JPH1130774A

JPH1130774A - プラズマアドレス情報表示素子及びその製造方法

Info

Publication number: JPH1130774A
Application number: JP18700997A
Authority: JP
Inventors: Junichiro Nakayama; 純一郎中山; Kensuke Goto; 謙輔後藤; Tadashi Une; 正宇根; Satoshi Ariyoshi; 智有好; Yoshihiro Yamamoto; 義宏山本; Kunio Kojima; 邦男小嶋
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 1997-07-11
Filing date: 1997-07-11
Publication date: 1999-02-02

Abstract

(57)【要約】【課題】従来と同じ駆動方法で駆動させても開口率の
向上を図れるようにする。【解決手段】カラーフイルター３、透明電極線４、プ
ラズマアドレス部１３の位置関係は、プラズマアドレス
部１３と透明電極線４とが「ねじれの位置」の関係であ
り、プラズマアドレス部１３の２本と、透明電極線４の
１本とが空間的に重なった部分がカラーフィルター３の
各絵素に対応している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマアドレス
情報表示素子及びその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】フラットパネルディスプレイに代表され
る情報表示素子の開発は、小型化、単色化、２値表示化
の初期段階を既に脱し、大型化、カラー化、中間調表示
や動画表示などに進展して年毎に性能の向上が図られて
いる。

【０００３】ここで、情報表示素子の一つとしてプラズ
マアドレス液晶素子の構造、製造方法及びその動作原理
について、図８〜図１１に基づいて簡単に説明すると次
のようになる。

【０００４】プラズマアドレス液晶素子は、図８に示す
ように、カラー部が形成された平面基板３１と、プラズ
マアドレス部が形成された平面基板３２との間に、液晶
材料２６が注入され、さらに平面基板３２側にバックラ
イト３０が組み合わされた構造となっている。

【０００５】カラー部が形成された平面基板３１は、偏
光板２１ａ、透明基板２２ａ、カラーフィルター２３、
透明電極線２４、配向膜２５ａからなり、一方のプラズ
マアドレス部３３が形成された平面基板３２は、偏光板
２１ｂ、透明基板２２ｂ、隔壁２８、電極線（アノード
２９Ａとカソード２９Ｃ）、透明薄板基板２７、配向膜
２５ｂからなっている。

【０００６】ここで、プラズマアドレス部３３について
図９および図１０を用いて説明する。

【０００７】プラズマアドレス部３３は、透明基板２２
ｂ、隔壁２８および透明薄板基板２７で囲まれた空間に
は、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｘｅ等の不活性ガスが１０〜１
０⁴Ｐａ、好ましくは１０²〜１０³Ｐａのガス圧で封入
されている。

【０００８】情報の書き込みおよび保持は、以下のよう
に行う。

【０００９】まず、図９（ａ）に示すようにアノード２
９Ａとカソード２９Ｃとの間に１００Ｖ〜５００Ｖの電
圧を印加、即ちカソード２９Ｃに電圧Ｅｃを印加し放電
を起こす。図においては、マイナス帯電している粒子を
黒丸（●）、プラス帯電している粒子を白丸（○）で示
している。

【００１０】次に、図９（ｂ）に示すようにカラー部が
形成された平面基板３１の透明電極線２４に、＋５０Ｖ
〜＋１００Ｖの電圧Ｅｄを印加することにより情報を書
き込み、続いて図９（ｃ）に示すように放電を止めるこ
とにより、透明薄板基板２７界面をマイナスに帯電させ
ることにより情報の保持を行う。

【００１１】逆に、プラスに帯電させたい場合には、図
１０（ｄ）、（ｅ）および（ｆ）に示すように行う。す
なわち、図１０（ｄ）に示すようにアノード２９Ａとカ
ソード２９Ｃとの間に１００Ｖ〜５００Ｖの電圧を印
加、即ちカソード２９Ｃに電圧Ｅｃを印加し放電を起こ
す。次に、図１０（ｅ）に示すようにカラー部が形成さ
れた平面基板３１の透明電極線２４に、−５０Ｖ〜−１
００Ｖの電圧Ｅｄを印加することにより情報を書き込
み、続いて図１０（ｆ）に示すように放電を止めること
により、透明薄板基板２７界面をプラスに帯電させるこ
とにより情報の保持を行う。

