JPH11266002A - 集積cmosアクティブピクセルデジタルカメラ - Google Patents

集積cmosアクティブピクセルデジタルカメラ

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JPH11266002A
JPH11266002A JP11013286A JP1328699A JPH11266002A JP H11266002 A JPH11266002 A JP H11266002A JP 11013286 A JP11013286 A JP 11013286A JP 1328699 A JP1328699 A JP 1328699A JP H11266002 A JPH11266002 A JP H11266002A
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pixel
timing
column
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ピー リー ポール
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ミカエル ガイダッシュ ロバート
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シュエング リー テー
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    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N3/00Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages
    • H04N3/10Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical
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    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
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    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 十分な大規模集積度を提供するCMOSに基
づく撮像器を実現する。 【解決手段】 イメージセンサ10は複数の行及び複数
の列を有数するピクセルアレイ12を含んでいる。ピク
セルアレイ12は、タイミング/コントロールロジック
60に接続される列アドレシング14と行アドレシング
16とでアドレス指定されるピクセルのデータが読み出
される。タイミング/ロジックコントロール60は、外
部計算手段により制御されるシリアルインターフェース
及びコントロール50で制御され、様々なモードでピク
セルアレイ12よりデータを読み出す。これらは、すべ
て同一のシリコン基板上に形成されており、大規模集積
化が可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、CMOSに基づく
イメージセンサに関し、特に、CMOSアクティブピク
セルセンサに基づくオンチップのカメラ設計に関する。
【0002】
【従来の技術】数多くの従来技術の固体撮像装置があ
る。最も一般的であるのが、電荷結合型装置(CCD)
に基づいたセンサである。従来技術の中のCCDセンサ
は、現在のCMOS装置で実施されているように大規模
集積化(VLSI)がされておらず、これらのCCDセ
ンサを使用しているカメラの製作にあたって、タイミン
グ、コントロール、及びクロック駆動回路を提供する別
個の集積回路を必要としている。
【0003】加えて、従来技術では、固体撮像器を形成
するためにCMOS技術を使用したイメージセンシング
装置が数多く存在している。これらの従来技術の装置の
中には、アナログ・デジタルコンバータをイメージセン
サと同じチップ上に集積することが教示されている。こ
のタイプのCMOSイメージセンサは、ジャンセンらに
よって、Analog Integrated Cir
cuits andSignal Processin
g 4(1993)の第37〜49頁における「8ビッ
トデジタル出力を有するアドレス可能な256×256
フォトダイオードセンサ(An Addressabl
e 256x256 Photodiode Sens
or Array With An 8−Bit Di
gital Output)」というタイトルの論文に
