JPH11283960A - エッチング用キャリア - Google Patents
エッチング用キャリアInfo
- Publication number
- JPH11283960A JPH11283960A JP8539898A JP8539898A JPH11283960A JP H11283960 A JPH11283960 A JP H11283960A JP 8539898 A JP8539898 A JP 8539898A JP 8539898 A JP8539898 A JP 8539898A JP H11283960 A JPH11283960 A JP H11283960A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- handle
- wafer
- movable part
- etching
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ウェットエッチングにおいて、キャリアに対
して相対的にウェハを移動することが可能な機構を持っ
たエッチング用キャリアを提供する。 【解決手段】 複数枚のウェハを支えるキャリア部と、
前記キャリア部を保持すると共に、エッチャント内で前
記キャリア部の位置を導くハンドル部と、前記キャリア
部底部両側面に設けられたスリットと、該両スリットに
支えられて、前記複数枚のウェハに接触するよう配置さ
れると共に、前記ハンドル部と連結された可動部品と、
を少なくとも備えてなり、前記ハンドル部の動きに伴っ
て前記可動部品が移動し、前記ウェハを上下動させてな
る。
して相対的にウェハを移動することが可能な機構を持っ
たエッチング用キャリアを提供する。 【解決手段】 複数枚のウェハを支えるキャリア部と、
前記キャリア部を保持すると共に、エッチャント内で前
記キャリア部の位置を導くハンドル部と、前記キャリア
部底部両側面に設けられたスリットと、該両スリットに
支えられて、前記複数枚のウェハに接触するよう配置さ
れると共に、前記ハンドル部と連結された可動部品と、
を少なくとも備えてなり、前記ハンドル部の動きに伴っ
て前記可動部品が移動し、前記ウェハを上下動させてな
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体ウェハのエッ
チング用キャリアに関するものである。
チング用キャリアに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１、図２に基づいて従来の技術を説明
する。
する。
【０００３】図１のごとく、ウェハ、或いはウェハの被
着物を薬液に浸してエッチングするとき、ウェハを支え
るためにキャリア１を用いる。キャリアはウェハ２を立
てた状態でセットするような構造となっており、隣り合
うウェハどうしが重なり合うことを防止するためにティ
ース３と呼ばれる仕切りが設けられている。従って、ウ
ェハはキャリア底部とティースに接触した状態で立った
状態を維持できる。
着物を薬液に浸してエッチングするとき、ウェハを支え
るためにキャリア１を用いる。キャリアはウェハ２を立
てた状態でセットするような構造となっており、隣り合
うウェハどうしが重なり合うことを防止するためにティ
ース３と呼ばれる仕切りが設けられている。従って、ウ
ェハはキャリア底部とティースに接触した状態で立った
状態を維持できる。
【０００４】また、図２のごとく、ティースを設けずに
フレーム３’となる棒に溝５を形成することもできる
が、これはティースが極端に小さくなった構造とみなす
ことができる。キャリアは樹脂の一体成型、樹脂単体部
品の組み合わせ、或いはエッチャントの種類によっては
ガラス等によって製作する。
フレーム３’となる棒に溝５を形成することもできる
が、これはティースが極端に小さくなった構造とみなす
ことができる。キャリアは樹脂の一体成型、樹脂単体部
品の組み合わせ、或いはエッチャントの種類によっては
ガラス等によって製作する。
【０００５】このキャリアを保持するためのハンドル４
を取り付け、ハンドル４部分をもってウェハが入ったキ
ャリア部分だけエッチャントに浸して、エッチングす