【００１２】図１１（ａ）は上記電圧Ｅｃの時間的変化
を、図１１（ｂ）は上記電圧Ｅｄの時間的変化を示して
いる。図１１中の期間を示すａ、ｂ、ｃは各々図９
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に対応し、同じくｄ、ｅ、ｆは
各々図１０（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）に対応したものであ
る。

【００１３】さらに、開口率を向上させるために、前記
不活性ガスを封入するための室に仕切る絶縁性の隔壁２
８を、アノードやカソードとして機能する各電極上に設
けたプラズマアドレス電極構体が提案されている（特開
平６−２２２３４６）。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この提
案の構造では、特開平６−２２２３４６公報の第７ペー
ジ［００５９］〜［００６２］にあるように、前記電極
に対して印加する電圧に工夫が必要である等の問題点を
有しており、図９および図１０に示した従来と同じ駆動
方法を用いることができず、従来の駆動方法を適用しよ
うとすると開口率が小さくなるという問題点がある。

【００１５】本発明は、このような従来技術の課題を解
決すべくなされたものであり、従来と同じ駆動方法で駆
動させても開口率の向上を図れるプラズマアドレス情報
表示素子及びその製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明のプラズマアドレ
ス情報表示素子は、透明基板と透明薄板基板との間に、
電極線と絶縁体からなる隔壁とが、該電極線を該透明基
板側に配し、かつ、該電極線の上に該隔壁を配して、一
定間隔で設けられ、両基板間が電極線および隔壁にて隔
てられた空間にガスが封入されてプラズマアドレス部が
構成され、該透明基板上にカラーフィルターと透明電極
線とが、該透明電極線を該プラズマアドレス部に対して
ねじれの位置関係として設けられ、該プラズマアドレス
部２本と該透明電極線１本とが空間的に重なった部分が
カラーフィルターの各絵素に対応し、そのことにより上
記目的が達成される。

【００１７】本発明のプラズマアドレス情報表示素子に
おいて、前記隔壁が、前記電極線との接合部付近の幅を
他の部分における幅よりも細くして形成されている構成
とすることができる。

【００１８】本発明のプラズマアドレス情報表示素子に
おいて、前記隔壁と前記電極線との幅が、厚み方向にお
いてすべて同一である構成とすることができる。

【００１９】本発明のプラズマアドレス情報表示素子の
製造方法は、透明基板上に、電極線用材料を印刷し、電
極線を形成する工程と、該電極線の上に、電極線の幅よ
り小さい幅で隔壁用絶縁材料を複数回印刷する工程と、
前記工程に続いて前記電極線の幅と同一の幅で隔壁用絶
縁材料を印刷する工程とを含み、そのことにより上記目
的が達成される。

【００２０】本発明のプラズマアドレス情報表示素子の
製造方法は、透明基板上に、電極線用材料からなる膜及
び隔壁用絶縁材料からなる膜を基板側からこの順に積層
形成する工程と、該電極線用材料からなる膜及び隔壁用
絶縁材料からなる膜を、マスクまたはレジストを用いて
エッチングすることにより電極線および隔壁を形成する
工程と、該隔壁上に透明薄板基板を設け、両基板間の該
電極線及び該隔壁にて隔てられた空間に不活性ガスを封
入することによりプラズマアドレス部を形成する工程と
を含み、そのことにより上記目的が達成される。

【００２１】以下に、本発明の作用について説明する。

【００２２】本発明にあっては、プラズマアドレス部２
本と透明電極線１本とが空間的に重なった部分がカラー
フィルターの各絵素に対応しているので、例えば、各絵
素に含まれる３つの電極線の中央のものに所定の電位を
与え、両側の電極線を接地電位とする駆動方式を採用で
きることとなる。よって、図９および図１０に示した従
来の駆動方法を用いても、開口率の向上を図ることが可
能となる。

【００２３】また、隔壁の幅と電極線の幅とを同一にす
る場合は、電極線寄りの隔壁部分の幅を他の隔壁部分よ
りも小さくすると、電極線をプラズマアドレス部内に露
出させることができる。また、隔壁による遮光領域と電
極線による遮光領域とが同一となるため、開口率が更に
向上する。更に、電極線の露出面積を大きくとることが
でき、放電状態を安定させることができる。

