JP3736100B2 - 磁気軸受スピンドル - Google Patents

磁気軸受スピンドル Download PDF

Info

Publication number
JP3736100B2
JP3736100B2 JP03095598A JP3095598A JP3736100B2 JP 3736100 B2 JP3736100 B2 JP 3736100B2 JP 03095598 A JP03095598 A JP 03095598A JP 3095598 A JP3095598 A JP 3095598A JP 3736100 B2 JP3736100 B2 JP 3736100B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spindle
motor
rotor
magnetic
bearing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP03095598A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH11234960A (ja
Inventor
照雄 丸山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP03095598A priority Critical patent/JP3736100B2/ja
Publication of JPH11234960A publication Critical patent/JPH11234960A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3736100B2 publication Critical patent/JP3736100B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Iron Core Of Rotating Electric Machines (AREA)
  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、生産加工機械等に用いられる磁気軸受スピンドルに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年機械加工の分野において、高速切削加工に対する要請が強くなっている。高速切削は生産効率の向上が図れる、切削抵抗を低減できるため加工精度が向上し工具の寿命が延びる、また一体の原料から形状を一気に削り出すことで鋳型などの費用を削減できかつ工程の短縮化がはかれる、などの効果が期待されている。
【0003】
また最近の製品品質に対する要求は、加工面の品質すなわち形状精度や面粗度だけでなく、加工表面下の欠陥や変質層の有無まで問われるようになってきており、金属除去に伴う発生熱の影響が低く、加工負荷が小さくできる高速切削の期待が大きい。
【0004】
加工機の性能を決定的に支配するスピンドルには、従来から主に玉軸受による支持構造が用いられてきた。前述した高速切削の要請に対して、潤滑方式の改良、セラミックス軸受の採用などにより、高速化に応えるための開発がなされている。
【0005】
一方、磁気浮上により非接触で回転体を支持する能動制御型の磁気軸受スピンドルが、玉軸受方式の限界を超える可能性を持つものとして、近年注目されている。
【0006】
図8はその磁気軸受スピンドルの一例であり、500はスピンドルの主軸、501はモータロータ、502はモータステータである。503と504はフロント側ラジアル軸受、505と506はリア側ラジアル軸受、507と508はスラスト軸受であり、それぞれ回転側のロータと固定側のステータから構成される。509,510はフロント側とリア側のラジアル変位センサー、511はスラスト変位センサー、512,513は保護ベアリング、514はケーシングである。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
