JPH11253715A - エアフィルタの組立・梱包・性能試験方法、ファンフィルタユニットの組立・梱包方法、クリーンルーム、局所設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】エアフィルタの稼働直後からクリーンルーム内
にガス状有機物が放散されないようにする。 【解決手段】エアフィルタとファンフィルタユニットの
構成材料および梱包材料をガス状有機物が発生しないも
のとする。その組立・梱包環境をガス状有機物の存在し
ない空間で行う。エアフィルタの性能試験に用いるエア
ロゾルを、ガス状有機物を発生しない微粒子を、ガス状
有機物を含まない空気中に分散させて得られたものとす
る。このようにして組立、性能試験、梱包がなされて搬
入されたエアフィルタまたはファンフィルタユニットを
クリーンルーム内に設置する。クリーンルーム内の床
材、壁材、乾式シール材、および湿式シール材として、
ガス状有機物が発生しない材料を使用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、食品、医
薬品、バイオテクノロジーなどの産業で使用するクリー
ンルームに用いられるエアフィルタの組立方法、梱包方
法、および性能試験方法、並びに、ファンフィルタユニ
ットの組立方法および梱包方法、さらに、クリーンルー
ムおよび局所設備に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体の高集積度化に伴い、クリーンル
ームの空気には、塵埃ばかりでなくガス状の有機物も問
題にされるようになった（藤井；ガス状汚染物とその除
去対策の現状、空気清浄、Ｖｏ１．３２、Ｎ０．３，
Ｐ．４３，（１９９４））。現在のクリーンルームに
は、一般的には、繊維を濾材に使用したエアフィルタが
使用されている。ガラス繊維を濾材に使用したエアフィ
ルタ、例えばＵＬＰＡ（Ｕｌｔｒａ Ｌｏｗ Ｐｅｎｅ
ｔｒａｔｉｏｎ Ａｉｒの略）フィルタや、ＨＥＰＡ
（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｌｅ
Ａｉｒの略）フィルタは、微粒子を除去できる点で優
れたフィルタである。例えば、ＵＬＰＡフィルタでは
０．１μｍ以上の微粒子からなる塵埃が除去可能であ
る。

【０００３】クリーンルームの空気中には多くの有機物
が存在し、この有機物がシリコンウエハに吸着すると、
製造された半導体デバイスを劣化することが知られてい
る。その原因は、ゲート酸化膜の信頼性の低下によるも
のとされている（島崎ほか、応用物理学会予稿集ｐ．６
８６（１９９２春季））。本発明者らが行った研究によ
れば、従来のエアフィルタからは、有機物として環状シ
ロキサン類、有機カルボン酸エステル類、有機リン酸エ
ステル類、炭化水素類、フェノール類等が発生する（小
林ほか；第４２回応用物理学関係連合講演会予稿集 Ｎ
ｏ．１，ｐ．３５６（１９９５））。本発明者らは、こ
れらの有機物がエアフィルタの濾材に含まれるバインダ
ーや、この濾材とフレームとを接着するシール材から発
生することも明らかにした。

【０００４】本発明者らは、既に、このようなエアフィ
ルタから発生する有機物を減少させるためには、エアフ
ィルタを加熱ガスにより処理する方法が有効であること
を見い出して特許出願を行っている（特開平９−２９０
２０号公報参照）。さらに、より有機物発生量の少ない
バインダー、シール材、ガスケットを使用したエアフィ
ルタの特許出願も行っている（国際公開ＷＯ９７／０４
８５１参照）。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】その後、更に研究を重
ねた結果、ガス状有機物を発生しない材料で製造された
エアフィルタ構成材料を用いてエアフィルタの組立を行
っても、クリーンルームに取り付けたエアフィルタの濾
材からガス状有機物が発生することが分かった。すなわ
ち、従来は全く意識されていなかったが、エアフィルタ
の組立作業を行う環境や、「ＪＩＳ Ｂ９９２７」に記
載されたエアフィルタの性能試験で使用するエアロゾル
を構成する微粒子および空気、製品となったエアフィル
タを包装・梱包する包装・梱包材料、さらには、エアフ
ィルタに空気を送る送風機等も、有機物の発生源である
ことが明らかとなった。

【０００６】また、組立環境および梱包材料によって濾
材にガス状有機物が吸着されたエアフィルタをそのまま
クリーンルームに設置すると、少なくとも設置後６カ月
はクリーンルーム内にガス状有機物が放散されて、その
空気を汚染することも分かった。従来の半導体製造用の
クリーンルームは、クリーンルームの建設が完了してエ
アフィルタを稼働させ、半導体製造装置を搬入してから
半年以上放置した後に、正規の稼働を行っていた。そし
て、この放置期間に、エアフィルタの濾材に吸着してい
たガス状有機物が次第に放散されるため、正規の稼働後
のクリーンルーム内にガス状有機物の残留は少なく、半
導体デバイスの生産歩留まりへの影響は小さかった。

【０００７】しかしながら、最近では、半導体製造装置
を搬入後、直ちに正規の運転を行う「垂直立ち上げ」が
行われるようになったため、エアフィルタの稼働直後か
ら、クリーンルーム内にガス状有機物が放散されないよ
うにする必要がある。本発明は、このような点に着目し
てなされたものであり、エアフィルタの稼働直後からク
リーンルーム内にガス状有機物が放散されないようにす
ることを課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、ガス状有機物を発生しない材料を用いて
作製されたエアフィルタ構成材料を用い、ガス状有機物
が存在しない空間でエアフィルタの組立を行うことを特
徴とするエアフィルタの組立方法を提供するものであ
る。

【０００９】エアフィルタ構成材料とは、繊維を処理剤
（バインダ、撥水剤、必要に応じて添加される可塑剤お
よび酸化防止剤）で処理して不織布状に形成された濾材
と、この濾材を入れるフレームと、このフレームと濾材
との間を密封するシール材であり、先ずこれらをガス状
有機物を発生しない材料を用いて作製する。ここで、
「ガス状有機物を発生しない材料」とは、材料から採取
した試料を下記の方法で分析した場合に、ガス状有機物
の発生量が試料１ｇ当たりｎ−ヘキサデカン換算で５０
μｇ未満である材料を意味する。

【００１０】分析方法は以下の通りである。一般に「Ｐ
＆Ｔ（パージ＆トラップ）−ＧＣ／ＭＳ（ガスクロマト
グラフ／マススペクトル）法」または「ダイナミックヘ
ッドスペース法」と呼ばれる方法を採用し、以下の条件
で行う。先ず、試料数ｍｇを切り取って試験管に入れ、
この試験管内にヘリウムガスを流しながら１３０℃で１
０分間加熱し、揮発成分を−１３０℃に冷却されたトラ
ップ管で捕集する。次に、このトラップ管内の成分を、
ヘリウム気流下で１分間で３００℃まで急速加熱するこ
とによりガス状とし、ＧＣ／ＭＳ装置に導入して分析す
る。

