JPH11307251A - 発光ディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
発光ディスプレイパネルの製造方法Info
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- JPH11307251A JPH11307251A JP10126896A JP12689698A JPH11307251A JP H11307251 A JPH11307251 A JP H11307251A JP 10126896 A JP10126896 A JP 10126896A JP 12689698 A JP12689698 A JP 12689698A JP H11307251 A JPH11307251 A JP H11307251A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/861—Repairing
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
題点を解消した発光ディスプレイパネルの製造方法を提
供する。 【解決手段】 基板の一面上に少なくとも透明電極、
発光層、金属電極が順次積層された後に、前記基板をド
ライエッチングする。また、前記工程の後に、基板を封
止する封止工程を行うこと、発光層は有機ＥＬ材料を含
むものである。
Description
機ＥＬ材料を用いる有機ＥＬディスプレイパネル等の発
光ディスプレイパネルの製造方法に関する。
を用いる有機ＥＬディスプレイパネル等の発光ディスプ
レイパネルが知られている。この種の発光ディスプレイ
プレイパネルは、図５に示すように、ガラス透明基板１
０１の一面上にＩＴＯ等の複数本の透明電極１０２、正
孔輸送層及び発光層等からなる有機層１０３、透明電極
１０２に交差する複数本の金属電極１０４が順次積層さ
れて構成されるものであり、透明電極１０２と金属電極
１０４により挟まれた発光層の領域が発光部となるもの
である。ここで、有機層１０３及び金属電極１０４は蒸
着により形成されるのが一般的である。また、金属電極
１０４はＡｌ−Ｌｉ、Ｍｇ−Ａｑ等の仕事関数が小さい
金属が用いられる。
プレイパネルの製造にあたっては、透明電極に傷があっ
たり、埃、塵等が付着すると以下の理由により、製造時
の歩留まりの悪化を招いていた。
付着した場合の発光ディスプレイパネルの断面を図６に
示す。同図に示すとおり、傷１０５が発生したところで
は蒸着された有機層材料が堆積しにくくなり、傷１０５
近傍における有機層の厚みは他と比べて薄くなる。よっ
て、この部分においては他の部分よりも透明電極と金属
電極が近接するため、通電した際にリーク電流が生じた
り、最悪の場合、透明電極と金属電極がショートし、正
常な発光が行われないことになる。なお、図６に示すよ
うに透明電極に埃、塵１０６などが付着した場合も同様
の理由により、ショート、リークの問題があった。
ものであり、請求項１に記載の発明は、透明基板の一面
上に少なくとも透明電極、発光層、金属電極が順次積層
されてなる発光ディスプレイパネルの製造方法であっ
て、該金属電極を形成した後に、パネルをドライエッチ
ングする工程を行うことを特徴としている。
に記載の発明において、前記工程の後に、基板を封止す
る封止工程を行うことを特徴としている。
または２に記載の発明において、前記発光層は有機ＥＬ
材料を含むものであることを特徴としている。
ート、リークの発生箇所となっていた有機層及び金属電
極の薄肉部分を除去することができるので、通電による
ショート、リークの発生を極力抑えることができ、歩留
まりの良い発光ディスプレイパネルを提供することがで
きる。
て、図面を基にして説明する。なお、従来と同一の構成
には同一の符号を付してある。
透明基板の一面上に少なくとも透明電極、発光層、金属
電極を形成した後に、基板をドライエッチングすること
を特徴としており、ドライエッチングは従来周知の方法
を適用できるが、本発明の場合は、一般に微細加工に用
いられている反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）が好適
である。
すものである。エッチング室２００は所定圧のプロセス
ガスが導入される吸気口２００ａと真空排気のために排
気口２００ｂを備えており、室内には一対の平板電極２
０１が対向配置され、この平板電極２０１に高周波電源
２０２により高周波を印加して室内にプラズマを発生さ
せるようにしている。基板１０１は平板電極２０１の上
に設置され、これに発生したイオンが入射して反応が進
行する。
ト、リークの発生が減少する理由について図２〜図４を
基に説明する。
塵１０６により、有機層１０３及び金属電極１０４の縁
部１０３ａ、１０４ａが他の部分にくらべて薄肉に形成
された状態を示すものである。このとき、有機層１０３
の縁部１０３ａの先端は金属電極１０４に覆われず露出
されている。従って、イオンは図示する矢印の方向から
進入し、発光層１０３は縁部１０３ａ側から反応して除
去されていく。
された状態を示すものである。このとき金属電極１０４
の縁部１０４ａは突出する状態となるが、縁部１０４ａ
は薄肉のため金属電極１０４の他の部分に比べて脆くな
っている。よって、縁部１０４ａはイオンの衝突により
破壊されて除去される。
３の縁部１０３ａと金属電極１０４の縁部１０４ａが除
去される。これにより、ショート、リークの発生箇所と
なっていた薄肉部分が除去されるため、従来における問
題点は解消される。
程を続行すると、発光層１０３の正規の厚みを有する部
分にも反応が進行し、発光領域を狭めることになってし
まう。従って、ドライエッチング工程の時間は、各種条
件により適宜設定されることが望ましい。
止缶及び封止膜により、パネルを封止する工程が行われ
