JPH11262713A - 粘性流体塗布装置 - Google Patents
粘性流体塗布装置Info
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- JPH11262713A JPH11262713A JP6989298A JP6989298A JPH11262713A JP H11262713 A JPH11262713 A JP H11262713A JP 6989298 A JP6989298 A JP 6989298A JP 6989298 A JP6989298 A JP 6989298A JP H11262713 A JPH11262713 A JP H11262713A
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Abstract
までに要する時間を、塗布ポイント間の距離の大小にか
かわらず、常に一定にコントロールすることによって、
粘性流体の塗布量のばらつきを抑え、高精度な粘性流体
の塗布を行なうことができる粘性流体塗布装置を提供す
る。 【解決手段】 基板2に対し上下動可能かつ水平面方向
X、Yに相対移動可能な塗布ヘッド5を有し、基板2に
対する水平面方向X、Yの位置決めがなされた塗布ヘッ
ド5が、塗布バルブ6が開くことにより送られてくる粘
性流体1を、下死点位置にあるとき基板2の塗布ポイン
ト上に塗布する粘性流体塗布装置において、塗布ポイン
ト間の距離の大小にかかわらず、塗布バルブ6が開くタ
イミングを、塗布ヘッド5が下死点位置にあって粘性流
体を塗布する時点から遡って常に同じタイミングとなる
ように構成した。
Description
流体の塗布を行なう粘性流体塗布装置に関するものであ
る。
に基づいて説明する。
2は粘性流体1が塗布ポイントに塗布されるプリント基
板、3はプリント基板2を移動位置決めするテーブル
部、4はテーブル部3をY軸方向へ移動位置決めするY
ロボットであり、5は粘性流体1を塗布するノズル部1
1を有するディスペンサ(塗布ヘッド)、6は塗布バル
ブ、7は塗布された粘性流体1の面積を認識する認識カ
メラ、8は塗布ヘッド5と認識カメラ7をX軸方向に移
動位置決めするXロボット、9はテーブル部3に装備さ
れた試し打ちのために用いられる試し打ちテープ、10
は上記各機構部を任意にコントロールすることができる
制御部である。
のタイミングについて説明する。
ロールされている従来の塗布タイミングを表すために作
成されたタイミングチャートであって、実線は塗布ヘッ
ド5の上下動の速度制御状態を、破線は塗布ヘッド5の
X軸方向移動の速度制御状態を示す。そして、図の(1
1)は塗布ヘッド5の下降時の速度状態を示し、(1
2)は塗布ヘッド5の上昇時の速度状態を示し、(1
3)はYロボット4の駆動による基板2のY軸方向移動
を考慮して定められたXロボット8の駆動による塗布ヘ
ッド5のX軸方向移動の速度状態を示し、その積分値に
相当するものが塗布ポイント間の塗布ヘッド5の移動距
離を示している。
布ヘッド5の移動距離sであるときのタイミングチャー
トであり、図4(b)は塗布ポイント間の塗布ヘッド5
の移動距離が前記sより大のSであるときのタイミング
チャートである。
4)は粘性流体1を塗布ヘッド5のノズル部11の先端
に吐出するときに、塗布バルブ6が開くタイミングを示
している。また、(15)は塗布ヘッド5が下降して下
死点位置にあるときに、この塗布ヘッド5のノズル部1
1から基板2の塗布ポイントに粘性流体が塗布される時
点を示している。
流体塗布時点(15)までに要する時間を示し、これは
図4(a)、(b)に示すように塗布ヘッド5の移動距
離の大小で変化し、図4(a)ではt、図4(b)では
前記tより大のTかかっている。
布装置の塗布工程では、粘性流体を塗布量がばらつきな
く塗布することが要求されている。
布装置では、図4(a)、(b)に示すように、粘性流
体の塗布ポイント間の塗布ヘッド5の移動距離s、Sの
大小によって、塗布バルブ6を開いてから粘性流体を塗
布して転写するまでに要する時間t、Tが変わってしま
い、その結果、接着剤等の粘性流体1の収縮性や塗布バ
ルブ6の排圧による吸引力等の条件が変わるために、塗
布ポイント間の塗布ヘッド5の移動距離s、Sの大小に
よって塗布量がばらつくという問題があった。
バルブを開いてから粘性流体を基板上の塗布ポイントに
塗布するまでに要する時間を、塗布ポイント間の距離の
大小にかかわらず、常に一定にコントロールすることに