【００１１】ＧＣ装置はヒューレットパッカード社製の
ＨＰ−５８９０Ａであり、ＭＳ装置は同社のＨＰ−５９
７０Ｂである。ＧＣ装置のカラムは同社のＨＰ−ウルト
ラ２（ＯＶ−５系）であり、内径０．２ｍｍ、長さ２５
ｍｍ、膜厚０．３３μｍである。ＧＣ装置の測定時の温
度条件は以下の通りである。初期温度４０℃→速度１０
℃／分で昇温→最終温度３００℃（１５分間保持）ま
た、ＧＣ装置のキャリアーガスはヘリウムであり、注入
方式はスプリット法であって、スプリット比は１／２０
０とする。ＭＳ装置のイオン化法は電子衝撃法であり、
検出範囲はｍ／ｚで２５〜１０００とする。

【００１２】得られた質量スペクトルから、ｎ−ヘキサ
デカンを標準物質として検量線を作成し、全成分をｎ−
ヘキサデカン換算の濃度として表示する。そして、各成
分の濃度のｎ−ヘキサデカン換算値を合計した値を、切
り取った試料から発生した有機物の量として算出する。
なお、得られた質量スペクトルには、含有する有機物に
応じたピークが表示されるため、ピーク位置から有機物
の種類を同定することができる。

【００１３】上述の分析方法では、試料に含有する有機
物を温度１３０℃で揮発させているが、通常のクリーン
ルーム内の温度は例えば２３℃である。したがって、こ
の方法による分析の結果、有機物の発生量が５０μｇ／
ｇ未満の材料であれば、温度と蒸気圧との関係から、温
度２３℃のクリーンルーム内では有機物の発生量が０．
１μｇ／ｇ以下となる。すなわち、上記分析方法で有機
物の発生量が５０μｇ／ｇ未満の材料は、実質的にクリ
ーンルーム内を汚染することがないため、このような材
料を「ガス状有機物を発生しない材料」と定義する。

【００１４】したがって、使用するエアフィルタ構成材
料を選択する際には、上記分析方法で測定した有機物の
発生量が５０μｇ／ｇ未満となるような材料を選択す
る。そのために、濾材の処理剤としては、有機物で構成
されるバインダ、撥水剤、必要に応じて添加される可塑
剤および酸化防止剤のいずれについても蒸気圧の低いも
のを使用し、上記分析方法での有機物の発生量が濾材１
ｇ当たり５０μｇ未満となるようにする。

【００１５】具体的に、処理剤のうちの撥水剤として
は、フッ素樹脂や脂肪族炭化水素等を主成分とする非シ
リコーン系撥水剤を用い、脂肪族炭化水素を主成分とす
る場合には、炭素数２０以上の脂肪族炭化水素および炭
素数１８以上の高級アルコールのうちの少なくともいず
れか一つを用いる。処理剤に必要に応じて含有させる可
塑剤としては、その主成分を分子量４４０以上のカルボ
ン酸エステル、ポリエステル、エポキシ系化合物のうち
の少なくともいずれか一つとする。処理剤に必要に応じ
て含有させる酸化防止剤としては、その主成分を分子量
３００以上のフェノール系化合物とする。

【００１６】ここで、各添加剤の「主成分」とは、各添
加剤の「８０％以上を占める成分」という意味であっ
て、主成分として挙げられていない各添加剤を２０％未
満の割合で含有しているものを、各添加剤として使用し
てもよい。このような添加剤であってもガス状有機物を
実質的に発生しないか、発生しても極微量であって特に
問題はない。

【００１７】これらの化合物は、温度２３℃相対湿度３
０〜４０％に管理され、エアフィルタを通過する空気の
流速が０．３〜０．４ｍ／ｓ程度である通常のクリーン
ルーム内の空気中に、ガス状物として存在しない。炭素
数２０以上の脂肪族炭化水素および炭素数１８以上の高
級アルコールの具体例としては、マイクロクリスタリン
ワックス、天然パラフィン、合成パラフィン、ポリオレ
フィンワックス、炭素数１８，２０，２４の分岐アルコ
ール、およびオレイルアルコール等が挙げられる。

【００１８】分子量４４０以上のカルボン酸エステル、
ポリエステル、エポキシ系化合物としては、下記の
（ａ）で示す物質が挙げられる。 （ａ）フタル酸ジイソデシル（分子量４４７）、フタル
酸ジラウリル（分子量５０１）、フタル酸ジミリスチリ
ル（分子量５３０）、トリメリット酸トリス−２−エチ
ルヘキシル（分子量５４７）、トリメリット酸トリオク
チル（分子量５４７）、トリメリット酸トリノニル（分
子量５７０）、トリメリット酸トリデシル（分子量６１
２）、アジピン酸またはアゼライン酸またはセバチン酸
またはフタル酸とグリコールまたはグリセリンとの重縮
合により得られるポリエステル（分子量２０００〜８０
００）、エポキシ脂肪酸エステル（分子量４４０〜５０
０）、エポキシ化油（分子量約１０００）等。

【００１９】分子量３００以上のフェノール系化合物と
しては、下記の（ｂ）で示す物質が挙げられる。 （ｂ）ステアリル−β−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４
−ヒドロキシフェニル）プロピオネート（分子量５２
０．９）、２，２’−メチレン−ビス−（４−メチル−
６−ｔ−ブチルフェノール）（分子量３４０．５）、
２，２’−メチレン−ビス−（４−エチル−６−ｔ−ブ
チルフェノール）（分子量３６８．５４）、４，４’−
チオビス−（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）
（分子量３５８．５）、４，４’−ブチリデン−ビス−
（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）（分子量３
８２．６）、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−
ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニル）ブタン（分子量
５４４．８）、１，３，５−トリメチル−２，４，６−
トリス−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキシベ
ンジル）ベンゼン（分子量７７５．２）、テトラキス
〔メチレン−３−（３’，５’−ジ−ｔ−ブチル−４’
−ヒドロキシフェニル）プロピオネート〕メタン（分子
量１１７７．７）、ビス−〔３，３’−ビス−（４’−
ヒドロキシ−３’−ｔ−ブチルフェニル）ブチリックア
シド〕グリコールエステル（分子量１１７７．７）、ト
コフェノール（分子量７９４．４）。

