JPH11252861A - 磁気軸受スピンドル - Google Patents
磁気軸受スピンドルInfo
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- JPH11252861A JPH11252861A JP10043235A JP4323598A JPH11252861A JP H11252861 A JPH11252861 A JP H11252861A JP 10043235 A JP10043235 A JP 10043235A JP 4323598 A JP4323598 A JP 4323598A JP H11252861 A JPH11252861 A JP H11252861A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- bearing
- radial
- magnetic bearing
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 生産加工機械などに用いられる磁気軸受スピ
ンドルに関するもので、スピンドルの高速化、高剛性化
を図るために、磁気軸受の電磁鋼板の渦電流損による発
熱を大幅に低減する。 【解決手段】 第一と第二のラジアル軸受の回転部を種
類の異なる磁性材料より構成して、かつ負荷側の第一の
ラジアル軸受の回転部には、第二のラジアル軸受６、７
に用いられる磁性材料と比べて、遠心力による機械的強
度が高くかつ高周波鉄損が大きい磁性材料を選ぶことに
より、スピンドル剛性を低下させないで、総発熱量を低
減できる。
ンドルに関するもので、スピンドルの高速化、高剛性化
を図るために、磁気軸受の電磁鋼板の渦電流損による発
熱を大幅に低減する。 【解決手段】 第一と第二のラジアル軸受の回転部を種
類の異なる磁性材料より構成して、かつ負荷側の第一の
ラジアル軸受の回転部には、第二のラジアル軸受６、７
に用いられる磁性材料と比べて、遠心力による機械的強
度が高くかつ高周波鉄損が大きい磁性材料を選ぶことに
より、スピンドル剛性を低下させないで、総発熱量を低
減できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、生産加工機械ある
いは半導体装置のターボ分子ポンプなどで用いられる磁
気軸受スピンドルに関するものである。
いは半導体装置のターボ分子ポンプなどで用いられる磁
気軸受スピンドルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】以下、機械加工における高速スピンドル
を例にとり、その課題について説明する。
を例にとり、その課題について説明する。
【０００３】近年機械加工の分野において、高速切削加
工に対する要請が強くなっている。高速切削は生産効率
を向上させ、切削抵抗の減少により加工精度の向上と工
具の寿命を延ばす、また一体の原料から形状を一気に削
り出すことで鋳型などの費用を削減できかつ工程の短縮
化がはかれる、などの効果が期待されている。
工に対する要請が強くなっている。高速切削は生産効率
を向上させ、切削抵抗の減少により加工精度の向上と工
具の寿命を延ばす、また一体の原料から形状を一気に削
り出すことで鋳型などの費用を削減できかつ工程の短縮
化がはかれる、などの効果が期待されている。
【０００４】また最近の製品品質に対する要求は、加工
面の品質すなわち形状精度や面粗度だけでなく、加工表
面下の欠陥や変質層の有無まで問われるようになってき
ており、金属除去に伴う発生熱の影響が低く、切削抵抗
が小さくできる高速切削の期待が大きい。
面の品質すなわち形状精度や面粗度だけでなく、加工表
面下の欠陥や変質層の有無まで問われるようになってき
ており、金属除去に伴う発生熱の影響が低く、切削抵抗
が小さくできる高速切削の期待が大きい。
【０００５】加工機の性能を決定的に支配するスピンド
ルには、従来から主に玉軸受による支持構造が用いられ
てきた。前述した高速切削の要請に対して、潤滑方式の
改良、セラミックス軸受の採用などにより、高速化に応
えるための開発がなされている。
ルには、従来から主に玉軸受による支持構造が用いられ
てきた。前述した高速切削の要請に対して、潤滑方式の
改良、セラミックス軸受の採用などにより、高速化に応
