JPH05149326A - 動圧軸受装置 - Google Patents

動圧軸受装置

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JPH05149326A
JPH05149326A JP33283991A JP33283991A JPH05149326A JP H05149326 A JPH05149326 A JP H05149326A JP 33283991 A JP33283991 A JP 33283991A JP 33283991 A JP33283991 A JP 33283991A JP H05149326 A JPH05149326 A JP H05149326A
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JP
Japan
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bearing
plating
alumite
thickness
bearing member
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Pending
Application number
JP33283991A
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English (en)
Inventor
Ryukichi Tsuno
柳吉 津野
Toshihiro Kobayashi
敏宏 小林
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Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
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Publication of JPH05149326A publication Critical patent/JPH05149326A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 動圧軸受の製作が比較的に容易とあり、かつ
焼付を生じることのないようにする。 【構成】 回転軸2及び軸受部材1をアルミニウムまた
はアルミニウム合金で成形し、かつそれらの軸受面1
a,2aに、回転軸2側にはメッキ層、好ましくは無電
解ニッケルメッキまたは無電解ニッケル複合メッキの
層、より好ましくは3μm以上の厚さの無電解ニッケル
メッキまたは無電解ニッケル複合メッキの層を形成し、
かつ軸受部材1側にはアルマイト層、好ましくは硬質ア
ルマイト、より好ましくは7μm以上の厚さから成る硬
質アルマイト層を形成している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は軸受隙間の流体例えば空
気や油などの動圧で軸受荷重を支承する動圧軸受装置に
関する。更に詳述すると、本発明は、例えばレーザ走査
用モータや高速スピンドルモータ等のような高速で回転
するモータのロータなどの軸を支持するのに用いて好適
な動圧軸受に関する。
【0002】
【従来の技術】レーザ走査用モータ、磁気ドラム用モー
タ、ジャイロモータあるいは高速スピンドルモータのよ
うな高速で回転するモータ等には、高速回転を可能とす
るため、回転に伴って発生する動圧空気でロータ(回転
軸)部を支持する動圧空気軸受が採用されている。この
動圧空気軸受は、図5に示すように、回転時に動圧を発
生させて回転軸を浮揚させて支持するため、回転軸10
1と軸受部材104との間には極めて狭い一定の軸受隙
間(図では誇張して示しているが通常、数μm〜十数μ
m)106が形成されている。このため、回転軸101
の外周面(軸受面)101aと軸受部材104の内周面
(軸受面)104aとに不要な凸起が生じないように精
密に仕上げなければ回転中に回転軸101と軸受部材1
04とが接触して摩擦熱を発生し、接触部分の溶融によ
り軸と軸受が凝着するいわゆる焼付現象を惹き起こす危
険がある。一般には起動停止時の軸受負荷能力の低い状
態での接触による摩耗が焼付の引き金となるが、また外
力を受けた際の振動等によって高速回転時に接触する場
合にも起こる。
【0003】そこで、従来は、高硬度で摩耗の少い材料
が焼付きに有利であるとの観点から、回転軸101に焼
入れ鋼を使用し、更にその上に硬質クロムメッキを施し