【００２０】濾材としては、硼珪酸ガラスや低ボロンガ
ラス、非ガラス系の繊維からなるもの、例えば、石英、
シリカファイバー、ポリエステル繊維、フッ素繊維（ポ
リテトラフルオロエチレン：ＰＴＦＥ）を用いる。シー
ル材としては、含有させる可塑剤の主成分を、分子量４
００以上のカルボン酸エステル（前記（ａ）で挙げた物
質に加えて、フタル酸ジイソノニル（分子量４１８）、
フタル酸オクチルデシル（分子量４１９）も含まれ
る。）、ポリエステル、エポキシ系化合物のうちの少な
くともいずれか一つとする。含有させる酸化防止剤の主
成分を分子量３００以上のフェノール系化合物とする。
含有させる滑剤の主成分を、炭素数２０以上の脂肪族炭
化水素および炭素数１８以上の高級アルコールのうちの
少なくともいずれか一つとする。

【００２１】フレームとしては、ステンレスやアルミニ
ウム等の金属製品を用いる。本発明においては、このよ
うなガス状有機物を発生しない材料を用いて作製された
エアフィルタ構成材料を用い、ガス状有機物が存在しな
い空間でエアフィルタの組立を行う。ここで、「ガス状
有機物が存在しない空間」とは、例えば、「所定の濾材
からなるシートを所定時間（想定される作業時間）放置
した際に、このシートに吸着される有機物の量が、下記
の分析方法で測定した場合にシート１ｇ当たりｎ−ヘキ
サデカン換算で１０μｇ以下となる空間」を意味する。

【００２２】すなわち、シートを室温より極端に高い温
度に保持して、このシートに吸着されたガス状有機物を
強制的に放出させる加速試験を行う。この加速試験でシ
ートから放出された有機物量は、室温でシートに吸着さ
れるガス状有機物量よりも極端に大きな値となる。その
ため、上記の分析方法「Ｐ＆Ｔ−ＧＣ／ＭＳ法」で測定
された有機物量が例えば「シート１ｇ当たりｎ−ヘキサ
デカン換算で１０μｇ以下」であれば、このシートが放
置された空間には実質的にガス状有機物が存在しないと
判断できる。

【００２３】シートを構成する濾材としては、ＵＬＰＡ
フィルタに使用されているようなガラス繊維からなる濾
材を用い、例えばＡ４の大きさのものを天井から吊るし
たり、台の上に置いたりすることにより空間内に配置す
る。所定時間測定空間内に放置した前記シートを数１０
ｍｇ切り取って、Ｐ＆Ｔ−ＧＣ／ＭＳ装置に取り付けら
れた試験管に入れ、この試験管内にヘリウムガスを流し
ながら１３０℃で１０分間加熱し、揮発成分を−１３０
℃に冷却されたトラップ管で捕集する。次に、このトラ
ップ管内の成分を、ヘリウム気流下で１分間で３００℃
まで急速加熱することによりガス状とし、ＧＣ／ＭＳ装
置に導入して分析する。ＧＣ装置の機種、カラムの種
類、測定時の温度設定、および分析された成分の定量方
法は、前記と同じである。

【００２４】別に、同じシートを前記測定空間ではなく
清浄な雰囲気に保存したシートをリファレンスシートと
して用意し、このリファレンスシートについても同様の
分析を行う。後述の実施形態では、前記測定空間に放置
したシートの分析値からこのリファレンスシートの分析
値を差し引いた値を、シートに吸着されたガス状有機物
量としている。

【００２５】このような「ガス状有機物が存在しない空
間」は、例えば以下のようにして得られる。先ず、空間
を形成する建物の内装材（壁や床に塗布する塗料、壁
紙、床面に貼りつける長尺床シート、乾式シール材、湿
式シール材等）として、ガス状有機物が発生しない材料
を使用する。また、この空間に取り入れる空気が有機物
で汚染されている場合には、空間内への空気導入口に、
有機物を除去可能なフィルタ（活性炭フィルタ等）を設
置して、このフィルタで有機物が除去された空気のみが
空間内に導入されるようにする。

【００２６】壁や床に塗布する塗料としては、主成分と
してポリウレタン樹脂、ポリウレア樹脂、ポリウレタン
ウレア樹脂を使用する。硬化剤としてはポリオールやア
ミン化合物を用い、主剤のイソシアネートに対して硬化
剤を混練したものを塗布することによって施工を行う。
壁紙や床面に貼りつける長尺床シートとしては、ポリ塩
化ビニル樹脂からなり、含有する可塑剤の主成分が、分
子量４００以上のカルボン酸エステル、ポリエステル、
エポキシ系化合物のうちの少なくともいずれか一つであ
って、含有する酸化防止剤の主成分が分子量３００以上
のフェノール系化合物であって、含有する帯電防止材の
主成分が、アルキルアミンエチレンオキサイド付加体お
よびアルキルアミドエチレンオキサイド付加体のいずれ
か一つであって、且つ分子量が３５０以上であるものを
使用する。

【００２７】乾式シール材（原料ゴムと配合剤とを混合
して所定形状に成形されたもの）としては、配合剤のう
ちの滑剤の主成分が、炭素数２０以上の脂肪族炭化水素
および炭素数１８以上の高級アルコールのうちの少なく
ともいずれか一つであって、可塑剤の主成分が、分子量
４００以上のカルボン酸エステル、ポリエステル、エポ
キシ系化合物のうちの少なくともいずれか一つであっ
て、含有する酸化防止剤の主成分が分子量３００以上の
フェノール系化合物であるものを使用する。

【００２８】湿式シール材（部材間の隙間に充填した後
に硬化させるもの）としては、主成分がポリウレタンプ
レポリマーであって、配合剤のうちの滑剤の主成分が、
炭素数２０以上の脂肪族炭化水素および炭素数１８以上
の高級アルコールのうちの少なくともいずれか一つであ
って、可塑剤の主成分が、分子量４００以上のカルボン
酸エステル、ポリエステル、エポキシ系化合物のうちの
少なくともいずれか一つであって、含有する酸化防止剤
の主成分が分子量３００以上のフェノール系化合物であ
るものを使用する。

【００２９】ここで、各添加剤の「主成分」とは、各添
加剤の「８０％以上を占める成分」という意味であっ
て、主成分として挙げられていない各添加剤を２０％未
満の割合で含有しているものを、各添加剤として使用し
てもよい。このような添加剤であってもガス状有機物を
実質的に発生しないか、発生しても極微量であって特に
問題はない。