【００２４】このような構造のプラズマアドレス情報表
示素子は、請求項４のように、透明基板上に、電極線用
材料を印刷し、電極線を形成し、その電極線の上に、電
極線の幅より小さい幅で隔壁用絶縁材料を複数回印刷
し、これに続いて前記電極線の幅と同一の幅で隔壁用絶
縁材料を印刷することにより製造される。

【００２５】また、前記隔壁と前記電極線との幅が、厚
み方向においてすべて同一である構成とした場合には、
隔壁による遮光領域と電極線による遮光領域とが同一と
なるため、開口率が更に向上する。また、電極線端部の
経時変化が少なく信頼性が向上する。この場合のプラズ
マアドレス情報表示素子は、従来の印刷法を用いても容
易に製造できる。

【００２６】また、本発明の請求項５の製造方法による
場合には、隔壁の形成に印刷法を用いていないので、正
確な位置合せなどの高度な印刷技術が不要となり、電極
線が絶縁体からなる隔壁に埋め込まれた形状であるの
で、電極線端部の経時変化が少なく信頼性が向上すると
いう効果を奏する。さらに電極線の形成が容易になると
いう効果を奏する。

【００２７】

【発明の実施の形態】

〔第１の実施形態〕本発明の第１の実施形態のプラズマ
アドレス情報表示素子について、図１、図２に基づいて
説明する。

【００２８】図１は本発明の第１の実施形態のプラズマ
アドレス情報表示素子を示す断面図であり、図２は本発
明の第１の実施形態のプラズマアドレス部と透明電極線
との位置関係を示す分解斜視図である。

【００２９】プラズマアドレス情報表示素子は、図１に
示すように、カラー部が形成された平面基板１１と、プ
ラズマアドレス部１３が形成された平面基板１２との間
に、液晶材料６が注入され、さらに平面基板１２側にバ
ックライト１０が組み合わされた構造となっている。

【００３０】カラー部が形成された平面基板１１は、偏
光板１ａ、板厚０．５ｍｍ〜２．０ｍｍのガラスからな
る透明基板２ａ、カラーフイルター３、ＩＴＯ、ＳｎＯ
₂、ＩＴＯ＋ＳｎＯ₂等からなる透明電極線４、高分子膜
からなる配向膜５ａから構成されている。一方、プラズ
マアドレス部が形成された平面基板１２は、偏光板１
ｂ、板厚０．５ｍｍ〜３．０ｍｍのガラスからなる透明
基板２ｂ、ＳｉＯ₂等からなる隔壁８、Ｎｉ、Ａｌ等の
金属からなる電極線（アノード９Ａとカソード９Ｃ）、
板厚１０μｍ〜１００μｍのガラスからなる透明薄板基
板７、高分子膜からなる配向膜５ｂから構成されてい
る。

【００３１】図２は、カラーフイルター３、透明電極線
４、プラズマアドレス部１３の位置関係を説明するため
の斜視図であるが、プラズマアドレス部１３と上記透明
電極線４とが「ねじれの位置」の関係であり、プラズマ
アドレス部１３の２本と、透明電極線４の１本とが空間
的に重なった部分がカラーフィルター３の各絵素に対応
している。

【００３２】ここで、プラズマアドレス部１３について
図３及び図４を用いて少し説明する。

【００３３】プラズマアドレス部１３は、透明基板２
ｂ、隔壁８、透明薄板基板７とで囲まれた空間には、Ｈ
ｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｘｅ等の希ガスが１０Ｐａ〜１０⁴Ｐ
ａ、好ましくは１０²Ｐａ〜５×１０³Ｐａのガス圧で封
入されている。

【００３４】情報の書き込みおよび保持は以下のように
行う。

【００３５】まず、図３（ａ）に示すようにアノード９
Ａとカソード９Ｃとの間に、１００Ｖ〜５００Ｖの電圧
を印加、即ちカソード９Ｃに例えば−３００Ｖ〜−４５
０Ｖの電圧Ｅｃを印加し放電を起こす。図においては、
マイナス帯電している粒子を黒丸（●）、プラス帯電し
ている粒子を白丸（○）で示している。

