JPH1125423A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

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Publication number
JPH1125423A
JPH1125423A JP17456397A JP17456397A JPH1125423A JP H1125423 A JPH1125423 A JP H1125423A JP 17456397 A JP17456397 A JP 17456397A JP 17456397 A JP17456397 A JP 17456397A JP H1125423 A JPH1125423 A JP H1125423A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic head
film magnetic
edges
thin
thin film
Prior art date
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Pending
Application number
JP17456397A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshihiko Oya
喜彦 大矢
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Ibaraki Ltd
Original Assignee
NEC Ibaraki Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Ibaraki Ltd filed Critical NEC Ibaraki Ltd
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Publication of JPH1125423A publication Critical patent/JPH1125423A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 アンダーシュートを極力抑えながらも、媒体
対向面の加工精度に影響され難い、安定した記録/再生
特性を得ることができる薄膜磁気ヘッドを提供する。 【解決手段】 薄膜磁気ヘッドは、ギャップ層10と、
ギャップ層10を挟んで相互に対向する一対の磁極層2
2、23を備え、磁気ディスクと対向してこの磁気ディ
スクとの間で情報の記録及び再生の少なくとも一方を行
う。薄膜磁気ヘッドは、磁気ヘッドの媒体対向面25
が、所定間隔をあけて相互に対向し且つ磁気ディスクの
トラックの走行方向と夫々所定角度傾いて延在する第1
及び第2の縁部16、17と、第1及び第2の縁部1
6、17の夫々の両端を相互に連結する第3及び第4の
縁部18、19とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク装置
等に使用される薄膜磁気ヘッドに関し、特に、記録媒体
と対向して該記録媒体との間で情報の記録及び再生の少
なくとも一方を行う薄膜磁気ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスク装置の大容量化に伴い、記
録密度を高めるために薄膜磁気ヘッドが使用されてい
る。従来の薄膜磁気ヘッドは、アルミナ等の絶縁膜から
成るギャップ層を有し、このギャップ層を挟んで相互に
対向する磁極層としての下部磁性膜及び上部磁性膜を備
え、磁気ディスクと対向してこの磁気ディスクとの間で
情報の記録/再生を行う。ここで、磁気ディスクのトラ
ック方向の高記録密度化を実現するには、磁気ヘッドの
厚みを小さくする必要がある。
【0003】上記従来の薄膜磁気ヘッドでは、磁気ディ
スクのトラックに媒体対向面を対向させて情報の記録/
再生を行う際に、出力波形にアンダーシュートが発生し
易い。アンダーシュートが発生すると、高密度記録の場
合にピークシフトが大きくなって、読出し信号マージ
ン、特に位相マージンに限界が生じて高記録密度の障害
になる。
【0004】図2は、従来の薄膜磁気ヘッドの媒体対向
面及び磁気ディスクに記録された信号の1ショットを再
生した出力波形を示す図である。同図を参照してアンダ
ーシュートの発生を具体的に説明する。薄膜磁気ヘッド
は、ギャップ層10と、ギャップ層10を挟んで相互に
対向する一対の磁極層を成す下部ポール11及び上部ポ
ール12とを備える。この薄膜磁気ヘッドでは、矢印A
で示すトラックの走行方向と直交する磁極層端縁13、
14が夫々、記録/再生時に擬似ギャップになるため、
この擬似ギャップに起因して出力波形にアンダーシュー
ト15、16が生じる。
【0005】図3は、アンダーシュートの発生を抑える