よって、粘性流体の塗布量のばらつきを抑えることがで
きて、安定した高精度な粘性流体の塗布を行なうことが
できる粘性流体塗布装置を提供することを目的としてい
る。
に、本発明は、基板に対し上下動可能かつ水平面方向に
相対移動可能な塗布ヘッドを有し、基板に対する水平面
方向の位置決めがなされた塗布ヘッドが、塗布バルブが
開くことにより送られてくる粘性流体を、下死点位置に
あるとき基板の塗布ポイント上に塗布する粘性流体塗布
装置において、塗布ポイント間の距離の大小にかかわら
ず、塗布バルブが開くタイミングを、塗布ヘッドが下死
点位置にあって粘性流体を塗布する時点から遡って常に
同じタイミングとなるように構成したことを特徴とす
る。
粘性流体を塗布するまでに要する時間を塗布ポイント間
の距離の大小にかかわらず常に一定にコントロールする
ことで、粘性流体の持つ収縮性やノズル部の排圧条件を
常に一定に保つことができ、粘性流体の塗布量のばらつ
きを抑えることができて高精度な粘性流体の塗布を行な
うことができる。
装置の実施形態について、図を参照しつつ説明する。
る粘性流体塗布装置を示し、その基本構成はすでに〔従
来の技術〕の項で説明したとおりである。すなわち粘性
流体塗布装置は、プリント基板(基板)2に対し上下動
可能かつ水平面方向X、Yに相対移動可能な塗布ヘッド
5を有し、基板2に対する水平面方向X、Yの位置決め
がなされた塗布ヘッド5が、塗布バルブ6が開くことに
より送られてくる粘性流体1を、下死点位置にあるとき
基板2の塗布ポイント上に塗布するように構成されてい
る。
0は、従来例と異なり、図2に示すように、塗布バルブ
6が開くタイミングを、塗布ヘッド5の基板2の塗布ポ
イントに対する水平面方向X、Yの位置決め位置(1
7)に対し、基板2の塗布ポイントに対する塗布ヘッド
5の移動位置が一定移動量X残された時点(18)に設
定するように、構成されている。
破線で示す折線グラフ及び(11)〜(15)の意味
は、図4で示したものと同様であるので、その説明を省
略する(後述の図3のタイミングチャートの場合も同様
である。)。本実施形態では、塗布ヘッド5は基板2の
塗布ポイントに粘性流体を塗布した(15)後、上昇し
(12)、次いで次の塗布ポイントに向けてX軸方向に
移動する。その際基板2のY軸方向の移動を考慮してそ
の速度状態が(13)に示すように定められる。
布ヘッド5は位置決め位置(17)に達し、そこで下降
し(11)、下死点位置に達し、粘性流体1を基板2の
塗布ポイントに塗布する(15)。
開くタイミングは、上述のように前記位置決め位置(1
7)に対し、距離X手前の位置に塗布ヘッド5が達した
時点(18)に設定している。
グを上記のようにとることで、塗布バルブ6を開いてか
ら粘性流体1を塗布するまでに要する時間を塗布ポイン
ト間の距離xの大小にかかわらずに常に一定にコントロ
ールすることができ、粘性流体1の塗布量のばらつきを
抑えることができて、高精度な塗布を行なうことができ
る。
の制御部10は従来例と異なり、塗布バルブ6が開くタ
イミング(18)を、塗布ヘッド5が下死点位置にあっ
て粘性流体を塗布する時点(15)の一定時間T0 前の
時点に設定するように、構成されている。
グを上記のようにとることで、塗布バルブ6を開いてか
ら粘性流体1を塗布するまでに要する時間を塗布ポイン
ト間の距離xの大小にかかわらずに常に一定にコントロ
ールすることができ、粘性流体1の塗布量のばらつきを
抑えることができて、高精度な塗布を行なうことができ
る。
様に構成することができる。例えば塗布ヘッド5がX、
Y両方向に移動して、停止している基板2の塗布ポイン
ト上に粘性流体1を塗布するタイプの粘性流体塗布装置
に本発明を適用することができる。
ら粘性流体を塗布するまでに要する時間を、塗布ポイン
ト間の距離の大小にかかわらず、常に一定にコントロー
ルすることができるので、粘性流体の塗布量のばらつき
を抑え、安定した高精度な粘性流体の塗布を行なうこと
ができる。
布ヘッドおよび塗布バルブの作動状態を示すタイミング
チャートである。
布ヘッドおよび塗布バルブの作動状態を示すタイミング
チャートである。
よび塗布バルブの作動状態を(a)、(b)に示すタイ
ミングチャートである。
Claims (3)
- 【請求項1】 基板に対し上下動可能かつ水平面方向に
相対移動可能な塗布ヘッドを有し、基板に対する水平面
方向の位置決めがなされた塗布ヘッドが、塗布バルブが
開くことにより送られてくる粘性流体を、下死点位置に
あるとき基板の塗布ポイント上に塗布する粘性流体塗布
装置において、塗布ポイント間の距離の大小にかかわら