加工用スピンドルの基本性能は、通常DN値(主軸径×回転数)の大きさで評価される。玉軸受スピンドルの場合、近年様々な改良がなされているが、機械的な摺動潤滑をともなうために、寿命という点を考慮すれば、実用的にはDN値は250万程度が限界とされている。
【0008】
一方磁気軸受の場合、半永久的に使用可能である非接触回転の特徴を活かすことにより、玉軸受のDN値を大きく上回るスピンドルが実現できる可能性がある。前述した加工側の高速・高剛性の要請に応えるために、スピンドルの主軸径をより大きく、またより高速で回転させる試みがなされている。大きな主軸径が要望される理由は、主軸径が大きい程、高速時の慣性剛性(主軸の軸中心が一方向を保とうとする力学的効果)が大きく、またより大きな外径の刃具を把持できるからである。
【0009】
しかし非接触であるがゆえに低損失であると期待された磁気軸受は、高DN値を追求する取組みの結果、予想外の大きな摩擦損失が生じることが明らかとなった。その主たる要因は、ラジアル軸受の渦電流損によるものである。ラジアル軸受は上下左右の4方向から磁気の力で回転子を吸引して回転子を非接触で中心に保持する。回転子鉄心中の一点は、回転によってたとえばN→S→N→Sと順次に磁束が変化するために、回転子鉄心には変動する誘起起電力が生じて渦電流が流れることになる。この渦電流損を小さくするために、回転子鉄心は、通常薄い電磁鋼板(珪素鋼板)を重ねあわせた積層構造が採用される。
【0010】
さて渦電流損は、一般に抵抗率に反比例し、鉄板の厚さの2乗に比例し、周波数(回転速度)の2乗に比例する。上記おおまかな原則を踏まえて、高DN値(大きな主軸径と高い回転数)のスピンドルの実現を見込み、磁気軸受の回転部を構成した場合、次のような課題が生じた。
【0011】
▲1▼渦電流損を低減するために、抵抗率が高く、板厚の薄い電磁鋼板を採用した場合、遠心力によって発生する応力に対して、材料の機械的強度の限界から許容回転数に制約が生じた。遠心力によって発生する応力は、回転体の周速で決まるため、DN値にはおのずと限界が生ずる。
【0012】
▲2▼逆により高い回転数にまで耐える、板厚が大きく抵抗率の低い電磁鋼板を採用した場合、大きな渦電流損による発熱によって主軸に大きな温度上昇をもたらした。
【0013】
主軸に温度上昇をもたらす発熱の要因として、磁気軸受に加えてモータもそのひとつである。回転スピンドルに用いられる誘導モータは、通常スロットを打ち抜いた薄い珪素鋼板を積み重ねて鉄心を作り、そのスロットの中に銅またはアルミニウムの導体棒を通し、鉄心の外で前記導体棒の両端をエンドリング(端絡環)で短絡した構成になっている。誘導モータの回転原理にもとずき、固定子である界磁巻線に回転磁界が生ずると、前記エンドリングに誘導電流が流れる。この誘導電流によるジュール熱が発熱要因となる。
【0014】
さて、これらの発熱による主軸の温度上昇は、高DN値のスピンドルの高速時の高精度回転化を図る上で、不可避な課題を提起することになった。その最大の課題は主軸の振れの増大である。たとえば、主軸径をφ90、回転数を4〜5万回転に設定したとき、主軸に発生するラジアル方向の振れは数十ミクロンになった。主軸に装着される工具先端の振れは勿論この値を上回る。加工時の工具の振れは、びびり振動の要因となり、加工面精度を劣化させ、また工具寿命を著しく低下させる主要因となる。
【0015】
本発明は、磁気軸受スピンドルの高速・高剛性化(高DN値化)を図るための課題に対して、解決策を与えるものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明は、回転軸と、前記回転軸の負荷側に設けられ、かつ、前記回転軸の軸径方向荷重を支持する第一のラジアル軸受と、前記負荷側に対して反対側に設けられた第二のラジアル軸受と、前記第一のラジアル軸受と前記第二のラジアル軸受との間に設けられたモータとで構成される磁気軸受スピンドルにおいて、前記第一と第二のラジアル軸受の回転部のそれぞれのロータ外径をD1、D2し、かつ前記モータのロータ外径をDmとしたとき、Dm>D 1 >D 2 であることを特徴とするものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、まず最初に本発明に至るまでの考察について述べる。