ため提案された従来の薄膜磁気ヘッドの媒体対向面及び
磁気ディスクから読み取った信号の出力波形を示す図で
ある。この薄膜磁気ヘッドでは、ギャップ層10、下部
ポール11及び上部ポール12の夫々の先端面が、斜線
部以外の部分をイオンミリング又はケミカルエッチング
によってトリミングされている。これにより、磁気ディ
スクに対向する磁極層20、21及びギャップ層10a
を有する全体として楕円形状の媒体対向面24が形成さ
れる。
【0006】上記構成の薄膜磁気ヘッドでは、トラック
の走行方向における両端の磁極層端縁13、14の形状
が、移動するトラックに対して徐々に変化することにな
る。このため、図2では磁極層端縁13、14で大きく
発生したアンダーシュート15、16が、図3では時間
軸上で分散して弱められる。これにより、媒体対向面2
4の形状に従って徐々に変化する包絡線状の出力波形が
得られる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記提案され
た従来の薄膜磁気ヘッドでは、トリミング時の加工誤差
によって、媒体対向面24が、例えば図3の波線で示す
ように矢印A方向に位置ずれして形成されると、トラッ
ク幅に対応する幅Wを有する媒体対向面24での読取り
幅が、W’で示すように狭くなる。従って、再生/記録
(R/W)特性が媒体対向面24の加工精度に大きく影
響され安定しないという新たな問題を生じる。
【0008】本発明は、上記に鑑み、アンダーシュート
を極力抑えながらも、媒体対向面の加工精度に影響され
難い、安定した記録/再生特性を得ることができる薄膜
磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の薄膜磁気ヘッドは、ギャップ層と、該ギャ
ップ層を挟んで相互に対向する一対の磁極層を備え、記
録媒体と対向して該記録媒体との間で情報の記録及び再
生の少なくとも一方を行う薄膜磁気ヘッドにおいて、前
記磁気ヘッドの媒体対向面が、所定間隔をあけて相互に
対向し且つ記録媒体のトラックの走行方向と夫々所定角
度傾いて延在する第1及び第2の縁部と、該第1及び第
2の縁部の夫々の両端を相互に連結する第3及び第4の
縁部とを備えることを特徴とする。
【0010】本発明の薄膜磁気ヘッドでは、媒体対向面
の第1及び第2の縁部が、所定間隔をあけて相互に対向
し且つトラックの走行方向と夫々所定角度傾いて延在す
るので、加工誤差により媒体対向面がたとえ前記走行方
向に位置ずれして形成されたとしても、記録媒体のトラ
ック幅に対応する媒体対向面の読取り幅に変化が生じな
い。更に、第3及び第4の縁部が第1及び第2の縁部の
傾きに伴って記録媒体の走行方向から傾くこととすれ
ば、トラックの走行方向における両側に位置する磁極層
端縁が、移動するトラックに対して徐々に変化する形状
になる。このため、従来は磁極層端縁で大きく発生した
アンダーシュートが時間軸上で分散され、無視できる程
度に極めて小さくなる。
【0011】ここで、第3及び第4の縁部が略円弧状で
あることが好ましい。この場合、アンダーシュートを時
間軸上で滑らかに分散させることができる。また、第1
及び第2の縁部は一般的には略直線状であるが、特にこ
れに限らない。
【0012】
【発明の実施の形態】図面を参照して本発明を更に詳細
に説明する。図1は、本発明の一実施形態例の薄膜磁気
ヘッドの媒体対向面及び磁気ディスクから読み取った信
号の出力波形を示す図である。
【0013】薄膜磁気ヘッドは、ギャップ層10と、ギ
ャップ層10を挟んで相互に対向する一対の磁性層を成
す下部ポール11及び上部ポール12を備える。下部ポ
ール11及び上部ポール12は夫々、NiFe等の磁性
体から成る。
【0014】ギャップ層10、下部ポール11及び上部
ポール12の夫々の先端面は、斜線部以外の部分がイオ
ンミリング又はケミカルエッチングによってトリミング
されて、磁気ディスクとの対向面から後退している。こ
れにより、図示の媒体対向面25が得られる。媒体対向
面25は、相互に所定間隔をあけて対向し、矢印Aで示
す磁気ディスクのトラックの走行方向と所定角度傾いて
延在する第1及び第2の縁部16、17と、縁部16、
17の夫々の両端を相互に連結する第3及び第4の縁部
18、19とを備える。第3及び第4の縁部18、19
は夫々円弧状に形成され、第1及び第2の縁部16、1
7は夫々直線状に形成される。第1及び第2の縁部1
6、17は、完全な直線状でなく若干の曲線部を含むよ
うな形状であっても良い。
【0015】下部ポール11及び上部ポール12の厚さ
は約2〜5μm程度に、トラック幅方向の長さは約4〜
7μm程度に定めることができ、ギャップ層10の幅G
Wは約0.2〜0.5μm程度に定めることができる。
また、ギャップ層10、下部ポール11及び上部ポール
12の夫々の斜線部以外の部分のトリミング量は約0.