記載されている。他の従来技術の装置は、ニクソンらに
よって、1996 IEEE Internation
al Solid−State Circuits C
onference Digest of Paper
s, pp.178−179における「256×256
CMOSアクティブピクセルセンサカメラオンチップ
(256x256CMOS Active Pixel
Sensor Camera−on−a−Chi
p)」に述べられているようなチップ上に集積されたタ
イミング生成部を有している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のCMO
S装置では大規模集積化はなされていなかった。
【0005】また、従来技術は、イメージセンシング装
置を制御できる外部デジタルインターフェースを可能に
する調整された設計についても、何も言及していない。
【0006】以上の議論より、当該技術では、固体撮像
装置を制御できるタイミング、コントロール、及びクロ
ック回路とデジタルインターフェースとを提供できるほ
どに十分な大規模集積度を提供する、CMOSに基づく
撮像器に対する必要性がいまだに残っている。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、相補型金属酸
化物半導体(CMOS)技術を使用しているアクティブ
ピクセルセンサ(APS)を用いて製造されたデジタル
カメラオンチップのアーキテクチャを提供することによ
って、従来技術における上記の問題点を解決する。
【0008】アーキテクチャ設計の構成要素は、APS
を動作するために必要とされる機能的なブロックとそれ
らの各々の配線とを備えており、好適な実施形態では、
光検出器素子としてピン・フォトダイオードを使用して
いる。CMOS技術の使用は、光検出素子アレイを有す
る単一チップ上へのタイミング、コントロール、及びア
ナログ・デジタル変換の集積とデジタルインターフェー
スの組み込みとを可能にする。
【0009】本発明によって教示される大規模集積化
は、電子ズームやウインドウ能力のような特徴を可能に
する。提供される特徴は、デジタルインターフェース内
のロジックによって制御されることができる。フリー動
作モード(デフォルトの動作モード)では、ウインドウ
/ズームロジックから独立しているため、デジタルイン
ターフェースからの制御信号を必要とせずに、フル解像
度イメージを提供する。光計測モードでは、ピクセルグ
ループを選択して、露光制御のような適切なパラメータ
を決定することを許容する。この露光は、電子シャッタ
の適切なタイミングによって行われる。様々なスリープ
モードが、可変段階のパワーの節約を提供する。
【0010】このCMOS APSのアーキテクチャ
は、後述する接続されたブロックのx−yアドレス指定
可能なピクセルアレイタイミング生成部と外部インター
フェースコントロールロジックと、プログラム可能なア
ナログ・デジタルコンバータ(ADC)と、関連する信
号処理回路と、を備えている。
【0011】これら特徴及び他の特徴は、複数のCMO
S回路がその上に形成されているシリコン基板と、該基
板内に形成された、複数の列と複数の行とを有するピク
セルアレイと、該基板内に形成されたタイミングコント
ロールロジックブロックと、該基板内に形成され、該ピ
クセルアレイと該タイミング制御回路とに各々動作可能
に接続されている、該ピクセルアレイの中の各列にアド
レスラインを提供する列バスを有する列アドレシング回
路と、該基板内に形成された行アドレシング回路と、該
基板内に形成されたピクセルタイミング回路と、該基板
内に含まれている信号処理回路と、該センサ装置に対す
るアドレス及び制御信号を生成するために該センサによ
って使用されるコマンドを与える外部計算手段に結合さ
れた、該タイミングコントロールロジックと該ピクセル
タイミング回路と該列アドレシング回路と該行アドレシ
ング回路とに動作可能に結合されている、インターフェ
ース回路と、を有するイメージセンサ装置を備えたCM
OSに基づくイメージセンサによって提供される。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態(以下
実施形態という)を、図面に従って説明する。
【0013】タイミング、コントロール、及びアナログ
・デジタル変換の機能と、単一チップ上へのデジタルイ
ンターフェースの組み込みとを集積する相補型金属酸化
物半導体(CMOS)技術を使用するアクティブピクセ
ルセンサ(APS)を用いて、デジタルカメラオンチッ
プが構成できることが見い出された。
【0014】図1を参照すると、センサ10として一般