たり、または焼入硬化型のステンレス鋼を使用する場合
が多い。また、相手側の軸受部材104にも同様の材料
を使用するか、銅合金を使用する場合が多い。更に、セ
ラミック質材料で軸受を形成したり、軸受内面又は回転
軸表面へセラミック質材料の被覆を実施することも考え
られる。このような動圧空気軸受は、例えば図5に示す
ように、心なし円筒研削などで加工されたむくの回転軸
101と円筒状の軸受部材104とから構成されてい
る。したがって、回転軸101を回転させる駆動モータ
102は、回転軸101と同軸の軸部103に駆動用マ
グネット105が取付けられると共に軸受部材104を
支持するフレーム107側に鉄心108と駆動用巻線1
09とが設置され、動圧空気軸受の下部に構成されてい
る。尚、符号110はポリゴンミラーである。
【0004】一方、動圧空気軸受が多用されているレー
ザー走査用モータなどの高速回転モータにおいては、動
圧空気軸受を構成する回転軸の内側に駆動用マグネット
とコイルび鉄心を配置してモータのコンパクト化と回転
軸の振れや傾きを極力小さくすることが考えられてい
る。このような構造の動圧空気軸受の場合、回転軸の形
状・構造が複雑になるため焼入鋼等を研削するよりは、
アルミ合金を旋削加工して作成する方が加工コストの点
で遥かに有利である。そこで、回転軸及び軸受部材の双
方をアルミニウムまたはアルミニウム合金で作成するこ
とが望まれている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、焼入れ
鋼などの硬質金属材料の使用が完全な焼付対策となって
いないことは、衆目の一致するところであり、かかる動
圧軸受の泣き処ともなっている。また、セラミック系材
料の使用は技術的、コスト的に難点を有し、実用的とは
言い難い。即ち、セラミックは硬質で加工精度が出し難
いことから、数μmの軸受隙間をあけ、かつ5〜20μ
mの浅いスパイラル状の溝を必要とする動圧空気軸受の
製作には不向きである。
【0006】また、回転軸と軸受部材をアルミニウムな
いしアルミニウム合金で形成する場合、比較的軟いた
め、加工々程等で疵、打痕が付き易いという欠点があ
る。通常、疵や打痕は、平滑に仕上げられた表面へ数μ
m程度の突起を局所的に形成することが避けられない。
これらの突起は、通常アルミ合金に対して実施されるメ
ッキやアルマイト等の表面処理によっても改善されず、
この部分の接触により容易に焼付の原因となることがわ
かった。したがって、加工工程や組立工程時に疵等を付
けないように取扱いに細心の注意が必要であるし、良品
と不良品との検査選別の手間を必要とし、それに手間が
かかる上に更に不良品の廃却ロス等が大きくなるなどの
問題を起こしている。
【0007】本発明は、比較的製作工法が容易であり、
かつ焼付を生じることのない動圧軸受を提供することを
目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、本発明は、回転軸とそれを回転自在に支持する軸受
部材との相対向する軸受面のいずれか若しくは双方にス
パイラル状の溝を設け、回転時に前記スパイラル状溝の
作用で軸受隙間の流体圧を高めて軸受荷重を支承する動
圧軸受において、前記回転軸及び前記軸受部材をアルミ
ニウムまたはアルミニウム合金で成形し、かつそれらの
対向面に前記回転軸側にメッキ層を形成すると共に軸受
部材側にアルマイト層を形成するようにしている。ここ
で、好ましくはアルマイトは硬質アルマイトであり、メ
ッキは無電解ニッケルメッキまたは無電解ニッケル複合
メッキであり、硬質アルマイトは7μm以上、前記無電
解ニッケルメッキまたは無電解ニッケル複合メッキは3
μm以上の厚さである。
【0009】
【作用】回転軸と軸受部材の双方にメッキを施した場
合、相当メッキ厚を増やさないと効果が得られず、軸受
隙間のコントロールや熱影響を無視できなくなり実用的
ではない。更に、アルマイト同士の場合には、更にその
傾向は激しくなり、相当厚いアルマイトにしなければ焼
付きを防ぐことはできない。また、軸受部材側にメッキ
を施し、回転軸側にアルマイトを形成した場合、メッキ
厚をいくら厚くしても焼付荷重にはほとんど変化がな
く、この場合には焼付き防止には何ら効果がないことが
判明した。しかし、回転軸にメッキ層、軸受部材にアル
マイト層を施したとき、焼付荷重に変化が表れ、メッキ
厚が薄くとも焼付荷重が飛躍的に向上した。そして、こ
のときの焼付荷重の変化(焼付きの度合)には無電解メ