【００３６】次に、図３（ｂ）に示すように、カラー部
が形成された平面基板１１の透明電極線４に、＋５０Ｖ
〜＋１００Ｖの電圧Ｅｄを印加することにより情報を書
き込み、続いて、図３（ｃ）に示すように放電を止め
る。これにより、透明薄板基板７界面をマイナスに帯電
させて情報の保持を行う。

【００３７】逆に、プラスに帯電させたい場合には、図
４（ｄ）、（ｅ）、（ｆ）に示すように行う。すなわ
ち、図４（ｄ）に示すようにアノード９Ａとカソード９
Ｃとの間に、１００Ｖ〜５００Ｖの電圧を印加、即ちカ
ソード９Ｃに例えば−３００Ｖ〜−４５０Ｖの電圧Ｅｃ
を印加し放電を起こす。次に、図４（ｅ）に示すよう
に、カラー部が形成された平面基板１１の透明電極線４
に−５０Ｖ〜−１００Ｖの電圧Ｅｄを印加することによ
り情報を書き込み、続いて、図４（ｆ）に示すように放
電を止める。これにより、透明薄板基板７界面をプラス
に帯電させて情報の保持を行う。

【００３８】なお、以上の情報の書き込みおよび保持の
ために行った電位の調整は、１絵素を構成する３つの電
極線の中央のものに所定の電位を与え、両側の電極線を
接地電位とする。

【００３９】ここで、図１に示すように、隔壁８の幅は
１００μｍ程度、隔壁８間の距離は３５０μｍ程度、電
極線（アノード９Ａとカソード９Ｃ）の太さが１５０μ
ｍ程度であるので、開口率は［１−｛（１５０／２）×
２｝／３５０］×１００＝５７％となる。これに対し、
図８に示す従来のプラズマアドレス情報表示素子は、隔
壁８の幅は１００μｍ程度、隔壁８間の距離は７００μ
ｍ程度、電極線（アノード９Ａとカソード９Ｃ）の太さ
が１５０μｍ程度であるので、開口率は［１−｛（１５
０＋５０）×２｝／７００］×１００＝４３％である。
よって、本実施形態の場合は、従来に比べて開口率が約
１４％向上する。

【００４０】本実施形態は、板厚０．５ｍｍ〜３．０ｍ
ｍのガラスからなる透明基板２ｂにＮｉ等の金属からな
る電極線（アノード９Ａとカソード９Ｃ）が直接形成さ
れているが、界面との接合性を向上させるために、例え
ばＳｉＯ₂等からなる下地膜を形成してもよい。さら
に、隔壁８や電極線（アノード９Ａとカソード９Ｃ）の
形成には、印刷法やサンドブラスト法等が用いられる
が、上述の機能を満たしていればこの限りではない。

【００４１】このようなプラズマアドレス情報表示素子
とすることにより、駆動方式が従来と同じで、電極線
（アノード９Ａとカソード９Ｃ）の特性を損なうことな
く、開口率が向上するという効果がある。

【００４２】〔第２の実施形態〕本発明の第２の実施形
態のプラズマアドレス情報表示素子について、図５に基
づいて説明すれば、以下の通りである。

【００４３】図５は本発明の第２の実施形態のプラズマ
アドレス情報表示素子を示す断面図である。なお、この
第２の実施形態のプラズマアドレス部と透明電極線との
位置関係は図２に示すようになっている。

【００４４】このプラズマアドレス情報表示素子は、図
５に示すように、カラー部が形成された平面基板１１
と、プラズマアドレス部１３が形成された平面基板１２
との間に、液晶材料６が注入され、さらに平面基板１２
側にバックライト１０が組み合わされた構造となってい
る。