る。この時必要に応じてキャリアを上下方向、又は横方
向に揺動する。
を取り付け、ハンドル４部分をもってウェハが入ったキ
ャリア部分だけエッチャントに浸して、エッチングす
る。この時必要に応じてキャリアを上下方向、又は横方
向に揺動する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図２に基づいて課題を
説明する。
説明する。
【０００７】例えば、王水のような、エッチングレート
が非常に大きく、かつウェハ面内でエッチャントが循環
しやすい場所と滞留する場所とでエッチングレートが大
きく異なるエッチャントを用いてエッチングする場合
は、ウェハとキャリアが接触する部分６と、そうでない
部分７とのエッチング量に差が生じ、段差となってその
後のウェハ加工において障害となる。この現象は、エッ
チング時にウェハの入ったキャリアを上下方向、又は横
方向に揺動することによって、緩和される傾向にある
が、エッチャントの粘度が小さく、揺動してもウェハと
キャリアの位置関係が変わりにくいときはその効果は小
さい。
が非常に大きく、かつウェハ面内でエッチャントが循環
しやすい場所と滞留する場所とでエッチングレートが大
きく異なるエッチャントを用いてエッチングする場合
は、ウェハとキャリアが接触する部分６と、そうでない
部分７とのエッチング量に差が生じ、段差となってその
後のウェハ加工において障害となる。この現象は、エッ
チング時にウェハの入ったキャリアを上下方向、又は横
方向に揺動することによって、緩和される傾向にある
が、エッチャントの粘度が小さく、揺動してもウェハと
キャリアの位置関係が変わりにくいときはその効果は小
さい。
【０００８】本発明は、エッチング槽やエッチング装置
に特別は改造を必要とせず、エッチング中にウェハとキ
ャリアとの位置関係を変化させ、エッチングムラを低減
する簡便な方法を提供することを目的とするものであ
る。
に特別は改造を必要とせず、エッチング中にウェハとキ
ャリアとの位置関係を変化させ、エッチングムラを低減
する簡便な方法を提供することを目的とするものであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明（請求項１）に
係るエッチング用キャリアは、複数枚のウェハを支える
キャリア部と、前記キャリア部を保持すると共に、エッ
チャント内で前記キャリア部の位置を導くハンドル部
と、前記キャリア部底部両側面に設けられたスリット
と、該両スリットに支えられて、前記複数枚のウェハに
接触するよう配置されると共に、前記ハンドル部と連結
された可動部品と、を少なくとも備えてなり、前記ハン
ドル部の動きに伴って前記可動部品が移動し、前記ウェ
ハを上下動させてなることによって、上記の目的を達成
する。
係るエッチング用キャリアは、複数枚のウェハを支える
キャリア部と、前記キャリア部を保持すると共に、エッ
チャント内で前記キャリア部の位置を導くハンドル部
と、前記キャリア部底部両側面に設けられたスリット
と、該両スリットに支えられて、前記複数枚のウェハに
接触するよう配置されると共に、前記ハンドル部と連結
された可動部品と、を少なくとも備えてなり、前記ハン
ドル部の動きに伴って前記可動部品が移動し、前記ウェ
ハを上下動させてなることによって、上記の目的を達成
する。
【００１０】この発明（請求項２）に係るエッチング用
キャリアは、前記スリットが、その下限は前記可動部品
が最も下に位置したときにウェハと接触しない位置に形
成され、かつ、その上限は、前記可動部品が最も上に位
置し、ウェハを押し上げたときにウェハが前記キャリア
部から逸脱しない位置に形成されてなることによって、
上記目的を達成する。
キャリアは、前記スリットが、その下限は前記可動部品
が最も下に位置したときにウェハと接触しない位置に形
成され、かつ、その上限は、前記可動部品が最も上に位
置し、ウェハを押し上げたときにウェハが前記キャリア
部から逸脱しない位置に形成されてなることによって、
上記目的を達成する。
【００１１】この発明（請求項３）に係るエッチング用
キャリアは、前記ハンドルが、両側面にハンドル側スリ
ットと、当該ハンドル側スリット部に支えられたハンド
ル側可動部品を有してなることによって、上記目的を達