的に参照されるアーキテクチャ設計の構成要素は、AP
Sピクセルアレイ12を動作するために必要とされる機
能的なブロックとそれらの各々の配線とを備えている。
加えて、センサ10のアーキテクチャは、単一のCMO
Sチップ上に、タイミング、コントロール、クロック、
及びアナログ・デジタル変換を提供する。図1に示され
る本発明は、ハードウェア記述言語或いは図的入力のよ
うな様々な設計規則の何れかによって実行されるブロッ
ク図を表している。好ましくは、適切なパワー消費を与
えるためCMOSにて実行されるであろう。マイクロプ
ログラムに基づく実行或いはステートマシンに基づく実
行の何れかを行うためにその後に使用される設計仕様を
通じて、シリコンで実行することができる。好適な実施
形態は、VHSICハードウェア記述言語(VHDL)
にて記述されたステートマシンを使用して、シリコン内
に配置される。VHDLは、電子設計オートメーション
の形式で使用される。
【0015】図1に示されるように、ピクセルアレイ1
2は、x−yアドレス指定可能な形態のピクセルの2次
元アレイ12である。640×480ピクセルの標準V
GA解像度のような、アレイ12の様々な解像度が可能
である。好適な実施形態の各ピクセルは、典型的には、
光検出器(好適な実施形態ではピン光ダイオードであ
る)、転送ゲート、リセットゲート、列選択ゲート、及
びソースフォロワ増幅器を備えている。
【0016】アレイ12は、入射光を光電子に変換す
る。光電子は、カメラレンズ(図示せず)を通ってアレ
イ12にフォーカスした入射イメージの変形である蓄積
された電荷として、アレイ12の中の各々の光検出器の
内部に存在する。各ピクセルはセンサ10の上に集積さ
れている列アドレシング回路14及び行アドレシング回
路16によって選択されて、蓄積された電荷を出力す
る。イメージは、共通の列バスをアクティブ状態に設定
する列バス15の上に、選択された列に対するアドレス
を列セレクト14が供給することによって、読み出され
る。
【0017】シリアルインターフェース及びコントロー
ル50は、外部のマイクロコントローラ或いは他のコン
ピュータプログラム手段に、オペレータ或いは他の自動
化されたアルゴリズムに基づくカメラオンチップに対す
る設定を実施させる。これらの設定の中には、露光条件
を設定するための光強度(光量)測定のような特定のモ
ードにおけるカメラチップの操作がある。任意のプログ
ラムが実行される前に所定の方法で実行される、撮像器
チップのデフォルトのパワーアップモードも存在する。
例えば、初めてパワーが印加されると、チップは、室内
光条件に一致する露光タイミングにて、フル解像度モー
ドで動作する。このデフォルトモードは、所望の各アプ
リケーションについて、適切に設定される。
【0018】シリアルインターフェース及びコントロー
ルロジック50は、タイミング/コントロールロジック
60によって生成されるx−yアドレシング、リセッ
ト、サンプル、転送、及び他の信号の様なシーケンス信
号の生成において使用されるコントロールを供給する。
シリアルインターフェース及びコントロールロジック5
0からの1セットのコマンドは、タイミング/コントロ
ールロジック60の内部の適切な制御レジスタにロード
されて、ピクセルアレイの集積及び読み出しに対する異
なったタイミングモードを実行する。センサ10の読み
出しは、フル解像度(全ピクセル)、x−yでウインド
ウされたピクセル、或いはサブサンプリング(1列お
き)等として、プログラムされることができる。タイミ
ング/コントロールロジック60は、センサ10の読み
出し動作に対する制御信号を供給する。
【0019】本発明は、アナログデジタルコンバータ
(ADC)がCMOSセンサ10に含まれることを想定
している。また、センサ10の外にADCを置くことも
想定している。これは、各設計の効果と不利益とのトレ
ードオフに基づいて行われる、単純な設計上の選択事項
である。何れの場合でも、ADCがピクセルの読み出し
に関連して配置されて、デジタルビット出力が意味をな
し、且つアーティファクトが最小化されることを確実に
することが、重要である。
【0020】タイミング/コントロールロジック60
は、(1)各列がフル解像度モードで読み出されるとき
に、列アドレシング及びピクセルタイミングバス14に
アドレスを供給し、(2)典型的にはビデオ会議にて使
用されるサブサンプリングモードにて使用されるよう
に、1列おき或いは4列おきのようにして列のサブセッ
トが読み出されるときに、列アドレシング及びピクセル
タイミングバス14にアドレスを供給し、(3)ピクセ
ルのサブ領域をアドレス指定するために必要とされるウ