【００３０】なお、所定空間内を垂れ壁等で区分し、有
機物吸着用のケミカルフィルタを用いて、区分された部
分に供給する空気を浄化することにより、「ガス状有機
物の存在しない空間」を得ることもできる。本発明にお
いては、このようなガス状有機物の存在しない空間でエ
アフィルタの組立を行う。

【００３１】エアフィルタの組立作業としては、濾材を
折り畳む工程、折り畳まれた濾材をフレームに入れて、
フレームと濾材との間をシール材で密封する工程があ
り、これらの全ての作業を上記のガス状有機物の存在し
ない空間で行うことにより、ガス状有機物が吸着されて
いないエアフィルタが得られる。発明はまた、ガス状有
機物を発生しない梱包材料を用い、ガス状有機物が存在
しない空間でエアフィルタの梱包を行うことを特徴とす
るエアフィルタの梱包方法を提供する。

【００３２】ガス状有機物を発生しない梱包材料として
は、ポリエチレン製品、ポリプロピレン製品、ポリ塩化
ビニル製品であって、必要に応じて添加する可塑剤の主
成分が、分子量４００以上のカルボン酸エステル、ポリ
エステル、エポキシ系化合物のうちの少なくともいずれ
か一つであって、必要に応じて添加する酸化防止剤の主
成分が分子量３００以上のフェノール系化合物であるも
のが挙げられる。また、ポリメチルペンテン−１のよう
に、可塑剤や酸化防止剤等の添加剤を含有させる必要の
ない樹脂をシート状に形成したものを、梱包材料として
使用することもできる。

【００３３】ここで、各添加剤の「主成分」とは、各添
加剤の「８０％以上を占める成分」という意味であっ
て、主成分として挙げられていない各添加剤を２０％未
満の割合で含有しているものを、各添加剤として使用し
てもよい。このような添加剤であってもガス状有機物を
実質的に発生しないか、発生しても極微量であって特に
問題はない。

【００３４】本発明によれば、このようなガス状有機物
を発生しない梱包材料を用い、上述のようなガス状有機
物が存在しない空間でエアフィルタの梱包を行うことに
より、梱包作業中および梱包状態にある間にエアフィル
タにガス状有機物が吸着することを防止できる。本発明
はまた、ガス状有機物を発生しない微粒子を、ガス状有
機物を含まない空気中に分散させて得られたエアロゾル
を用いて、ガス状有機物が存在しない空間でエアフィル
タの性能試験を、例えば「ＪＩＳ Ｂ９９２７」に記載
された方法で行うことを特徴とするエアフィルタの性能
試験方法を提供する。

【００３５】ここで、ガス状有機物を発生しない微粒子
としては、気相で生成したシリカ粒子およびポリスチレ
ンラテックスが挙げられる。また、前述の（ａ）に示し
た物質、すなわち、分子量が４４０以上のカルボン酸エ
ステル、ポリエステル、エポキシ系化合物等を微粒子化
したものも挙げられる。これらの有機物の微粒子化は
「ＪＩＳ Ｚ８９０１」に記載された方法で行うことが
できる。

【００３６】気相で生成したシリカ粒子を空気中に分散
させたエアロゾルは、一般的なシリカゾル（特定の比率
のＳｉＯ₂ ／Ｎａ₂ Ｏのゾルを乾燥して得られるシリカ
粒子であって、表面にナトリウム化合物が付着している
可能性がある。）と異なり、ナトリウムを含まない。ま
た、従来よりエアフィルタの試験に使用されているフタ
ル酸ジオクチル、セバチン酸ジオクチル、パラフィンオ
イルとは異なり、ガス状有機物を含まない。

【００３７】ポリスチレンラテックスは、粒状のポリス
チレンが水に分散しているものであり、スチレンを水に
分散させた状態で重合開始剤を添加して重合させること
により得られる。ポリスチレン粒子は粒子径が種々の範
囲であるものが市販されている。ポリスチレンの粒子径
が種々の範囲であるポリスチレンラテックスも市販され
ている。試験対象とするエアフィルタの種類に応じて、
ポリスチレンの粒子径が適切となるポリスチレンラテッ
クスを選択する。例えばＵＬＰＡフィルタの場合には、
粒子径が０．１μｍ程度であるポリスチレンを含有する
ポリスチレンラテックスを使用する。

【００３８】本発明では、このようなガス状有機物を発
生しない微粒子を、ガス状有機物を含まない空気中に分
散させて得られたエアロゾルを用いてエアフィルタの性
能試験を行う。このようなエアロゾルを作製する場合に
は、微粒子を分散させる空気として、例えば、活性炭、
シリカゲル、アルミナ等の吸着剤からなるケミカルフィ
ルタを通過させることにより、有機物が除去された空気
を用いる。あるいは、ケミカルフィルタとして、前記吸
着剤にそれぞれ酸性物質、アルカリ性物質が担持された
ものを用い、このケミカルフィルタにより金属イオンや
陰イオンが除去された空気を用いる。また、前述のガス
状有機物が存在しない空間の空気を用いてもよい。

【００３９】エアフィルタの性能試験に使用するエアロ
ゾルにガス状有機物やナトリウム等の汚染物質が含有さ
れていると、これらの汚染物質が性能試験中にエアフィ
ルタの濾材に吸着する。この吸着された汚染物質は、こ
のエアフィルタを性能試験後にクリーンルームに取り付
けた後、送風機から導入された空気がエアフィルタ内を
通過する際に、濾材から離脱してクリーンルーム内の空
気を汚染することになる。

【００４０】これに対して、ガス状有機物を発生しない
微粒子を、ガス状有機物を含まない空気中に分散させて
得られたエアロゾルを用いて、ガス状有機物が存在しな
い空間でエアフィルタの性能試験を行うことにより、エ
アフィルタの性能試験の際に、エアフィルタにガス状有
機物やナトリウムが吸着されない。その結果、クリーン
ルーム内に、この方法で性能試験されたエアフィルタを
取り付ければ、このクリーンルーム内の空気は、性能試
験に起因して汚染されることがない。

【００４１】「ＪＩＳ Ｂ９９２７」に記載されている
エアフィルタの性能試験としては、走査漏れ試験および
粉塵捕集率測定がある。走査漏れ試験とは、エアフィル
タの上流側でエアロゾルを発生させ、エアフィルタの下
流側に透過する粒子数（漏れ量）を、パーティクルカウ
ンタをフィルタ面に沿って所定の速度およびピッチで順
次移動させながら測定する試験である。