えるための開発がなされている。
【０００６】一方、磁気浮上により非接触で回転体を支
持する能動制御型の磁気軸受スピンドルが、玉軸受方式
の限界を超える可能性を持つものとして、近年注目され
ている。
持する能動制御型の磁気軸受スピンドルが、玉軸受方式
の限界を超える可能性を持つものとして、近年注目され
ている。
【０００７】図３はその磁気軸受スピンドルの一例であ
り、５００はスピンドルの主軸、５０１はモータロー
タ、５０２はモータステータである。５０３と５０４は
フロント側ラジアル軸受、５０５と５０６はリア側ラジ
アル軸受、５０７と５０８はスラスト軸受であり、それ
ぞれ回転側のロータと固定側のステータから構成され
る。５０９，５１０はフロント側とリア側のラジアル変
位センサー、５１１はスラスト変位センサー、５１２，
５１３は保護ベアリング、５１４はケーシングである。
り、５００はスピンドルの主軸、５０１はモータロー
タ、５０２はモータステータである。５０３と５０４は
フロント側ラジアル軸受、５０５と５０６はリア側ラジ
アル軸受、５０７と５０８はスラスト軸受であり、それ
ぞれ回転側のロータと固定側のステータから構成され
る。５０９，５１０はフロント側とリア側のラジアル変
位センサー、５１１はスラスト変位センサー、５１２，
５１３は保護ベアリング、５１４はケーシングである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】加工用スピンドルの基
本性能は、通常ＤＮ値(主軸径×回転数)の大きさで評価
される。玉軸受スピンドルの場合、近年様々な改良がな
されているが、機械的な摺動潤滑をともなうために、寿
命という点を考慮すれば、実用的にはＤＮ値は250万程
度が限界とされている。
本性能は、通常ＤＮ値(主軸径×回転数)の大きさで評価
される。玉軸受スピンドルの場合、近年様々な改良がな
されているが、機械的な摺動潤滑をともなうために、寿
命という点を考慮すれば、実用的にはＤＮ値は250万程
度が限界とされている。
【０００９】一方磁気軸受の場合、半永久的に使用可能
である非接触回転の特徴を活かすことにより、玉軸受の
ＤＮ値を大きく上回るスピンドルが実現できる可能性が
ある。前述した加工側の高速・高剛性の要請に応えるた
めに、スピンドルの主軸径をより大きく、またより高速
で回転させる試みがなされている。大きな主軸径が要望
される理由は、主軸径が大きい程、高速時の慣性剛性
（主軸の軸中心が一方向を保とうとする力学的効果）が
大きく、またより大きな外径の刃具を把持できるからで
ある。
である非接触回転の特徴を活かすことにより、玉軸受の
ＤＮ値を大きく上回るスピンドルが実現できる可能性が
ある。前述した加工側の高速・高剛性の要請に応えるた
めに、スピンドルの主軸径をより大きく、またより高速
で回転させる試みがなされている。大きな主軸径が要望
される理由は、主軸径が大きい程、高速時の慣性剛性
（主軸の軸中心が一方向を保とうとする力学的効果）が
大きく、またより大きな外径の刃具を把持できるからで
ある。
【００１０】しかし非接触であるがゆえに低損失である
と期待された磁気軸受は、高ＤＮ値を追求する取組みの
結果、予想外の大きな摩擦損失が生じることが明らかと
なった。その主たる要因は、ラジアル軸受の渦電流損に
よるものである。ラジアル軸受は上下左右の４方向から
磁気の力で回転子を吸引して回転子を非接触で中心に保
持する。回転子鉄心中の一点は、回転によってたとえば
N→S→N→Sと順次に磁束が変化するために、回転子鉄心
には変動する誘起起電力が生じて渦電流が流れることに
なる。この渦電流損を小さくするために、回転子鉄心
は、通常薄い電磁鋼板（珪素鋼板）を重ねあわせた積層
構造が採用される。
と期待された磁気軸受は、高ＤＮ値を追求する取組みの
結果、予想外の大きな摩擦損失が生じることが明らかと
なった。その主たる要因は、ラジアル軸受の渦電流損に
よるものである。ラジアル軸受は上下左右の４方向から
磁気の力で回転子を吸引して回転子を非接触で中心に保
持する。回転子鉄心中の一点は、回転によってたとえば
N→S→N→Sと順次に磁束が変化するために、回転子鉄心
には変動する誘起起電力が生じて渦電流が流れることに
なる。この渦電流損を小さくするために、回転子鉄心
は、通常薄い電磁鋼板（珪素鋼板）を重ねあわせた積層