る。図４の状態では、発光層１０３の一部が露出して外
気中の湿気に触れやすい状態となっているため、封止工
程は早急に行われることが望ましい。
スプレイの製造方法においては、透明基板の一面上に少
なくとも透明電極、発光層、金属電極を順次積層した後
に、基板にドライエッチング工程を施すことにより、シ
ョート、リークの発生箇所となっていた有機層及び金属
電極の薄肉部分を除去することができるので、通電によ
るショート、リークの発生を極力抑えることができ、歩
留まりの良い発光ディスプレイパネルを提供することが
できる。
Claims (3)
- 【請求項１】 基板の一面上に少なくとも透明電極、発
光層、金属電極が順次積層されてなる発光ディスプレイ
パネルの製造方法であって、 該金属電極を形成した後に、前記基板をドライエッチン
グする工程を行うことを特徴とする発光ディスプレイパ
ネルの製造方法。 - 【請求項２】 前記工程の後に、基板を封止する封止工
程を行うことを特徴とする請求項１に記載の発光ディス
プレイパネルの製造方法。 - 【請求項３】 前記発光層は有機ＥＬ材料を含むもので
あることを特徴とする請求項１または２に記載の発光デ
ィスプレイの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10126896A JPH11307251A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | 発光ディスプレイパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10126896A JPH11307251A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | 発光ディスプレイパネルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11307251A true JPH11307251A (ja) | 1999-11-05 |
Family
ID=14946566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10126896A Pending JPH11307251A (ja) | 1998-04-21 | 1998-04-21 | 発光ディスプレイパネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11307251A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007099476A1 (en) * | 2006-03-03 | 2007-09-07 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Electroluminescent arrangement |
| FR2991505A1 (fr) * | 2012-06-05 | 2013-12-06 | Commissariat Energie Atomique | Procede de realisation d'un empilement du type premiere electrode/couche active/deuxieme electrode. |
-
1998
- 1998-04-21 JP JP10126896A patent/JPH11307251A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007099476A1 (en) * | 2006-03-03 | 2007-09-07 | Philips Intellectual Property & Standards Gmbh | Electroluminescent arrangement |
| US7990055B2 (en) | 2006-03-03 | 2011-08-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Electroluminescent arrangement having detached electrode and method of fabricating the same |
| FR2991505A1 (fr) * | 2012-06-05 | 2013-12-06 | Commissariat Energie Atomique | Procede de realisation d'un empilement du type premiere electrode/couche active/deuxieme electrode. |
| WO2013182970A1 (fr) * | 2012-06-05 | 2013-12-12 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Procédé de réalisation d'un empilement du type première électrode/couche active/deuxième électrode. |
| US9735361B2 (en) | 2012-06-05 | 2017-08-15 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Method of making a stack of the type comprising a first electrode, an active layer, and a second electrode |
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