成する。
キャリアは、前記ハンドルが、両側面にハンドル側スリ
ットと、当該ハンドル側スリット部に支えられたハンド
ル側可動部品を有してなることによって、上記目的を達
成する。
【００１２】この発明（請求項４）に係るエッチング用
キャリアは、前記ハンドル側スリットが、その上限は前
記ハンドル側可動部品が最も上の位置になったときに前
記ハンドル自体と衝突しない位置に形成され、かつ、そ
の下限は、ハンドル側可動部品が最も下の位置になった
ときにエッチャントに浸らない位置に形成されてなるこ
とによって、上記の目的を達成する。
キャリアは、前記ハンドル側スリットが、その上限は前
記ハンドル側可動部品が最も上の位置になったときに前
記ハンドル自体と衝突しない位置に形成され、かつ、そ
の下限は、ハンドル側可動部品が最も下の位置になった
ときにエッチャントに浸らない位置に形成されてなるこ
とによって、上記の目的を達成する。
【００１３】この発明（請求項５）は、前記ハンドル側
スリット開口部が、その上下寸法が、キャリア側にある
前記スリット開口部の上下寸法と、ほぼ同一か、やや大
きめに形成されてなることによって、上記の目的を達成
する。
スリット開口部が、その上下寸法が、キャリア側にある
前記スリット開口部の上下寸法と、ほぼ同一か、やや大
きめに形成されてなることによって、上記の目的を達成
する。
【００１４】本発明により、エッチング用キャリア内で
ウェハを支える溝から逸脱しない範囲の可動幅でウェハ
を動かすことが可能になる。
ウェハを支える溝から逸脱しない範囲の可動幅でウェハ
を動かすことが可能になる。
【００１５】また、ウェハを動かすための可動部をキャ
リア側に持ち、その可動部を操作する仕組みをハンドル
側に持って、ハンドルが脱着可能な構造であることか好
ましい。
リア側に持ち、その可動部を操作する仕組みをハンドル
側に持って、ハンドルが脱着可能な構造であることか好
ましい。
【００１６】さらに、キャリア側の可動部は、通常ウェ
ハと接触せず、ウェハ押し上げ操作をしたときだけ、ウ
ェハと接触することが好ましい。
ハと接触せず、ウェハ押し上げ操作をしたときだけ、ウ
ェハと接触することが好ましい。
【００１７】以下、本発明の作用を記載する。
【００１８】キャリアの底部に、すべてのウェハに接触
し、かつ上下する可動部を設け、これを操作することに
より、キャリアに対してウェハを上下動させる。又は、
キャリアの底部に、すべてのウェハに接触し、中心より
も偏心した位置を回転軸として回転する可動部を設け、
これを操作することにより、ウェハを上下動させキャリ
アに対するウェハの相対位置を変化させる。これによっ
てウェハがキャリアと接触する部分と、そうでない部分
とでエッチャントの接触機会を同等にでき、エッチング
ムラが解消される。可動距離をウェハを支える溝の深さ
よりも小さくすることによって、このような機構によっ
てウェハを上下動しても、ウェハが溝から逸脱してキャ
リアからこぼれたり、他の溝に移動して他のウェハと重
なったりするような不具合を防止できる。
し、かつ上下する可動部を設け、これを操作することに
より、キャリアに対してウェハを上下動させる。又は、
キャリアの底部に、すべてのウェハに接触し、中心より
も偏心した位置を回転軸として回転する可動部を設け、
これを操作することにより、ウェハを上下動させキャリ
アに対するウェハの相対位置を変化させる。これによっ
てウェハがキャリアと接触する部分と、そうでない部分
とでエッチャントの接触機会を同等にでき、エッチング
ムラが解消される。可動距離をウェハを支える溝の深さ
よりも小さくすることによって、このような機構によっ
てウェハを上下動しても、ウェハが溝から逸脱してキャ
リアからこぼれたり、他の溝に移動して他のウェハと重
なったりするような不具合を防止できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】（実施例１）図３に基づいて本発
明の実施例１を説明する。
明の実施例１を説明する。
【００２０】従来形状のキャリア１に可動部品８を支え
るスリット９を有する部分を付加する。このスリット部
分に可動する太さの一様な部品を取り付ける。この部品