構造が採用される。
【００１１】さて渦電流損は、一般に抵抗率に反比例
し、同じ材質ならば鉄板の厚さの２乗に比例し、周波数
（回転速度）の２乗に比例する。上記おおまかな原則を
踏まえて、高ＤＮ値（大きな主軸径と高い回転数）のス
ピンドルの実現を見込み、磁気軸受の回転部を構成した
場合、次のような課題が生じた。
し、同じ材質ならば鉄板の厚さの２乗に比例し、周波数
（回転速度）の２乗に比例する。上記おおまかな原則を
踏まえて、高ＤＮ値（大きな主軸径と高い回転数）のス
ピンドルの実現を見込み、磁気軸受の回転部を構成した
場合、次のような課題が生じた。
【００１２】渦電流損を低減するために、抵抗率が高
く、鉄損が小さく、同じ材質ならば板厚の薄い電磁鋼板
を採用した場合、遠心力によって発生する応力に対し
て、材料の機械的強度の限界から許容回転数に制約が生
じた。遠心力によって発生する応力は、回転体の周速で
決まるため、ＤＮ値にはおのずと限界が生ずる。
く、鉄損が小さく、同じ材質ならば板厚の薄い電磁鋼板
を採用した場合、遠心力によって発生する応力に対し
て、材料の機械的強度の限界から許容回転数に制約が生
じた。遠心力によって発生する応力は、回転体の周速で
決まるため、ＤＮ値にはおのずと限界が生ずる。
【００１３】逆により高い回転数にまで耐える、同じ
材質ならば、板厚が大きく、抵抗率が低く、鉄損が大き
い電磁鋼板を採用した場合、大きな渦電流損による発熱
によって主軸に異常な温度上昇をもたらした。
材質ならば、板厚が大きく、抵抗率が低く、鉄損が大き
い電磁鋼板を採用した場合、大きな渦電流損による発熱
によって主軸に異常な温度上昇をもたらした。
【００１４】この温度上昇は、複合部品により構成され
る回転主軸の信頼性に多大な悪影響を与えた。磁気軸受
の主軸は通常、モータ・磁気軸受の電磁鋼板とそれを側
面から締結するリング、スラスト軸受の円盤、主軸内部
を利用して設けられたツーリング部材等から構成される
が、高速・高温下の苛酷な条件下において、これらの部
品の破壊 変形などのトラブルが発生した。
る回転主軸の信頼性に多大な悪影響を与えた。磁気軸受
の主軸は通常、モータ・磁気軸受の電磁鋼板とそれを側
面から締結するリング、スラスト軸受の円盤、主軸内部
を利用して設けられたツーリング部材等から構成される
が、高速・高温下の苛酷な条件下において、これらの部
品の破壊 変形などのトラブルが発生した。
【００１５】本発明は、磁気軸受スピンドルの高速・高
剛性化（高ＤＮ値化）を図る上で本質的に抱えている上
記の相矛盾する課題に対して、解決策を与えるもの
である。
剛性化（高ＤＮ値化）を図る上で本質的に抱えている上
記の相矛盾する課題に対して、解決策を与えるもの
である。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明は、回転軸を駆動
するモータと、この回転軸の負荷側に設けられこの回転
軸の軸径方向荷重を支持する第一のラジアル軸受と、前
記負荷側に対して反対側に設けられた第二のラジアル軸
受と、前記回転軸の軸方向荷重を支持するスラスト軸受
より構成される磁気軸受スピンドルにおいて、前記第一
と第二のラジアル軸受の回転部は板厚および、または材
質の異なる磁性材料より構成されるものである。
するモータと、この回転軸の負荷側に設けられこの回転
軸の軸径方向荷重を支持する第一のラジアル軸受と、前
記負荷側に対して反対側に設けられた第二のラジアル軸
受と、前記回転軸の軸方向荷重を支持するスラスト軸受
より構成される磁気軸受スピンドルにおいて、前記第一
と第二のラジアル軸受の回転部は板厚および、または材
質の異なる磁性材料より構成されるものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１は本発明の第一実施例の高速
磁気軸受スピンドルを示すもので、１はスピンドルの主
軸、２はモータロータ、３はモータステータである。４
と５はフロント側ラジアル軸受（第一のラジアル軸受）
のロータとステータ、６と７はリア側ラジアル軸受（第
二のラジアル軸受）のロータとステータである。８と９
はスラスト軸受のロータとステータである。１０，１１
はフロント側とリア側のラジアル変位センサー、１２は
スラスト変位センサー、１３，１４は保護ベアリング、
１５はフロントプレート、１６はフロントケース、１７