【００４５】カラー部が形成された平面基板１１は、偏
光板１ａ、板厚０．５ｍｍ〜２．０ｍｍのガラスからな
る透明基板２ａ、カラーフィルター３、ＩＴＯ、ＳｎＯ
₂、ＩＴＯ＋ＳｎＯ₂等からなる透明電極線４、高分子膜
からなる配向膜５ａからなる。一方、プラズマアドレス
部１３が形成された平面基板１２は、偏光板１ｂ、板厚
０．５ｍｍ〜３．０ｍｍのガラスからなる透明基板２
ｂ、ＳｉＯ₂等からなる隔壁８、Ｎｉ等の金属からなる
電極線（アノード９Ａとカソード９Ｃ）、板厚１０μｍ
〜１００μｍのガラスからなる透明薄板基板７、高分子
膜からなる配向膜５ｂからなる。

【００４６】透明基板２ｂと隔壁８との接合部付近にお
ける隔壁８の幅は５０μｍ程度、他の部分における隔壁
８の幅は１００μｍ程度、隔壁８間の距離は３５０μｍ
程度、電極線の太さが１００μｍ程度であるので、開口
率は［１−｛（１００／２）×２｝／３５０］×１００
＝７１％となる。一方、図８に示す従来のプラズマアド
レス情報表示素子は、隔壁８の幅は１００μｍ程度、隔
壁８間の距離は７００μｍ程度、電極線（アノード９Ａ
とカソード９Ｃ）の太さが１５０μｍ程度であるので、
開口率が［１−｛（１５０＋５０）×２｝／７００］×
１００＝４３％であったことに比べ、本実施形態の場合
には開口率が約２８％向上する。

【００４７】本実施形態は、板厚０．５ｍｍ〜３．０ｍ
ｍのガラスからなる透明基板２ｂにＮｉ等の金属からな
る電極線（アノード９Ａとカソード９Ｃ）が直接形成さ
れているが、界面との接合性を向上させるために、例え
ばＳｉＯ₂等からなる下地膜を形成してもよい。さら
に、隔壁８および電極線（アノード９Ａとカソード９
Ｃ）の形成には、印刷法やサンドブラスト法等が用いら
れるが、上述の機能を満たしていればこの限りではな
い。

【００４８】プラズマアドレス部の動作原理は、第１の
実施形態と同じである。

【００４９】このようなプラズマアドレス情報表示素子
とすることにより、電極線（アノード９Ａとカソード９
Ｃ）の特性を損なうことなく、開口率が向上するという
効果がある。

【００５０】図５のプラズマアドレス情報表示素子にお
ける隔壁は、以下のようにして作製することができる。
透明基板２ｂ上に、電極線用材料を印刷して電極線（ア
ノード９Ａとカソード９Ｃ）を形成し、その電極線（ア
ノード９Ａとカソード９Ｃ）の上に、電極線の幅より小
さい幅で隔壁用絶縁材料を複数回印刷する。例えば、１
回目の印刷で５０μｍの幅を印刷し、２回目に６０μ
ｍ、３回目に７０μｍ、…、６回目の印刷で１００μｍ
の幅を印刷し、これに続いて前記電極線の幅と同一の１
００μｍの幅で隔壁用絶縁材料を印刷することにより製
造される。この場合、６回目以降の印刷により、電極線
の幅と同一の１００μｍの幅の隔壁が形成される。

【００５１】〔第３の実施形態〕本発明の第３の実施形
態のプラズマアドレス情報表示素子について、図６に基
づいて説明すれば、以下の通りである。

【００５２】図６は本発明の第３の実施形態のプラズマ
アドレス情報表示素子を示す断面図である。この第３の
実施形態のプラズマアドレス部と透明電極線との位置関
係は図２に示すようになっている。

【００５３】このプラズマアドレス情報表示素子は、図
６に示すように、カラー部が形成された平面基板１１
と、プラズマアドレス部１３が形成された平面基板１２
との間に、液晶材料６が注入され、さらに平面基板１２
側にバックライト１０が組み合わされた構造となってい
る。

【００５４】カラー部が形成された平面基板１１は、偏
光板１ａ、板厚０．５ｍｍ〜２．０ｍｍのガラスからな
る透明基板２ａ、カラーフィルター３、ＩＴＯ、ＳｎＯ
₂、ＩＴＯ＋ＳｎＯ₂等からなる透明電極線４、高分子膜
からなる配向膜５ａからなる。一方、プラズマアドレス
部１３が形成された平面基板１２は、偏光板１ｂ、板厚
０．５ｍｍ〜３．０ｍｍのガラスからなる透明基板２
ｂ、ＳｉＯ₂等からなる隔壁８、Ｎｉ等の金属からなる
電極線（アノード９Ａとカソード９Ｃ）、板厚１０μｍ
〜１００μｍのガラスからなる透明薄板基板７、高分子
膜からなる配向膜５ｂからなる。