二つのラジアル磁気軸受の回転部とその中間部に配置されるモータの回転部を発熱源として、高速回転時に主軸は温度上昇する。この温度上昇によって、主軸はある曲率をもって変形することが分かった。この変形をもたらす要因として、
▲1▼磁気軸受部、モータ部に積層された電磁鋼板の発熱量が非軸対称である。この非軸対称性は、磁性材料である積層鉄芯の磁気特性が製作時に熱的な変化を経るために、抵抗率、透磁率等の僅かなばらつきによって生ずるものと考えられる。
【0018】
▲2▼また発熱量のばらつきを極力押さえたとしても、主軸の変形をもたらす次の要因がある。すなわち、磁気軸受、モータの回転子は多くの複合部品、すなわちモータ・磁気軸受の積層鉄芯とそれを側面から締結するリング、スラスト軸受の円盤、主軸内部を利用して設けられたツーリング部材等から構成される。これらの部材は、焼きばめ、圧入工程を経てスピンドルの主軸として組み立てられため、高速・高温下の苛酷な条件下において、これらの部品の熱膨張特性の温度依存性が軸非対称性を持つのは、実用上避けられない。
【0019】
さて、主軸の軸方向に座標をとり、温度分布と応力分布の軸非対称性を持つ部分をXとする。ここで上記Xが主軸の変形と工具の振れに与える影響は、Xが主軸のどの位置にあるかで大きく異なることに着目する。図1において、
(1)温度分布と応力分布の軸非対称性を持つ部分: Xがスピンドルのフロント側100(第一のラジアル軸受)にあるとき、主軸101に曲がりをもたらす個所と工具102先端の間の距離:l1は小さく、工具先端の振れに与える影響は図(イ)のごとく小さい。
【0020】
(2)Xがスピンドルのリアー側103(第二のラジアル軸受)にあるとき、図(ロ)のごとく磁気軸受のギャップ内で主軸は曲がり、かつ曲げの変曲点を持つ。しかしスピンドルとして最も必要な機能(工具先端の振れ精度)にはなんら影響を与えない。軸受のギャップ内で主軸の曲がりが許されるのは、玉軸受(2点で固定支持)にはない磁気軸受スピンドルだけの特徴である。
【0021】
(3)Xがスピンドルの中央部(モータ部)にあるとき、主軸に曲がりをもたらす個所と工具先端の間の距離:l1は最も大きく、工具先端の振れに与える影響は図(ハ)のごとく大きい。
【0022】
図2は、上記着眼点を熱・構造解析を用いて実証したものである。解析を行う上での仮定として、主軸の変形をもたらす推定要因、すなわち▲1▼磁気軸受、モータの円周方向温度分布、▲2▼複合部材による応力分布、▲3▼主軸本体の残留歪み、などの軸非対称の温度依存性を持つ要因:Xを「等価温度差:ΔT」で代表させる。解析条件は、φ90×420mmのストレートな主軸が、円周方向と軸方向の一定幅(45゜×100mm)の範囲で、円周方向で温度差:ΔTをもつとした。またツール先端は主軸端部から50mmの位置にあるものとする。図3は上記条件下における熱・構造解析の結果を示すものである。
【0023】
(1)上記温度差を持つ部分が主軸のフロント側にあるとき、温度差:ΔTに対するツール先端の振れ:δは極めて小さい。
【0024】
(2)温度差を持つ部分が主軸の中央部にあるとき、温度差:ΔTがツール先端の振れに与える影響は極めて大きく、上記(1)の5倍程度である。
【0025】
以上の考察から得られた知見を要約すれば、▲1▼フロント側磁気軸受の発熱による要因:Xがたとえあったとしても、ツール先端の振れに与える影響は小さい、▲2▼主軸に曲がりをもたらす要因:Xの影響を低く押さえるためには、主軸の中央部(モータ部)の剛性を他の部分よりもアップさせる、ことがキーポイントであることがわかる。ちなみに、外径:φDの丸棒の断面2次モーメント:I=πD4/64であり、軸の剛性は外径の4乗に比例するため、外径を僅かに大きくしても剛性アップに与える効果は大きい。
【0026】
すなわち本発明では、前記第一と第二のラジアル軸受の回転部のそれぞれのロータ外径をD1、D2として、かつ前記モータのロータ外径をDmとしたとき、Dm> D1とし、望ましくはさらにDm>D2とする。