はリアーケース、１８はリアープレートである。
磁気軸受スピンドルを示すもので、１はスピンドルの主
軸、２はモータロータ、３はモータステータである。４
と５はフロント側ラジアル軸受（第一のラジアル軸受）
のロータとステータ、６と７はリア側ラジアル軸受（第
二のラジアル軸受）のロータとステータである。８と９
はスラスト軸受のロータとステータである。１０，１１
はフロント側とリア側のラジアル変位センサー、１２は
スラスト変位センサー、１３，１４は保護ベアリング、
１５はフロントプレート、１６はフロントケース、１７
はリアーケース、１８はリアープレートである。
【００１８】主軸１は、フロント側ラジアル軸受のロー
タ４（外径：φＤ1）が装着されたフロント部１９、モ
ータロータ２（外径：φＤm）が装着されたモータ部２
０、リア側ラジアル軸受のロータ６（外径：φＤ2）が
装着されたリアー部２１から構成される。
タ４（外径：φＤ1）が装着されたフロント部１９、モ
ータロータ２（外径：φＤm）が装着されたモータ部２
０、リア側ラジアル軸受のロータ６（外径：φＤ2）が
装着されたリアー部２１から構成される。
【００１９】磁気軸受スピンドルのフロント側とリアー
側の電磁石を次のように構成する。 フロント側の電磁石部分での主軸径をφＤ1として、
その電磁鋼板には鉄損（渦電流損）が大きいが機械的強
度が高い材料を用いる。
側の電磁石を次のように構成する。 フロント側の電磁石部分での主軸径をφＤ1として、
その電磁鋼板には鉄損（渦電流損）が大きいが機械的強
度が高い材料を用いる。
【００２０】リアー側の電磁石部分での主軸径をφＤ
2として、その電磁鋼板には機械的強度は低いが鉄損
（渦電流損）も小さい材料を用いる。
2として、その電磁鋼板には機械的強度は低いが鉄損
（渦電流損）も小さい材料を用いる。
【００２１】φＤ1＞φＤ2として、設定回転数の条件
下で、遠心力によって発生する応力に耐える範囲内で上
記φＤ1、φＤ2の寸法を決定する。
下で、遠心力によって発生する応力に耐える範囲内で上
記φＤ1、φＤ2の寸法を決定する。
【００２２】上記構成により高ＤＮ値を維持したまま
で、磁気軸受の通常の構成方法すなわちフロント側、リ
アー側とも渦電流損の大きな同一材料を用いた場合と比
べて、渦電流損失による発熱を大幅に低減することがで
きる。しかしスピンドルの磁気軸受の静剛性には大きな
影響を与えず、最外径のφＤ1とφＤ2を同一に構成した
場合と比べて、ほぼ同等の静剛性を得ることができる。
その理由は次のようである。加工用スピンドルがツール
から受けるラジアル荷重は、二つのラジアル軸受によっ
て配分されて支持される。てこの原理から明らかなよう
に、リアー側のラジアル軸受が受けるラジアル荷重は、
フロント側（負荷側）と比べて充分に小さい。したがっ
てリアー側の軸受径：φＤ2を小さくしても、スピンド
ル本体の静剛性に与える影響は小さくてすむからであ
る。
で、磁気軸受の通常の構成方法すなわちフロント側、リ
アー側とも渦電流損の大きな同一材料を用いた場合と比
べて、渦電流損失による発熱を大幅に低減することがで
きる。しかしスピンドルの磁気軸受の静剛性には大きな
影響を与えず、最外径のφＤ1とφＤ2を同一に構成した
場合と比べて、ほぼ同等の静剛性を得ることができる。
その理由は次のようである。加工用スピンドルがツール
から受けるラジアル荷重は、二つのラジアル軸受によっ
て配分されて支持される。てこの原理から明らかなよう
に、リアー側のラジアル軸受が受けるラジアル荷重は、
フロント側（負荷側）と比べて充分に小さい。したがっ
てリアー側の軸受径：φＤ2を小さくしても、スピンド
ル本体の静剛性に与える影響は小さくてすむからであ
る。
【００２３】なお下記の表は、電磁鋼板の遠心力に対す
る強度と鉄損が相反する関係にあることを示す一例であ
る。
る強度と鉄損が相反する関係にあることを示す一例であ
る。
【００２４】
【表１】
【００２５】上記表１において鉄損のW15／50は、周波
数５０Herz、最大磁束密度１．５Tのときの損失を示
す。
数５０Herz、最大磁束密度１．５Tのときの損失を示
す。
【００２６】図２は本発明の第二の実施例を示すもの
で、フロント側とリアー側のラジアル磁気軸受の外径比
をさらに大きくして、強度と磁気的損失が相反する性格