【００４２】本発明はまた、ガス状有機物を発生しない
材料を用いて作製されたファンフィルタユニット構成材
料を用い、ガス状有機物が存在しない空間でファンフィ
ルタユニットの組立を行うことを特徴とするファンフィ
ルタユニットの組立方法を提供する。ファンフィルタユ
ニット構成材料としては、エアフイルタ、送風機を構成
するモータ、回転翼、および電源用電線が挙げられ、先
ず、これらをガス状有機物を発生しない材料を用いて作
製する。

【００４３】そのために、エアフィルタとしては、前述
のように、ガス状有機物を発生しない材料を用いて作製
されたエアフィルタ構成材料を用い、ガス状有機物が存
在しない空間で組立を行ったエアフィルタを用いる。従
来の回転翼は、鋼板を所定の形に加工した後に、常温で
塗装を行うことにより製造されているが、常温での塗装
に代えて焼き付け塗装を行う。または、アルミニウムや
ステンレススチールで所定の形に加工して、塗装は行わ
ない。

【００４４】電源用電線の絶縁被覆材料としては、ポリ
塩化ビニルまたはポリエチレンが使用されるが、これら
の樹脂に必要に応じて添加する可塑剤の主成分を、分子
量４００以上のカルボン酸エステル、ポリエステル、エ
ポキシ系化合物のうちの少なくともいずれか一つとす
る。また、これらの樹脂に酸化防止剤を添加する場合に
は、分子量が３００以上のフェノール系化合物を使用す
る。

【００４５】本発明においては、このようなガス状有機
物を発生しない材料を用いて作製されたファンフィルタ
ユニット構成材料を用い、上述のようなガス状有機物が
存在しない空間でファンフィルタユニットの組立を行う
ことにより、ガス状有機物が吸着されていないファンフ
ィルタユニットが得られる。発明はまた、ガス状有機物
を発生しない梱包材料を用い、ガス状有機物が存在しな
い空間でファンフィルタユニットの梱包を行うことを特
徴とするファンフィルタユニットの梱包方法を提供す
る。

【００４６】ガス状有機物を発生しない梱包材料として
は、ポリエチレン製品、ポリプロピレン製品、および塩
化ビニル製品であって、必要に応じて添加する可塑剤の
主成分が、分子量４００以上のカルボン酸エステル、ポ
リエステル、エポキシ系化合物のうちの少なくともいず
れか一つであって、必要に応じて添加する酸化防止剤の
主成分が分子量３００以上のフェノール系化合物である
ものが挙げられる。

【００４７】本発明によれば、このようなガス状有機物
を発生しない梱包材料を用い、上述のようなガス状有機
物が存在しない空間でファンフィルタユニットの梱包を
行うことにより、梱包作業中および梱包状態にある間に
ファンフィルタユニットにガス状有機物が吸着すること
を防止できる。本発明はまた、本発明のエアフィルタの
組立方法で組み立てられ、本発明のエアフィルタの梱包
方法で梱包されて搬入されたエアフィルタが設置されて
いることを特徴とするクリーンルームおよび局所設備を
提供する。

【００４８】本発明はまた、本発明のエアフィルタの組
立方法で組み立てられ、本発明のエアフィルタの試験方
法で試験が行われ、本発明のエアフィルタの梱包方法で
梱包されて搬入されたエアフィルタが設置されているこ
とを特徴とするクリーンルームおよび局所設備を提供す
る。本発明はまた、本発明のファンフィルタユニットの
組立方法で組み立てられ、本発明のファンフィルタユニ
ットの組み立て方法で梱包されて搬入されたファンフィ
ルタユニットが設置されていることを特徴とするクリー
ンルームおよび局所設備を提供する。

【００４９】ここで、「局所設備」とは、例えば、局所
的にクリーン度を高くしたい場所に設置されるクリーン
ブース、ウエハ搬送用空間（クリーントンネル）、ウエ
ハを保管するウエハストッカー、所定のクリーン度を要
求される生産設備（例えば半導体製造装置）等のことを
意味する。

【００５０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の方法の実施形態
を、具体的な実施例および比較例を用いて説明する。 ［エアフィルタの組立方法の実施例］先ず、エアフィル
タの組立空間として、下記の壁紙、床面シート、および
湿式シール材で内装を行い、下記の乾式シール材を用い
て、室内への空気導入口に有機物除去フィルタ（活性炭
フィルタ）を設置した部屋Ａを用意した。したがって、
この部屋Ａ内には、フィルタにより有機物が除去された
空気のみが導入されるようになっている。

【００５１】壁紙 主成分：ポリ塩化ビニル樹脂 可塑剤：フタル酸ジトリデシル 酸化防止剤：ステアリル−β−（３，５−ジ−ｔ−ブチ
ル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート 帯電防止材：グリセリン脂肪酸エステル（分子量４５０
以上） 床面シート 主成分：ポリ塩化ビニル樹脂 可塑剤：セバチン酸ジ−２−エチルヘキシル 酸化防止剤：テトラキス〔メチレン−３−（３’，５’
−ジ−ｔ−ブチル−４’−ヒドロキシフェニル）プロピ
オネート〕メタン 帯電防止材：グリセリン脂肪酸エステル（分子量４５０
以上） 湿式シール材 主成分：ポリウレタンプレポリマー 滑剤：添加せず 可塑剤：セバチン酸ジ−２−エチルヘキシル 酸化防止剤：２，２’−メチレン−ビス−（４−メチル
−６−ｔ−ブチルフェノール） 帯電防止材：添加せず 乾式シール材 原料ゴム：エチレンプロピレン共重合ゴム 滑剤：炭素数２４〜３０の脂肪族炭化水素 可塑剤：添加せず 酸化防止剤：２，２’−メチレン−ビス−（４−メチル
−６−ｔ−ブチルフェノール） 帯電防止材：酸化亜鉛 次に、硼珪酸ガラスからなる繊維を用い、この繊維を、
主成分（バインダ）がアクリルエマルジョンであり、可
塑剤としてフタル酸ジラウリルを、酸化防止剤として
２，２’−メチレン−ビス−（４−メチル−６−ｔ−ブ
チルフェノール）を含む処理剤で処理することにより、
濾材を作製した。この濾材の作製作業は、上記と同じ環
境であって、さらに粉塵除去用のエアフィルタ（ガス状
有機物が発生しないもの）が設置された部屋で行った。

【００５２】シール材としては、主成分が、イソシアネ
ート基を有するポリウレタンプレポリマーであって、空
気中の水分で硬化するタイプのものを用い、可塑剤とし
てフタル酸ジトリデシルを含み、酸化防止剤として２，
２’−メチレン−ビス−（４−メチル−６−ｔ−ブチル
フェノール）を含み、滑剤を含まないものを用意した。