【0027】
図4は本発明の第一実施例の高速磁気軸受スピンドルを示すもので、1はスピンドルの主軸、2はモータロータ、3はモータステータである。4と5はフロント側ラジアル軸受(第一のラジアル軸受)のロータとステータ、6と7はリア側ラジアル軸受(第二のラジアル軸受)のロータとステータである。8と9はスラスト軸受のロータとステータである。10,11はフロント側とリア側のラジアル変位センサー、12はスラスト変位センサー、13,14は保護ベアリング、15はフロントプレート、16はフロントケース、17はリアーケース、18はリアープレートである。主軸1は、フロント側ラジアル軸受のロータ4(外径:φD1)が装着されたフロント部19、モータロータ2(外径:φDm)が装着された中央部20、リア側ラジアル軸受のロータ6(外径:φD2)が装着されたリアー部21から構成される。
【0028】
以下、本発明をベースとした他の実施例について述べる。
ラジアル軸受とモータの各ロータ部は、主軸に装着された磁性材料による積層鉄芯から構成されている。通常、この積層鉄芯は母体である主軸程は強度は期待できない。したがって、第一と第二のラジアル軸受及び前記モータのそれぞれの前記軸芯部の外径をd1、d2、dmとしたとき、dm>d1およびdm>d2とすれば、工具の振れはさらに低減できる。
【0029】
たとえばDN値が360〜450万の高速スピンドルの場合、磁気軸受、モータ共、その回転子を構成する材料は、遠心破壊に対してほぼ限界に近いところで使用される。通常用いられる誘導モータは、ロータ内部を貫通する導体棒を両サイドのエンドリングで保持する構成となっている。通常アルミあるいは銅で構成されるエンドリングには、高速時大きなせん断が加わるため、誘導モータの高速化の限界はこのエンドリングの遠心破壊強度で決まることが多い。
【0030】
そこでモータは誘導モータではなく、ロータ部に永久磁石を有するACサーボモータを用いれば、ロータ径:Dm(あるいはdm)をさらに大きくできる。その理由はACサーボモータでは、ロータ表面に貼り付けられた永久磁石の耐遠心破壊強度を高める公知の方法、たとえば(1)永久磁石ロータに強度のあるチタン合金のパイプを被せる、(2)カーボンファイバーなどの補強繊維でロータを被覆する、等の方法が採用できるからである。 ACサーボモータで上記(1)、(2)が採用できる理由は、磁石の透磁率は空気と同程度であり、ロータとステータ間のエアーギャップが少々大きくなっても、誘導モータ程は効率に大きな影響を与えないからである。しかし誘導モータの場合、エアーギャップを大きくすれば、トルクはギャップの2乗に逆比例して極度に低下してしまうため、ロータの補強は難しくロータ径を大きくするのには限界がある。
【0031】
ACサーボモータに、ロータ内部に永久磁石を内蔵する公知の埋め込み磁石モータ(IPMモータ)用いれば、耐遠心破壊強度が向上するため、ロータ径をさらに大きくでき、非軸対称の熱応力に対して一層強い構造にできる。図5に埋め込み磁石モータの原理図を示す。30はステータ、31は埋め込み磁石、32はロータである。この埋め込み磁石モータでは、前述したような(1)(2)のロータの補強策を施さなくてもよく、そのためロータ、ステータ間のエアーギャップの増大による効率低下もない。
【0032】
本発明における永久磁石型モータの適用は、モータが配置される個所が熱・応力の軸非対称性がツールの振れに最も大きな影響を与えるところである、という知見を踏まえて、▲1▼パワーアップではなく、モータが配置される個所の剛性を大きくするために、モータの適性を活かしてモータロータ径を太くする、▲2▼ロータに誘導電流が流れないため、発熱と温度上昇そのものを小さくできるというメリットが得られる。すなわち、上記▲1▼×▲2▼の相乗効果が本発明の特徴である。
【0033】