は円柱でも角柱でもよいが、先端部分１０は円柱とし、
ハンドル側の可動部品と容易に連結できるようにしてお
く。スリットの下限１１は可動部品が最も下に位置した
ときにウェハに接触しない位置とする。
るスリット９を有する部分を付加する。このスリット部
分に可動する太さの一様な部品を取り付ける。この部品
は円柱でも角柱でもよいが、先端部分１０は円柱とし、
ハンドル側の可動部品と容易に連結できるようにしてお
く。スリットの下限１１は可動部品が最も下に位置した
ときにウェハに接触しない位置とする。
【００２１】また、スリットの上限１２は可動部品が最
も上に位置しウェハを押し上げた時にウェハが溝部分か
ら逸脱しない位置とする。これにより通常は可動部がウ
ェハと接触しないため、ウェハとキャリアが接触するこ
とにより生じるエッチングムラを防止できる。また、ウ
ェハを押し上げたときは、ウェハを保持している溝の中
でウェハが移動するため、ウェハがキャリアから脱落し
たり、他の溝に移動して他のウェハと重なり合うような
不具合を防止できる。
も上に位置しウェハを押し上げた時にウェハが溝部分か
ら逸脱しない位置とする。これにより通常は可動部がウ
ェハと接触しないため、ウェハとキャリアが接触するこ
とにより生じるエッチングムラを防止できる。また、ウ
ェハを押し上げたときは、ウェハを保持している溝の中
でウェハが移動するため、ウェハがキャリアから脱落し
たり、他の溝に移動して他のウェハと重なり合うような
不具合を防止できる。
【００２２】可動部の材質は、通常キャリア材質で同等
でよいが、エッチャントに浸したときに浮力で浮き上が
るときは耐エッチング性を考慮した重い材質で製作す
る。
でよいが、エッチャントに浸したときに浮力で浮き上が
るときは耐エッチング性を考慮した重い材質で製作す
る。
【００２３】一方、従来形状のハンドル４側にも同様に
スリット１３を設け、可動する部品１４を渡す。この可
動部品の先端にキャリア側の可動部品が最も上の位置に
なったときにハンドルと衝突しない位置とし、下限１７
は可動部品が最も下の位置になったときにエッチャント
に浸らない位置で、かつ片手でハンドルを持ちその手で
可動部分を上下操作することが可能な位置とする。ハン
ドル側スリット開口部の上下寸法はキャリア側のスリッ
ト上下寸法と同一が、やや大きめにする。なお、キャリ
アとハンドルは一対で使用するため、可動部の可動幅を
制御するために設計したスリットは、キャリア側にあっ
てもハンドル側にあっても、また両方にあってもよい。
スリット１３を設け、可動する部品１４を渡す。この可
動部品の先端にキャリア側の可動部品が最も上の位置に
なったときにハンドルと衝突しない位置とし、下限１７
は可動部品が最も下の位置になったときにエッチャント
に浸らない位置で、かつ片手でハンドルを持ちその手で
可動部分を上下操作することが可能な位置とする。ハン
ドル側スリット開口部の上下寸法はキャリア側のスリッ
ト上下寸法と同一が、やや大きめにする。なお、キャリ
アとハンドルは一対で使用するため、可動部の可動幅を
制御するために設計したスリットは、キャリア側にあっ
てもハンドル側にあっても、また両方にあってもよい。
【００２４】実際の使用にあたっては、キャリアにウェ
ハをセットした後、一般的な方法でキャリアにハンドル
を取り付け、キャリア側の可動部品とハンドル側の可動
部品を連結する。ハンドルの固定部分を片手で持ち、余
った指でハンドル側の可動部品を下から支え、そのまま
キャリアをエッチャントに浸す。可動部分を持ち上げる
ことによりウェハが浮き上がり、可動部分から指を放す
ことにより自重で可動部分が沈み、キャリアに対して相
対的にウェハ位置を変化させることができる。この時、
ウェハの可動距離をウェハを支えるキャリア溝の深さよ
りも小さくすることにより、ウェハが溝から逸脱してキ
ャリアからこぼれたり、他の溝に移動して他のウェハと
重なったりするような不具合を防止できる。
ハをセットした後、一般的な方法でキャリアにハンドル
を取り付け、キャリア側の可動部品とハンドル側の可動
部品を連結する。ハンドルの固定部分を片手で持ち、余
った指でハンドル側の可動部品を下から支え、そのまま
キャリアをエッチャントに浸す。可動部分を持ち上げる