【００５３】また、アルミニウム製のフレームを用意し
た。次に、前記濾材を１００ｍｍ×１００ｍｍの大きさ
に切り出したシートをこの部屋Ａの天井から吊り下げて
放置し、２４時間経過後に、このシートに吸着したガス
状有機物の量を前述の分析方法により測定したところ、
シート１ｇ当たりｎ−ヘキサデカン換算で２μｇ以下で
あった。

【００５４】次に、この部屋Ａの中に上記各エアフィル
タ構成材料を搬入し、この部屋Ａ内でエアフィルタの組
立作業を行った。このようにして組み立てられたエアフ
ィルタＡを加熱炉に入れて、高純度空気の気流下で１０
０℃に加熱し、エアフィルタから高純度空気に同伴され
て発生した有機物を、活性炭カラムにて吸着捕集した。
このようにして捕集したガス状有機物を二硫化炭素に溶
出させた後、この溶液をガスクロマトグラフ法で分析し
た。得られたガスクロマトグラムから、含有する全有機
物のｎ−デカン換算濃度を算出した。その結果、エアフ
ィルタＡから発生するガス状有機物はｎ−デカン換算値
で２３ｍｇであった。 ［エアフィルタの組立方法の比較例］従来のエアフィル
タの組立空間に相当する部屋Ｂで、前記と同様のエアフ
ィルタ構成部材を用いてエアフィルタの組立を行った。
この部屋Ｂの内装部材は以下の構成であった。また、こ
の部屋Ｂには、空気導入経路に有機物除去フィルタは設
置されていない。

【００５５】壁紙 主成分：ポリ塩化ビニル樹脂 可塑剤：フタル酸ジオクチル（分子量３９１） 酸化防止剤：２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール
（分子量２２０．４） 帯電防止材：グリセリン脂肪酸エステル（分子量２５
０） 床面シート 主成分：ポリ塩化ビニル樹脂 可塑剤：フタル酸ジブチル（分子量２７８）とフタル酸
ジオクチルとの混合物 酸化防止剤：２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール 帯電防止材：グリセリン脂肪酸エステル（分子量２５
０） 湿式シール材 主成分：低分子量カットシリコーン樹脂 滑剤：添加せず 可塑剤：フタル酸ジオクチル 酸化防止剤：添加せず 帯電防止材：添加せず 乾式シール材 原料ゴム：エチレンプロピレン共重合ゴム 滑剤：流動パラフィン 可塑剤：添加せず 酸化防止剤：２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール 帯電防止材：酸化亜鉛 この部屋Ｂに、前記濾材を１００ｍｍ×１００ｍｍの大
きさに切り出したシートをこの部屋の天井から吊り下げ
て放置し、２４時間経過後に、このシートに吸着したガ
ス状有機物の量を前述の分析方法により測定したとこ
ろ、シート１ｇ当たりｎ−ヘキサデカン換算で２０μｇ
であり、フタル酸ジオクチルやＢＨＴが分析された。

【００５６】次に、この部屋Ｂの中に上記各エアフィル
タ構成材料を搬入し、この部屋内でエアフィルタの組立
作業を行った。このようにして組み立てられたエアフィ
ルタＢを加熱炉に入れて、高純度空気の気流下で１００
℃に加熱し、エアフィルタから高純度空気に同伴されて
発生した有機物を、活性炭カラムにて吸着捕集した。こ
のようにして捕集したガス状有機物を二硫化炭素に溶出
させた後、この溶液をガスクロマトグラフ法で分析し
た。得られたガスクロマトグラムから、含有する全有機
物のｎ−デカン換算濃度を算出した。その結果、エアフ
ィルタＢから発生したガス状有機物はｎ−デカン換算値
で１６０ｍｇであった。 ［エアフィルタ性能試験方法の実施例］日本アエロジル
（株）の「アエロジル２００」を純水中に分散させてシ
リカ粒子の分散液を調製した。この「アエロジル２０
０」は、四塩化珪素を気相で燃焼させることにより熱分
解して得られた無水シリカであり、珪酸ナトリウムを出
発原料としたものではないため、ナトリウム化合物を含
んでいない。この分散液をラスキンノズル型発生器に入
れて、前述の組立を行った部屋Ａ内に置き、この発生器
からシリカエアロゾルを発生させた。

【００５７】このシリカエアロゾルを用い、上記エアフ
ィルタＡについて、「ＪＩＳ Ｂ９９２７（１９９
４）」に従って粉塵捕集率の測定と走査漏れ試験を行っ
た。その結果、捕集率は９９．９９９５％以上であっ
た。また、走査漏れ試験の結果、漏れ率は、「ＪＩＳ
Ｂ９９２７」に定められた最も低い許容漏れ率である
０．００１％よりも低かった。

【００５８】また、この測定を終えたエアフィルタを加
熱炉に入れ、前記と同様にして、エアフィルタＡから発
生するガス状有機物を分析したところ、ｎ−デカン換算
値で２０ｍｇであった。 ［エアフィルタ性能試験方法の比較例］シリカ粒子の分
散液に代えてフタル酸ジオクチルを用いたこと以外は前
記実施例と同様にして発生されたエアロゾルを用いて、
部屋Ａで組み立てられたエアフィルタＡについて、部屋
Ａ内で粉塵捕集率の測定と走査漏れ試験を行った。その
結果、捕集率は９９．９９９５％以上であった。また、
走査漏れ試験の結果、漏れ率は、「ＪＩＳ Ｂ９９２
７」に定められた最も低い許容漏れ率である０．００１
％よりも低かった。

【００５９】また、この測定を終えたエアフィルタＡを
加熱炉に入れ、前記と同様にして、このエアフィルタＡ
から発生するガス状有機物を分析したところ、ｎ−デカ
ン換算値で１２０ｍｇであった。 ［ファンフィルタユニットの組立方法の実施例］先ず、
ファンフィルタユニット構成材料として、以下のもの
（ガス状有機物を発生しない材料を用いて作製されたも
の）を用意した。