ッキに対する添加物の影響は見られず、もっぱらメッキ
厚さとアルマイト厚さに依存している。メッキ厚さ及び
アルマイト厚さは厚くする程焼付き難くなるが、その反
面厚くなり過ぎると軸受隙間を所定範囲(5μm〜十数
μm)にコントロールすることが難しくなる。しかし、
回転軸にメッキ層、軸受部材にアルマイト層、好ましく
は硬質アルマイト層を施すとき、最低のメッキ厚、アル
マイト厚で焼付荷重を向上できる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基
づいて詳細に説明する。尚、本実施例はレーザプリンタ
やファクシミリ等の光学走査装置に使用されているポリ
ゴンミラーを高速回転させるモータに適用したものであ
る。
【0011】図3に本発明の動圧軸受を組込んだポリゴ
ンミラー駆動用モータの一実施例を示す。このポリゴン
ミラー駆動用モータは、ポリゴンミラー7を支持する円
筒状の回転軸(ロータ)2と、この回転軸2を嵌合させ
て該回転軸2との間に動圧空気軸受を構成する円筒状の
軸受部材1と、この軸受部材1の中央に設置されステー
タ組を構成する鉄心4と駆動用巻心(コイル)5及び回
転軸2の内周面に固着されロータ組を構成する駆動用マ
グネット3とから主に構成される。ロータ組とステータ
組との間、例えば回転軸心上において対向する鉄心4の
上端と回転軸2とに夫々回転軸浮上用のマグネット6
a,6bが設けられている。マグネット6a,6bは同
極同士を向い合せてその反撥力により回転軸2を浮上さ
せ、スラスト方向においてロータ組とステータ組とが非
接触となるように支承している。また、回転軸2にはポ
リゴンミラー7等の被回転物が取付けられる。更に、回
転軸2の下方には回転を検知するためのセンサー等の電
子部品8が取付けられる。回転軸2の外周面には、図4
に示すように、動圧発生のためのスパイラル状の溝9が
エッチングなどによって5μm〜20μmの深さで形成
されている。この回転軸2の上部にはポリゴンミラー7
を嵌め込むためのボス10が、中央部にはエアポケット
用の溝11が設けられている。尚、回転軸2の内部空間
と外部とは図示していない小径の連通孔を以って連通さ
れている。
【0012】ここで、回転軸2と円筒状の軸受部材1と
はアルミニウムないしアルミニウム合金で構成されてい
る。そして、回転軸2側の外周面即ち軸受面2aには動
圧発生用の溝9が形成された後、メッキ層が形成されて
いる。また、軸受部材1の内周面即ち軸受面1aにはア
ルマイト層が形成されている。アルマイト層は硬質アル
マイトであり、少なくとも7μm以上、好ましくは7〜
15μm、最も好ましくは約8μmの厚さに形成されて
いる。他方、メッキ層は、無電解ニッケルメッキあるい
は無電解ニッケル複合メッキ、好ましくは無電解Ni−
Pメッキ、無電解Ni−SiC−P複合メッキ、無電解
Ni−BN−P複合メッキが使用され、少なくとも3μ
m以上、好ましくは3〜10μm、最も好ましくは約3
μmの厚さに形成されている。アルマイト及びメッキは
後述の実験からも明らかなように、厚くする程焼付きを
起こし難い。その反面、アルマイト厚さを厚くするに従
って相対的にばらつきが大きくなり軸受隙間のコントロ
ールが難しくなる。そこで、アルマイト及びメッキの厚
さはできるだけ薄くすることが好ましい。そこで、軸受
部材1のアルマイトは7μm〜15μm、好ましくは約
8μmに設定される。また、回転軸2の無電解メッキ
は、3μm〜10μm、好ましくは約3μmに設定され
る。尚、軸受部材1に形成した層がアルマイト層であっ
ても、硬質アルマイト層に近い効果を奏する。
【0013】図1にアルマイト厚さとメッキ厚さとの関
係を示す実験結果を示す。この実験は、図3,図4に示
される実際の回転体と同じ直径のアルミ円板と円盤状の
板とを接触させて焼付くか否かの擬似テストを行ったも
のである。実験は、φ30mm、厚みt=1mmのアル
ミ円板を8000rpmで回転させ、それに円盤状の板
から成る軸受部材を所定荷重で約30秒接触させて焼付
けが起こるか否かを検出するようにしたものである。
尚、回転側のアルミ円板のメッキは、無電解Ni−Pメ
ッキ、無電解Ni−SiC−P複合メッキ、無電解Ni
−BN−P複合メッキについて行った。
【0014】この実験結果を示す図1のグラフから明ら
かなように、焼付荷重の変化(焼付きの度合)には無電
解メッキに対する添加物の影響は見られず、もっぱらメ
ッキ厚さとアルマイト厚さに依存している。メッキ厚さ
を厚くするほど焼付荷重が大きく即ち焼付き難くなる