インドウ能力を提供する。タイミング/コントロールロ
ジック60は、電子シャッターモードコントロールも制
御するが、これには、(1)フレームレートに対するピ
クセルのリセット、(2)各フレームに対する集積モー
ドの制御、(3)光感度レベル及び電子シャッターを制
御する光計測モードが含まれ、この光計測モードには、
蛍光のうなり(すなわち60Hz)のセンシング、及び
ESS=n/(2×ラインレート)秒なる関係を満たす
電子シャッタの対応した制御も含まれる。ここで、ES
Sは電子シャッタスピードであり、nはラインレートの
潜在的には任意の係数であって、好適な実施形態では6
0Hzである。
【0021】センサ10は、一般には以下のように動作
する。所定の時間に、共通の列バスの中のバスラインに
よって、その列の全ピクセルに転送信号を与えて、収集
された光電子をその列の中のフォトダイオードの各々か
ら各ピクセルに対するセンシングノードに移動させる。
各ピクセルのセンシングノードは、ソースフォロワ増幅
器の入力に接続されており、これは、アクティブピクセ
ルセンサの技術では典型的である。列バスはまた、リセ
ット信号をピクセルに与えて、光ダイオード及び/或い
はセンシングノードをプリセットバイアスリセット電圧
に接続する。
【0022】2重相関サンプリング手法もまた使用可能
であって、第一のリセットでセンシングノードのリセッ
トレベルを出力し、その後に、光電子の転送前にソース
フォロワ出力を読み出す。別の出力サンプルが、光電子
がフォトダイオードから転送された後に、取り出され
る。2つのサンプル信号の間の差は、ピクセルに入射し
た光によって生成された光電子量の本当の値を示す。
【0023】行信号処理及びADC18は、各ピクセル
のリセット及び信号レベルのキャパシタ内への一時的な
蓄積を可能にする。これらの信号は、その後にADC信
号によって使用されて、信号レベルの差がデジタル値に
変換される。使用される特定のADC回路の速度に依存
して、デジタル値が、カメラオンチップの外部にリアル
タイムレートで伝達されて、イメージディスプレイ或い
はフレームメモリによる動きの捕捉を更新する。付加的
には、ローカルなオンチップの一時的デジタルメモリが
使用され、データをバッファしてもよい。このADC回
路は、外部の装置によって必要とされるピクセルの数
(ピクセルの全数とフレームレートとの積)をリアルタ
イムで変換する単一の高速ユニットであっても良い。或
いは、各行毎にまたは各n行毎に、より遅いADCを使
用して列毎に並列に全アナログピクセル値を変換しても
良い。
【0024】図2は、デジタルカメラを実現するために
使用される様々な装置を示す、典型的な従来技術のCC
Dに基づくシステムを描いている。マイクロコントロー
ラ72は、システムに基本的な制御信号を供給する。典
型的にはASIC装置であるタイミング/コントロール
ロジック74は、クロックドライバ77によって必要と
されるタイミング信号を生成し、クロックドライバ77
は、これらの信号をCCD76の制御に必要な適切なレ
ベルに変換する。マイクロコントローラ72は、使用さ
れる撮像モードに対して適切なシーケンスをプログラム
する。相関2重サンプリング(CDS)78は、CCD
76上に入射する光に関連した信号の真の値を生成す
る。信号の真の値は、その後にアナログ・デジタルコン
バータ79によってデジタル信号に変換される。
【0025】図3は、図2に示されるシステムに対して
数多くの効果を有する、本発明によって実現されるシス
テムを描いている。図2に示される機能的ブロックの大
半は、図3の単一のシリコンカメラオンチップシステム
10に組み込まれているが、マイクロコントローラ81
とASIC82とは例外である。マイクロコントローラ
81及びASIC82は、コントローラと共に埋め込ま
れたより大きなASIC装置80の中に組み合わせられ
ることが、当業者によって理解されるであろう。ASI
C82は、カメラオンチップシステム10のシリアルイ
ンターフェース及びコントロールロジック89に対する
インターフェースを提供する。好適な実施形態では、A
SIC82は、カメラオンチップシステム10から出力
されたデジタルデータのデジタル処理を行う。ASIC
82はハードウェア指向の処理が提供されるので、イメ
ージデータをより高速にデータ処理する。ASIC82
及びコントローラ81は、カメラオンチップシステム1
0の一部として形成されることも可能である。また、
(アナログデジタルコンバータ)ADC86からのデー
タをバッファリングするデータメモリ85が含まれてい
ても良い。
【0026】ここで図4を参照すると、ピクセルアレイ
102を描く本発明の実施形態の簡略化されたブロック