ことによりウェハが浮き上がり、可動部分から指を放す
ことにより自重で可動部分が沈み、キャリアに対して相
対的にウェハ位置を変化させることができる。この時、
ウェハの可動距離をウェハを支えるキャリア溝の深さよ
りも小さくすることにより、ウェハが溝から逸脱してキ
ャリアからこぼれたり、他の溝に移動して他のウェハと
重なったりするような不具合を防止できる。
【００２５】また、キャリア全体の揺動と、可動部操作
を併用することにより、さらにエッチャントの流れを均
等化できる。なお、実施例として手動でエッチングする
場合を述べたが、可動部分を操作する機構を装置側に付
加すれば、自動エッチング装置にも適用できる。
を併用することにより、さらにエッチャントの流れを均
等化できる。なお、実施例として手動でエッチングする
場合を述べたが、可動部分を操作する機構を装置側に付
加すれば、自動エッチング装置にも適用できる。
【００２６】また、実施例ではキャリア側可動部が自重
で沈む例を挙げたが、ハンドルの取っ手部分とハンドル
側可動部との間にバネを設け、指の操作で縮んだバネの
元に戻ろうとする復元力でキャリア側可動部を押し下げ
てもよい。
で沈む例を挙げたが、ハンドルの取っ手部分とハンドル
側可動部との間にバネを設け、指の操作で縮んだバネの
元に戻ろうとする復元力でキャリア側可動部を押し下げ
てもよい。
【００２７】（実施例２）図４に基づいて本発明の実施
例２を説明する。
例２を説明する。
【００２８】実施例２は実施例１の変形で、キャリア側
の可動部が回転することにより、ウェハを押し上げる作
用を有するものである。
の可動部が回転することにより、ウェハを押し上げる作
用を有するものである。
【００２９】従来形状のキャリア１に可動部品８を支え
る円形スリット１８を有する部分を付加する。このスリ
ット部分に可動する太さの一様な部品８を取り付ける。
この部品は円柱とし、さらにこの円柱状部品を偏心した
位置２０を中心とした本体円柱より細い部分を持たせ
る。先端部分２１は角柱形状とし、ハンドル側の同様形
状の穴を持つ可動部連結部品２２と滑りを生じないよう
に連結できるようにしておく。回転中心と可動部円柱外
周とのもっとも近い距離２３は可動部品が最も下に位置
したときにウェハに接触しない長さとする。
る円形スリット１８を有する部分を付加する。このスリ
ット部分に可動する太さの一様な部品８を取り付ける。
この部品は円柱とし、さらにこの円柱状部品を偏心した
位置２０を中心とした本体円柱より細い部分を持たせ
る。先端部分２１は角柱形状とし、ハンドル側の同様形
状の穴を持つ可動部連結部品２２と滑りを生じないよう
に連結できるようにしておく。回転中心と可動部円柱外
周とのもっとも近い距離２３は可動部品が最も下に位置
したときにウェハに接触しない長さとする。
【００３０】また、回転中心と可動部円柱外周との最も
短い距離２４は可動部品が最も上に位置し、ウェハを押
し上げた時にウェハが溝部分から逸脱しない長さとす
る。これにより通常は可動部がウェハと接触しないた
め、ウェハとキャリアが接触することにより生じるエッ
チングムラを防止できる。またウェハを押し上げた時
は、ウェハを保持している溝の中でウェハが移動するた
め、ウェハがキャリアから脱落したり、他の溝に移動し
て他のウェハと重なり合うような不具合を防止できる。
短い距離２４は可動部品が最も上に位置し、ウェハを押
し上げた時にウェハが溝部分から逸脱しない長さとす
る。これにより通常は可動部がウェハと接触しないた
め、ウェハとキャリアが接触することにより生じるエッ
チングムラを防止できる。またウェハを押し上げた時
は、ウェハを保持している溝の中でウェハが移動するた
め、ウェハがキャリアから脱落したり、他の溝に移動し
て他のウェハと重なり合うような不具合を防止できる。
【００３１】可動部の材質は、通常キャリア材質と同等
でよいが、エッチャントに浸した時に浮力で回転中心と
可動部円柱外周との距離が長い方が下側に位置しないと
きは耐エッチング性を考慮した、より重い材質で製作す
る。
でよいが、エッチャントに浸した時に浮力で回転中心と
可動部円柱外周との距離が長い方が下側に位置しないと
きは耐エッチング性を考慮した、より重い材質で製作す
る。