05〜5μm程度に定めることができ、縁部16及び1
7の磁気ディスクのトラックの走行方向に対する傾斜角
度は約10〜80°程度に定めることができる。
【0016】上記構成の薄膜磁気ヘッドでは、第1及び
第2の縁部16、17が、相互に所定間隔をあけて対向
する直線から成るので、トリミング時の加工精度によっ
て媒体対向面25がトラックの走行方向(A)に約±
0.5μm程度ずれたとしても、図の破線で示すような
位置ずれが生じるだけであり、磁気ディスクのトラック
幅に対応する読取り幅Wに変化は生じない。
【0017】また、第1及び第2の縁部16、17が、
走行方向(A)と所定角度傾いて延在するので、第3及
び第4の縁部18、19も第1及び第2の縁部16、1
7の傾きに伴って走行方向に対して傾く。つまり、走行
方向(A)における両側に位置する磁極層端縁が、移動
するトラックに対して徐々に変化する形状になるので、
アンダーシュート成分を集中させずに分散することがで
きる。このため、従来は磁極層端縁で大きく発生したア
ンダーシュートを時間軸上で分散させ、無視できる程度
に極めて小さくすることができる。この状態は、つまり
擬似ギャップが消滅したこととほぼ等価である。従っ
て、本薄膜磁気ヘッドによると、加工精度に起因する読
取り幅Wの変動を抑えて記録/再生特性を安定させ、ア
ンダーシュート成分が極めて低く、ローレンツパルスに
近似の理想的な出力波形を得ることができる。
【0018】
【実施例】実施例1 下部ポール11及び上部ポール12を夫々、磁性体であ
るNiFeから構成し、下部ポール11の厚さを3.2
μm及びトラック幅方向の長さを6μmとし、上部ポー
ル12の厚さを3.2μm及び長さを5μmとした。ま
た、非磁性膜から成るギャップ層10の幅GWを0.3
μmとした。ギャップ層10、下部ポール11及び上部
ポール12の夫々の先端面を、イオンミリング又はケミ
カルエッチングによって斜線部以外の部分を0.1μm
除去して凹状に形成した。トリミングによって磁気ディ
スク側に突出した媒体対向面25の第1及び第2の縁部
16、17の走行方向(A)に対する傾斜角度を30°
に設定した。
【0019】上記構成により、アンダーシュートを極力
抑えながらも、媒体対向面25の加工精度に影響されな
い、安定した記録/再生特性を得ることができた。
【0020】以上、本発明をその好適な実施形態例に基
づいて説明したが、本発明の薄膜磁気ヘッドは、上記実
施形態例の構成にのみ限定されるものではなく、上記実
施形態例の構成から種々の修正及び変更を施した薄膜磁
気ヘッドも、本発明の範囲に含まれる。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の薄膜磁気
ヘッドは、アンダーシュートを極力抑えながらも、媒体
対向面の加工精度に影響され難い、安定した記録/再生
特性を得ることができるという顕著な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態例の薄膜磁気ヘッドの媒体
対向面及び磁気ディスクから読み取った信号の出力波形
を示す図である。
【図2】従来の薄膜磁気ヘッドの媒体対向面及び及び磁
気ディスクから読み取った信号の出力波形を示す図であ
る。
【図3】図2とは別の従来の薄膜磁気ヘッドの媒体対向
面及び磁気ディスクから読み取った信号の出力波形を示
す図である。
【符号の説明】
10 ギャップ層 11 下部ポール 12 上部ポール 16 第1の縁部 17 第2の縁部 18 第3の縁部 19 第4の縁部 22、23 磁極層 25 媒体対向面 W 幅

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ギャップ層と、該ギャップ層を挟んで相
    互に対向する一対の磁極層を備え、記録媒体と対向して
    該記録媒体との間で情報の記録及び再生の少なくとも一
    方を行う薄膜磁気ヘッドにおいて、 前記磁気ヘッドの媒体対向面が、所定間隔をあけて相互
    に対向し且つ記録媒体のトラックの走行方向と夫々所定
    角度傾いて延在する第1及び第2の縁部と、該第1及び
    第2の縁部の夫々の両端を相互に連結する第3及び第4
    の縁部とを備えることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記第3及び第4の縁部が略円弧状であ
    ることを特徴とする請求項1に記載の薄膜磁気ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記第1及び第2の縁部が略直線状であ
    ることを特徴とする請求項1又は2に記載の薄膜磁気ヘ
    ッド。
JP17456397A 1997-06-30 1997-06-30 薄膜磁気ヘッド Pending JPH1125423A (ja)

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