【００５５】本実施形態における隔壁８の幅は１００μ
ｍ程度、隔壁８間の距離は３５０μｍ程度、電極線の幅
が１００μｍ程度である。この場合の開口率は、［１−
｛（１００／２）×２｝／３５０］×１００＝７１％と
なる。

【００５６】次に、本実施形態にかかるプラズマアドレ
ス情報表示素子のプラズマアドレス部の製造方法につい
て図７を用いて説明する。

【００５７】まず、図７（ａ）に示すように、透明基板
２ｂ上に電極材料９を、印刷法等により形成する。

【００５８】次に、図７（ｂ）に示すように、印刷法等
により絶縁体８ａを形成する。

【００５９】次に、図７（ｃ）に示すように、マスクも
しくはレジスト１４を形成し、続いて、図７（ｄ）に示
すように、物理的エッチングにより隔壁８、電極線（ア
ノード９Ａとカソード９Ｃ）を形成する。

【００６０】最後に、図７（ｅ）に示すように、透明薄
板基板７を積層し、プラズマアドレス部１３の内部に不
活性ガスを封入する。

【００６１】この第３の実施形態では、隔壁８、電極線
（アノード９Ａとカソード９Ｃ）の形成に高度な印刷技
術が不要となる。さらに、電極線（アノード９Ａとカソ
ード９Ｃ）が絶縁体からなる隔壁８に埋め込まれている
ので、電極線（アノード９Ａとカソード９Ｃ）の端部の
経時変化が少なく、信頼性が向上する。

【００６２】上記物理的エッチングとしては、サンドブ
ラスト法や、化学エッチングには弗化水素や臭素水素を
用いたドライエッチング、弗化水素水を用いたウェット
エッチング等があるが、この限りではない。

【００６３】本実施形態のプラズマアドレス情報表示素
子の動作原理は、第１の実施形態と同じである。このよ
うなプラズマアドレス情報表示素子の構造及びその製造
方法とすることにより、隔壁形成のために高精度の印刷
技術が必要なく、さらに開口率が向上するという効果が
ある。

【００６４】

【発明の効果】以上のように、本発明による場合には、
プラズマアドレス部２本と透明電極線１本とが空間的に
重なった部分がカラーフィルターの各絵素に対応してい
るので、例えば、各絵素に含まれる３つの電極線の中央
のものに所定の電位を与え、両側の電極線を接地電位と
する駆動方式を採用できることとなる。よって、図９お
よび図１０に示した従来の駆動方法を用いても、開口率
の向上を図ることが可能となる。

【００６５】また、隔壁の幅と電極線の幅とを同一にす
る場合は、電極線寄りの隔壁部分の幅を他の隔壁部分よ
りも小さくすると、電極線をプラズマアドレス部内に露
出させることができる。また、隔壁による遮光領域と電
極線による遮光領域とが同一となるため、開口率が更に
向上する。更に、電極線の露出面積を大きくとることが
でき、放電状態を安定させることができる。

【００６６】このような構造のプラズマアドレス情報表
示素子は、請求項４のように、透明基板上に、電極線用
材料を印刷し、電極線を形成し、その電極線の上に、電
極線の幅より小さい幅で隔壁用絶縁材料を複数回印刷
し、これに続いて前記電極線の幅と同一の幅で隔壁用絶
縁材料を印刷することにより製造される。

【００６７】また、前記隔壁と前記電極線との幅が、厚
み方向においてすべて同一である構成とした場合には、
隔壁による遮光領域と電極線による遮光領域とが同一と
なるため、開口率が更に向上する。また、電極線端部の
経時変化が少なく信頼性が向上する。この場合のプラズ
マアドレス情報表示素子は、従来の印刷法を用いても容
易に製造できる。