【００３２】一方、従来形状のハンドル４側にはスリッ
ト１３を設け、可動する部品の先端も角柱形状とし同様
の穴をもつキャリア側の可動部品と連結するための部品
２２を滑らないように取り付ける。スリットの上限１６
は可動部品が最も上の位置になったときにハンドルと衝
突しない位置とし、下限１７は可動部品が最も下の位置
になったときにエッチャントに浸らない位置で、かつ片
手でハンドルを持ち、その手で可動部分を上下操作する
ことが可能な位置とする。
ト１３を設け、可動する部品の先端も角柱形状とし同様
の穴をもつキャリア側の可動部品と連結するための部品
２２を滑らないように取り付ける。スリットの上限１６
は可動部品が最も上の位置になったときにハンドルと衝
突しない位置とし、下限１７は可動部品が最も下の位置
になったときにエッチャントに浸らない位置で、かつ片
手でハンドルを持ち、その手で可動部分を上下操作する
ことが可能な位置とする。
【００３３】ハンドル側スリット開口部の上下寸法はキ
ャリア側の可動部品が回転することにより連結部品が上
下する寸法と同一か、やや大きめにする。
ャリア側の可動部品が回転することにより連結部品が上
下する寸法と同一か、やや大きめにする。
【００３４】
【発明の効果】キャリアに対するウェハの相対位置を変
化させる本発明の方法では、エッチャントがウェハに接
触する機会がウェハ位置が変化しにくい従来方法に比
べ、ウェハ面内において、より均等となり、エッチング
ムラを低減できる。
化させる本発明の方法では、エッチャントがウェハに接
触する機会がウェハ位置が変化しにくい従来方法に比
べ、ウェハ面内において、より均等となり、エッチング
ムラを低減できる。
【００３５】また、エッチング用キャリアにウェハ可動
部分を設ける本発明は、エッチング槽やエッチング装置
の改造を必要とせず、汎用性に優れる。
部分を設ける本発明は、エッチング槽やエッチング装置
の改造を必要とせず、汎用性に優れる。
【図１】従来のキャリア・ハンドルを説明するための模
式図である。
式図である。
【図２】エッチングムラを説明するための模式図であ
る。
る。
【図３】キャリア側の可動部が上下動する、本発明の実
施例１を説明するための模式図である。
施例１を説明するための模式図である。
【図４】キャリア側の可動部が回転する、本発明の実施
例２を説明するための模式図である。
例２を説明するための模式図である。
１ キャリア ２ ウェハ ３ ティース ３’ フレーム ４ ハンドル ５ 溝 ６ ウェハとキャリアが接触する部分 ７ ウェハとキャリアが接触しない部分 ８ キャリア側可動部分 ９ キャリア側スリット １０ キャリア側可動部分先端 １１ キャリア側スリット下限 １２ キャリア側スリット上限 １３ ハンドル側スリット １４ ハンドル側可動部分 １５ 連結部品 １６ ハンドル側スリット上限 １７ ハンドル側スリット下限 １８ キャリア側円形スリット １９ キャリア側可動部円柱の中心 ２０ キャリア側可動部円柱の中心から偏心した位置 ２１ キャリア側可動部先端部分 ２２ ハンドル側可動部品 ２３ キャリア側可動部回転中心と可動部円柱外周との
最も短い距離 ２４ キャリア側可動部回転中心と可動部円柱外周との
最も長い距離
最も短い距離 ２４ キャリア側可動部回転中心と可動部円柱外周との
最も長い距離
Claims (5)
- 【請求項１】 複数枚のウェハを支えるキャリア部と、 前記キャリア部を保持すると共に、エッチャント内で前
記キャリア部の位置を導くハンドル部と、 前記キャリア部底部両側面に設けられたスリットと、 該両スリットに支えられて、前記複数枚のウェハに接触
するよう配置されると共に、前記ハンドル部と連結され
た可動部品と、を少なくとも備えてなり、 前記ハンドル部の動きに伴って前記可動部品が移動し、
前記ウェハを上下動させてなることを特徴とするエッチ
ング用キャリア。 - 【請求項２】 前記スリットは、その下限は前記可動部
品が最も下に位置したときにウェハと接触しない位置に
形成され、かつ、その上限は、前記可動部品が最も上に
位置し、ウェハを押し上げたときにウェハが前記キャリ
ア部から逸脱しない位置に形成されてなることを特徴と