図が、4列6行のピクセルアレイを備えるように示され
ている。図4の内容は意図的に簡略化されており、本発
明の好適な実施形態は、640×480のイメージセン
シング装置である。図4を参照すると、アドレシング回
路114が、列及び行の双方の選択のためのアドレシン
グ回路を含む。以下の議論は、カウンタ方式である列ア
ドレスのデコード(図4の場合には2ビットのカウンタ
に過ぎない)を詳細に説明するものであり、行アドレス
のデコードは、同様に達成されるがインクリメントの仕
方が異なる。列アドレシング部は、動作信号と共にタイ
ミング及び制御信号(転送、リセットイネーブル、及び
セレクトなど)を、アドレス指定された特定の列に供給
する。このアドレシング回路は、NANDゲートのよう
なロジックゲートを使用して構築されることができ、或
いは、各列を順次アドレスするシフトレジスタとして構
築されることもできる。
【0027】行毎の信号処理のシーケンスと同様に、タ
イミング/コントロールロジック150によって生成さ
れる制御信号は、列及び行アドレシング114を制御す
る。タイミング/コントロールロジック150は、図3
に示されたマイクロコントローラによって、センサチッ
プ10とのインターフェースとなる通信ポートを介して
(図3に示される)シリアルインターフェース及びコン
トロール50を通過してくるコマンドを使用して、プロ
グラムされる。アドレス指定されると、ピクセル列は、
そこに蓄えられていた光電子を、信号のノイズを低減す
る相関2重サンプリング(CDS)116回路にストロ
ーブする。図4には、ピクセルアレイから相関2重サン
プリング(CDS)116回路を介して読み出された信
号を検出する行ADC118が示されている。信号はそ
の後に、行ADC118によってデジタルワードに変換
される。行ADC118は、この変換を、単一の行にお
いて或いは行セットに対して実行できる。好適な実施形
態は、速度を考慮して8ビットのアナログ・デジタル変
換を使用する。ADCは、ADC設計技術で良く知られ
ている連続近似手法を使用して構成することができる。
行毎(或いは行セット毎)の配列は、ピクセル信号の並
列変換を可能にして、ADCの変換速度をライン走査時
間まで低減する。
【0028】行CDS116及び行ADC118によっ
て必要とされるタイミング信号は、タイミング/コント
ロールロジック150によって生成される。例えば、行
CDS116は、ピクセルアレイからの全列のピクセル
で転送ゲートが活性化される前に、リセットサンプルを
実行する。この後に、ダイオードから各ピクセルのセン
シングノードへの転送後の信号サンプリングが行われ
る。
【0029】ここで図5を参照すると、図4に示すもの
と同様の本発明の実施形態が示されており、従って、同
一の回路は同じ参照番号を有している。しかし、図5で
は、アドレス指定された列の各ピクセルからの信号は信
号マルチプレクサ126に供給され、そこで多重化され
て、デジタルワードへの変換のために単一の或いは複数
の高速ADC128に伝送される。図5に示される例で
は、高速ADC128を実現するために使用される実際
のアナログ・デジタルコンバータの数は小さく(例えば
単一のADCか、或いは、恐らくは複数のADC)、変
換レートは、ここでは、通常のピクセルデータレートを
ADCの数で割ったものである。
【0030】本発明によって教示される大規模集積化
は、電子ズームやウインドウ能力のような特徴を可能に
する。提供される特徴は、デジタルインターフェースの
中のロジックによって制御される。フリー動作モード
(デフォルトの動作モード)では、ウインドウ/ズーム
ロジックから独立しているので、デジタルインターフェ
ースからの制御信号を必要とせずに、フル解像度イメー
ジを提供する。光計測モードでは、ピクセルグループを
選択して、露光制御のような適切なパラメータを決定す
ることを許容する。様々なスリーパーモードが、可変段
階のパワーの節約を提供する。
【0031】撮像器アレイは、(バイエルチェス盤のよ
うな)所定の方法でモザイクパターンにされたカラーフ
ィルタアレイ(CFA)を加えることによって、色に対
する感受性を持たせることができて、撮像される光景を
カラー化する。
【0032】アーキテクチャは、完全なカメラオンチッ
プを実現する。電子制御要素及び信号回路の全てが、単
一のシリコン片の上に集積化される。これは、カメラ設
計者が、チップでイメージを捕捉するために必要な詳細
なタイミングより、(ヒューマンインターフェースのよ
うな)特徴に集中できるような方法で、カメラシステム
の設計を簡単にする。
【0033】また、集積化されたチップは低消費電力で
あり、低消費電力であることは持ち運び可能なアプリケ