を持っている電磁鋼板材料の特徴を一層活かすことによ
り、高速化を図ったものである。
で、フロント側とリアー側のラジアル磁気軸受の外径比
をさらに大きくして、強度と磁気的損失が相反する性格
を持っている電磁鋼板材料の特徴を一層活かすことによ
り、高速化を図ったものである。
【００２７】３０、３１はフロント側ラジアル軸受のロ
ータとステータ、３２，３３はリアー側ラジアル軸受の
ロータとステータ、３４は主軸３５のフロント部、３６
はモータ部、３７はリアー部である。
ータとステータ、３２，３３はリアー側ラジアル軸受の
ロータとステータ、３４は主軸３５のフロント部、３６
はモータ部、３７はリアー部である。
【００２８】さてラジアル軸受の各ロータ部は、主軸に
装着された磁性材料による積層鉄芯から構成されてい
る。この軸受部の剛性は、積層鉄心の外径（φＤ1、
φＤ2）と半径方向の幅で決まる電磁気的な吸引力、
主軸の外径（φｄ1、φｄ2）で決まる機械的強度の二つ
で決定される。通常、積層鉄芯は母体である主軸程は機
械的強度は期待できない。そこで、 （１）大きな加工負荷が加わるフロント部３４は、主軸
径（φｄ1）を一層大きくする。
装着された磁性材料による積層鉄芯から構成されてい
る。この軸受部の剛性は、積層鉄心の外径（φＤ1、
φＤ2）と半径方向の幅で決まる電磁気的な吸引力、
主軸の外径（φｄ1、φｄ2）で決まる機械的強度の二つ
で決定される。通常、積層鉄芯は母体である主軸程は機
械的強度は期待できない。そこで、 （１）大きな加工負荷が加わるフロント部３４は、主軸
径（φｄ1）を一層大きくする。
【００２９】（２）加工負荷の小さいリアー部３７は、
主軸径（φｄ2）を一層小さくする。
主軸径（φｄ2）を一層小さくする。
【００３０】上記(1)(2)により、積層鉄心の外径比（Ｄ
1／Ｄ2）も一層大きくできるため、それぞれの電磁鋼板
の短所を出さないで長所を活かすことができる。たとえ
ば、フロント側は高強度材料であることを利用して、せ
いいっぱい外径φＤ1を大きくできる。リアー側は外径
φＤ2がさらに小さいため、発生する応力がもっと小さ
くなることを利用して、より高品位（低発熱）の材料が
選べる。
1／Ｄ2）も一層大きくできるため、それぞれの電磁鋼板
の短所を出さないで長所を活かすことができる。たとえ
ば、フロント側は高強度材料であることを利用して、せ
いいっぱい外径φＤ1を大きくできる。リアー側は外径
φＤ2がさらに小さいため、発生する応力がもっと小さ
くなることを利用して、より高品位（低発熱）の材料が
選べる。
【００３１】以上要約すれば、第一と第二のラジアル軸
受のそれぞれの前記軸芯部の外径をｄ1、ｄ2としたと
き、ｄ1＞ｄ2すればよい。
受のそれぞれの前記軸芯部の外径をｄ1、ｄ2としたと
き、ｄ1＞ｄ2すればよい。
【００３２】なお本発明が対象とする電磁鋼板とは、珪
素鋼板、アモルファス材料など磁気軸受の回転子として
用いることのできる磁性材料ならばどんなものでもよ
い。
素鋼板、アモルファス材料など磁気軸受の回転子として
用いることのできる磁性材料ならばどんなものでもよ
い。
【００３３】また実施例では、加工用スピンドルを例に
あげて説明したが、ターボ分子ポンプなどにも本発明を
適用できる。この場合、負荷側の軸受とは大きな慣性負
荷を持つ、たとえば、回転翼が取り付けられた側を示
す。
あげて説明したが、ターボ分子ポンプなどにも本発明を
適用できる。この場合、負荷側の軸受とは大きな慣性負
荷を持つ、たとえば、回転翼が取り付けられた側を示
す。
【００３４】
【発明の効果】本発明を用いれば、磁気軸受の通常の構
成方法すなわちフロント側、リアー側とも渦電流損の大
きな同一の電磁鋼板材料を用いた場合と比べて、渦電流
損失を大幅に低減するとともに、高いＤＮ値（主軸径×
回転数）を実現できる。また二つのラジアル軸受の外径
を同一に構成した場合と比べて、スピンドルの剛性には
大きな影響を与えない。その結果、主軸の温度上昇を抑
制することができ、多くの複合部品で構成されるスピン
ドルの信頼性を向上させると共に、主軸の軸方向の伸び
を押さえ、高い振れ精度を維持できる。
成方法すなわちフロント側、リアー側とも渦電流損の大
きな同一の電磁鋼板材料を用いた場合と比べて、渦電流
損失を大幅に低減するとともに、高いＤＮ値（主軸径×
回転数）を実現できる。また二つのラジアル軸受の外径