【００６０】エアフィルタ：前述のエアフィルタＡ 送風機の回転翼：ステンレススチール 送風機の電源用電線の絶縁被覆材料 主成分：ポリ塩化ビニル樹脂 可塑剤：ポリエステル系可塑剤（分子量４００以上）と
エポキシ化大豆油（分子量４００以上） 酸化防止剤：ステアリル−β−（３，５−ジ−ｔ−ブチ
ル−４−ヒドロキシフェニル）プロピオネート 帯電防止材：添加せず 次に、前述の部屋Ａの中に上記各ファンフィルタユニッ
ト構成材料を搬入し、この部屋内でファンフィルタユニ
ットの組立作業を行った。このようにして組み立てられ
たファンフィルタユニットＣを加熱炉に入れて、高純度
空気の気流下で１００℃に加熱し、ファンフィルタユニ
ットＣから高純度空気に同伴されて発生した有機物を、
活性炭カラムにて吸着捕集した。このようにして捕集し
たガス状有機物を二硫化炭素に溶出させた後、この溶液
をガスクロマトグラフ法で分析した。得られたガスクロ
マトグラムから、含有する全有機物のｎ−デカン換算濃
度を算出した。その結果、ファンフィルタユニットＣか
ら発生したガス状有機物はｎ−デカン換算値で６３ｍｇ
であった。 ［ファンフィルタユニットの組立方法の比較例］前記と
同様のファンフィルタユニット構成部材を用いて、前述
の部屋Ｂ内でファンフィルタユニットの組立を行った。
このようにして組み立てられたファンフィルタユニット
Ｄについて、上記と同様にして、含有する全有機物のｎ
−デカン換算濃度を算出した。その結果、ファンフィル
タユニットＤから発生したガス状有機物はｎ−デカン換
算値で２２３ｍｇであった。 ［エアフィルタの梱包方法の実施例］先ず、以下のよう
にして、エアフィルタの梱包用シートを作製した。すな
わち、低密度ポリエチレン１００重量部に対して、ステ
アリル−β−（３，５−ジ−ｔ−ブチル−４−ヒドロキ
シフェニル）プロピオネートを酸化防止剤として２重量
部配合してＴダイ押出機に入れ、２１０℃に加熱して厚
さ４０μｍのシートに押出成形した。

【００６１】このようにして得られたシートを用いて、
前述の部屋Ａ内で前述のエアフィルタＡを梱包し、この
部屋Ａ内に一週間放置した。その後、この梱包を解いて
シート内からエアフィルタＡを取り出し、上記と同様に
して、含有する全有機物のｎ−デカン換算濃度を算出し
た。その結果、エアフィルタＡから発生したガス状有機
物はｎ−デカン換算値で４０ｍｇであった。 ［エアフィルタの梱包方法の比較例］市販の梱包用ポリ
エチレンシート（サーモ包装（株）製）を用い、前述の
部屋Ａ内で前述のエアフィルタＡを梱包し、部屋Ａ内に
一週間放置した。その後、この梱包を解いてシート内か
らエアフィルタＡを取り出し、上記と同様にして、含有
する全有機物のｎ−デカン換算濃度を算出した。その結
果、エアフィルタＡから発生したガス状有機物はｎ−デ
カン換算値で２００ｍｇであった。

【００６２】なお、このポリエチレンシートに含まれる
ガス状有機物を前述のＰ＆Ｇ−ＧＣ／ＭＳ法で分析した
ところ、このポリエチレンシートには、フタル酸ジブチ
ル（ＤＢＰ）や２，６−ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾー
ル（ＢＨＴ）などが多く含まれることが分かった。 ［ファンフィルタユニットの梱包方法の実施例および比
較例］ファンフィルタユニットＣについても、前記と同
様に部屋Ａおよび部屋Ｂでそれぞれ梱包を行った結果、
エアフィルタの梱包方法の場合と同様に、部屋Ａで行っ
た方が部屋Ｂで行った場合よりもファンフィルタユニッ
トＣから発生したガス状有機物の値が著しく小さかっ
た。 ［クリーンルームへの設置による性能確認の実施例およ
び比較例］実施例として、ファンフィルタユニットＡを
下記の乾式シール材を用いて天井に取付け、金属材料か
らなり表面が焼付け塗装されたパーティションを、下記
の湿式シール材を用いて組み立てて壁材とし、床材とし
てはフリーアクセスフロアの表面材をステンレス製とし
たクリーンルームを構築した。これらの壁材および床材
からのガス状有機物発生量は前述の分析方法（Ｐ＆Ｇ−
ＧＣ／ＭＳ法）で１．０μｇ／ｇ以下であった。

【００６３】乾式シール材 原料ゴム：エチレンプロピレン共重合ゴム 滑剤：炭素数２４〜３０の脂肪族炭化水素 可塑剤：添加せず 酸化防止剤：２，２’−メチレン−ビス−（４−メチル
−６−ｔ−ブチルフェノール） 帯電防止材：酸化亜鉛 湿式シール材 主成分：ポリウレタンプレポリマー 滑剤：添加せず 可塑剤：セバチン酸ジ−２−エチルヘキシル 酸化防止剤：２，２’−メチレン−ビス−（４−メチル
−６−ｔ−ブチルフェノール） 帯電防止材：添加せず また、外気処理用に大気採取口に取り付けるプレフィル
タ、中性能フィルタ、およびＨＥＰＡフィルタについて
も、組立・梱包に関して全てエアフィルタＡと同じにし
て行ったものを使用した。また、活性炭フィルタを外気
処理用ＨＥＰＡフィルタの直下に設けて、外気処理用の
各フィルタから発生するガス状有機物がファンフィルタ
ユニットＡに吸着されないようにした。

【００６４】また、クリーンルーム内の空気は、フリー
アクセスフロアから床下チャンバに導入され、レターン
チャンバを通ってファンフィルタユニットに戻って、循
環するようになっている。このようなクリーンルーム
を、ファンフィルタユニットの出口空気流速：０．４ｍ
／ｓ、室温：２３℃、相対湿度：４０％の条件で稼働さ
せた。稼働開始から１週間経過した後、このクリーンル
ーム内に、フッ酸により洗浄された直径６インチのシリ
コンウエハーを置いて６時間放置し、このウエハーに吸
着した有機物の量と種類をＳＷＡ装置を用いて分析し
た。 ＜ＳＷＡ装置による分析＞ＳＷＡ装置とは、ジーエルサ
イエンス（株）製のシリコンウエハーアナライザー（商
品名）であり、下記のトラップ装置、ＴＣＴ（Ｔｈｅｒ
ｍａｌ Ｄｅｓｏｒｐｔｉｏｎ Ｃｏｌｄ Ｔｒａｐ
Ｉｎｊｅｃｔｏｒ）装置、ＧＣ／ＭＳ装置で構成されて
いる。トラップ装置は、ウエハーの表面に吸着している
物質を脱着し、脱着された成分を捕集するものであり、
ＴＣＴ装置は、このトラップ装置で捕集された成分をヘ
リウム気流中で３００℃に加熱した後に、液体窒素で−
１３０℃に冷却されたキャピラリー管に導入して冷却捕
集するものであり、このＴＣＴ装置で捕集された成分を
ヘリウム気流中で３００℃に急速加熱したものがＧＣ／
ＭＳ装置に導入されるようになっている。