ーションでは重要な考慮事項である。
【0034】本発明が、ある好適な実施形態を特に参照
して詳細に説明されてきたが、変更及び改変が本発明の
精神と範囲との中で成し得ることが理解されるであろ
う。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によって実現される集積されたCMO
Sイメージセンサの機能的ブロック図である。
【図2】 従来技術のCCDカメラの機能的ブロック図
である。
【図3】 図2に示す図と同様の機能を有する、本発明
によって実現されるチップセンサ上のカメラを使用して
いるカメラのブロック図である。
【図4】 ピクセルアレイ中のピクセルをアドレス指定
し且つ読み出す、本発明のブロック図である。
【図5】 アドレシンング、多重化、及びアナログデジ
タルコンバータへのピクセルの伝送を示されたブロック
図である。
【符号の説明】
10 センサ、12 ピクセルアレイ、14 列アドレ
シング及びピクセルタイミング機能、15 列バス、1
6 行アドレシング、18 信号処理、50シリアルイ
ンターフェース及びコントロール、60,74,150
タイミング/コントロールロジック、72 マイクロ
コントローラ、76 CCD、77クロックドライバ、
78 CDS、79 アナログ・デジタルコンバータ
(ADC)、80 ASIC装置、81 マイクロコン
トローラ、85 データメモリ、102 ピクセルアレ
イ、114 アドレシング回路、116 行CDS、1
18 行ADC、126 信号マルチプレクサ、128
高速ADC。
フロントページの続き (72)発明者 ロバート ミカエル ガイダッシュ アメリカ合衆国 ニューヨーク州 ラッシ ュ サンダー リッジ ドライブ 55 (72)発明者 テー シュエング リー アメリカ合衆国 ニューヨーク州 ウェブ スター ハイタワー ウェイ 760

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 イメージセンサ装置であって、 複数のCMOS回路がその上に形成されているシリコン
    基板と、 前記基板内に形成された、複数の列と複数の行とを有す
    るピクセルアレイと、 前記基板内に形成されたタイミングコントロールロジッ
    クブロックと、 前記基板内に形成され、前記ピクセルアレイと前記タイ
    ミングコントロールロジックブロックとに各々動作可能
    に接続されている列アドレシング回路であって、前記ピ
    クセルアレイの中の各列にアドレスラインを提供する列
    バスを有する列アドレシング回路と、 前記基板内に形成された行アドレシング回路と、 前記基板内に形成されたピクセルタイミング回路と、 前記基板内に含まれている信号処理回路と、 前記センサ装置に対するアドレス信号及び制御信号を生
    成するために前記センサ装置によって使用されるコマン
    ドを与える外部計算手段に結合されたインターフェース
    回路であって、前記タイミングコントロールロジックと
    前記ピクセルタイミング回路と前記列アドレシング回路
    と前記行アドレシング回路とに動作可能に結合されてい
    るインターフェース回路と、を備えることを特徴とする
    イメージセンサ装置。
  2. 【請求項2】 半導体イメージセンシング装置であっ
    て、 半導体基板の上に形成された複数のピクセルを含む撮像
    アレイと、 前記基板の上に形成されたシリアル通信インターフェー
    スを介してプログラム可能であり、前記基板の上に形成
    されたタイミングコントロールブロックと、 前記基板の上に形成され、前記ピクセル値をアドレス指
    定して読み出すために必要な信号を生成する生成手段
    と、 前記基板の上に形成され、前記ピクセル値を処理してデ
    ジタルワードを形成する形成手段と、 前記デジタルワードを外部装置に伝送する伝送手段と、
    を備えることを特徴とする半導体イメージセンシング装
    置。
  3. 【請求項3】 前記センシング装置内に埋め込まれたマ
    イクロコントローラを更に備えており、前記マイクロコ
    ントローラが、ユーザ入力のためのインターフェース手
    段を更に備えていることを特徴とする請求項2に記載の
    半導体イメージングセンシング装置。
JP01328699A 1998-01-22 1999-01-21 イメージセンサ装置及び半導体イメージセンシング装置 Expired - Lifetime JP3868648B2 (ja)

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