を同一に構成した場合と比べて、スピンドルの剛性には
大きな影響を与えない。その結果、主軸の温度上昇を抑
制することができ、多くの複合部品で構成されるスピン
ドルの信頼性を向上させると共に、主軸の軸方向の伸び
を押さえ、高い振れ精度を維持できる。
【００３５】本発明の適用により、磁気軸受スピンドル
が本来持っている基本的能力（高速・高剛性）を一層活
かした形で高速切削加工の要請に応えることができ、そ
の実用的効果は極めて大きい。
が本来持っている基本的能力（高速・高剛性）を一層活
かした形で高速切削加工の要請に応えることができ、そ
の実用的効果は極めて大きい。
【図１】本発明にかかる第一の実施の形態である磁気軸
受スピンドルの正面断面図
受スピンドルの正面断面図
【図２】本発明の第二の実施の形態の正面断面図
【図３】従来の磁気軸受スピンドルを示す図
１ 回転軸 ４、５ 第一のラジアル軸受け ６、７ 第二のラジアル軸受け ２，３ モータ部
Claims (4)
- 【請求項１】回転軸を駆動するモータと、この回転軸の
負荷側に設けられこの回転軸の軸径方向荷重を支持する
第一のラジアル軸受と、前記負荷側に対して反対側に設
けられた第二のラジアル軸受と、前記回転軸の軸方向荷
重を支持するスラスト軸受より構成される磁気軸受スピ
ンドルにおいて、前記第一と第二のラジアル軸受の回転
部は肉厚および、または材質の異なる磁性材料より構成
されることを特徴とする磁気軸受スピンドル。 - 【請求項２】前記第一のラジアル軸受の回転部に用いら
れる磁性材料は、前記第二のラジアル軸受に用いられる
磁性材料と比べて、遠心力による機械的強度が高くかつ
高周波鉄損が大きいことを特徴とする請求項１記載の磁
気軸受スピンドル。 - 【請求項３】前記第一のラジアル軸受の回転部の外径
は、前記第二のラジアル軸受のそれと比べて大きいこと
特徴とする請求項１記載の磁気軸受スピンドル。 - 【請求項４】前記第一と第二のラジアル軸受の各ロータ
部は軸芯部に装着された磁性材料による回転部材から構
成されており、かつ前記第一と第二のラジアル軸受のそ
れぞれの前記軸芯部の外径をｄ1、ｄ2としたとき、 ｄ1
＞ ｄ2であることを特徴とする請求項１記載の磁気軸受
スピンドル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04323598A JP3736104B2 (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | 磁気軸受スピンドル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04323598A JP3736104B2 (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | 磁気軸受スピンドル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11252861A true JPH11252861A (ja) | 1999-09-17 |
| JP3736104B2 JP3736104B2 (ja) | 2006-01-18 |
Family
ID=12658254
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04323598A Expired - Fee Related JP3736104B2 (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | 磁気軸受スピンドル |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP3736104B2 (ja) |
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1998
- 1998-02-25 JP JP04323598A patent/JP3736104B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP3736104B2 (ja) | 2006-01-18 |
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