図6は、モータ・ステータのコイルエンドの内側が、通常無効な空間(使用できない空間)とされていることに注目して、この部分に補強用のリングを設けたものである。51はモータのロータ、52はステータ、53a、53bはコイルエンド、54a、54bはエンドリング,55a,55bは補強リング、56は主軸、57はハウジングである。モータに誘導モータを用いる場合、前記エンドリングには誘導電流を効率よく流すために、通常銅またはアルミ系の材料をもちいる。しかし前記補強リングには、機械的強度を重視して、鉄系材料を焼きばめまたは圧入等により主軸56に装着すればよい。
【0034】
またモータ・ステータの中心とコイルエンドの距離をL1、モータ・ロータの中心と補強リングの距離をL2、モータ・ロータの外径をDm、補強リングの外径をDEとして、L1≒ L2、 DE ≒Dmとすれば、最も効果的である。
【0035】
図7は、ACサーボモータを用いた場合にエンドリングを兼ねて、高強度材による補強リング60a,60bを設けた例である。 各部品の寸法:L1、 L2、DE、Dmの関係は図6の場合と同様である。
【0036】
前記補強リングは、延性がありかつ前記主軸よりも熱膨張率の小さな材料を用いれば、高速・高温の条件下で主軸の変形を抑制する作用が得られる。
【0037】
また磁気軸受スピンドルのフロント側とリアー側の電磁石を次のように構成することにより、発熱の総量を低減させ、主軸の温度上昇と熱変形をさらに抑制できる。
【0038】
▲1▼フロント側の電磁石に用いる電磁鋼板には、渦電流損が大きいが機械的強度が高い磁性材料を用いる。
【0039】
▲2▼リアー側の電磁石に用いる電磁鋼板には、機械的強度は低いが渦電流損も小さい磁性材料を用いる。
【0040】
▲3▼φDm>φD1>φD2として、それぞれの材料のDN値で決まる強度限界の範囲内で上記D1、D2の寸法を決定する。
【0041】
上記構成により高DN値を維持したままで、磁気軸受の通常の構成方法すなわちフロント側、リアー側とも渦電流損の大きな同一材料を用いた場合と比べて、渦電流損失による発熱を大幅に低減することができる。しかしスピンドルの静剛性には大きな影響を与えず、最外径のφD1とφD2を同一に構成した場合と比べて、ほぼ同等の静剛性を得ることができる。その理由は次のようである。加工用スピンドルがツールから受けるラジアル荷重は、二つのラジアル軸受によって配分されて支持される。てこの原理から明らかなように、リアー側のラジアル軸受が受けるラジアル荷重は、フロント側と比べて充分に小さい。したがってリアー側の軸受径:φD2を小さくしても、スピンドル本体の静剛性に与える影響は小さくてすむからである。
【0042】
またリアー側の軸受径:φD2の径小化による慣性剛性の低下は、本発明では、モータ・ロータの外形:φDmをφD1とφD2よりも大きくすることによって補うことができる。
【0043】
【発明の効果】
本発明を用いて磁気軸受スピンドルを構成すれば、主軸の温度分布と応力分布の軸非対称性が工具の振れに与える影響を僅少にすることができるため、磁気軸受の回転子に用いる磁性材料を広い範囲で選択できる。たとえば、磁気軸受の積層鉄心として用いられる電磁鋼板は、機械的強度と高周波鉄損の面で相矛盾する関係を持っている。しかし本発明を適用すれば、鉄損が少々大きくても遠心破壊強度に強い電磁鋼板を用いることができるため、主軸と工具の振れ精度を僅少に保ったままで、高DN値のスピンドルを実現できる。
【0044】
本発明の適用により、磁気軸受スピンドルが本来持っている基本的能力(高速・高剛性)を一層活かした形で高速切削加工の要請に応えることができ、その効果は絶大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】温度と応力の分布の軸非対称性が工具先端に与える影響を示す図
【図2】熱、構造解析の一例を示す図
【図3】ツール先端の振れ量と等価温度差の関係を示す図
【図4】この発明にかかる実施例の磁気軸受スピンドルの正面断面図
【図5】磁石植え込みモータの原理図
【図6】本発明の他の実施例を示す図
【図7】本発明の他の実施例を示す図
【図8】従来の磁気軸受スピンドルを示す図
【符号の説明】
1 回転軸
2 モータ部
3 モータ部
4 第一のラジアル軸受け
5 第一のラジアル軸受け
6 第二のラジアル軸受け
7 第二のラジアル軸受け