【００６５】ＧＣ装置はヒューレットパッカード社製の
ＨＰ−５８９０Ａであり、ＭＳ装置は同社のＨＰ−５９
７１Ａである。ＧＣ装置のカラムは同社のＨＰ−５（架
橋５％フェニルメチルシリコーン）であり、内径０．２
ｍｍ、長さ２５ｍｍ、膜厚０．３３μｍである。ＧＣ装
置の測定時の温度条件は以下の通りである。初期温度８
０℃（１０分保持）→速度７℃／分で昇温→最終温度３
００℃（１０分間放置）その他の条件は、前記Ｐ＆Ｔ−
ＧＣ／ＭＳ法と同様であり、これにより、ウエハー表面
に吸着している有機物の含有量と種類とが測定される。
なお、この方法によるとウエハー１枚当たり数ｎｇ（１
０^-9ｇ）のオーダーまで分析が可能である。

【００６６】その結果、ウエハ１枚当たりの有機物吸着
量は２５ｎｇであり、フタル酸エステル類、リン酸エス
テル類、シロキサン類、およびフェノール類の含有量は
検出限界以下であった。比較例として、ファンフィルタ
ユニットＢを用いた以外は全て同じクリーンルーム内
で、同一条件でウエハに対する有機物吸着量を測定した
ところ、ウエハ１枚当たりの有機物吸着量は２２３ｎｇ
であった。そのうち、フタル酸エステル類の含有量は６
０ｎｇ、リン酸エステル類の含有量は２０ｎｇ、シロキ
サン類の含有量は５０ｎｇ、およびフェノール類の含有
量は３０ｎｇであった。

【００６７】このように、エアフィルタとファンフィル
タユニットの構成材料および梱包材料をガス状有機物が
発生しないものとし、組立・梱包環境をガス状有機物の
存在しない空間で行い、性能試験を、四塩化珪素を気相
で燃焼させることにより熱分解して得られた無水シリカ
を用いたエアロゾルで行ったエアフィルタまたはファン
フィルタユニットを用いるとともに、床材、壁材、乾式
シール材、および湿式シール材としてガス状有機物が発
生しない材料を用いてクリーンルームを構築することに
より、クリーンルームの稼働直後から、クリーンルーム
の内部をガス状有機物が存在しない空間とすることがで
きる。

【００６８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のエアフィ
ルタの組立方法および梱包方法および性能試験方法によ
れば、組立、梱包、性能試験の際に、エアフィルタにガ
ス状有機物が吸着することが防止されるため、これらの
方法により組立、梱包、性能試験が行われたエアフィル
タは、エアフィルタの稼働直後からガス状有機物の放散
量が少ないものとなる。

【００６９】本発明のファンフィルタユニットの組立お
よび梱包方法によれば、組立、梱包の際に、ファンフィ
ルタユニットにガス状有機物が吸着することが防止され
るため、これらの方法により組立、梱包されたファンフ
ィルタユニットは、ファンフィルタユニットの稼働直後
からガス状有機物の放散量が少ないものとなる。本発明
のクリーンルームおよび局所設備によれば、エアフィル
タおよびファンフィルタユニットの稼働直後から、エア
フィルタおよびファンフィルタユニットからクリーンル
ームおよび局所設備内にガス状有機物が放散されないよ
うにすることができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若山 恵英 東京都新宿区西新宿一丁目25番１号 大成 建設株式会社内 (72)発明者 今福 正幸 東京都新宿区西新宿一丁目25番１号 大成 建設株式会社内 (72)発明者 杉山 訓樹 東京都港区六本木６丁目３番18号 近藤工 業株式会社内 (72)発明者 瀧澤 清一 東京都港区六本木６丁目３番18号 日本ケ ンブリッジフィルター株式会社内 (72)発明者 山田 猛 東京都港区六本木６丁目３番18号 日本ケ ンブリッジフィルター株式会社内 (72)発明者 松野 圭二 東京都港区六本木６丁目３番18号 日本ケ ンブリッジフィルター株式会社内

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガス状有機物を発生しない材料を用いて
   作製されたエアフィルタ構成材料を用い、ガス状有機物
   が存在しない空間でエアフィルタの組立を行うことを特
   徴とするエアフィルタの組立方法。
2. 【請求項２】 ガス状有機物を発生しない梱包材料を用
   い、ガス状有機物が存在しない空間でエアフィルタの梱
   包を行うことを特徴とするエアフィルタの梱包方法。
3. 【請求項３】 ガス状有機物を発生しない微粒子を、ガ
   ス状有機物を含まない空気中に分散させて得られたエア
   ロゾルを用いて、ガス状有機物が存在しない空間でエア
   フィルタの性能試験を行うことを特徴とするエアフィル
   タの性能試験方法。
4. 【請求項４】 ガス状有機物を発生しない材料を用いて
   作製されたファンフィルタユニット構成材料を用い、ガ
   ス状有機物が存在しない空間でファンフィルタユニット
   の組立を行うことを特徴とするファンフィルタユニット
   の組立方法。
5. 【請求項５】 ガス状有機物を発生しない梱包材料を用
   い、ガス状有機物が存在しない空間でファンフィルタユ
   ニットの梱包を行うことを特徴とするファンフィルタユ
   ニットの梱包方法。
6. 【請求項６】 請求項１の組立方法で組み立てられ、請
   求項２の梱包方法で梱包されて搬入されたエアフィルタ
   が設置されていることを特徴とするクリーンルーム。
7. 【請求項７】 請求項１の組立方法で組み立てられ、請
   求項３の方法で性能試験が行われ、請求項２の梱包方法
   で梱包されて搬入されたエアフィルタが設置されている
   ことを特徴とするクリーンルーム。
8. 【請求項８】 請求項４の組立方法で組み立てられ、請
   求項５の梱包方法で梱包されて搬入されたファンフィル
   タユニットが設置されていることを特徴とするクリーン
   ルーム。
9. 【請求項９】 請求項１の組立方法で組み立てられ、請
   求項２の梱包方法で梱包されて搬入されたエアフィルタ
   が設置されていることを特徴とする局所設備。
10. 【請求項１０】 請求項１の組立方法で組み立てられ、
    請求項３の方法で性能試験が行われ、請求項２の梱包方
    法で梱包されて搬入されたエアフィルタが設置されてい
    ることを特徴とする局所設備。
11. 【請求項１１】 請求項４の組立方法で組み立てられ、
    請求項５の梱包方法で梱包されて搬入されたファンフィ
    ルタユニットが設置されていることを特徴とする局所設
    備。