する請求項１に記載のエッチング用キャリア。 - 【請求項３】 前記ハンドルは、両側面にハンドル側ス
リットと、当該ハンドル側スリット部に支えられたハン
ドル側可動部品を有してなることを特徴とする請求項１
又は２に記載のエッチング用キャリア。 - 【請求項４】 前記ハンドル側スリットは、その上限は
前記ハンドル側可動部品が最も上の位置になったときに
前記ハンドル自体と衝突しない位置に形成され、かつ、
その下限は、ハンドル側可動部品が最も下の位置になっ
たときにエッチャントに浸らない位置に形成されてなる
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のエ
ッチング用キャリア。 - 【請求項５】 前記ハンドル側スリット開口部は、その
上下寸法が、キャリア側にある前記スリット開口部の上
下寸法と、ほぼ同一か、やや大きめに形成されてなるこ
とを特徴とする請求項３又は４に記載のエッチング用キ
ャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8539898A JPH11283960A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | エッチング用キャリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8539898A JPH11283960A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | エッチング用キャリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11283960A true JPH11283960A (ja) | 1999-10-15 |
Family
ID=13857682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8539898A Pending JPH11283960A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | エッチング用キャリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11283960A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6440649B1 (en) | 2001-05-30 | 2002-08-27 | Eastman Kodak Company | X-radiation photothermographic materials and methods of using same |
| US6573033B1 (en) | 2002-07-11 | 2003-06-03 | Eastman Kodak Company | X-radiation sensitive aqueous-based photothermographic materials and methods of using same |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP8539898A patent/JPH11283960A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6440649B1 (en) | 2001-05-30 | 2002-08-27 | Eastman Kodak Company | X-radiation photothermographic materials and methods of using same |
| US6573033B1 (en) | 2002-07-11 | 2003-06-03 | Eastman Kodak Company | X-radiation sensitive aqueous-based photothermographic materials and methods of using same |
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