ず、塗布バルブが開くタイミングを、塗布ヘッドが下死
点位置にあって粘性流体を塗布する時点から遡って常に
同じタイミングとなるように構成したことを特徴とする
粘性流体塗布装置。 - 【請求項2】 塗布バルブが開くタイミングを、塗布ヘ
ッドの基板の塗布ポイントに対する水平面方向の位置決
め位置に対し、基板の塗布ポイントに対する塗布ヘッド
の移動位置が一定移動量残された時点に設定することを
特徴とする請求項1記載の粘性流体塗布装置。 - 【請求項3】 塗布バルブが開くタイミングを、塗布ヘ
ッドが下死点位置にあって粘性流体を塗布する時点の一
定時間前の時点に設定することを特徴とする請求項1記
載の粘性流体塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06989298A JP3689551B2 (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 粘性流体塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06989298A JP3689551B2 (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 粘性流体塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11262713A true JPH11262713A (ja) | 1999-09-28 |
JP3689551B2 JP3689551B2 (ja) | 2005-08-31 |
Family
ID=13415836
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06989298A Expired - Lifetime JP3689551B2 (ja) | 1998-03-19 | 1998-03-19 | 粘性流体塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3689551B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018061953A (ja) * | 2016-10-14 | 2018-04-19 | マルコ システマナリセ ウント エントヴィックルング ゲーエムベーハー | 物体の表面に流体を適用する装置および方法 |
WO2022009359A1 (ja) * | 2020-07-09 | 2022-01-13 | 株式会社Fuji | 液剤塗布装置 |
CN115569820A (zh) * | 2022-10-24 | 2023-01-06 | 中自环保科技股份有限公司 | 一种提高涂覆式催化剂涂覆精准度的控制方法 |
-
1998
- 1998-03-19 JP JP06989298A patent/JP3689551B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20180041612A (ko) * | 2016-10-14 | 2018-04-24 | 마르코 시스템애널라이즈 운트 엔트비크룽 게엠베하 | 유체를 물체 표면에 도포하기 위한 장치 및 방법 |
US10794540B2 (en) | 2016-10-14 | 2020-10-06 | Marco Systemanalyse Und Entwicklung Gmbh | Apparatus and method for applying a fluid to an object surface |
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DE112020007401T5 (de) | 2020-07-09 | 2023-04-20 | Fuji Corporation | Applikationsapparat für Flüssigmittel |
CN115569820A (zh) * | 2022-10-24 | 2023-01-06 | 中自环保科技股份有限公司 | 一种提高涂覆式催化剂涂覆精准度的控制方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP3689551B2 (ja) | 2005-08-31 |
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