【００６８】また、本発明の請求項５の製造方法による
場合には、隔壁の形成に印刷法を用いていないので、正
確な位置合せなどの高度な印刷技術が不要となり、電極
線が絶縁体からなる隔壁に埋め込まれた形状であるの
で、電極線端部の経時変化が少なく信頼性が向上すると
いう効果を奏する。さらに電極線の形成が容易になると
いう効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態のプラズマアドレス情
報表示素子を示す断面図である。

【図２】本発明の第１の実施形態〜第３の実施形態のプ
ラズマアドレス部と透明電極線との関係を示す分解斜視
図である。

【図３】本発明の第１の実施形態〜第３の実施形態のプ
ラズマアドレス部の動作原理を示す説明図（断面図）で
ある。

【図４】本発明の第１の実施形態〜第３の実施形態のプ
ラズマアドレス部の動作原理を示す説明図（断面図）で
ある。

【図５】本発明の第２の実施形態のプラズマアドレス情
報表示素子を示す断面図である。

【図６】本発明の第３の実施形態のプラズマアドレス情
報表示素子を示す断面図である。

【図７】本発明の第３の実施形態のプラズマアドレス情
報表示素子の製造方法を示す工程断面図である。

【図８】従来のプラズマアドレス情報表示素子を示す断
面図である。

【図９】従来のプラズマアドレス情報表示素子のプラズ
マアドレス部の動作を示す説明図（断面図）である。

【図１０】従来のプラズマアドレス情報表示素子のプラ
ズマアドレス部の動作を示す説明図（断面図）である。

【図１１】従来のプラズマアドレス情報表示素子のプラ
ズマアドレス部の印加電圧を示す説明図である。

【符号の説明】

１ａ、１ｂ、２１ａ、２１ｂ偏光板２ａ、２ｂ、２２ａ、２２ｂ透明基板３、２３カラーフィルター４、２４透明電極線５ａ、５ｂ、２５ａ、２５ｂ配向膜６、２６液晶材料７、２７透明薄板基板８、２８隔壁９電極材料９Ａ、２９Ａアノード９Ｃ、２９Ｃカソード１０、３０バックライト１４マスクもしくはレジスト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者有好智大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内 (72)発明者山本義宏大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内 (72)発明者小嶋邦男大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号シャープ株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板と透明薄板基板との間に、電極
線と絶縁体からなる隔壁とが、該電極線を該透明基板側
に配し、かつ、該電極線の上に該隔壁を配して、一定間
隔で設けられ、両基板間が電極線および隔壁にて隔てら
れた空間にガスが封入されてプラズマアドレス部が構成
され、該透明基板上にカラーフィルターと透明電極線とが、該
透明電極線を該プラズマアドレス部に対してねじれの位
置関係として設けられ、該プラズマアドレス部２本と該
透明電極線１本とが空間的に重なった部分がカラーフィ
ルターの各絵素に対応しているプラズマアドレス情報表
示素子。
【請求項２】前記隔壁が、前記電極線との接合部付近
の幅を他の部分における幅よりも細くして形成されてい
る請求項１に記載のプラズマアドレス情報表示素子。
【請求項３】前記隔壁と前記電極線との幅が、厚み方
向においてすべて同一である請求項１に記載のプラズマ
アドレス情報表示素子。
【請求項４】透明基板上に、電極線用材料を印刷し、
電極線を形成する工程と、該電極線の上に、電極線の幅より小さい幅で隔壁用絶縁
材料を複数回印刷する工程と、前記工程に続いて前記電極線の幅と同一の幅で隔壁用絶
縁材料を印刷する工程とを含むプラズマアドレス情報表
示素子の製造方法。
【請求項５】透明基板上に、電極線用材料からなる膜
及び隔壁用絶縁材料からなる膜を基板側からこの順に積
層形成する工程と、該電極線用材料からなる膜及び隔壁用絶縁材料からなる
膜を、マスクまたはレジストを用いてエッチングするこ
とにより電極線および隔壁を形成する工程と、該隔壁上に透明薄板基板を設け、両基板間の該電極線及
び該隔壁にて隔てられた空間に不活性ガスを封入するこ
とによりプラズマアドレス部を形成する工程とを含むプ
ラズマアドレス情報表示素子の製造方法。