が、メッキ厚が約2μmの所では最低荷重で焼付く。そ
こで、メッキ厚は、3〜10μm、好ましくは3μm程
度に設定することが望まれる。また、アルマイトは厚く
なるほど焼付き難くなるが、7μm以上あれば充分に焼
付きを防ぐことができるものの、15μmを越えてもメ
ッキ厚の変化によって焼付荷重がさほど変化しなくな
る。一方、アルマイト厚さはあまり厚くなると回転軸と
軸受部材との間の隙間のコントロールが難しくなる。そ
こで、アルマイト厚さは7〜15μm、好ましくは8μ
m程度に設定することが望まれる。また、回転軸2と軸
受部材1の双方にメッキを施した場合、相当メッキ厚を
増やさないと効果が得られず、軸受隙間のコントロール
や熱影響を無視できなくなり実用的ではない。更に、ア
ルマイト同士の場合には、更にその傾向は激しくなり、
相当厚いアルマイトにしなければ焼付きを防ぐことはで
きない。
【0015】更に、図2に回転体に14μmのアルマイ
トを施し軸受へメッキを施した実験結果を示す。このグ
ラフからも明らかなように、軸受部材1側にメッキを施
し、回転軸2側にアルマイトを形成した場合、メッキ厚
をいくら厚くしても焼付荷重にはほとんど変化がなく、
この場合には焼付き防止には何ら効果がないことが判明
した。
【0016】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の動圧軸受装置は、回転軸及び軸受部材をアルミニウム
またはアルミニウム合金で成形し、かつそれらの軸受面
に回転軸側にメッキ層を形成すると共に軸受部材側にア
ルマイト層を形成したので、軸受隙間のコントロールが
比較的容易な範囲で焼付き荷重の向上を図ることがで
き、焼付き難くなった。しかも、回転軸と軸受部材とが
アルミニウム又はアルミニウム合金で形成されるため、
加工が容易となる共に軽量で軸受負荷が小さくなる。
【0017】更に、所定のアルマイト厚及びメッキ厚を
とるとき、それぞれの厚みのばらつきが小さく抑制され
て回転体と軸受部材との隙間のコントロールが容易とな
る上に、最も薄いメッキ厚、アルマイト厚で焼付きに対
して極めて効果を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】焼付荷重に与えるアルマイト厚みとメッキ厚と
の相関関係を示す実験結果を示すグラフである。
【図2】軸受部材側にメッキを、回転軸側にアルマイト
を施した場合の焼付荷重とメッキ厚との関係を示すグラ
フである。
【図3】本発明の動圧軸受を応用したポリゴンミラー用
モータの一実施例を示す中央縦断面図である。
【図4】ロータ構造を示す正面図である。
【図5】従来のポリゴンミラー用モータの中央縦断面図
である。
【符号の説明】
1 軸受部材 1a 軸受部材の軸受面 2 回転軸 2a 回転軸の軸受面

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転軸とそれを回転自在に支持する軸受
    部材との相対向する軸受面のいずれか若しくは双方にス
    パイラル状の溝を設け、回転時に前記スパイラル状溝の
    作用で軸受隙間の流体圧を高めて軸受荷重を支承する動
    圧軸受において、前記回転軸及び前記軸受部材をアルミ
    ニウムまたはアルミニウム合金で成形し、かつそれらの
    対向面に前記回転軸側にメッキ層を形成すると共に軸受
    部材側にアルマイト層を形成したことを特徴とする動圧
    軸受装置。
  2. 【請求項2】 前記アルマイトは硬質アルマイトであ
    り、メッキは無電解ニッケルメッキまたは無電解ニッケ
    ル複合メッキであることを特徴とする請求項1記載の動
    圧軸受装置。
  3. 【請求項3】 前記硬質アルマイトは7μm以上、前記
    無電解ニッケルメッキまたは無電解ニッケル複合メッキ
    は3μm以上の厚さであることを特徴とする請求項3記
    載の動圧軸受装置。
JP33283991A 1991-11-22 1991-11-22 動圧軸受装置 Pending JPH05149326A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH05272528A (ja) * 1992-03-26 1993-10-19 Ricoh Co Ltd ポリゴンスキャナおよびその製造方法
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