Claims (4)

  1. 回転軸と、前記回転軸の負荷側に設けられ、かつ、前記回転軸の軸径方向荷重を支持する第一のラジアル軸受と、前記負荷側に対して反対側に設けられた第二のラジアル軸受と、前記第一のラジアル軸受と前記第二のラジアル軸受との間に設けられたモータとで構成される磁気軸受スピンドルにおいて、
    前記第一と第二のラジアル軸受の回転部のそれぞれのロータ外径をD1、D2し、かつ前記モータのロータ外径をDmとしたとき、Dm>D 1 >D 2 であること
    を特徴とする磁気軸受スピンドル。
  2. モータ部はロータ部に永久磁石を有するACサーボモータであることを特徴とする請求項1に記載の磁気軸受スピンドル。
  3. 請求項1または2に記載の磁気軸受スピンドルが搭載されることを特徴とする加工機。
  4. 請求項1または2に記載の磁気軸受スピンドルを用いた加工方法。
JP03095598A 1998-02-13 1998-02-13 磁気軸受スピンドル Expired - Fee Related JP3736100B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03095598A JP3736100B2 (ja) 1998-02-13 1998-02-13 磁気軸受スピンドル

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP03095598A JP3736100B2 (ja) 1998-02-13 1998-02-13 磁気軸受スピンドル

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH11234960A JPH11234960A (ja) 1999-08-27
JP3736100B2 true JP3736100B2 (ja) 2006-01-18

Family

ID=12318115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP03095598A Expired - Fee Related JP3736100B2 (ja) 1998-02-13 1998-02-13 磁気軸受スピンドル

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3736100B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5030209B2 (ja) * 2007-02-05 2012-09-19 東洋電機製造株式会社 インホイールモータユニット
CN107124069B (zh) * 2017-06-15 2023-11-10 北京昆腾迈格技术有限公司 一种磁悬浮转子支承系统、磁悬浮电机及吸尘器
WO2019014244A1 (en) * 2017-07-12 2019-01-17 Johnson Controls Technology Company AUXILIARY SELF-CENTERING BEARINGS IN MAGNETIC BEARING CARTRIDGE
CN107979214A (zh) * 2017-12-28 2018-05-01 南京磁谷科技有限公司 一种磁悬浮电机转子中防撞推力盘的安装结构

Also Published As

Publication number Publication date
JPH11234960A (ja) 1999-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6072395B1 (ja) 回転電機の回転子部材、回転電機の回転子及び回転電機
JP3484051B2 (ja) 永久磁石式同期電動機及びその製造方法ならびに永久磁石式同期電動機を備えた遠心圧縮機
EP1710892B1 (en) A rotor for an electrical machine
US20040051416A1 (en) Permanent magnet rotor
CN106972658A (zh) 磁悬浮超高速永磁电机的转子结构
JP2003013955A (ja) 磁気軸受用ステータコア
EP1420500A1 (en) Rotor assembly for an electrical machine
JP3736100B2 (ja) 磁気軸受スピンドル
EP1857695B1 (en) Ball bearing
JP5192271B2 (ja) 磁気軸受装置
CN206790233U (zh) 一种磁悬浮超高速永磁电机的转子结构
US5317226A (en) Rotor and stator components for a magnetic bearing
JP4228413B2 (ja) 回転装置
EP3350908B1 (en) Radiaxial flux motor with a conical stator and rotor
JP3708331B2 (ja) 磁気軸受装置
JP3712565B2 (ja) 回転装置及び当該回転装置を備えた加工装置
CA2672846A1 (en) Magnetic bearing device
EP1811631B1 (en) Surface permanent magnet type rotating electric machine and manufacturing method thereof
US11742711B1 (en) Rotor for a high speed electrical machine
CN115411871A (zh) 一种磁悬浮电机
JP3736104B2 (ja) 磁気軸受スピンドル
EP2290787B1 (en) Rotor shaft
CN113315301A (zh) 一种磁悬浮高速异步电机
JPH11266564A (ja) 磁気軸受スピンドル
JP3777500B2 (ja) 磁気軸受装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050602

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050614

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050627

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050803

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20051004

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20051017

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091104

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091104

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101104

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111104

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees