-21 | 1998-05-21 | 感熱式流量センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11326000A true JPH11326000A (ja) | 1999-11-26 |
| JP3416526B2 JP3416526B2 (ja) | 2003-06-16 |
Family
ID=15262693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14017798A Expired - Lifetime JP3416526B2 (ja) | 1998-05-21 | 1998-05-21 | 感熱式流量センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6253606B1 (ja) |
| JP (1) | JP3416526B2 (ja) |
| DE (1) | DE19855884B4 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002054962A (ja) * | 2000-05-30 | 2002-02-20 | Denso Corp | 流量測定装置 |
| US6679114B2 (en) | 2001-05-24 | 2004-01-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Thermosensitive flow rate sensor |
| JP2004505235A (ja) * | 2000-07-26 | 2004-02-19 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 流動媒体の少なくとも１つのパラメータを測定する装置 |
| JP2006047272A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-02-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 流量センサ |
| US7677097B2 (en) | 2007-05-29 | 2010-03-16 | Hitachi, Ltd. | Heating resistor-type gas flowmeter |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3709373B2 (ja) * | 2001-12-19 | 2005-10-26 | 株式会社日立製作所 | 流量計測装置 |
| JP3757194B2 (ja) * | 2002-06-28 | 2006-03-22 | 株式会社日立製作所 | 発熱抵抗体式流量測定装置 |
| US6871535B2 (en) | 2002-08-14 | 2005-03-29 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Flow direction detector |
| US6769299B2 (en) * | 2003-01-08 | 2004-08-03 | Fetso Corporation | Integral dual technology flow sensor |
| US20060159091A1 (en) * | 2005-01-19 | 2006-07-20 | Arjen Boers | Active multicast information protocol |
| US7194920B2 (en) * | 2005-03-15 | 2007-03-27 | Welker Engineering Company | Sensor probe and pipeline construction and method |
| DE102006027420B4 (de) * | 2006-06-13 | 2008-05-08 | Siemens Ag | Heißfilm-Anemometer mit in einem Strömungskörper eingebetteten Sensorelementen |
| EP1921431B1 (en) * | 2006-11-10 | 2016-02-03 | Fuji Electric Co., Ltd. | Integrated sensor including a pressure sensor and a temperature sensor |
| JP5196218B2 (ja) * | 2006-11-10 | 2013-05-15 | 富士電機株式会社 | 圧力センサ装置及び圧力センサ容器 |
| JP4404104B2 (ja) * | 2007-03-29 | 2010-01-27 | 株式会社デンソー | 空気流量測定装置 |
| JP5183164B2 (ja) * | 2007-11-19 | 2013-04-17 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 流量測定装置 |
| DE102012009421A1 (de) * | 2012-05-11 | 2013-11-14 | E + E Elektronik Ges.M.B.H. | Strömungssensor |
| DE102013108099A1 (de) * | 2012-10-19 | 2014-04-24 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Thermisches Durchflussmessgerät |
| US10444175B2 (en) | 2015-04-03 | 2019-10-15 | Denso Corporation | Measurement device |
| WO2018045016A1 (en) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | Atrex Energy, Inc. | Gas flow sensor housing and assembly providing reduced turbulence |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2728060A1 (de) * | 1977-06-22 | 1979-01-18 | Bosch Gmbh Robert | Messonde mit temperaturabhaengigem widerstand zur mengenmessung |
| DE2751196C2 (de) * | 1977-11-16 | 1985-06-20 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur Luftmengenmessung |
| DE2900220A1 (de) * | 1979-01-04 | 1980-07-17 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| JPS6013220A (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-23 | Esutetsuku:Kk | ガス流量センサ−及びその製造方法 |
| SE447318B (sv) * | 1985-05-21 | 1986-11-03 | Nils Goran Stemme | Integrerad halvledarkrets med fog av termiskt isolerande fogemne, sett att framstella kretsen samt dess anvendning i en flodesmetare |
| JPS62123318A (ja) * | 1985-08-13 | 1987-06-04 | Nippon Soken Inc | 直熱型流量センサ |
| JPH01185416A (ja) | 1988-01-20 | 1989-07-25 | Mitsubishi Electric Corp | 内燃機関用熱式流量計 |
| DE3935778A1 (de) * | 1989-10-27 | 1990-10-31 | Daimler Benz Ag | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| US4986122A (en) * | 1989-11-08 | 1991-01-22 | Hydro Data Inc. | Fluid velocity measurement instrument |
| US5086650A (en) * | 1991-01-07 | 1992-02-11 | General Motors Corporation | Low noise fluid flow sensor mounting |
| JPH06265384A (ja) | 1993-03-15 | 1994-09-20 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計 |
| JPH08219838A (ja) * | 1995-02-15 | 1996-08-30 | Hitachi Ltd | 空気流量測定装置 |
-
1998
- 1998-05-21 JP JP14017798A patent/JP3416526B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1998-11-10 US US09/188,375 patent/US6253606B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-03 DE DE19855884A patent/DE19855884B4/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002054962A (ja) * | 2000-05-30 | 2002-02-20 | Denso Corp | 流量測定装置 |
| JP2004505235A (ja) * | 2000-07-26 | 2004-02-19 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 流動媒体の少なくとも１つのパラメータを測定する装置 |
| US6679114B2 (en) | 2001-05-24 | 2004-01-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Thermosensitive flow rate sensor |
| JP2006047272A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-02-16 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 流量センサ |
| US7677097B2 (en) | 2007-05-29 | 2010-03-16 | Hitachi, Ltd. | Heating resistor-type gas flowmeter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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